專(zhuān)利名稱(chēng)：多弧靶引弧針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空鍍膜生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及多弧離子鍍膜機(jī)的引弧針技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨后出現(xiàn)有物理氣相沉積(PVD)技術(shù)，主要是在真空環(huán)境下進(jìn)行表面處理，物理氣相沉積本身分為三種真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜，近十年來(lái)發(fā)展相當(dāng)快，已經(jīng)成為當(dāng)今最先進(jìn)的表面處理方式之一。真空離子鍍膜是通過(guò)離子鍍膜機(jī)上的引弧針觸碰靶材產(chǎn)生放電來(lái)實(shí)現(xiàn)，而現(xiàn)有技
術(shù)中，引弧針觸碰靶材的動(dòng)作主要是由人工驅(qū)動(dòng)，該結(jié)構(gòu)存在觸靶和脫離不穩(wěn)定，觸靶時(shí)間受人為因素影響很大，從而導(dǎo)致引弧針與靶材燒結(jié)等事情發(fā)生，影響生產(chǎn)作業(yè)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種電控式多弧靶引弧針，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，引弧動(dòng)作穩(wěn)定、準(zhǔn)確。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案多弧靶引弧針，包括引弧針，引弧針安裝在一活動(dòng)軸的一端上，活動(dòng)軸的另一端對(duì)接一磁性線圈組，在活動(dòng)軸上套接有復(fù)位彈簧。所述磁性線圈組至少包括有線圈架、軸套及線圈，軸套的一端套設(shè)在線圈架內(nèi)部，而線圈纏繞在線圈架外周；所述軸套的一端與活動(dòng)軸對(duì)接。所述軸套與活動(dòng)軸對(duì)接的一端設(shè)有內(nèi)凹中孔，內(nèi)凹中孔的尺寸大小與活動(dòng)軸匹配。本實(shí)用新型通過(guò)線圈通電產(chǎn)生磁場(chǎng)，使軸套獲得磁力吸引活動(dòng)軸，實(shí)現(xiàn)活動(dòng)軸移動(dòng)時(shí)帶動(dòng)引弧針向靶材移動(dòng)，達(dá)到引弧針的針尖和靶材接觸而產(chǎn)生放電，滿足離子鍍膜工作要求，并在針尖和靶材接觸的瞬間，線圈又?jǐn)嚯?，使軸套放開(kāi)活動(dòng)軸，在復(fù)位彈簧的作用下，活動(dòng)軸復(fù)位，引弧針的針尖與靶材脫離，避免了引弧針與靶材的燒結(jié)，確保工作及提升使用壽命。本實(shí)用新型再一優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，科學(xué)合理，投資成本低，達(dá)到自動(dòng)電控工作，引弧工作穩(wěn)定、準(zhǔn)確，大大提高了多弧離子鍍膜機(jī)的運(yùn)行率和可操作性，體積小巧，安裝、使用方便。


附圖I為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明參閱圖I所示，本實(shí)用新型所述的多弧靶引弧針，包括引弧針1，引弧針I(yè)安裝在一活動(dòng)軸2的一端上，活動(dòng)軸2的另一端對(duì)接一磁性線圈組，在活動(dòng)軸2上套接有復(fù)位彈簧3。磁性線圈組至少包括有線圈架4、軸套5及線圈6，軸套5的一端套設(shè)在線圈架4內(nèi)部，而線圈6纏繞在線圈架4外周；所述軸套5的一端與活動(dòng)軸2對(duì)接。工作時(shí)，線圈6通電產(chǎn)生磁場(chǎng)，使軸套5獲得磁力吸引活動(dòng)軸2，實(shí)現(xiàn)活動(dòng)軸2移動(dòng)時(shí)帶動(dòng)引弧針I(yè)向靶材移動(dòng)，達(dá)到引弧針的針尖和靶材接觸而產(chǎn)生放電，滿足離子鍍膜工作要求，并在針尖和靶材接觸的瞬間，線圈6又?jǐn)嚯?，使軸套5放開(kāi)活動(dòng)軸2，在復(fù)位彈簧3的作用下，活動(dòng)軸2復(fù)位，引弧針I(yè)的針尖與靶材脫離，避免了引弧針I(yè)與靶材的燒結(jié)，確保工作及提升使用壽命。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，科學(xué)合理，投資成本低，達(dá)到自動(dòng)電控工作，引弧工作穩(wěn)定、準(zhǔn)確，大大提高了多弧離子鍍膜機(jī)的運(yùn)行率和可操作性，體積小巧，安裝、使用方便。圖I所示,本實(shí)施例中,軸套5與活動(dòng)軸2對(duì)接的一端設(shè)有內(nèi)凹中孔51,內(nèi)凹中孔51的尺寸大小與活動(dòng)軸2匹配。內(nèi)凹中孔51的設(shè)計(jì),可使活動(dòng)軸2受吸在內(nèi)凹中孔51中移動(dòng)，確保直線移動(dòng)且移動(dòng)穩(wěn)定，提升引弧工作性能。圖中，活動(dòng)軸2安裝在一絕緣套7的中孔中，絕緣套7設(shè)有支頂部71配合活動(dòng)軸2上的第一臺(tái)階21配合，以達(dá)到確定活動(dòng)軸2復(fù)位位置，而活動(dòng)軸2上還設(shè)有第二臺(tái)階22配合復(fù)位彈簧3支頂工作；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，科學(xué)合 理,投資成本低。當(dāng)然，以上圖示僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非以此限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍，故，凡是依照本實(shí)用新型之原理做等效變化或修飾，均應(yīng)涵蓋于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.多弧靶引弧針，包括引弧針(1)，其特征在于引弧針(I)安裝在一活動(dòng)軸(2)的一端上，活動(dòng)軸(2)的另一端對(duì)接一磁性線圈組，在活動(dòng)軸(2)上套接有復(fù)位彈簧(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多弧靶引弧針，其特征在于磁性線圈組至少包括有線圈架(4)、軸套(5)及線圈(6)，軸套(5)的一端套設(shè)在線圈架(4)內(nèi)部，而線圈(6)纏繞在線圈架(4)外周；所述軸套(5)的一端與活動(dòng)軸(2)對(duì)接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多弧靶引弧針，其特征在于軸套(5)與活動(dòng)軸(2)對(duì)接的一端設(shè)有內(nèi)凹中孔(51)，內(nèi)凹中孔(51)的尺寸大小與活動(dòng)軸(2)匹配。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及真空鍍膜生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及多弧靶引弧針，包括引弧針，引弧針安裝在一活動(dòng)軸的一端上，活動(dòng)軸的另一端對(duì)接一磁性線圈組，在活動(dòng)軸上套接有復(fù)位彈簧；所述磁性線圈組至少包括有線圈架、軸套及線圈，軸套的一端套設(shè)在線圈架內(nèi)部，而線圈纏繞在線圈架外周；所述軸套的一端與活動(dòng)軸對(duì)接。本實(shí)用新型通過(guò)線圈通電產(chǎn)生磁場(chǎng)，使軸套獲得磁力吸引活動(dòng)軸，實(shí)現(xiàn)活動(dòng)軸移動(dòng)時(shí)帶動(dòng)引弧針向靶材移動(dòng)，達(dá)到引弧針的針尖和靶材接觸而產(chǎn)生放電，滿足離子鍍膜工作要求，并在針尖和靶材接觸的瞬間，線圈又?jǐn)嚯姡趶?fù)位彈簧的作用下，活動(dòng)軸復(fù)位，引弧針的針尖與靶材脫離，避免了引弧針與靶材的燒結(jié)，確保工作及提升使用壽命。
文檔編號(hào)C23C14/32GK202595252SQ20122012721
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月30日
發(fā)明者趙銘 申請(qǐng)人:廣東友通工業(yè)有限公司