專利名稱：具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特別是關(guān)于一種可將濺 鍍陰極設(shè)置于能進(jìn)行開閉的半圓形門板上，以便濺鍍靶材裝卸濺鍍?cè)O(shè)備。
背景技術(shù)：
真空濺鍍技術(shù)是真空薄膜制程中應(yīng)用層面相當(dāng)廣泛的一項(xiàng)重要技術(shù)，近年來已 經(jīng)逐漸取代噴導(dǎo)電漆或電解電鍍等方式，大量地應(yīng)用在光電、通信、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)， 成為相當(dāng)重要的表面處理技術(shù)。
一般而言，真空濺鍍?cè)O(shè)備可依照其濺鍍靶材的設(shè)置方式而區(qū)分為立式濺鍍?cè)O(shè)備
及臥式濺鍍?cè)O(shè)備，其中，現(xiàn)有技術(shù)的立式濺鍍?cè)O(shè)備的濺鍍靶材是設(shè)置于該濺鍍?cè)O(shè)備 的腔體中央位置，當(dāng)該濺鍍靶材需要更換時(shí)，作業(yè)人員需要利用機(jī)具從該腔體的上 方將濺鍍陰極吊取出來，再進(jìn)一步將濺鍍靶材予以更換，更換完畢后，仍必須再使 用機(jī)具的輔助將濺鍍陰極置回該腔體中央，然而，濺鍍陰極的吊取過程相當(dāng)不便， 倘若濺鍍陰極是以置放于該濺鍍?cè)O(shè)備的門板內(nèi)側(cè)的方式取代設(shè)置于腔體內(nèi)部中央的 方式，則其需要更換時(shí)，僅需打開門板更換即可，如此將可省卻更換過程的不便。
再者，目前現(xiàn)有技術(shù)濺鍍?cè)O(shè)備的門板是為一長方體的構(gòu)造，是由六片金屬板體 所構(gòu)成，其具有相當(dāng)?shù)闹亓坎⑶覒?yīng)力是集中于該門板的角落，造成門板開合支點(diǎn)承
受較大的重力負(fù)擔(dān)，此外，由于該門板的長方體構(gòu)造具有一定的厚度，于門板開啟 時(shí)，由于門板邊會(huì)抵頂?shù)介T板的開合支點(diǎn)位置，將使得該門板的開合角度受到限制 而造成作業(yè)不便。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的創(chuàng)作人，鑒于現(xiàn)有技術(shù)立式濺鍍?cè)O(shè)備的濺鍍靶材更換不易以及其 門板結(jié)構(gòu)造成作業(yè)不便的缺失，所以投注心力研發(fā)出本實(shí)用新型的濺鍍?cè)O(shè)備，以期 解決上述問題。
本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特別 是關(guān)于一種可將濺鍍陰極設(shè)置于能進(jìn)行開閉的半圓形門板上，以便濺鍍靶材裝設(shè)、 卸除濺鍍?cè)O(shè)備。
為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型是采取以下的技術(shù)手段予以達(dá)成，其中本實(shí)用新 型的立式濺鍍?cè)O(shè)備包括有-
一濺鍍腔體，其內(nèi)部設(shè)有治具設(shè)置部且至少一側(cè)之一邊設(shè)有門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部， 相對(duì)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部之一邊則設(shè)有擋止部；半圓形門板，系樞設(shè)于該濺鍍腔體之門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，其面對(duì)該濺鍍腔體之一側(cè)具有一開口且內(nèi)部具有濺鍍陰極設(shè)置 部；門板閉鎖單元，系設(shè)置于該半圓形門板對(duì)應(yīng)于該擋止部的位置；該半圓形門板 具有樞設(shè)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部的轉(zhuǎn)軸與門板連接部；該門板閉鎖單元是包括一壓制 塊、 一固接于該壓制塊的轉(zhuǎn)軸以及一固接于該轉(zhuǎn)軸異于該壓制塊的一端的控制桿； 該壓制塊是為一具有水平切面及圓弧面的半圓形塊體，并且其圓弧面具有一傾斜部； 該擋止部是為具有一長邊及一短邊的L型塊體，其短邊是對(duì)應(yīng)于該傾斜部。
通過上述的結(jié)構(gòu)，可將濺鍍陰極設(shè)置于該半圓形門板的內(nèi)部，當(dāng)濺鍍靶材需要 更換時(shí)，僅需開啟該半圓形門板并自該半圓形門板的開口取出該濺鍍陰極，接著進(jìn) 行濺鍍靶材的更換即可，再者，該門板是為半圓形的構(gòu)造，在結(jié)構(gòu)上僅需要三片金 屬板體即可構(gòu)成，相較于現(xiàn)有技術(shù)立式濺鍍?cè)O(shè)備的門板，不僅門板本身重量減輕， 亦可降低裝置成本，此外，采用半圓形的構(gòu)造，不僅其應(yīng)力較為分散，更可加大門 板開合的角度，以利該濺鍍陰極的取放以及濺鍍靶材的更換。

圖1是本實(shí)用新型的關(guān)閉狀態(tài)俯視圖。 圖2是本實(shí)用新型的開啟狀態(tài)俯視圖。 圖3是本實(shí)用新型的門板閉鎖單元的局部放大圖。 圖4是本實(shí)用新型門板閉鎖單元于開啟狀態(tài)的示意圖。 圖5是本實(shí)用新型的門板閉鎖單元于關(guān)閉狀態(tài)的示意圖。主要組件符號(hào)說明
(I) 具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備
(II) 濺鍍腔體 (111)治具設(shè)置部 (112)門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部 (113)擋止部
(12) 門板 (121)轉(zhuǎn)軸 (122)門板連接部(123)開口 (124)濺鍍陰極設(shè)置部 (125)延伸部
(13) 門板閉鎖單元 (131)壓制塊 (1311)水平切面(1312)圓弧面 (1313)傾斜部 (132)轉(zhuǎn)軸 (133)控制桿
具體實(shí)施方式
如圖1及圖2所示，本實(shí)用新型具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備(1 )包括有 一濺鍍腔體(11)，該濺鍍腔體(11)內(nèi)部的中央位置是設(shè)有一治具設(shè)置部(1
41 1 )，該濺鍍腔體(11)相對(duì)的二側(cè)的對(duì)應(yīng)邊上各設(shè)有二門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部(1 1
2 )，而相對(duì)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部(112)的一邊則設(shè)有一擋止部(113); 二 半圓形門板(12)，是分別以轉(zhuǎn)軸(121)以及門板連接部(122)樞設(shè)于該 二門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部(112)，其面對(duì)該濺鍍腔體(11)的一側(cè)具有一開口 ( 1 2
3 )且內(nèi)部凹設(shè)的容置空間各設(shè)有三濺鍍陰極設(shè)置部(12 4); 二門板閉鎖單元 (13)，是分別設(shè)置于該二半圓形門板(12)上對(duì)應(yīng)于該擋止部(1 1 3 )的位置。
其中，該半圓形門板(12)的二相對(duì)邊均設(shè)有延伸部(125)，該門板連接 部(1 2 2 )是固接于該延伸部(12 5)以連接該半圓形門板(12)與該濺鍍 腔體(1 1 );該門板閉鎖單元(13)則設(shè)置于另一延伸部(125)上以搭配該 擋止部(113)將該半圓形門板(12)予以閉鎖。
請(qǐng)參考圖1、圖3及圖4，該設(shè)置于濺鍍腔體(11)上的擋止部(1 1 3 )于 俯視之下是呈一L型塊體，該L型塊體具有一長邊及一短邊，該門板閉鎖單元(1 3 )是包括一壓制塊(13 1)、 一固接于該壓制塊(131)的轉(zhuǎn)軸(1 3 2 )以 及一固接于該轉(zhuǎn)軸(13 2)異于該壓制塊(131)的一端的控制桿(133)， 其中，該壓制塊(13 1)是為一具有水平切面(13 11)及圓弧面(13 12) 的半圓形塊體，并且其圓弧面(13 12)具有一傾斜部(1313)。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D1至圖5，該具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備(1 )是將裝載待濺鍍 工件的治具設(shè)置于該濺鍍腔體(11)中央的治具設(shè)置部(111)，濺鍍陰極則設(shè)
置于該半圓形門板(12)的濺鍍陰極設(shè)置部(1 2 4)中，本實(shí)用新型具有半圓 形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備(1 )是采取二側(cè)開門的方式，因此二側(cè)的半圓形門板(1 2)均裝設(shè)有濺鍍陰極，以提升待鍍工件的鍍膜均勻度，此外，由于該半圓門板(l 2)二側(cè)的圓弧形結(jié)構(gòu)使其在開合的過程中不會(huì)抵頂?shù)介T板開合支點(diǎn)位置，因而可 加大其開合角度。
使用本實(shí)用新型具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備(1 )進(jìn)行真空濺鈹制程時(shí)， 若濺鍍靶材用罄需要更換，僅需要操控該門板閉鎖單元(13)的控制桿(133) 使該轉(zhuǎn)軸(13 2)轉(zhuǎn)動(dòng)，以帶動(dòng)該壓制塊(131)旋轉(zhuǎn)，當(dāng)該壓制塊(131) 旋轉(zhuǎn)至該水平切面(13 11)面對(duì)于該擋止部(1 1 3 )時(shí)，即可開啟該半圓形 門板(12)，并且直接從該半圓形門板(12)上拆卸濺鍍陰極并將濺鍍陰極經(jīng)由 該開口 (12 3)取出，繼而進(jìn)行濺鍍靶材的更換，接著，作業(yè)人員僅需將濺鍍陰 極經(jīng)由該開口 (12 3)再度裝設(shè)于該半圓形門板(12)的濺鍍陰極設(shè)置部(1 2 4)中即可完成濺鍍靶材的更換。之后，再將該半圓形門板(12)關(guān)閉，此時(shí)該門板閉鎖單元(13)的壓制 ±央(1 3 1 )是以其水平切面(13 11)面對(duì)于該擋止部(113)，使該半圓形 門板(12)得以關(guān)閉，之后，作業(yè)人員可操控該控制桿(133)使該轉(zhuǎn)軸(1 3 2 )轉(zhuǎn)動(dòng)并帶動(dòng)該壓制塊(13 1)旋轉(zhuǎn)使其圓弧面(13 12)的傾斜部(1 3 13)進(jìn)入該擋止部(113)，隨著該傾斜部(1313)抵靠與其對(duì)應(yīng)的該擋 止部(1 1 3 )的短邊，即可使該半圓形門板(12)達(dá)到密閉的效果。
通過上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型提供一種具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，相較于 現(xiàn)有技術(shù)的立式濺鍍?cè)O(shè)備必須使用機(jī)具將濺鍍陰極吊取出來之后才能更換濺鍍靶材 的不便，本實(shí)用新型可直接在門板上拆卸、裝設(shè)濺鍍陰極以便濺鍍靶材的更換；此 外，該門板采用半圓形的構(gòu)造，不僅其應(yīng)力較為分散，更可加大該門板開合的角度， 以利該濺鍍陰極的取放以及濺鍍靶材的更換。
權(quán)利要求1、一種具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特征在于該結(jié)構(gòu)包括有一濺鍍腔體，其內(nèi)部設(shè)有治具設(shè)置部且至少一側(cè)的一邊設(shè)有門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，相對(duì)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部的一邊則設(shè)有擋止部；半圓形門板，是樞設(shè)于該濺鍍腔體的門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，其面對(duì)該濺鍍腔體的一側(cè)具有一開口且內(nèi)部具有濺鍍陰極設(shè)置部；門板閉鎖單元，是設(shè)置于該半圓形門板上對(duì)應(yīng)于該擋止部的位置。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特征在于，該半圓形 門板具有樞設(shè)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部的轉(zhuǎn)軸與門板連接部。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特征在于，該門板閉 鎖單元是包括一壓制塊、 一固接于該壓制塊的轉(zhuǎn)軸以及一固接于該轉(zhuǎn)軸異于該壓制 塊的一端的控制桿。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特征在于，該壓制塊是為一具有水平切面及圓弧面的半圓形塊體，并且其圓弧面具有一傾斜部。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，其特征在于，該擋止部 是為具有一長邊及一短邊的L型塊體，其短邊是對(duì)應(yīng)于該傾斜部。
專利摘要本實(shí)用新型是一種具有半圓形門板的立式濺鍍?cè)O(shè)備，包括有濺鍍腔體，其內(nèi)部設(shè)有治具設(shè)置部且于至少一側(cè)設(shè)有門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部及擋止部；半圓形門板，是樞設(shè)于該門板轉(zhuǎn)軸設(shè)置部，其面對(duì)該濺鍍腔體的一側(cè)具有一開口且內(nèi)部具有濺鍍陰極設(shè)置部；門板閉鎖單元，是設(shè)置于該半圓形門板上對(duì)應(yīng)于該擋止部的位置；通過上述的結(jié)構(gòu)，濺鍍陰極可直接裝、卸于該門板，也可加大門板開合角度，以便于濺鍍靶材的更換。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201321489SQ20082013675
公開日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月18日
發(fā)明者姚朝禎 申請(qǐng)人:鈺衡科技股份有限公司