專利名稱：懸臂石英爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
懸臂石英爐
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種懸臂石英爐。背景技術(shù)：
原來(lái)的懸臂石英爐的爐管管口是平滑設(shè)計(jì)，也沒(méi)有相應(yīng)的爐帽配套。在清洗爐管時(shí)由于外壁不可以接觸酸液，因此，只能用保鮮膜來(lái)密閉管口。然而，采用保鮮膜密封懸臂石英爐的爐管，密封性較差，容易引入沾污，造成對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。

實(shí)用新型內(nèi)容基于此，有必要提供一種管口密封性較好的懸臂石英爐。一種懸臂石英爐，包括爐管和爐帽，所述爐帽與所述爐管的管口套接在一起，所述管口和所述爐帽的接觸面均為磨砂面，所述爐帽側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有爐嘴，所述爐帽通過(guò)所述爐嘴與外界連通。優(yōu)選的，所述管口為圓臺(tái)形，所述爐帽與所述管口適配。優(yōu)選的，所述管口的遠(yuǎn)離開(kāi)口端向外凸起。優(yōu)選的，所述爐帽套設(shè)在所述管口的外側(cè)。優(yōu)選的，所述爐帽收容在所述管口的內(nèi)側(cè)。這種懸臂石英爐，通過(guò)增加的爐帽套設(shè)在爐口處，爐帽和爐口的接觸面均采用磨砂面，從而使得爐口密封性較好。

圖1為一實(shí)施方式的懸臂石英爐的爐管的示意圖；圖2為一實(shí)施方式的懸臂石英爐的爐帽的示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)懸臂石英爐做進(jìn)一步的解釋說(shuō)明。如圖1和圖2所示，一實(shí)施方式的懸臂石英爐，包括爐管10和爐帽20。爐管10的管口 12可以與爐帽20套接在一起。管口 12與爐帽20的接觸面14、22 均為磨砂面，當(dāng)爐帽20套接在管口 12上時(shí)，可以將管口 12很好的密封，爐口 12密封性較好。爐帽20側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有爐嘴24，爐帽20通過(guò)爐嘴M與外界連通。管口 12遠(yuǎn)離開(kāi)口端16向外凸起。管口 12為圓臺(tái)形，爐帽20與管口 12適配。因此，爐帽20開(kāi)口端也為圓臺(tái)形，爐帽20開(kāi)口的遠(yuǎn)離開(kāi)口端沈向外凸起。本實(shí)施方式中，爐口 12沿爐管10的開(kāi)口方向逐漸縮小，從而爐帽20沿爐帽20的開(kāi)口方向逐漸增大。爐帽20套接在爐口 12外側(cè)，爐帽20的內(nèi)表面22以及爐口 12的外表面14為接觸面，均為磨砂面。在其他的實(shí)施方式中，也可以選擇爐口沿爐管的開(kāi)口方向逐漸增大，爐帽沿爐帽的開(kāi)口方向逐漸縮小，從而爐帽收容在爐口內(nèi)側(cè)。這樣，爐帽的外表面和爐口的內(nèi)表面為接觸面，均采用磨砂面。這種懸臂石英爐，通過(guò)增加的爐帽20套設(shè)在爐口 12處，爐帽20和爐口 12接觸面 14、22均采用磨砂面，從而使得爐口 12密封性較好。這樣，在清洗爐管10時(shí)外壁不會(huì)接觸到酸液，也不會(huì)因?yàn)闋t口 12密封性差而引入沾污，產(chǎn)品質(zhì)量得到保證。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的一種或幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種懸臂石英爐，其特征在于，包括爐管和爐帽，所述爐帽與所述爐管的管口套接在一起，所述管口和所述爐帽的接觸面均為磨砂面，所述爐帽側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有爐嘴，所述爐帽通過(guò)所述爐嘴與外界連通。
2.如權(quán)利要求1所述的懸臂石英爐，其特征在于，所述管口為圓臺(tái)形，所述爐帽與所述管口適配。
3.如權(quán)利要求2所述的懸臂石英爐，其特征在于，所述管口的遠(yuǎn)離開(kāi)口端向外凸起。
4.如權(quán)利要求1 3所述的懸臂石英爐，其特征在于，所述爐帽套設(shè)在所述管口的外側(cè)。
5.如權(quán)利要求1 3所述的懸臂石英爐，其特征在于，所述爐帽收容在所述管口的內(nèi)側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種懸臂石英爐，包括爐管和爐帽，所述爐帽與所述爐管的管口套接在一起，所述管口和所述爐帽的接觸面均為磨砂面，所述爐帽側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有爐嘴，所述爐帽通過(guò)所述爐嘴與外界連通。這種懸臂石英爐，通過(guò)增加的爐帽套設(shè)在爐口處，爐帽和爐口的接觸面均采用磨砂面，從而使得爐口密封性較好。
文檔編號(hào)F27B17/00GK202221232SQ201120322988
公開(kāi)日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2011年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月30日
發(fā)明者劉波, 溫曉鑫 申請(qǐng)人:深圳深愛(ài)半導(dǎo)體股份有限公司