專利名稱：多功能卷繞鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種在柔性卷材的正、反兩面連續(xù)進(jìn)行真空表面處理的多功能卷繞鍍膜機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，國(guó)內(nèi)在柔性卷材的正、反兩面上，連續(xù)進(jìn)行真空表面處理的卷繞鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于在有機(jī)泡沫上制備導(dǎo)電膜，使之充當(dāng)電鍍厚鎳的陰極制備泡沫鎳等多孔金屬、或在紡織品類、無(wú)紡布、表面氈上制備有金屬以制造金屬化柔性卷材，用以作電磁屏蔽或防靜電材料、或用于制備包裝薄膜、電容薄膜和ITO薄膜等?，F(xiàn)有設(shè)備雖然有的能對(duì)柔性卷材正、反兩面同時(shí)進(jìn)行鍍膜，但設(shè)備存在有不能制備多種、多層薄膜、使用功能單一，且體積龐大等缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種多功能卷繞鍍膜機(jī)，實(shí)現(xiàn)對(duì)柔性卷材正、反兩表面連續(xù)進(jìn)行多種、多層薄膜的真空鍍膜處理。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)一種多功能卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于它是一種呈“拱形門”結(jié)構(gòu)的真空箱體。在拱形箱體外面的下方留有暴露大氣的“門洞”空間。拱形箱體內(nèi)下部設(shè)置有收卷室和放卷室。在靠近收卷室、放卷室的外側(cè)設(shè)置有鍍膜室大門。拱形箱體內(nèi)部為三個(gè)相互獨(dú)立的真空鍍膜室、并與收卷室、放卷室貫通。在鍍膜室中軸線的位置設(shè)有輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)和張力傳感器，張力傳感器設(shè)在輥軸的兩端。在真空鍍膜室上對(duì)稱設(shè)置有一組或多組鍍膜靶。鍍膜靶為磁控濺射靶或電弧蒸發(fā)靶，鍍膜靶的靶體形狀為矩形或圓弧形。
本實(shí)用新型采用物理氣相沉積技術(shù)。它是在呈拱形門結(jié)構(gòu)的真空箱體的鍍膜室內(nèi)，柔性卷材經(jīng)過(guò)輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)控制和張力傳感器的張力調(diào)節(jié)，由鍍膜靶噴射的靶材粒子沉積，對(duì)柔性卷材的正、反兩面同時(shí)進(jìn)行雙面鍍膜。該卷繞鍍膜機(jī)具有多種功能，可以由磁控濺射靶或電弧蒸發(fā)靶裝置進(jìn)行組合、使用不同成分的靶材，可以在柔性卷材的正、反面制備單一薄膜或多種多層功能的混合薄膜的鍍膜處理。


附圖為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中1、12-鍍膜室大門，2-放卷室，3-鍍膜靶，4、7、10-鍍膜室，5-柔性卷材，6-輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)，8-真空箱體，9-真空箱體外“門洞”，11-收卷室，13-驅(qū)動(dòng)車，14-軌道，15-張力傳感器。
實(shí)施例說(shuō)明一種多功能卷繞鍍膜機(jī)，它是一種呈“拱形門”結(jié)構(gòu)的真空箱體8。在拱形箱體8外面的下方留有暴露大氣的“門洞”9的空間，該空間可方便進(jìn)行鍍膜靶的裝卸和對(duì)真空鍍膜機(jī)的維修保養(yǎng)。拱形箱體8的下部設(shè)置有收卷室11和放卷室2。該收、放卷室可不間斷地對(duì)柔性卷材進(jìn)行鍍膜收、放，也可以進(jìn)行互換使用。在靠近收卷室11和放卷室2外側(cè)設(shè)置有鍍膜室大門1和大門12(附圖中大門省略)。在拱形箱體8內(nèi)又分為三個(gè)相互獨(dú)立的真空鍍膜室4、7、10，并與收卷室11、放卷室2貫通。在真空鍍膜室4、7、10中軸線的位置設(shè)置有輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)6和張力傳感器15。輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)6能使柔性卷材5經(jīng)由放卷室2的放卷輥勻速地通過(guò)鍍膜室4、7、10作“∩”形卷繞，并能連續(xù)傳送到收卷輥上。張力傳感器15設(shè)在輥軸的兩端，用以調(diào)節(jié)控制張力。在真空鍍膜室4、7、10的兩壁對(duì)稱設(shè)置有一組或多組鍍膜靶3。鍍膜靶3為磁控濺射靶或電弧蒸發(fā)靶，鍍膜靶3的靶體形狀為矩形或圓弧形。
該鍍膜機(jī)的鍍膜過(guò)程是這樣的在呈“拱形門”結(jié)構(gòu)的真空箱體8內(nèi)，柔性卷材5經(jīng)過(guò)由電機(jī)控制的輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)6和張力傳感器15的張力調(diào)節(jié)，由放卷室2的放卷輥軸沿著鍍膜室內(nèi)4、7、10的中軸線，柔性卷材5由放卷輥勻速地通過(guò)鍍膜室作“∩”形卷繞，柔性卷材5的正、反兩面同時(shí)接收到來(lái)自每對(duì)鍍膜靶3噴射的靶材粒子的沉積進(jìn)行雙面鍍膜，并連續(xù)地傳送到收卷室11的收卷輥上。鍍膜室內(nèi)的一組或多組鍍膜靶3可以裝有同一成分的靶材，也可以根據(jù)膜層設(shè)計(jì)裝有不同成分的靶材，從而使柔性卷材的兩表面制備出單一薄膜或分別制備出相應(yīng)不同成分的多種、多層的復(fù)合薄膜。由于該鍍膜機(jī)是在真空箱體8內(nèi)進(jìn)行鍍膜的，由此薄膜與柔性基材附著牢固且厚度均勻。根據(jù)柔性卷材的表面處理的需要，可以將輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)6反向操作，收卷室11和放卷室2進(jìn)行互換轉(zhuǎn)動(dòng)，按照上述的操作過(guò)程不間斷地連續(xù)返鍍，滿足特定工藝或加厚膜層的需要。待加工和已加工的柔性卷材由經(jīng)驅(qū)動(dòng)車13，可沿著已鋪設(shè)的軌道14進(jìn)行傳送。
由上可知，本多功能卷繞鍍膜機(jī)可以在多種柔性卷材上進(jìn)行真空表面處理，如各種棉紡織品、有機(jī)聚酯泡沫、PET、PEN、PC塑料等高分子材料、化纖布、無(wú)紡布、礦物纖維布、表面毯、薄型金屬或其它柔性復(fù)合卷材等等。廣泛用于有機(jī)泡等柔性卷材表面制備的導(dǎo)電薄膜、金屬化織物，如用作電磁屏蔽或防靜電材料或制備包裝薄膜、電容薄膜、ITO薄膜等多種功能性薄膜。
權(quán)利要求1.一種多功能卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于它是一個(gè)呈“拱形門”結(jié)構(gòu)的真空箱體，在拱形箱體外面的下方留有暴露大氣的“門洞”空間；拱形箱體的下部設(shè)置有收卷室和放卷室，在靠近收卷室、放卷室外側(cè)設(shè)置有鍍膜室大門；拱形箱體內(nèi)部分為三個(gè)相互獨(dú)立的真空鍍膜室并與收卷室、放卷室貫通，在真空鍍膜室中軸線的位置上設(shè)有輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)及張力傳感器，張力傳感器設(shè)在輥軸的兩端，在真空鍍膜室對(duì)稱設(shè)置有鍍膜靶。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于鍍膜靶為磁控濺射靶或電弧蒸發(fā)靶。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于鍍膜靶的靶體形狀為矩形或圓弧形。
專利摘要一種對(duì)柔性卷材的正、反兩面連續(xù)進(jìn)行噴鍍的多功能卷繞鍍膜機(jī)，它是一種呈“拱形門”結(jié)構(gòu)的真空箱體，在箱體的下部設(shè)置有收卷室和放卷室，拱形箱體內(nèi)部分為三個(gè)相互獨(dú)立的真空鍍膜室并于收、放卷室貫通。在真空鍍膜室中軸線位置上設(shè)有輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)及張力傳感器，真空鍍膜室內(nèi)對(duì)稱設(shè)置有鍍膜靶。本實(shí)用新型采用物理氣相沉積技術(shù)。在真空箱體內(nèi)的柔性卷材經(jīng)過(guò)輥軸傳導(dǎo)系統(tǒng)及張力傳感器的張力調(diào)節(jié)，通過(guò)鍍膜靶噴射的靶材粒子沉積，對(duì)柔性卷材正、反兩面同時(shí)進(jìn)行雙面鍍膜。該卷繞鍍膜機(jī)可以使用不同成分的靶材，制備出單一薄膜或多種多層功能的混合薄膜，可廣泛用于有機(jī)泡沫等柔性卷材表面制備的導(dǎo)電薄膜、金屬化織物多種功能性薄膜。
文檔編號(hào)C23C14/56GK2635678SQ0327314
公開(kāi)日2004年8月25日 申請(qǐng)日期2003年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月24日
發(fā)明者盛鋼, 胡顯奇 申請(qǐng)人:深圳市坦達(dá)尼真空表面技術(shù)有限公司