定位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及一種定位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體爐管常壓擴(kuò)散工藝中，所使用的擴(kuò)散爐管如圖1所示，包括加熱器11、工藝管12、襯管(liner tube) 13及底座14 ;其中所述工藝管12及所述襯管13安裝在所述加熱器11內(nèi)，且所述襯管13位于所述工藝管12與所述加熱器11之間，用于保溫。但是在每次需要更換所述加熱器11，或者年度保養(yǎng)需要拆裝所述襯管13時(shí)，都需要拆裝所述襯管13。將所述襯管13拆裝以后，所述襯管13重新安裝于所述加熱器11內(nèi)時(shí)，需要保證所述襯管13位于所述加熱器11內(nèi)的正中心的位置，即如圖1所示，所述襯管13相對兩側(cè)距離所述加熱器11的間距屯與d2相等。但由于在安裝的過程中，對于所述襯管13的位置沒有很好的辦法測量，所以經(jīng)常發(fā)生更換完所述襯管13之后，所述襯管13會(huì)偏離所述加熱器11的中心位置，即如圖2所示，所述襯管13相對兩側(cè)距離所述加熱器11的間距屯與d2不相等，這將導(dǎo)致在擴(kuò)散的過程位于所述工藝管12內(nèi)的芯片的均勻性比較差，進(jìn)而影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0003]為了避免上述問題的發(fā)生，現(xiàn)有技術(shù)中一般在安裝所述襯管13時(shí)，首先通過肉眼觀察盡量使得所述襯管13位于所述加熱器11的正中心；然后通過預(yù)處理來檢測位于所述工藝管12內(nèi)的芯片的均勻性，如果芯片的均勻性不好，需要根據(jù)均勻性的49點(diǎn)圖案來移動(dòng)所述襯管13的位置；接著再做一次預(yù)處理與檢測；不斷重復(fù)上述步驟直至檢測到所述芯片的均勻性達(dá)到要求位置。但上述方法需要多次調(diào)整與多次檢測，整個(gè)調(diào)整過程比較繁瑣，耗時(shí)較長，必定會(huì)浪費(fèi)大量的人力和時(shí)間，影響該工藝工程的產(chǎn)率，增大生產(chǎn)成本；且由于整個(gè)調(diào)整過程都是人工進(jìn)行操作，定位的精確度較低。
[0004]因此，提供一種改進(jìn)型的定位裝置非常必要。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種定位裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中在安裝襯管時(shí)，采用傳統(tǒng)方法對襯管進(jìn)行定位的過程中，整個(gè)定位過程比較繁瑣，耗時(shí)較長，必定會(huì)浪費(fèi)大量的人力和時(shí)間，影響該工藝工程的產(chǎn)率，增大生產(chǎn)成本及定位精度較低的問題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種定位裝置，所述定位裝置至少包括:軸桿、機(jī)械手臂、固定單元、伸縮桿及阻擋感應(yīng)器；所述機(jī)械手臂套置于所述軸桿上，可以在外力的作用下圍繞所述軸桿旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；所述固定單元的底部固定于所述機(jī)械手臂上，適于固定所述伸縮桿；所述伸縮桿的一端固定于所述固定單元上，可以在外力的作用下伸縮運(yùn)動(dòng)；所述阻擋感應(yīng)器位于所述伸縮桿上，適于在所述伸縮桿的伸縮運(yùn)動(dòng)被阻止時(shí)被觸發(fā)。
[0007]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述定位裝置還包括一滑塊，所述滑塊套置于所述軸桿上，且位于所述機(jī)械手臂的下方；所述滑塊可以在外力的作用下帶動(dòng)所述機(jī)械手臂一起上下運(yùn)動(dòng)。
[0008]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述定位裝置還包括第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)與所述滑塊相連接，適于驅(qū)動(dòng)所述滑塊上下運(yùn)動(dòng)。
[0009]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述阻擋感應(yīng)器位于所述伸縮桿遠(yuǎn)離所述固定單元的一端。
[0010]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述定位裝置還包括第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)與所述機(jī)械手臂相連接，適于驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手臂旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0011]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述定位裝置還包括第三馬達(dá)，所述第三馬達(dá)與所述伸縮桿相連接，適于驅(qū)動(dòng)所述伸縮桿伸縮運(yùn)動(dòng)。
[0012]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述阻擋感應(yīng)器與所述第三馬達(dá)相連接，適于所述阻擋感應(yīng)器被觸發(fā)時(shí)控制所述第三馬達(dá)停止驅(qū)動(dòng)所述伸縮桿向前運(yùn)動(dòng)。
[0013]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述伸縮桿伸縮運(yùn)動(dòng)的步距為0.1mm0
[0014]作為本實(shí)用新型的定位裝置的一種優(yōu)選方案，所述定位裝置還包括計(jì)步器，所述計(jì)步器與所述伸縮桿相連接，適于記錄所述伸縮桿伸縮的步數(shù)。
[0015]如上所述，本實(shí)用新型的定位裝置，具有以下有益效果:所述定位裝置可以通過伸縮桿量測襯管某一點(diǎn)距離擴(kuò)散爐管底座中心的距離，然后通過旋轉(zhuǎn)，可以分別測量在同一平面上不同位置處所述襯管距離所述擴(kuò)散爐管底座中心的距離，在伸縮桿伸縮量測的同時(shí)，計(jì)步器同步記錄每一處伸縮桿伸縮的步數(shù)，在完成一周的測量后，根據(jù)每個(gè)測量點(diǎn)計(jì)步器記錄步數(shù)進(jìn)行調(diào)整，即可輕易完成所述襯管的定位；整個(gè)定位裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，且定位精度較高，可以精確地0.1mm ;同時(shí)，通過設(shè)置可以上下滑動(dòng)的滑塊，可以帶動(dòng)定位裝置上下移動(dòng)至相應(yīng)的高度，對不同平面上所述襯管距離所述底座中心的距離進(jìn)行測量，可以檢查所述擴(kuò)散爐管底座及所述襯管是否發(fā)生傾斜。
【附圖說明】
[0016]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中襯管位于加熱器中心時(shí)的擴(kuò)散爐管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2顯示為現(xiàn)有技術(shù)中襯管偏離加熱器中心時(shí)的擴(kuò)散爐管的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖3顯示為本實(shí)用新型的定位裝置對襯管進(jìn)行定位的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖4顯示為本實(shí)用新型的定位裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)的連接示意圖。
[0020]元件標(biāo)號(hào)說明
[0021]11加熱器
[0022]12工藝管
[0023]13襯管
[0024]14底座
[0025]21襯管
[0026]22底座
[0027]23定位裝置
[0028]230軸桿
[0029]231機(jī)械手臂
[0030]232固定單元
[0031]233伸縮桿
[0032]234阻擋感應(yīng)器
[0033]235滑塊
[0034]236第一馬達(dá)
[0035]237第二馬達(dá)
[0036]238第三馬達(dá)
[0037]239計(jì)步器
[0038]24主軸
[0039]Cl1襯管一側(cè)距離加熱器的距離
[0040]d2襯管另一側(cè)距離加熱器的距離
【具體實(shí)施方式】
[0041]以下由特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0042]請參閱圖3至圖4。須知，本說明書所附圖示所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中部”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0043]請參閱圖3至圖4，本實(shí)用新型提供一種定位裝置23，所述定位裝置23適用于半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝爐管，適于對所述半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝爐管內(nèi)的襯管安裝時(shí)進(jìn)行定位，所述定位裝置，23至少包括:軸桿230、機(jī)械手臂231、固定單元232、伸縮桿233及阻擋感應(yīng)器234 ；所述機(jī)械手臂231套置于所述軸桿230上，可以在外力的作用下圍繞所述軸桿230旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；所述固定單元232的底部固定于所述機(jī)械手臂231上，適于固定所述伸縮桿233 ;所述伸縮桿233的一端固定于所述固定單元232上，可以在外力的作用下伸縮運(yùn)動(dòng)；所述阻擋感應(yīng)器234位于所述伸縮桿233上，適于在所述伸縮桿233的伸縮運(yùn)動(dòng)被阻止時(shí)被觸發(fā)。
[0044]具體的，所述定位裝置23還包括一滑塊235，所述滑塊235套置于所述軸桿230上，且位于所述機(jī)械手臂231的下方；所述滑塊235可以在外力的作用下帶動(dòng)所述機(jī)械手臂231 —起上下運(yùn)動(dòng)。