專利名稱：有至少一個導輥的在帶材處理設備中引導帶材的導向裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種具有至少一個導輥的導向裝置，該導輥有一軸線并且被布置用來在可抽真空的帶材處理設備中引導帶材，其中，該軸線的空間位置是可調(diào)的。
背景技術：
由文章“Engineering Solution Enabling a New Family ofExpandable，Multi-Process Multi-Chamber Vacuum Roll Coater”(1999年公開，Vacuum Coater協(xié)會，第42屆Annual TechnicalConference Proceedings(1999)，ISSN0737-5921，第475-479頁)公開了，串聯(lián)更多個模塊室和閘閥，以便能夠先后進行帶材的任何涂覆和處理。但這以模塊室必須很精確地直線取向為前提條件，這樣做是為了能夠無干擾地輸送帶材經(jīng)過所有腔室及其結合縫隙。
DE19735603C1公開了，在一些獨立的由皮帶閥隔開的模塊室內(nèi)布置帶有導輥和涂輥的輥架，帶材移動路線可以通過校正或轉(zhuǎn)動輥架來相互調(diào)適。由于由此也同時帶動涂輥(也被稱為冷輥)轉(zhuǎn)動，所以，需要通過調(diào)整使涂覆源即所謂的磁控濺射源適應涂輥的空間位置。這樣的調(diào)整或校正是麻煩、費時且復雜的并且要以大量校正機構和手動調(diào)節(jié)作業(yè)為前提條件?；旧蠜]有公開問題解決方案，即由于調(diào)節(jié)涂輥而也使涂輥的上表面和位置不動的腔室隔壁之間的縫隙寬度改變了，所述隔壁包圍著涂輥。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務是提出一個上述類型的導向裝置，其中，這些模塊室不一定要絕對地直線取向，并且?guī)Р囊龑軌蚺c涂輥、處理源和涂覆源以及涂覆處理室的空間位置無關地進行調(diào)節(jié)和確定。
根據(jù)本發(fā)明，如此完成所提出的任務，即導輥支撐在兩個轉(zhuǎn)動軸承之間，其中的至少一個轉(zhuǎn)動軸承可相對另一個橫向于軸線地位移。
通過本發(fā)明，避免了現(xiàn)有技術的缺陷，尤其是提出了上述類型的導向裝置，其中，不一定要使這些模塊室沿絕對直線取向，并且?guī)Р膶蚰軌蚺c涂輥和/或處理源和涂覆源以及涂覆處理腔室的空間位置無關地進行調(diào)節(jié)和確定，而不需要花費高昂的結構和操作方面的成本。
此外，非常有利的是，在本發(fā)明的其它實施方式中單獨或組合地采取以下措施*該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承設置在一個室壁上。
*該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承能平行于該室壁移動。
*該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承具有一個固定在該室壁上的滑座導軌，在該滑座導軌上引導著一個帶有該轉(zhuǎn)動軸承的滑座。
*該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承可轉(zhuǎn)動地保持在該滑座上。
*該滑座導軌的調(diào)整方向位于帶材包繞該導輥的包角的角平分線上。
*該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承具有一個遙控的調(diào)整驅(qū)動機構。
*該調(diào)整驅(qū)動機構包括一個電動機、一個減速齒輪傳動裝置和一個旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)。
*該旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)具有一個彈性的中間件。
*該電動機、該減速齒輪傳動裝置和該旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)具有彼此對準的軸線。
*這些對準的軸線的取向平行于該滑座導軌的調(diào)整方向。
*該滑座導軌的未被滑座蓋住的部分被至少一個波紋套蓋住。
*該滑座導軌在兩端各有一個止擋。
*在導輥另一端上的不能橫向調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)動軸承可轉(zhuǎn)動地固定在一個保持機構上。
*所述不能調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)動軸承的該保持機構具有一個軸向間隙以便補償該導輥的角度變化和長度變化。
*在成列配置多個可抽真空的腔室時，這些可調(diào)的導輥分別布置在一道作為通向下個腔室的通口的縫的前面。
*在成列配置多個可抽真空的腔室時，這些可調(diào)的導輥分別布置在一道作為通向下個腔室的通口的縫的后面。
*在連續(xù)帶材的至少一個邊緣的區(qū)域里，設有至少一個用于測量該邊緣的移動路線并影響該調(diào)整驅(qū)動機構的光學傳感器。
*在該帶材移動路線上，在一條垂直于帶材邊緣的線上布置多個光學傳感器來確定瞬間的帶材移動路線。


以下，在圖1-3中詳細描述本發(fā)明的實施例及其工作方式，其中圖1是沿導輥軸線的徑向看時的導向裝置的局剖圖；圖2表示導輥及在導輥上導向的帶材的徑向剖面圖；圖3是處理設備或涂覆設備的兩個排成行的模塊室的透視圖。
具體實施例方式
圖1示出了帶有導輥2的導向裝置1，但其中只示出了其帶有軸承頸3、4的兩端，該導輥具有一個軸線5、一個與該軸線同心的外殼6和兩個端塊7。內(nèi)腔8通過通風排氣孔9與環(huán)境相通，即處于與腔室內(nèi)部連通的狀態(tài)。
導輥2用于在圖3所示的可抽真空的帶材處理設備中引導帶材10(見圖2)。軸線5的空間位置如此調(diào)節(jié)，即導輥2支撐在兩個轉(zhuǎn)動軸承11、12之間，其中的右側(cè)轉(zhuǎn)動軸承可相對左側(cè)轉(zhuǎn)動軸承橫向于軸線5地調(diào)整移動?？烧{(diào)的轉(zhuǎn)動軸承12借助一個保持機構13固定在室壁14上并且平行于該室壁地位移。
這是如此做到的，即可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承12具有一個固定在室壁14上的滑座導軌15，在滑座導軌上引導一個帶有該轉(zhuǎn)動軸承12的滑座16。該轉(zhuǎn)動軸承通過一個軸承套17并借助回轉(zhuǎn)軸承18可轉(zhuǎn)動地保持在滑座16上。
根據(jù)圖2，滑座導軌15的調(diào)整方向(雙箭頭)位于該帶材10包繞導輥的如等于90度的包角的角平分線上。這樣一來，可以通過最小的移動路程橫向于帶材10地得到帶材移動方向的最大變化，結果，帶材不接觸在隔壁20中的一道縫隙19地在兩個腔室之間穿過并且可以被在下個腔室內(nèi)的帶材導向機構取走。但原則上可以進行在任何空間位置上的調(diào)整，而當帶材移動路線已經(jīng)符合預定條件時，也能放棄調(diào)整。技術人員可以通過偏離角平分線的程度在最大調(diào)整作用和最大調(diào)整精度之間進行選擇。
可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承12具有一個遙控的調(diào)整驅(qū)動機構21，該機構包括一電動機22、一減速齒輪傳動裝置23和一旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)24，該旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)安置在一個自支撐的可通風排氣的外殼25中。旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)24具有一個未標出的彈性中間件。電動機22、減速齒輪傳動裝置23和旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)24具有彼此對準的軸線，這些軸線的取向平行于滑座導軌15的調(diào)整方向。在這里，該滑座導軌15的未被滑座16蓋住的部分被至少一個波紋套26蓋住?；鶎к?5在兩端上各有一個止擋15a、15b。
導輥2或經(jīng)過的帶材10的取向是如此自動進行的，即帶材10邊緣的位置通過一個未示出的光學傳感器來測量，該傳感器通過一伺服機構如調(diào)整驅(qū)動機構21使導輥相應地對準方向。也可以在一條垂直于帶材邊緣的線上設置多個光學傳感器，通過這些傳感器來掌握帶材10的瞬間位置。
在導輥2另一端上的、不能沿軸線5的橫向調(diào)節(jié)的左側(cè)轉(zhuǎn)動軸承11可轉(zhuǎn)動地固定在一個位置固定的保持機構27上，確切地說是通過一個軸承套28和另一個回轉(zhuǎn)軸承29。在這里，這樣的布置結構是恰當?shù)?，不可調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)動軸承11的保持機構27具有一道用于補償導輥2的角度變化和長度變化的軸向縫隙。此外，懸掛部27a可以由一個室壁或一個懸掛在室蓋上的接板構成。在后者且如圖3所示的情況下，懸掛部結束于虛線所示的接界線27b上。
圖3表示處理設備或涂覆設備的兩個成行排列的模塊室30、31的透視圖，該設備包括成行排列的可抽真空的腔室32、33、34、35，在這些腔室中，可調(diào)的導輥2分別布置在一個通孔的前面，該通孔成一道通向下個腔室的縫19的形狀，如圖2所示。
腔室32是一個具有可轉(zhuǎn)動的用于未示出的未處理帶卷的支承芯軸32a和封閉蓋板32b的供料腔室。模塊室30、31具有類似結構。起同樣可抽真空的腔室33、34大致在中心各有一個被冷卻的涂輥36，在涂輥的外周面上各有四個未標記的徑向隔壁，其內(nèi)端除了窄縫外直達各輸入的帶材10。
在兩個位置固定的隔壁的上方有一個用于所有導輥和換向輥的共同的局部空間，在所述隔壁下方有三個用于推入在此未示出的處理源和/或涂覆源的扇形局部空間，它們被固定在一個也未示出的可移出的封閉板上。所有局部空間與自己的真空泵37連接。
腔室35是一個出料腔室，它具有一個可轉(zhuǎn)動的用于未示出的已處理的帶卷的支承芯軸35a和一個封閉蓋板35b。腔室32、35的靠前的封閉壁板為了看清楚的緣故也被省略了。
導輥2未被驅(qū)動，而是被各自輸入的帶材“拖動”。它們也不一定具有圓柱形表面，而是也可以成香蕉狀寬展輥的形式或者具有錐形輥段，其外形輪廓線經(jīng)過一條共同的對齊的筆直基準線。模塊室30、31的數(shù)量也是任意的。
涂輥和處理源和涂覆源以及在局部空間之間的隔壁不一定在校正導輥時重新調(diào)節(jié)其運動，這例如與DE19735603C1是不同的。
附圖標記一覽表1-導向裝置；2-導輥；3-軸承頸；4-軸承頸；5-軸線；6-外殼；7-端塊；8-內(nèi)腔；9-通風排氣孔；10-帶材；11-轉(zhuǎn)動軸承；12-轉(zhuǎn)動軸承；13-保持機構；14-室壁；15-滑座導軌；15a、15b-止擋；16-滑座；17-軸承套；18-回轉(zhuǎn)軸承；19-縫；20-隔壁；21-調(diào)整驅(qū)動機構；22-電動機；23-減速齒輪傳動裝置；24-旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)；25-外殼；26-波紋套；27-保持機構；27a-懸掛部；27b-界線；28-軸承套；29-回轉(zhuǎn)軸承；30-模塊室；31-模塊室；32-腔室；32a-支承芯軸；32b-封閉蓋板；33-腔室；34-腔室；35-腔室；35a-支承芯軸；35b-封閉蓋板；36-涂輥；37-真空泵；
權利要求
1.一種有至少一個導輥(2)的導向裝置(1)，該導輥有一軸線(5)并且被布置用來在可抽真空的帶材處理設備中引導帶材(10)，其中該軸線(5)的空間位置是可調(diào)的，其特征在于，該導輥(2)支撐在兩個轉(zhuǎn)動軸承(11，12)之間，其中的至少一個轉(zhuǎn)動軸承可相對另一個轉(zhuǎn)動軸承橫向于軸線(5)地位移。
2.如權利要求1所述的導向裝置，其特征在于，該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承(12)設置在一個室壁(14)上。
3.如權利要求2所述的導向裝置，其特征在于，該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承(12)能平行于該室壁(14)移動。
4.如權利要求2所述的導向裝置，其特征在于，該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承(12)具有一個固定在該室壁(14)上的滑座導軌(15)，在該滑座導軌上引導一個帶有該轉(zhuǎn)動軸承(12)的滑座(16)。
5.如權利要求4所述的導向裝置，其特征在于，該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承(12)可轉(zhuǎn)動地保持在該滑座(16)上。
6.如權利要求2所述的導向裝置，其特征在于，該滑座導軌(15)的調(diào)整方向位于帶材包繞該導輥(2)的包角的角平分線上。
7.如權利要求1所述的導向裝置，其特征在于，該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承(12)具有一個可遙控的調(diào)整驅(qū)動機構(21)。
8.如權利要求7所述的導向裝置，其特征在于，該調(diào)整驅(qū)動機構包括一個電動機(22)、一個減速齒輪傳動裝置(23)和一個旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)(24)。
9.如權利要求8所述的導向裝置，其特征在于，該旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)(24)具有一個彈性的中間件。
10.如權利要求8所述的導向裝置，其特征在于，該電動機(22)、該減速齒輪傳動裝置(23)和該旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸節(jié)(24)具有彼此對準的軸線。
11.如權利要求10所述的導向裝置，其特征在于，這些對準的軸線的取向平行于該滑座導軌(15)的調(diào)整方向。
12.如權利要求4所述的導向裝置，其特征在于，該滑座導軌(15)的未被滑座(16)蓋住的部分被至少一個波紋套(26)蓋住。
13.如權利要求4所述的導向裝置，其特征在于，該滑座導軌(15)在兩端各有一個止擋(15a，15b)。
14.如權利要求1所述的導向裝置，其特征在于，在導輥(2)的另一端上的不能橫向調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)動軸承(11)可轉(zhuǎn)動地固定在一個保持機構(27)上。
15.如權利要求14所述的導向裝置，其特征在于，所述不能調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)動軸承(11)的該保持機構(27)具有一個軸向間隙以便補償該導輥(2)的角度變化和長度變化。
16.如權利要求1所述的導向裝置，其特征在于，在成列配置多個可抽真空的腔室(32，33，34，35)時，這些可調(diào)的導輥(22)分別布置在一道作為通向下個腔室的通口的縫(19)的前面。
17.如權利要求1所述的導向裝置，其特征在于，在成列配置多個可抽真空的腔室(32，33，34，35)時，這些可調(diào)的導輥(22)分別布置在一道作為通向下個腔室的通口的縫(19)的后面。
18.如權利要求1所述的導向裝置，其特征在于，在該連續(xù)的帶材(10)的至少一個邊緣的區(qū)域里，設有至少一個用于測量該邊緣的移動路線并影響該調(diào)整驅(qū)動機構(21)的光學傳感器。
19.如權利要求18所述的導向裝置，其特征在于，在該帶材移動路線上，在一條垂直于帶材邊緣的線上布置多個光學傳感器來確定瞬間的帶材移動路線。
全文摘要
有至少一個導輥的、在帶材處理設備中引導帶材的導向裝置一種用于在在帶材處理設備中引導帶材的導向裝置(1)具有至少一個有一軸線(5)的導輥(2)，該軸線的空間位置可調(diào)。為了完成這樣的任務，即在包括多個腔室的模塊化設備中要補償腔室相互對準的誤差和/或完全避免其調(diào)整將使得重新校正處理源和涂覆源以及在涂輥外周面上的分隔縫是必不可少的可調(diào)式輥架，本發(fā)明建議，導輥支撐在兩個轉(zhuǎn)動軸承(11，12)之間，其中的至少一個轉(zhuǎn)動軸承相對另一個轉(zhuǎn)動軸承橫向于軸線地移動。這最好如此完成，即可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承(12)具有一個固定在室壁(14)上的滑座導軌(15)，在該滑座導軌上引導一個帶該轉(zhuǎn)動軸承的滑座(16)，該可調(diào)的轉(zhuǎn)動軸承具有遙控的調(diào)整驅(qū)動機構(21)。
文檔編號C23C14/56GK1683587SQ200410048528
公開日2005年10月19日 申請日期2004年6月7日 優(yōu)先權日2004年4月13日
發(fā)明者S·海恩, P·斯庫克, K·－H·溫克, R·庫克拉, R·魯?shù)戮S格 申請人:應用菲林股份有限兩合公司