專利名稱：矩形平面多弧靶的制作方法
專利說明
一、技術(shù)領(lǐng)域本實(shí)用新型涉及一種真空離子多弧鍍膜機(jī)設(shè)備的關(guān)鍵部件——多弧靶。
二背景技術(shù)：
目前，國(guó)內(nèi)外的真空離子多弧鍍膜機(jī)設(shè)備，大多數(shù)采用直徑50～100mm的圓形平面多弧靶，一臺(tái)鍍膜機(jī)需要配置幾個(gè)甚至幾十個(gè)這種靶，相應(yīng)地還要配備幾個(gè)甚至幾十個(gè)引弧裝置和電弧源，使用時(shí)，必須逐個(gè)點(diǎn)燃每一個(gè)靶，關(guān)注每個(gè)弧源的運(yùn)行情況，因而導(dǎo)致真空離子多弧鍍膜機(jī)設(shè)備的弧靶系統(tǒng)復(fù)雜，造價(jià)高，操作繁瑣。另外，圓形平面多弧靶還存在控弧磁場(chǎng)位形不合理、靶材刻蝕不均勻、弧斑運(yùn)動(dòng)不穩(wěn)定、經(jīng)常跑弧和熄弧等缺陷，影響工業(yè)化生產(chǎn)過程中的鍍膜質(zhì)量。
三
發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種矩形平面多弧靶，此種多弧靶一臺(tái)鍍膜機(jī)僅需配置一個(gè)，因而極大地簡(jiǎn)化了真空離子多弧鍍膜機(jī)設(shè)備的弧靶系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是根據(jù)冷陰極真空弧光放電機(jī)理和磁控理論，從改變磁路入手，將陰極靶的形狀設(shè)計(jì)為矩形平面板，使磁場(chǎng)分量在矩形平面靶表面形成一個(gè)腰形磁環(huán)跑道，讓弧斑在這個(gè)磁環(huán)跑道內(nèi)運(yùn)動(dòng)。由于陰極靶的形狀改變，安裝陰極靶的靶固定框、與靶固定框組合的的絕緣盒和磁體固定板的形狀均隨之改變，靶固定框?yàn)榕c陰極靶相匹配的矩形框，絕緣盒為與靶固定框相匹配的矩形盒，磁體固定板為與絕緣盒相匹配的矩形板。陰極靶的優(yōu)選尺寸范圍為長(zhǎng)500～2000mm，寬50～200mm。陰極靶的具體尺寸，根據(jù)鍍膜機(jī)的鍍膜室直徑和高度決定。
本實(shí)用新型提供的矩形平面多弧靶，包括絕緣盒、屏蔽板、磁體固定板、靶固定框、磁體、陰極靶、進(jìn)水管、出水管；屏蔽板與絕緣盒連接，磁體固定板位于絕緣盒底部，磁體放置在磁體固定板上，靶固定框位于絕緣盒內(nèi)且其一端與磁體固定板相貼，陰極靶安放在靶固定框的另一端，陰極靶、靶固定框和磁體固定板通過連接件連接成一體，進(jìn)水管、出水管安裝在絕緣盒底部并與陰極靶、靶固定框和磁體固定板圍成的腔體接通，以通過進(jìn)水管與出水管形成的循環(huán)水直接冷卻靶體。
本實(shí)用新型具有以下有益效果1、一臺(tái)鍍膜機(jī)僅需配置一個(gè)矩形平面多弧靶，一個(gè)引弧裝置，一套弧電源，操作者只需引一次弧，關(guān)注一個(gè)弧源的放電情況，因而鍍膜機(jī)整機(jī)造價(jià)降低，操作更為方便，故障減少。
2、弧斑在腰形磁環(huán)跑道內(nèi)運(yùn)動(dòng)，靶面位移長(zhǎng)，因而刻蝕區(qū)域大，鍍膜均勻區(qū)寬，鍍膜工藝重復(fù)性好。
3、矩形平面多弧靶安裝在鍍膜機(jī)的鍍膜室壁，可以充分利用鍍膜室空間。
四

圖1是本實(shí)用新型所提供的矩形平面多弧靶的一種結(jié)構(gòu)圖；圖2是圖1的側(cè)視圖；圖3是本實(shí)用新型所提供的矩形平面多弧靶在真空離子多弧鍍膜機(jī)的鍍膜室的安裝示意圖。
圖中，1—屏蔽板、2—絕緣盒、3—靶固定框、4—磁體、5—陰極靶、6—密封圈、7—出水管、8—磁體固定板、9—絕緣套、10—進(jìn)水管、11—鍍膜室、12—引弧裝置、13—弧電源。
五具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖通過實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所提供的矩形平面多弧靶的結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步說明。
本實(shí)施例中的矩形平面多弧靶的結(jié)構(gòu)如圖1、圖2所示，包括絕緣盒2、屏蔽板1、磁體固定板8、靶固定框3、磁體4、陰極靶5、進(jìn)水管10、出水管7。屏蔽板1與絕緣盒2連接；磁體固定板8位于絕緣盒底部，磁體4為永磁體，放置在磁體固定板上；靶固定框位3于絕緣盒內(nèi)且其一端與磁體固定板8相貼，陰極靶5安放在靶固定框的另一端，陰極靶5、靶固定框3和磁體固定板8通過連接件螺釘連接成一體，陰極靶5與靶固定框3的接觸面、磁體固定板8與靶固定框3的接觸面均設(shè)置有密封圈6；陰極靶5為鈦靶或鋯靶，其形狀為矩形平面板，由于真空離子多弧鍍膜機(jī)的鍍膜室直徑φ1000mm、高1200mm，故陰極靶5的尺寸為長(zhǎng)1000mm、寬100mm，靶固定框3為與陰極靶相匹配的矩形框，絕緣盒2為與靶固定框相匹配的矩形盒，磁體固定板8為與絕緣盒相匹配的矩形板；進(jìn)水管10、出水管7均為金屬管，兼作電極，安裝在絕緣盒2底部并與陰極靶、靶固定框和磁體固定板圍成的腔體接通，組裝時(shí)與絕緣盒接觸部位套裝了絕緣套9。
矩形平面多弧靶在真空離子多弧鍍膜機(jī)的鍍膜室11的安裝位置和安裝方式如圖3所示，弧電源13的正極接鍍膜室11并接地，其負(fù)極接陰極靶5，靶電流為90～255A，工作電壓為16～24V。使用時(shí)，將鍍膜室11抽到一定的真空度后啟動(dòng)引弧裝置12，則可引燃電弧，電弧一旦被引燃，低壓大電流電源將維持陰陽極間弧光放電過程。電弧弧斑在正交電場(chǎng)和磁場(chǎng)(磁體4提供)中沿著磁場(chǎng)跑道作有規(guī)律運(yùn)動(dòng)，形成一條弧環(huán)。
權(quán)利要求1.一種矩形平面多弧靶，包括絕緣盒(2)、屏蔽板(1)、磁體固定板(8)、靶固定框(3)、磁體(4)、陰極靶(5)、進(jìn)水管(10)、出水管(7)，屏蔽板與絕緣盒連接，磁體固定板位于絕緣盒底部，磁體放置在磁體固定板上，靶固定框位于絕緣盒內(nèi)且其一端與磁體固定板相貼，陰極靶安放在靶固定框的另一端，陰極靶、靶固定框和磁體固定板通過連接件連接成一體，進(jìn)水管、出水管安裝在絕緣盒底部并與陰極靶、靶固定框和磁體固定板圍成的腔體接通，其特征在于陰極靶(5)的形狀為矩形平面板，靶固定框(3)為與陰極靶相匹配的矩形框，絕緣盒(2)為與靶固定框相匹配的矩形盒，磁體固定板(8)為與絕緣盒相匹配的矩形板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的矩形平面多弧靶，其特征在于陰極靶(5)的優(yōu)選尺寸范圍為長(zhǎng)500～2000mm，寬50～200mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的矩形平面多弧靶，其特征在于進(jìn)水管(10)、出水管(7)均為可兼作電極的金屬管，組裝時(shí)與絕緣盒接觸部位套裝了絕緣套(9)。
專利摘要一種矩形平面多弧靶，包括絕緣盒、屏蔽板、磁體固定板、靶固定框、磁體、陰極靶、進(jìn)水管、出水管。陰極靶的形狀為矩形平面板，使磁場(chǎng)分量在矩形平面靶表面形成一個(gè)矩形磁環(huán)跑道。由于陰極靶的形狀改變，靶固定框?yàn)榕c陰極靶相匹配的矩形框，絕緣盒為與靶固定框相匹配的矩形盒，磁體固定板為與絕緣盒相匹配的矩形板。此種矩形平面多弧靶不僅刻蝕區(qū)域大，鍍膜均勻區(qū)寬，鍍膜工藝重復(fù)性好，而且一臺(tái)鍍膜機(jī)僅需配置一個(gè)，操作者只需引一次弧，關(guān)注一個(gè)弧源的放電情況，因而鍍膜機(jī)整機(jī)造價(jià)降低，操作更為方便。
文檔編號(hào)C23C14/28GK2623697SQ0324925
公開日2004年7月7日 申請(qǐng)日期2003年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月27日
發(fā)明者常建, 陳佳, 常鴻, 常江, 陳志能 申請(qǐng)人:常建