專利名稱：管狀噴射靶的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及一種管狀噴射靶，其具有靶體和安裝在管子的至少一個末端的附加裝置。
背景技術(shù)：
這種類型的許多噴射靶是公知的，例如，在國際專利申請WO97/15697、德國專利DE 100 43 748和DE 100 63 383中所公開的，這種類型的管狀噴射靶可以由噴射材料作為一種自我支撐靶成形，或者被噴射材料涂布從而作為一個支撐管成形。
在實踐中，鉬或鉬合金的薄涂層用于光學功能涂布變得日益重要，尤其是大型玻璃表面的涂布和平面熒光屏的涂布。通常這種涂布由噴射產(chǎn)生，同時管狀靶也被越來越廣泛的使用，因為它們提供了比較高的噴射產(chǎn)量以及產(chǎn)生更加均衡的效果。確切地，這里使用的是鉬或鉬合金(特別是以鉬為主的合金)。它們作為噴射靶材料用于支持管子，焊接在管子上從而達到管狀噴射靶的足夠的穩(wěn)定。這種通常使用高級鋼作為管子支持材料的設計，在熱吸收和分散的能力上是有限的，因為這種焊接頭經(jīng)常不能承受熱應力。然而，如果焊料熔化并從外圍間隙中溢出，噴射靶將再也不能使用。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，這個問題將被獨立權(quán)利要求的目標解決。從屬權(quán)利要求中是本發(fā)明的優(yōu)選。
作為結(jié)果，附加裝置和/或管子末端的蓋子通過正向鎖定或材料接合和支持體連接起來，首先，噴射材料和支持管之間通過其他必要的焊接過程產(chǎn)生的問題被避免了，其次，管子末端的穩(wěn)定性產(chǎn)生了必要的機械力，通過正向鎖定或材料接合產(chǎn)生了必要的真空緊密性，尤其是當靶體幾乎完全延伸超過管子的橫截面。
特別地，靶體由金屬制成是有利的，優(yōu)選鈦、鉬、鈮、鉻、鎢、鋁、銅、鋯、鉭、鎳、銀，或至少一種這些金屬的合金。此外，附加裝置(優(yōu)選設計成法蘭盤)和/或管子末端蓋子由鈦、鉬、鎢、鉻、鋁、銀、鎳、鋅、銅、鋯、釩、鈮、鉭或至少一種這些金屬的合金制成是有利的。原因有兩方面，第一，這些金屬可以很好的與靶材料融合，第二，它們保證了必要的穩(wěn)定性和熱分散。鈦和一種或多種選自鋁、錫、銅、鋯、釩和鉬的金屬組成的合金尤為合適。優(yōu)選合金為鈦-鋁-錫合金，鈦-銅合金，鈦-鋁-鋯合金，鈦-鋁-釩合金和鈦-鋁-鉬合金。靶體的材料優(yōu)選含量為0.5wt.％到5wt.％的鉻或鎢。此外，靶體和附加裝置和/或管子的末端蓋子由同一種材料制成是有利的。附加裝置和/或管子的末端蓋子焊接或焊縫到靶體上是有利的，尤其是通過電子束焊接。靶體可以通過壓力成形來制造，尤其是通過對靶坯的擠壓或旋壓。
這種噴射靶可以積極承受的負荷量大大超過上述現(xiàn)有技術(shù)描述的支持管/噴射層的設計，因為它們具有較好的熱傳導性。比起現(xiàn)有技術(shù)的管子，它們可以積極承受大約1.5倍多的負荷量。本發(fā)明的噴射靶的涂層具有良好的傳輸、反射和涂層阻力數(shù)值。


本發(fā)明通過下述

來解釋。
圖1是一個一端有支持的管狀靶。
圖2是一個兩端有支持的管狀靶。
具體實施例方式
噴射裝置中的管狀靶可以是一端支持或兩端均有支持。管子的內(nèi)部被抽成真空，與外界封閉。靶體1由鉬制成，或者由鉬與約0.5wt.％到5wt.％的鉻或鎢合金制成。在管狀靶只有一端有支持的情況下(圖1)，附件法蘭盤2通過電子束焊接方法在真空密閉下僅被焊接到管子的一端，同時另一端通過電子束焊接方法在真空密閉下與管子末端蓋子3連接。
在管狀靶的兩端均有支持的情況下(圖2)，附件法蘭盤2被焊接到靶體1的兩端。這里，連接再一次是真空密閉的，優(yōu)選電子束焊接方法。上述特指的鈦合金對于管子末端蓋子3或者附加法蘭盤2是特別合適的材料。
可以使用鉬，例如，作為光電池(大面積涂布)的后觸點的噴射材料，或者作為顯示涂布中鋁和硅的分散屏障?？梢允褂免仯?，形成高折射二氧化鈦涂層或作為分散屏障?？梢允褂勉t，例如，在玻璃涂布或者黑底顯示中作為反射體或CrN吸收體?？梢允褂免?，例如，在玻璃涂布中形成高折射的Nb2O5涂層。鎢可以作為噴射材料使用，例如，在電鍍鉻的應用中作為氧化鎢。
權(quán)利要求
1.管狀噴射靶，具有靶體和一個安裝在管子的至少一個末端的附加裝置，其特征在于，附加裝置和/或管子末端的蓋子通過正向鎖定或材料接合和靶體連接起來。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管狀噴射靶，其特征在于，靶體幾乎完全延伸超過管子的橫截面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的管狀噴射靶，其特征在于，靶體由金屬組成，優(yōu)選鈦、鉬、鈮、鉻、鎢、鋁、銅、鋯、鉭、鎳、銀，或至少一種這些金屬的合金。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的管狀噴射靶，其特征在于，附加裝置和/或管子末端蓋子由鈦、鉬、鎢、鉻、鋁、銀、鎳、鋅、銅、鋯、釩、鈮、鉭或至少一種這些金屬的合金制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的管狀噴射靶，其特征在于，鈦合金由鈦和一種或多種選自鋁、錫、銅、鋯、釩和鉬的金屬所組成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一所述的管狀噴射靶，其特征在于，靶體和附加裝置和/或管子的末端蓋子由同一種材料制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一所述的管狀噴射靶，其特征在于，附加裝置和/或管子的末端蓋子是焊接或焊縫到靶體上的，尤其是通過電子束焊接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一所述的管狀噴射靶，其特征在于，附加裝置被特別地設計成法蘭盤。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一所述的管狀噴射靶，其特征在于，靶體含約0.5wt.％到5wt.％的鉻和/或鎢。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種管狀噴射靶，具有靶體和一個安裝在管子的至少一個末端的附加裝置，附加裝置和/或管子末端的蓋子通過正向鎖定或材料接合和靶體連接起來。
文檔編號C23C14/34GK1782122SQ200510128829
公開日2006年6月7日 申請日期2005年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月2日
發(fā)明者M·維格特, M·舒爾特海斯, M·施洛特, Ch·西蒙斯 申請人:W.C.賀利氏有限公司