專(zhuān)利名稱(chēng)：Lpcvd垂直爐管的石英外管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種集成電路制造設(shè)備，具體涉及一種LPCVD垂直爐管的石英外管。
背景技術(shù)：
集成電路(IC)的標(biāo)準(zhǔn)工藝加工廠(chǎng)(foundry)中，低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備(LPCVD)，是整個(gè)工藝流程的重要步序，當(dāng)前主流設(shè)備為垂直爐管。以TEL制a_8SE八寸晶圓垂直設(shè)備為例，各foundry廠(chǎng)的LPCVD爐管工藝，有Si3N4、 多晶硅、SiO2等薄膜的低壓化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)，成膜厚度從幾十A到幾萬(wàn)A不等(IA=Ixicr9 米)，反應(yīng)溫度范圍530°C到800°C不等，反應(yīng)壓力一般為0. 2torr到1. Otorr0其反應(yīng)過(guò)程 在垂直爐管的腔體內(nèi)完成。垂直爐管作為一個(gè)容器，由高純度的石英制作而成。如


圖1所示，垂直爐管包括石 英內(nèi)管、石英外管，石英內(nèi)管為直管，石英外管的頂端帶有穹頂，石英外管呈鐘形倒扣在石 英內(nèi)管的外部，八寸的產(chǎn)品晶圓則水平擺放在石英內(nèi)管的內(nèi)部。在產(chǎn)品晶圓上生長(zhǎng)特定的薄膜時(shí)，石英外管的內(nèi)壁，也會(huì)同時(shí)生長(zhǎng)相應(yīng)厚度的薄 膜。一般的產(chǎn)品晶圓在一臺(tái)設(shè)備中一次只生長(zhǎng)一次薄膜即只做一次工藝，然后該設(shè)備再處 理下一個(gè)批次的產(chǎn)品。當(dāng)累計(jì)工藝次數(shù)增加，即累計(jì)生長(zhǎng)的薄膜厚度增加時(shí)，石英外管管壁 的冗余薄膜也會(huì)增加。當(dāng)累積薄膜到達(dá)幾個(gè)微米時(shí)，就會(huì)因應(yīng)力過(guò)大而掉落。如果那時(shí)正好有產(chǎn)品晶圓 在工藝過(guò)程中，這些顆粒就可能掉在半導(dǎo)體有效器件上，從而使最終產(chǎn)品失效。出現(xiàn)這類(lèi)情 況時(shí)，在產(chǎn)品晶圓上的顆粒分布，呈現(xiàn)外圍密集，中間稀疏的環(huán)狀格局。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種LPCVD垂直爐管的石英外管，它可以 減少顆粒掉落，降低產(chǎn)品晶圓的失效率。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型LPCVD垂直爐管的石英外管的技術(shù)解決方案 為頂端為穹頂封閉，所述穹頂邊緣切線(xiàn)與直管外表面的夾角不小于150°。所述穹頂與直管的過(guò)渡弧面半徑為45mm。所述穹頂?shù)那蛎姘霃綖?20mm。本實(shí)用新型可以達(dá)到的技術(shù)效果是本實(shí)用新型對(duì)石英外管的穹頂形狀進(jìn)行了改進(jìn)，增大了石英外管穹頂與直管過(guò)渡 弧面的曲率半徑，減小了石英外管頂部曲線(xiàn)的變換幅度，使石英外管的頂部曲線(xiàn)更加圓滑， 因而能夠減少石英外管管壁工藝薄膜的應(yīng)力，以減少顆粒掉落的機(jī)會(huì)。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明
圖1是LPCVD垂直爐管的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有技術(shù)石英外管的示意圖；圖3是本實(shí)用新型LPCVD垂直爐管的石英外管的示意圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的示意圖。圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明1為石英內(nèi)管，2為石英外管，3為產(chǎn)品晶圓。
具體實(shí)施方式
如圖3所示，本實(shí)用新型LPCVD垂直爐管的石英外管，頂端為穹頂封閉，穹頂邊緣切線(xiàn)與直管外表面的夾角不小于150°。以外管石英件1105-302118-91為例，該部件為T(mén)EL制a_8SE用LPCVD垂直爐管石
英外管，一般可用于Si3N4、多晶硅、SiO2等工藝。如圖4所示，現(xiàn)有石英外管的頂部穹頂?shù)那蛎姘霃綖?54. 5mm，外管主體為直徑 316mm的空心圓柱體，穹頂與直管之間通過(guò)半徑為24. 5mm的過(guò)渡弧面連接。該石英外管的 穹頂邊緣切線(xiàn)與直管外表面的夾角為120°，如圖2所示。通過(guò)對(duì)薄膜生成機(jī)理的分析，相較于平直面的薄膜，彎曲表面上附著的薄膜，所受 應(yīng)力更大。這些應(yīng)力產(chǎn)生的機(jī)理，一般為不同材料間的不同分子尺寸造成的。應(yīng)力會(huì)在小 曲率表面處釋放，即石英外管頂部曲線(xiàn)變換幅度越大，薄膜應(yīng)力越大。本實(shí)用新型將石英外管頂部穹頂?shù)那蛎姘霃綔p小為220mm，則穹頂與直管的過(guò)渡 弧面半徑增加到45mm，使穹頂邊緣切線(xiàn)與直管外表面的夾角達(dá)150°，極大地改善了過(guò)渡 弧面的圓滑度。由于石英內(nèi)管在該處與石英外管垂直距離相距130mm，這些改造不會(huì)影響到內(nèi)管 的安裝，足夠大的空間，也不會(huì)影響到pumping speed及反應(yīng)時(shí)氣體濃度分布，所以改造對(duì) 原有工藝的其它參數(shù)影響可忽略。本實(shí)用新型適用于任何LPCVD垂直爐管。
權(quán)利要求一種LPCVD垂直爐管的石英外管，頂端為穹頂封閉，其特征在于所述穹頂邊緣切線(xiàn)與直管外表面的夾角不小于150°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LPCVD垂直爐管的石英外管，其特征在于所述穹頂與直管 的過(guò)渡弧面半徑為45mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的LPCVD垂直爐管的石英外管，其特征在于所述穹頂?shù)?球面半徑為220mm。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種LPCVD垂直爐管的石英外管，頂端為穹頂封閉，所述穹頂邊緣切線(xiàn)與直管外表面的夾角不小于150°。所述穹頂與直管的過(guò)渡弧面半徑為45mm。所述穹頂?shù)那蛎姘霃綖?20mm。本實(shí)用新型對(duì)石英外管的穹頂形狀進(jìn)行了改進(jìn)，增大了石英外管穹頂與直管過(guò)渡弧面的曲率半徑，減小了石英外管頂部曲線(xiàn)的變換幅度，使石英外管的頂部曲線(xiàn)更加圓滑，因而能夠減少石英外管管壁工藝薄膜的應(yīng)力，以減少顆粒掉落的機(jī)會(huì)。
文檔編號(hào)C23C16/44GK201560235SQ20092007463
公開(kāi)日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2009年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月22日
發(fā)明者周利明 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司