專利名稱：研磨機(jī)盤面整形修正輪的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是研磨機(jī)盤面整形修正輪，應(yīng)用于電子元器件晶體制造領(lǐng)域中的石
英水晶片的加工，屬于石英電子元器件制作的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)于頻率元件的要求越來越多。作為頻率元件的一種，石英晶體也面臨更高的品質(zhì)要求。那么作為石英晶體的核心-水晶片同樣也面臨更高的可靠性要求。因?yàn)檠心C(jī)在加工過程中研磨盤面各處磨損不一，為提高研磨水晶片厚度的一致性，必須在研磨機(jī)研磨一段時(shí)間后對(duì)研磨盤的平整度進(jìn)行修正，以保證研磨過程的品質(zhì)?，F(xiàn)有的研磨機(jī)盤面修正方法是由4個(gè)修正輪組成，將4個(gè)修正輪均勻地嚙合在研磨機(jī)內(nèi)外齒圈之間，使修正輪沿著研磨機(jī)內(nèi)齒圈做圓周運(yùn)動(dòng)。由附圖4可以看出，其無法將上下研磨盤盤面修正到水平位置，只能修正盤面的光潔度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種研磨機(jī)盤面整形修正輪，其目的旨在較短的時(shí)間內(nèi)將研磨盤的盤面修復(fù)到標(biāo)準(zhǔn)以內(nèi)，既能改善研磨水晶片厚度的一致性，又能縮短修盤時(shí)間，提高設(shè)備的使用效率。 本發(fā)明的技術(shù)解決方案其特征是由傳動(dòng)輪與整形輪兩部分組成，傳動(dòng)輪嚙合在外齒圈與整形輪之間，從而保證整形輪沿著內(nèi)齒圈做圓周運(yùn)動(dòng)。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)通過整形輪沿著內(nèi)齒圈做勻速圓周運(yùn)動(dòng)，可以在較短的時(shí)間內(nèi)，使盤面的水平度和光潔度達(dá)到要求，從而提高水晶片厚度率的一致性，提高水晶片品質(zhì)。同時(shí)，傳動(dòng)輪與整形輪的運(yùn)動(dòng)，可以達(dá)到清洗內(nèi)外齒圈的目的，從而減少游輪消耗。


附圖1是本發(fā)明工作俯視示意 附圖2是本發(fā)明工作剖示意 附圖3是現(xiàn)有修正輪工作俯視 附圖4是現(xiàn)有修正輪工作剖示意圖。 圖中的1為內(nèi)齒圈、2為下研磨盤、3為整形輪、4為傳動(dòng)輪、5為外齒圈、6為研磨機(jī)中心軸、7是上研磨盤、8是修正輪。
具體實(shí)施例方式
對(duì)照附圖1、2，其結(jié)構(gòu)是包括內(nèi)齒圈1、外齒圈5、研磨機(jī)中心軸6、下研磨盤2、上研磨盤7、整形輪3和傳動(dòng)輪4，其中外齒圈5接研磨機(jī)中心軸6，傳動(dòng)輪4嚙合在整形輪3與外齒圈5之間，從而保證整形輪3沿著內(nèi)齒圈1做圓周運(yùn)動(dòng)。下研磨盤2與上研磨盤7之間是整形輪3，整形輪3可以先修復(fù)上研磨盤7和下研磨盤2凸凹起部分，然后再修整盤面的光潔度，將上下研磨盤盤面修正水平、光潔c
權(quán)利要求
研磨機(jī)盤面整形修正輪，其特征是由傳動(dòng)輪(4)與整形輪(3)兩部分組成，傳動(dòng)輪(4)嚙合在外齒圈(5)與整形輪(3)之間，從而保證整形輪(3)沿著內(nèi)齒圈(1)做圓周運(yùn)動(dòng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的研磨機(jī)盤面整形修正輪，其特征是傳動(dòng)輪(4)與外齒圈(5) 和整形輪(3)的嚙合是在整形輪(3)的內(nèi)部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的研磨機(jī)盤面整形修正輪，其特征是整形輪(3)在下研磨盤 (2)與上研磨盤(7)之間。
全文摘要
本發(fā)明是研磨機(jī)盤面整形修正輪，其結(jié)構(gòu)是由傳動(dòng)輪與整形輪兩部分組成，傳動(dòng)輪嚙合在外齒圈與整形輪之間，從而保證整形輪沿著內(nèi)齒圈做圓周運(yùn)動(dòng)，外齒圈接研磨機(jī)中心軸。整形輪在下研磨盤與上研磨盤之間。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)通過整形輪沿著內(nèi)齒圈做勻速圓周運(yùn)動(dòng)，可以在較短的時(shí)間內(nèi)，使盤面的水平度和平整度達(dá)到要求，從而提高水晶片厚度率的一致性，提高水晶片品質(zhì)。同時(shí)，傳動(dòng)輪與整形輪的運(yùn)動(dòng)，可以達(dá)到清洗內(nèi)外齒圈的目的，從而減少游輪消耗。
文檔編號(hào)B24B53/02GK101708594SQ20091026328
公開日2010年5月19日 申請(qǐng)日期2009年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月18日
發(fā)明者唐發(fā)遠(yuǎn), 李太保 申請(qǐng)人:南京華聯(lián)興電子有限公司