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覆涂層襯底和切割覆涂層襯底的工藝的制作方法_3

文檔序號:9314788閱讀:來源:國知局
面104。在一些情況下,如圖2所示,吸收-阻擋層102可以由以下形成:聚酯片、塑料膜、涂料(例如,墨)、可固化(curable)的不透明材料(聚合物噴射物)、或可以在藍寶石襯底100的第一表面104上基本上形成保護阻擋物和/或光學(xué)吸收層的其它合適材料。在一些情況下,使用以下來制備吸收-阻擋層102:層疊工藝、物理氣相沉積(PVD)工藝、印刷工藝、涂繪工藝、或用于在藍寶石襯底100上形成吸收-阻擋層102的其它技術(shù)。
[0039]在一些情況下,吸收-阻擋層102可以具有低于藍寶石襯底100的熔融溫度的熔融溫度。在非限制的示例中,形成吸收-阻擋層102的材料可以包括大約200°C的熔融溫度,并且藍寶石襯底100的熔融溫度可以大約是2000°C。在一些情況下,吸收-阻擋層102所具有的熔融溫度大于或等于200°C并且小于或等于藍寶石襯底100的熔融溫度。
[0040]用于形成吸收-阻擋層102的材料也可以被設(shè)計成適于(tailor)促進在藍寶石襯底100上執(zhí)行的基于激光的操作。在非限制的示例中,并且如此處所討論的那樣,形成吸收-阻擋層102的材料可以具有促進或改進在藍寶石襯底100上執(zhí)行的激光切割工藝的特殊光學(xué)特性。在一個示例中,吸收-阻擋層102可以帶有漫射表面光潔度,基本上是不透明的。特別是,吸收-阻擋層102可以對于切割激光器所產(chǎn)生的光的波長基本上不透明。一般而言,吸收-阻擋層102的透明度特性(例如,不透明性)可以被設(shè)計成適于用來切割藍寶石襯底100的激光束的操作特性或參數(shù)(例如,波長、功率、脈沖長度、斑點尺寸)。在一些情況下,吸收-阻擋層102的表面光潔度也可以被設(shè)計成適于促進激光吸收。也就是說,吸收-阻擋層102可以包括基本上粗糙或磨糙的表面光潔度以幫助用于加工和/或切割藍寶石襯底100的激光吸收,如此處關(guān)于圖4A-F所討論的那樣。
[0041]如此處所討論的那樣,具有特殊光學(xué)品質(zhì)的吸收-阻擋層102可以被設(shè)置于藍寶石襯底100上,并且促進激光束的吸收以啟動藍寶石襯底100中的激光切割。特別是,吸收-阻擋層102可以吸收激光輻射并在藍寶石襯底表面附近形成局部區(qū)域的熱能,并且促進那個區(qū)域中的藍寶石的熔融或蒸發(fā)。對藍寶石材料的非常薄的片(例如,大約0.5_或更小),添加具有合適光學(xué)性能的吸收-阻擋層可以基本上改進激光切割工藝。在一個非限制的示例中,藍寶石組件的總體厚度可以是大約0.25_。在另一個非限制的示例中,藍寶石組件的總體厚度可以是小于0.25_。
[0042]圖3示出使用吸收-阻擋層和基于激光的切割操作來形成藍寶石組件的示例工藝。具體地,圖3是示出用于形成藍寶石組件的一個示例工藝300的流程圖。在一些情況下,藍寶石組件可以被用于在電子設(shè)備中形成一個或更多個保護片,如以上關(guān)于圖1A-B所討論的那樣。
[0043]在操作302中,一個或更多個吸收-阻擋層被設(shè)置于藍寶石襯底上。在一個示例中,至少一個吸收-阻擋層被設(shè)置于藍寶石襯底的第一(光學(xué))表面上。將吸收-阻擋層設(shè)置在藍寶石襯底的第一表面上的方法可以至少部分地依賴于吸收-阻擋層中使用的材料。在非限制的示例中,吸收-阻擋層的設(shè)置可以包括將吸收-阻擋層涂敷、噴射、印刷、涂繪、粘附和/或分配在藍寶石襯底的第一表面上。在吸收-阻擋層被粘附于藍寶石襯底的非限制的示例中,粘接層可以被施加于藍寶石襯底的第一表面,以將吸收-阻擋層粘附至藍寶石襯底。操作302中的吸收-阻擋層的設(shè)置也可以包括在吸收-阻擋層上或內(nèi)形成不透明的或光吸收的材料。在設(shè)置的吸收-阻擋層上或內(nèi)形成的不透明的或光吸收的材料可以促進基于激光的切割操作。在一些情況下,吸收-阻擋層由在不添加另一材料的情況下具有希望的不透明性或光吸收性能的材料形成。如以下更詳細地討論的那樣,吸收-阻擋層可以在藍寶石襯底的隨后加工期間遮蔽或保護藍寶石襯底的第一表面。
[0044]在操作302的一些實施中,可以相對于藍寶石襯底設(shè)置多個吸收-阻擋層。更具體地,吸收-阻擋層可以被設(shè)置于藍寶石襯底的第一表面上,并且另一吸收-阻擋層可以被設(shè)置于藍寶石襯底的第二表面上,與設(shè)置于第一表面上的吸收-阻擋層相對。另外地,多個吸收-阻擋層可以被相對于彼此而設(shè)置并且兩個層都設(shè)置于藍寶石襯底的表面上。
[0045]關(guān)于示例工藝300,在一些實施中,藍寶石襯底被提供為已經(jīng)具有已經(jīng)被形成在一個或更多個表面上的吸收-阻擋層。也就是說,在一些實施中,操作302可由于由上游制造工藝提供或操縱材料的方式而是可選的。例如,在一些情況下,吸收-阻擋層可以在最終的拋光工藝之后立刻形成在藍寶石襯底的表面上,以減少由于對藍寶石襯底的操縱或操控所導(dǎo)致的刮刻或損傷的機會。在一些情況下,吸收-阻擋層可以在激光切割操作304之前及之后保護藍寶石襯底的一個或更多個表面.
[0046]在操作304中,可以對藍寶石襯底執(zhí)行切割??梢允褂萌肷湓谖?阻擋層上的激光束執(zhí)行切割。在一個示例中,可以對藍寶石襯底執(zhí)行熔化激光切割工藝,以切割藍寶石襯底來形成用于電子設(shè)備的藍寶石組件。在一些情況下,在操作304的切割工藝期間,吸收-阻擋層可以從入射的激光束吸收能量并形成局部區(qū)域的熱能。如前面提及的那樣,局部集中的能量可以幫助啟動藍寶石襯底中的切割。一旦切割被啟動,則激光可以穿過材料和/或沿著切割路徑推進切割以形成輪廓(profile)切割。在一些實施中,吸收-阻擋層僅僅在切割啟動期間被利用,并且激光可以推進切割到藍寶石襯底的沒有被吸收-阻擋層涂覆或覆蓋的區(qū)域。在一些實施例中,切割不一直推進穿過藍寶石襯底,并且可以在藍寶石襯底的表面中形成溝槽、溝道或其它類型的凹口。
[0047]在操作306中,一些熔融藍寶石可以從藍寶石襯底中的切割處被形成并且被去除。在一個示例中,熔化切割工藝在操作304中被執(zhí)行。作為熔化切割工藝的一部分,一些熔融藍寶石可以在藍寶石襯底的切割處內(nèi)形成。然后可以使用指向襯底的被切割的部分的氣體射流或氣體流從藍寶石襯底的切割處去除熔融藍寶石。在一些情況下,氣體射流或氣體流可以推動或吹開熔融藍寶石,以便在藍寶石襯底中產(chǎn)生空隙或切割處。
[0048]在一些情形下,使用空氣射流或空氣流從切割處去除熔融藍寶石可以推動熔融藍寶石成為一縷(Plume)小液滴。在一些情況下,熔融藍寶石的液滴落回在切割激光附近的區(qū)域中的襯底上。如前面所討論的那樣,如果熔融藍寶石被沉積于藍寶石襯底的拋光表面上,那么可能需要進一步加工以去除液滴并且將藍寶石襯底恢復(fù)到合適的表面光潔度水平。如以下關(guān)于操作308討論的那樣,設(shè)置于藍寶石襯底的表面上的吸收-阻擋層的使用可以防止這種不希望的結(jié)果。
[0049]在操作308中,藍寶石襯底的第一表面的區(qū)域可以被遮蔽或保護以擋住操作306中從切割處被形成并被去除的熔融藍寶石。在一個示例中,設(shè)置于藍寶石襯底的第一表面上的吸收-阻擋層可以形成阻擋物和/或可以遮蔽藍寶石襯底的第一表面的位置與切割處鄰近的區(qū)域以擋住使用氣體流從切割處去除的熔融藍寶石。在一些情況下,通過氣體流從切割處去除并向上射出的全部的或幾乎全部的熔融藍寶石可由于吸收-阻擋層提供的遮蔽而不被沉積于藍寶石襯底的第一表面上。另外地,從藍寶石襯底的切割處去除的熔融藍寶石可以而是被沉積于吸收-阻擋層上,直到進一步加工吸收-阻擋層和/或藍寶石襯底。
[0050]在一些情況下,吸收-阻擋層由具有幫助或使能操作308中執(zhí)行的工藝的熔點和熱性能的材料形成。特別地,吸收-阻擋層的熔點和熱性能可以幫助吸收-阻擋層維持對藍寶石襯底的第一表面的覆蓋。在一些情況下,吸收-阻擋層在接近切割激光束時抵抗熔融。例如,吸收-阻擋層可以具有這樣的熔點和/或熱性能,其幫助防止或減少吸收-阻擋層將從與激光切割處鄰近的區(qū)域后退開的機會。
[0051]在操作310中,吸收-阻擋層可以從藍寶石襯底的第一表面去除。更具體地,吸收-阻擋層以及沉積于吸收-阻擋層上的任何之前熔融藍寶石液滴可以從藍寶石襯底的第一表面去除。與操作302中設(shè)置吸收-阻擋層的方法相似,去除工藝可以至少部分地依賴于吸收-阻擋層中使用的材料。在非限制的示例中,可以通過從藍寶石襯底的第一表面拋光、磨光(buffing)、磨削、溶解和/或沖洗吸收-阻擋層,包括熔融藍寶石,來去除吸收-阻擋層。在一些情況下,超聲清洗工藝被用于去除吸收-阻擋層。從藍寶石襯底去除吸收-阻擋層(包括任何藍寶石液滴)可以導(dǎo)致形成最終的藍寶石組件,所述最終的藍寶石組件可以基本上沒有由藍寶石襯底的第一表面上形成的恪融藍寶石造成的外表的(cosmetic)、結(jié)構(gòu)的和/或光學(xué)的缺陷。如以上關(guān)于圖1A-B所討論的那樣,藍寶石組件可以被用于形成電子設(shè)備的一個或更多個的保護片。
[0052]轉(zhuǎn)到圖4A-4F,示出藍寶石襯底100和吸收-阻擋層102經(jīng)受可以根據(jù)圖3的工藝300執(zhí)行的各種操作。要理
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