專利名稱：基板材料的傳送帶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板材料的傳送帶。即，本發(fā)明涉及用于電路基板 的制造工序的，表面處理裝置的端面運(yùn)送方式的傳送帶。
背景技術(shù)：
電子設(shè)備所采用的電路基板的小型輕量化、厚度極薄化、柔性 化、進(jìn)而多層化、半導(dǎo)體封裝化等的進(jìn)展非常顯著，同樣對(duì)于所形 成的電子電路的細(xì)微化處理，高密度化處理也顯著。
另外，在這樣的電路基板的制造工序中，采用表面處理裝置， 基板材料通過(guò)化學(xué)液、清洗液等的處埋液而進(jìn)行表面處理。
在這種表面處理裝置中， 一邊通過(guò)傳送帶的上下運(yùn)送輥水平運(yùn) 送基板材料， 一邊從噴嘴噴射處理液，由此，依次進(jìn)行表面處理， 形成電子電路，制作電路基板。
另外，在過(guò)去，傳送帶、噴嘴設(shè)置于氣氛中、空中，基板材料 通過(guò)在氣氛中、空中噴射的處理液而進(jìn)行表面處理，但是，伴隨最 近的厚度極薄化的進(jìn)展，基板材料無(wú)法抵抗處理液的噴射壓力、處 理液的重量，經(jīng)常發(fā)生撓曲、打巻、掉落的事故。
于是，為了應(yīng)對(duì)這些事故，人們通過(guò)下述的表面處理裝置，謀 求上述事故的發(fā)生問(wèn)題的解決，在該表面處理裝置中，傳送帶、噴 嘴設(shè)置于充滿處理液的化學(xué)液槽中，由此， 一邊在液中運(yùn)送極薄而 沒(méi)有韌性的基板材料， 一邊通過(guò)液中噴射的處理液對(duì)其進(jìn)行表面處 理。作為這樣的表面處理裝置，比如，列舉有下述的專利文獻(xiàn)1、 2中的所示的形式。專利文獻(xiàn)1涉及空中噴射方式，專利文獻(xiàn)2涉 及液中噴射方式。
專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002-68435號(hào)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)平10-079565號(hào)文獻(xiàn) (關(guān)于端面運(yùn)送方式的傳送帶)
另外，本發(fā)明人針對(duì)液中噴射方式的表面處理裝置，進(jìn)一步進(jìn) 行了研究，于平成18年9月28日提出了申請(qǐng)?zhí)枮槿毡咎卦?2006-264189號(hào)的專利申請(qǐng)，該專利申請(qǐng)的主要內(nèi)容在于針對(duì)該傳 送帶，不與基板材料的電路形成面接觸，僅僅從上下夾持而運(yùn)送兩 側(cè)端面，在液中設(shè)置端面運(yùn)送輥。
即，在過(guò)去的這種傳送帶中，由于從上下夾持基板材料的整個(gè) 內(nèi)外表面而進(jìn)行運(yùn)送的整個(gè)面運(yùn)送輥設(shè)置于液體中，故在基板材料 的電路形成面上容易產(chǎn)生擦傷、傷痕、損傷等的損害，在可靠性、 成品率方面出現(xiàn)問(wèn)題，但是，本專利申請(qǐng)打算解決這樣的問(wèn)題(本 發(fā)明為該專利申請(qǐng)的改進(jìn)發(fā)明)。

發(fā)明內(nèi)容
但是，針對(duì)為這樣的液中噴射方式下的端面運(yùn)送方式的表面處 理裝置的傳送帶，最近，下述的方面成為課題。即，所運(yùn)送的基板 材料搖晃、S形擺動(dòng)，由此，運(yùn)送精度降低，對(duì)基板材料的穩(wěn)定運(yùn) 送產(chǎn)生妨礙。
對(duì)這些方面進(jìn)一步具體描述。在該傳送帶中，極薄而沒(méi)有韌性 的基板材料一邊僅僅在夾持量、持握量?jī)H為10mm的寬度的較窄的 兩側(cè)端面，夾持于左右上下的端面運(yùn)送輥之間，在液體中進(jìn)行運(yùn)送， 一邊在液體中噴射處理液。于是，基板材料承受處理液的噴射壓力、重量的影響，上下?lián)u晃、產(chǎn)生起伏狀、撓曲、容易松弛，于是，具 有發(fā)生掉落等的運(yùn)送事故的危險(xiǎn)。
另外，基板材料的液體中運(yùn)送在數(shù)米~數(shù)十米的范圍內(nèi)，不容 易均等地(比如，通過(guò)端面運(yùn)送輥的夾持壓力全部均等)裝配在全長(zhǎng) 的范圍設(shè)置的樹(shù)脂制的傳送帶。于是，不僅有上述噴射壓力等的影 響，而且還具有這樣的傳送帶的缺陷，基板材料在中途容易左右偏 離，進(jìn)行S形擺動(dòng)，于是，從此方面來(lái)說(shuō)具有發(fā)生掉落等的運(yùn)送事 故的危險(xiǎn)。
此外，由于這些運(yùn)送事故，人們還指出基板材料的表面處理精 度降低的問(wèn)題。
本發(fā)明的基板材料的傳送帶針對(duì)這樣的實(shí)際情況，得出了本發(fā) 明者們的深入研究努力的結(jié)果，以便解決上述過(guò)去實(shí)例的課題。
于是，本發(fā)明的目的在于提供一種基板材料的傳送帶，其中，
第1,防止基板材料的搖晃、S形擺動(dòng)；并且第2,還防止基板材 料的滑動(dòng)；第3,不對(duì)基板材料造成損害而實(shí)現(xiàn)。
解決這樣的課題的本發(fā)明的技術(shù)方案如下所述。首先，技術(shù)方 案1如下所述。
理裝置。該表面處理裝置包括由處理液充滿的化學(xué)液槽；在該化學(xué) 液槽內(nèi)，于液中運(yùn)送基板材料的傳送帶；在該化學(xué)液槽內(nèi)，在液中 對(duì)基板材料噴射處理液的噴嘴。
其特征在于，該傳送帶不與基板材料的電路形成面接觸，沿上 下夾持而運(yùn)送僅僅基板材料的左右兩側(cè)端面的端面運(yùn)送輥沿運(yùn)送 方向排列設(shè)置。另外，作為該端面運(yùn)送輥，組合地采用朝向運(yùn)送方 向的直進(jìn)輥與相對(duì)運(yùn)送方向而稍向外側(cè)的斜輥。
技術(shù)方案2如下所述。技術(shù)方案2的基板材料的傳送帶涉及技術(shù)方案l所述的傳送帶，該直進(jìn)輥朝向運(yùn)送方向運(yùn)送基板材料，該 斜輥一 邊相對(duì)運(yùn)送方向而朝向稍斜外側(cè)拉伸基板材料， 一 邊對(duì)其運(yùn) 送。于是，基板材料一邊在拉伸的狀態(tài)沿運(yùn)送方向維持水平姿勢(shì)， 一邊進(jìn)行運(yùn)送。
技術(shù)方案3如下所述。技術(shù)方案3所述的基板材料的傳送帶涉 及技術(shù)方案2所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該直進(jìn)輥和 斜輥的組合可為上下的組合模式、左右的組合模式、它們的并用模 式、或運(yùn)送方向的設(shè)置單個(gè)或多個(gè)的交替混合模式。
技術(shù)方案4如下所述。技術(shù)方案4所述的基板材料的傳送帶涉 及技術(shù)方案1所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，在該端面運(yùn) 送輥的外周面上進(jìn)行防滑加工。
技術(shù)方案5如下所述。技術(shù)方案5所述的基板材料的傳送帶涉 及技術(shù)方案4所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該端面運(yùn)送 輥的防滑加工由比如，滾花狀的細(xì)樣i的凹凸網(wǎng)紋形成，由上下確實(shí) 夾持而持握在液中運(yùn)送的該基板材料，實(shí)現(xiàn)可防止基于拉伸的滑動(dòng) 的功能。
本發(fā)明通過(guò)這樣的才幾構(gòu)而形成，由此，^象下述這才羊。
(1) 本表面處理裝置用于電路基板的制造工序，對(duì)基板材料進(jìn)行 表面處理。
(2) 另外，在處理液的化學(xué)液槽中，設(shè)置傳送帶和噴嘴。
(3) 在該傳送帶中，左右上下的端面運(yùn)送輥夾持基板材料的左右 兩側(cè)面而實(shí)現(xiàn)運(yùn)送。
(4) 作為這樣的端面運(yùn)送輥，采用直進(jìn)輥和斜輥。
(5) 于是，基板材料沿左右的寬度方向施加張力，在拉伸成銷的 狀態(tài)，維持在水平姿勢(shì)，同時(shí)沿運(yùn)送方向運(yùn)送。
(6) 基板材料極薄而沒(méi)有韌性，另外，進(jìn)行液中運(yùn)送、液中噴射，盡管夾持兩側(cè)端面而運(yùn)送，仍可防止搖晃、s形擺動(dòng)的發(fā)生。
(7) 此外，自由而適合地有選擇地采用直進(jìn)輥和斜輥的組合模
式，以便阻止搖晃、s形擺動(dòng)的發(fā)生。
(8) 還有，對(duì)這樣的端面運(yùn)送輥，即，直進(jìn)輥和斜輥的外周面進(jìn) 行防滑加工。于是，液中運(yùn)送的基板材料從上下可靠地把握，不因 拉伸張力而滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)水平運(yùn)送。
(9) 于是，本發(fā)明的基板材料的傳送帶發(fā)揮下述的效果。 (第1效果)
第1,防止基板材料的搖晃、S形擺動(dòng)，于是，運(yùn)送精度提高， 實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的水平運(yùn)送。
直進(jìn)輥和斜輥，由此，盡管對(duì)極薄而沒(méi)有韌性的基板材料進(jìn)行液中 噴射、側(cè)端面運(yùn)送，仍可防止基板材料的擺動(dòng)、形成起伏部、撓曲、 松弛等，并且還可防止基板材料的偏移、S形擺動(dòng)，于是，可避免 基板材料的掉落等的運(yùn)送事故的發(fā)生。
從這些方面來(lái)說(shuō)，與前述的這種已有實(shí)例相比較，基^反材料的 表面處理精度進(jìn)一步提高。
(第2效果)
第2,防止基板材料的滑動(dòng)，于是，從此方面來(lái)說(shuō)，運(yùn)送精度 提高，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的水平運(yùn)送。
即，在本發(fā)明的傳送帶中，端面運(yùn)送輥采用防滑加工的直進(jìn)輥 和斜輥。液中運(yùn)送的基板材料通過(guò)斜輥而承受拉伸張力，并且因處 理液、混入的感光性抗蝕劑等的軲性，處于容易滑動(dòng)的狀況，但是， 通過(guò)這樣的防滑加工，從上下確實(shí)把握。
于是，可確實(shí)夾持而持握基板材料，其不滑動(dòng)，在液體中穩(wěn)定 地水平運(yùn)送。(第3效果)
第3,另外，這樣的穩(wěn)定運(yùn)送在不對(duì)基板材料造成損害的情況
下實(shí)現(xiàn)。
即，在本發(fā)明的基板材料的傳送帶中，端面運(yùn)送輥組合地采用
防滑加工的直進(jìn)輥和斜輥，實(shí)現(xiàn)上述第1、第2效果。
即，由于實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)送，故也沒(méi)有與基板材料的電路形成面接
觸的危險(xiǎn)，不與電路形成面接觸，不造成擦傷、傷痕、損傷等的損
害，可靠性、成品率均優(yōu)良。
像這樣，實(shí)現(xiàn)這種過(guò)去實(shí)例中存在的課題全部解決等，本發(fā)明
發(fā)揮的效果顯著增加。


圖1(1)~圖1(3)用于說(shuō)明本發(fā)明的基板材料傳送帶的用于實(shí)施 發(fā)明的優(yōu)選形式，圖l(l)為整體的主剖視圖，圖1(2)為左側(cè)的端面 運(yùn)送輥的平面說(shuō)明圖，圖1(3)為右側(cè)的端面運(yùn)送輥的平面說(shuō)明圖2用于說(shuō)明實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選形式，為圖l(l)的主要部分的 放大圖3(1)~圖3(2)用于說(shuō)明實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選形式，為端面運(yùn)送 輥的組合模式的平面說(shuō)明圖，圖3(1)表示1個(gè)實(shí)例的主要部分，圖 3(2)表示另 一實(shí)例的主要部分；
圖4用于說(shuō)明實(shí)施本發(fā)明用的優(yōu)選形式，為整體的側(cè)視剖面說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)用于實(shí)施圖示的發(fā)明的優(yōu)選形式，對(duì)本發(fā)明的基板材 料的傳送器進(jìn)行具體說(shuō)明。圖1(1) 圖1(3)、圖2、圖3(1)~圖3(2)用于說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選 形式。另外，圖l(l)為整體的主剖視圖，圖1(2)為左側(cè)的端面運(yùn)送 輥的平面說(shuō)明圖，圖1(3)為右側(cè)的端面運(yùn)送輥的平面說(shuō)明圖。圖2 為圖l(l)的主要部分的放大圖。
圖3(1) 圖3(2)為端面運(yùn)送輥的組合模式的平面說(shuō)明圖，圖3(1) 表示l個(gè)實(shí)例的主要部分，圖3(2)為另一實(shí)例的主要部分。圖4為 整體的側(cè)視剖面說(shuō)明圖。
(關(guān)于電路基板)
本發(fā)明的表面處理裝置1用于電子電路用的電路基板的制造 工序。于是，首先，對(duì)電路基板進(jìn)行說(shuō)明。
用于電子設(shè)備的印刷配線基板等的電子電路基板的小型輕量 化、厚度極薄化、而且電路細(xì)微化、高密度電路化、多層化等的進(jìn) 展非常顯著。同樣對(duì)于硬軟性能，與過(guò)去的剛性基板等的硬性基板 相比較，柔性基板和其它的極薄而柔軟的軟性基板的進(jìn)展、增加顯 著，半導(dǎo)體器件與電路成一體組裝的半導(dǎo)體封裝基板的普及也急速 進(jìn)行。
于是，作為最近的電路基板的要求程度為進(jìn)行極薄化處理、細(xì) 孩i化處理，直至其板厚在25nm~ 100pm的范圍內(nèi)，電路厚度H為 10pm，電路寬度L、電路間距S在20|xm ~ 30pm的范圍內(nèi)。
電路基板像這樣形成。
(關(guān)于表面處理裝置1)
表面處理裝置1用于這樣的電路基板的制造工序，通過(guò)處理液 B對(duì)基板材料A進(jìn)行表面處理。參照?qǐng)D1(1)~圖1(3)、圖4,對(duì)表 面處理裝置1進(jìn)行更具體的描述。
在表面處理裝置1中，在該處理室2的內(nèi)部，對(duì)敷設(shè)有通過(guò)傳 送帶3運(yùn)送的感光性抗蝕劑的覆銅疊層板制的基板材料A,依次從噴嘴4噴射比如顯影液、蝕刻液、剝離液、或清洗液等的處理液B, 于是，對(duì)基板材料A進(jìn)行化學(xué)液處理、清洗處理等的表面處理。
接著，表面處理裝置1在處理室2的內(nèi)部具有化學(xué)液槽5、傳 送帶3、噴嘴4、貯槽6等。首先，化學(xué)液槽5以處理液B充滿。 即，化學(xué)液槽5在處理室2的頂部，采用兼作傳送器支架的支架分 隔壁7而形成，并且通過(guò)與從噴嘴4噴射的處理液B相同的處理液 B填充滿。
傳送帶3設(shè)置于化學(xué)液槽5的處理液B的內(nèi)部，將基板材料A 沿運(yùn)送方向C在液中運(yùn)送，包括多個(gè)端面運(yùn)送輥8、 9。多個(gè)噴嘴4 設(shè)置于化學(xué)液槽5中的處理液B的內(nèi)部，針對(duì)所運(yùn)送的基板材料A 的電路形成面D，在液體中噴射處理液B。
處理液B /人處理室2的底部的!3±槽6，經(jīng)由泵10、管11,通 過(guò)壓力而送給各噴嘴4，噴射給基板材料A。接著，從基板材料A 反射，跳回的處理液B吸收于化學(xué)液槽5中的處理液B內(nèi)，其結(jié) 果是，從化學(xué)液槽5溢流的處理液B回收于貯槽6中而貯藏，事后 再次循環(huán)使用。
另外，圖3(1)~圖3(2)中所示的噴嘴4朝向基板材料A的內(nèi)外 兩面面對(duì)地設(shè)置，但是，在基板材料A的電路形成面D為僅僅一 個(gè)面的單面基板的場(chǎng)合，還考慮朝向 一 個(gè)面面對(duì)地設(shè)置的情況。
表面處理裝置1像這樣形成。
(關(guān)于端面運(yùn)送方式的傳送帶3等)
下面參照?qǐng)D1(1)~圖1(3)，對(duì)這樣的表面處理裝置1的傳送帶3 進(jìn)行說(shuō)明。傳送帶3不與基板材料A的電路形成面D接觸，從上 下夾持僅僅基板材料A的左右兩側(cè)端面E而運(yùn)送的多個(gè)端面運(yùn)送 輥8 、 9在化學(xué)液槽5的內(nèi)部沿運(yùn)送方向C而排列。
但是，基板材料A由中間部較寬的電路形成面D,與其外周緣4交窄的前后端面、左右兩側(cè)端面E構(gòu)成，前后端面、兩側(cè)端面E
的寬度為10mm，其為也稱為耳部的非電路形成面。
另夕卜，頂側(cè)的端面運(yùn)送輥8和底側(cè)的端面輥9將基板材料A的 左右兩側(cè)端面E作為夾持量、持握量，上下成對(duì)以便從上下夾持而 運(yùn)送，并且在左右沿運(yùn)送方向C排列。該端面運(yùn)送輥8、 9通過(guò)旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輥(驅(qū)動(dòng)輥)形成，經(jīng)由軸12!、軸122、傳遞齒輪13、 驅(qū)動(dòng)齒輪14、驅(qū)動(dòng)軸15等，與電動(dòng)機(jī)等的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未示出) 連接。另外，端面運(yùn)送輥由樹(shù)脂制成，也可由金屬制成。 端面運(yùn)送方式的傳送帶3基本像這樣形成。 (關(guān)于直進(jìn)輥Rl,斜輥R2)
對(duì)圖1(1) 圖1(3)、圖3(1)~圖3(2)所示的直進(jìn)輥Rl、斜輥R2 進(jìn)行說(shuō)明。在該傳送帶3中，作為左右上下的端面運(yùn)送輥8、 9， 直進(jìn)輥Rl,斜輥R2組合地使用。
直進(jìn)輥Rl朝向運(yùn)送方向C直進(jìn)旋轉(zhuǎn)，將基板材料A朝向運(yùn)送 方向C筆直地運(yùn)送。斜輥R2相對(duì)運(yùn)送方向C稍稍向外側(cè)旋轉(zhuǎn)，基 ^!材料A相對(duì)運(yùn)送方向C,朝向稍稍傾斜外側(cè)拉伸，同時(shí)沿運(yùn)送方 向C運(yùn)送。于是，基板材料A在展開(kāi)的狀態(tài)，沿運(yùn)送方向C水平 運(yùn)送。
關(guān)于這些方面，進(jìn)行更具體的描述。直進(jìn)輥Rl的軸12H立于 水平面，并且像圖1(2)、圖1(3)等所示的那樣，正確地朝向左右寬 度方向F。于是，由直進(jìn)輥Rl形成的端面運(yùn)送輥8、 9與這種過(guò)去 實(shí)例的端面運(yùn)送輥相同，朝向與左右寬度F相垂直的前后方向，即 運(yùn)送方向C而凝:專爭(zhēng)。
相對(duì)該情況，斜輥R2中的軸122位于水平面，并且像圖1(2) 所示的那樣，左側(cè)的軸122從左右寬度方向F以若干角度偏離到外 側(cè)，像圖1(3)所示的那樣，左側(cè)的軸122從左右寬度方向F，以若干角度偏離到外側(cè)。于是，由斜輥R2形成的端面運(yùn)送輥8、 9相對(duì) 運(yùn)送方向C以若干角度稍稍朝向左右外側(cè)，與這種過(guò)去實(shí)例的端面 運(yùn)送輥不同，朝向運(yùn)送方向C的稍外側(cè)而旋轉(zhuǎn)。
另外，斜輥R2也可并用2種角度的類型，與更多角度的類型。 端面運(yùn)送輥8、 9的直進(jìn)輥Rl 、斜輥R2像這樣形成。 (關(guān)于各種組合模式)
另外，在該傳送帶3中，這樣的直進(jìn)輥Rl和斜輥R2作為左 右上下的端面運(yùn)送輥8、 9，按照組合方式使用，但是，該組合模 式可為各種。
即，在直進(jìn)輥Rl和斜輥R2的組合中，既可將任意者作為頂 側(cè)的端面運(yùn)送輥8、底側(cè)的端面運(yùn)送輥9,另外，也可將其任意者 位于右側(cè)、左側(cè)，通過(guò)它們的組合，考慮各種模式。另外，關(guān)于上 下的端面運(yùn)送輥8、 9,也可為運(yùn)送方向C的單個(gè)或多個(gè)放置的交 替混合模式。
對(duì)這樣的組合模式進(jìn)一步進(jìn)行具體描述。首先，在圖3(1)所示 的沖莫式中，左側(cè)的全部的頂側(cè)的端面運(yùn)送輥8采用斜輥R2,左側(cè) 的全部的底側(cè)的端面運(yùn)送輥9采用直進(jìn)輥Rl。右側(cè)的上下的端面 運(yùn)送輥8、 9均采用直進(jìn)輥Rl。顯然，也可采用其左右相反的模式， 其上下相反的模式。
接著，在圖1(1)、圖3(2)所示的模式中，左右的頂側(cè)的端面運(yùn) 送輥8采用斜輥R2 ，左右的底側(cè)的端面運(yùn)送輥9采用直進(jìn)輥Rl 。 顯然，也可采用其上下相反的模式。
即，根據(jù)(a)頂側(cè)的端面運(yùn)送輥8為斜輥R2 ，底側(cè)的端面運(yùn)送 輥9為直進(jìn)輥Rl的組合；與此相反，(b)頂側(cè)的端面運(yùn)送輥8為直 進(jìn)輥Rl,底側(cè)的端面運(yùn)送輥9為斜輥R2的組合；再有，(c)上下的 端面運(yùn)送輥8、 9均為斜輥R2的組合；與此相反，(d)上下的端面運(yùn)送輥8、 9均為直進(jìn)輥R1的組合等，按照分別應(yīng)用于右側(cè)和左側(cè) 的方式進(jìn)行(a)、 (b)、 (c)、 (d)的組合，由此，考慮各種模式。
相對(duì)該情況，針對(duì)上下的端面運(yùn)送輥8、 9,分別沿運(yùn)送方向C, 比如，放置1個(gè)、放置2個(gè)、放置3個(gè)，交替地將直進(jìn)輥Rl和斜 輥R2組合，根據(jù)該情況，應(yīng)用于右側(cè)和左側(cè)而進(jìn)行該組合，同樣 通過(guò)該方式，可實(shí)現(xiàn)各種模式。
另外，這樣的組合模式也可為規(guī)則而統(tǒng)一的類型，但是，也可 不按照該方式，而為不規(guī)則的平行式，可自由地選擇。
像這樣，考慮各種組合模式。
(關(guān)于防滑加工H)
下面參照?qǐng)D2,對(duì)在端面運(yùn)送輥8、 9中進(jìn)行的防滑加工H進(jìn) 行說(shuō)明。
在該基板材料A的傳送帶3中，對(duì)所采用的端面運(yùn)送輥8、 9 的外周面，進(jìn)行防滑加工H。
即，在用作端面運(yùn)送輥8、 9的直進(jìn)輥R1、斜輥R2的與基板 材料A接觸的外周面上，進(jìn)行防滑加工H。
對(duì)這樣的端面運(yùn)送輥8、 9的防滑加工H進(jìn)4于更具體的描述。 該防滑加工H由呈比如，滾花狀、網(wǎng)紋狀，細(xì)微的斜、橫的凹凸鋸 齒狀網(wǎng)紋刻花樣形成，在端面運(yùn)送輥8、 9的整個(gè)外周面上進(jìn)行處 理。
接著，從上下確實(shí)夾持而持握液中運(yùn)送的基板材料A,于是， 實(shí)現(xiàn)確實(shí)防止基于斜輥R2的拉伸張力的滑動(dòng)的功能。
另外，防滑加工H的形狀、模樣、網(wǎng)紋的粗糙度等等并不限于 圖示實(shí)例，可為其它的各種形式等。
防滑加工H像這樣進(jìn)行。
本發(fā)明的基板材料A的表面處理裝置1的傳送帶3像上面說(shuō)明的那樣構(gòu)成。于是，如下面所述。
(1) 該表面處理裝置1用于電子電路基板的制造工序，通過(guò)處理 液B,對(duì)基板材料A進(jìn)行表面處理。即，用于柔性基板、其它的極 薄的沒(méi)有韌性的軟性襯基板的制造工序，在運(yùn)送基板材料A的同
時(shí)，從噴嘴4噴射處理液B,進(jìn)行表面處理，以便形成電子電路。
(2) 另外，在充滿處理液B的化學(xué)液槽5中，設(shè)置傳送帶3和 噴嘴4。
于是，從噴嘴4而進(jìn)行液中噴射的處理液B在化學(xué)液槽5的處 理液B中進(jìn)行直進(jìn)，然后，對(duì)通過(guò)傳送帶3在液中運(yùn)送的基板材料 A的電路形成面D進(jìn)行直接噴射，對(duì)其表面處理。由此，處理液B 反射，其吸收于化學(xué)液槽5的處理液B中，由此，不在電路形成面 D上形成紊流、液存留。
(3) 另外，在該傳送帶3中，左右上下的端面運(yùn)送輥8、 9以?shī)A 持方式對(duì)僅僅基板材料A的作為非電路形成面的左右兩側(cè)端面E 進(jìn)行運(yùn)送。于是，基板材料A的電路形成面D也不因運(yùn)送中的接 觸而產(chǎn)生擦傷、傷痕、損傷。
(4) 此外，在該傳送帶3中，作為左右上下的端面運(yùn)送輥8、 9 朝向運(yùn)送方向C的直進(jìn)輥Rl、從運(yùn)送方向C,稍稍傾斜而朝向外 側(cè)的斜輥R2以組合方式采用。
(5) 于是，基板材料A通過(guò)端面運(yùn)送輥8、 9的斜輥R2，沿左 右的寬度方向F施加拉力，還采用處理液B的浮力，同時(shí)在帶有張 力的情況下拉成銷的狀態(tài)，維持在水平姿勢(shì)。即，基板材料A在左 右拉伸于至少左右任意者的斜輥R2,與另 一 直進(jìn)輥Rl或斜輥R2 之間。
像這樣，維持在水平姿勢(shì)的基板材料A通過(guò)端面運(yùn)送輥8、 9, 即，直進(jìn)輥R1和斜輥R2，朝向前后的運(yùn)送方向C而運(yùn)送。(6) 對(duì)于基板材料A,開(kāi)展極薄的厚度的處理，沒(méi)有韌性，另夕卜， 進(jìn)行液中運(yùn)送、液中噴射，并且盡管通過(guò)較窄的寬度的夾持量、持
握量的兩側(cè)端面E而夾持運(yùn)送，仍可防止搖晃、S形擺動(dòng)。
基板材料A在以拉伸狀態(tài)按照水平姿勢(shì)維持的狀態(tài)運(yùn)送，確實(shí) 阻止因處理液B的噴射壓力、重量而上下擺動(dòng)，或傳送帶的裝配缺 陷，沿左右寬度方向F進(jìn)行S形擺動(dòng)。
(7) 另外，為了阻止這樣的搖晃、S形擺動(dòng)發(fā)生，自由而適合地 選擇采用作為端面運(yùn)送輥8、9的直進(jìn)輥Rl和斜輥R2的組合模式。
還具有比如，基板材料A的運(yùn)送在數(shù)米~數(shù)十米的范圍內(nèi)的情 況。在許多場(chǎng)合，不容易均質(zhì)地裝配傳送帶3，基板材料A在中途 左右進(jìn)行S形擺動(dòng)。在這樣的場(chǎng)合，在為了進(jìn)行S形擺動(dòng)矯正，基 板材料A比如容易靠右側(cè)的情況下，從多個(gè)組合模式中選擇性地使 用在左側(cè)采用斜輥R2等，根據(jù)情況而適當(dāng)組合的模式。
(8) 另外，也可不按照這樣的組合，作為上下的端面運(yùn)送輥8、 9僅僅采用斜輥R2,于是，朝向運(yùn)送方向C運(yùn)送基板材料A,同 時(shí)在相對(duì)運(yùn)送方向C而向稍稍傾斜的外側(cè)拉伸，由此，基板材料A 在拉伸的狀態(tài)，沿運(yùn)送方向C而進(jìn)行水平運(yùn)送。
(9) 此外，在這樣的端面運(yùn)送輥8、 9,即，直進(jìn)輥Rl和斜輥 R2的外周面上，進(jìn)行防滑加工H。
在液中運(yùn)送的基板材料A通過(guò)斜輥R2承受拉伸張力，并且根 據(jù)顯影液、蝕刻液、剝離液等的處理液B，或因處理溶解的感光性 抗蝕劑等的粘性，處于容易滑動(dòng)的狀態(tài)。
但是，這樣的狀況通過(guò)防滑加工H而克服?；宀牧螦通過(guò) 進(jìn)行了防滑加工H的端面運(yùn)送輥8、 9,即，直進(jìn)輥R1、斜輥R2， 從上下而確實(shí)地持握，由此，防止滑動(dòng)，同時(shí)在液中穩(wěn)定地水平運(yùn) 送。
權(quán)利要求
1. 一種基板材料的傳送帶，其為基板材料的表面處理裝置的傳送帶，該表面處理裝置包括由處理液充滿的化學(xué)液槽；在該化學(xué)液槽內(nèi)，于液中運(yùn)送基板材料的傳送帶；在該化學(xué)液槽內(nèi)，在液中對(duì)基板材料噴射處理液的噴嘴；該傳送帶不與基板材料的電路形成面接觸，沿上下夾持而運(yùn)送僅僅基板材料的左右兩側(cè)端面的端面運(yùn)送輥沿運(yùn)送方向排列設(shè)置；該端面運(yùn)送輥組合地采用朝向運(yùn)送方向的直進(jìn)輥與相對(duì)運(yùn)送方向而稍向外側(cè)的斜輥。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該 直進(jìn)輥朝向運(yùn)送方向運(yùn)送基板材料，該斜輥 一 邊朝向相對(duì)運(yùn)送方 向而稍斜的外側(cè)拉伸基板材料， 一邊對(duì)其運(yùn)送，于是，基板材料 一邊在拉伸的狀態(tài)沿運(yùn)送方向維持水平姿勢(shì)， 一邊進(jìn)行運(yùn)送。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該 直進(jìn)輥和斜輥的組合可為上下的組合模式、左右的組合模式、它 們的并用模式、或運(yùn)送方向的設(shè)置單個(gè)或多個(gè)的交替混合模式。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，在 該端面運(yùn)送輥的外周面上進(jìn)行防滑加工。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該 端面運(yùn)送輥的防滑加工由比如，滾花狀的細(xì)4鼓的凹凸網(wǎng)紋形成， 由上下確實(shí)夾持而持握在液中運(yùn)送的該基板材料，實(shí)現(xiàn)可防止基 于拉伸的滑動(dòng)的功能。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供一種基板材料的傳送帶，其中，第1，防止基板材料的搖晃、S形擺動(dòng)，避免運(yùn)送事故，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的水平運(yùn)送；第2，防止基板材料的滑動(dòng)，由此實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的水平運(yùn)送；第3，上述方面在不對(duì)基板材料造成擦傷、傷痕、損傷等的損害的情況下實(shí)現(xiàn)。該傳送帶(3)用于基板材料(A)的表面處理裝置(1)。表面處理裝置(1)包括處理液(B)的化學(xué)液槽(5)；在該化學(xué)液槽(5)內(nèi)，于液中運(yùn)送基板材料(A)的傳送帶(3)；在液中對(duì)基板材料(A)噴射處理液(B)的噴嘴。傳送帶(3)不與基板材料(A)的電路形成面(D)接觸，排列設(shè)置有沿上下夾持左右兩側(cè)端面(E)而運(yùn)送的端面運(yùn)送輥(8，9)，該端面運(yùn)送輥(8，9)采用直進(jìn)輥(R1)與斜輥(R2)，并且在其外周面上進(jìn)行防滑加工。
文檔編號(hào)C23F1/08GK101288863SQ200810089789
公開(kāi)日2008年10月22日 申請(qǐng)日期2008年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月16日
發(fā)明者新山喜三郎, 綠川昌弘 申請(qǐng)人:東京化工機(jī)株式會(huì)社