移載裝置的制造方法【
技術(shù)領(lǐng)域：
】[0001]本發(fā)明涉及一種將電子零件自一收容體取出并搭載于另一收容體的移載裝置?！?br>背景技術(shù)：
】[0002]以前，有如下的移載裝置被提出，S卩，一邊將電子零件自收容體中取出并載置于搬送路徑上，一邊在設(shè)定于搬送路徑上的各加工點(diǎn)對(duì)電子零件實(shí)施加工，最后將該電子零件搭載于另一收容體中，上述移載裝置被實(shí)際用于電子零件的制造步驟中。[0003]電子零件是用于電器的零件，包含半導(dǎo)體元件，作為半導(dǎo)體元件，可列舉晶體管、發(fā)光二極管(light-emittingd1de，LED)或集成電路，此外也可列舉電阻或電容器等。收容體例如為晶片片材(wafersheet)、導(dǎo)線架(leadframe)、有機(jī)基板、無(wú)機(jī)基板、粘合性的托盤(pán)、基板、零件給料器(partsfeeder)、或者形成著袋狀物的帶(tape)、托盤(pán)、分類(lèi)箱等捆包容器。作為各加工點(diǎn)的對(duì)電子零件的加工，則有如下各種:外觀檢查、粘接劑涂布、姿勢(shì)確認(rèn)、分類(lèi)、次品的強(qiáng)制排出、對(duì)基板的安裝、電氣特性檢查、加熱或冷卻之類(lèi)的溫度調(diào)整，自電子零件延伸的端子的形狀加工，姿勢(shì)的矯正，作標(biāo)記等。[0004]尤其自晶片片材、托盤(pán)、帶、或零件給料器取出半導(dǎo)體元件，使其表背反轉(zhuǎn)，并經(jīng)由粘接劑而粘接于導(dǎo)線架或安裝基板的移載裝置，被稱(chēng)作粘晶裝置(diebonder)。[0005]作為此種移載裝置，已知如下類(lèi)型，即，具有多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)或旋轉(zhuǎn)式拾取器(rotarypickup)，利用旋轉(zhuǎn)式拾取器供給電子零件，在設(shè)置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的保持部在一條直線上排列的位置處交付電子零件，由此形成一個(gè)搬送路徑(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I至專(zhuān)利文獻(xiàn)3)。[0006]在此，澄清旋轉(zhuǎn)臺(tái)與旋轉(zhuǎn)式拾取器的不同之處。就旋轉(zhuǎn)臺(tái)而言，第一，例如為轉(zhuǎn)塔式臺(tái)(turrettable)且是作為主搬送路徑，第二，為了配置多個(gè)電子零件的加工點(diǎn)而與旋轉(zhuǎn)式拾取器相比大型且重量大，第三，因在加工點(diǎn)對(duì)電子零件進(jìn)行加工的處理單元配置于下方，故保持電子零件的保持機(jī)構(gòu)以與臺(tái)平面正交的方式向下懸掛而配置。另一方面，就旋轉(zhuǎn)式拾取器而言，第一，為對(duì)主搬送路徑供給電子零件的供給用，向來(lái)不形成主搬送路徑，第二，與旋轉(zhuǎn)臺(tái)相比小型且輕量，第三，將保持電子零件的保持機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)平面平行地配置，使保持機(jī)構(gòu)的前端一直朝向外側(cè)。即，旋轉(zhuǎn)式拾取器為對(duì)旋轉(zhuǎn)臺(tái)供給電子零件的供給用，而旋轉(zhuǎn)臺(tái)形成電子零件的主搬送路徑，它們的用途、種類(lèi)、大小不同。[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)I的移載裝置具有拾取器單元與旋轉(zhuǎn)頭，拾取器單元與旋轉(zhuǎn)頭分別沿著圓周將多根噴嘴在與圓周平面正交的方向上延伸而配置。這些拾取器單元與旋轉(zhuǎn)頭以使外周的一部分重疊的方式上下配置，且在重疊部分交付電子零件。拾取器單元進(jìn)行水平旋轉(zhuǎn)，而可連同使噴嘴反轉(zhuǎn)180度，通過(guò)在下方接收電子零件，并將電子零件交付至上方的旋轉(zhuǎn)頭，而完成反轉(zhuǎn)處理。[0008]而且，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2的移載裝置中，水平地設(shè)置著大小不同的3個(gè)以上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)，保持部在與圓周平面正交的方向上延伸。該移載裝置也將旋轉(zhuǎn)臺(tái)上下配置，且在外周的一部分具有重疊的部分。[0009]在專(zhuān)利文獻(xiàn)3的移載裝置中，作為大型的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的保持裝置水平地配置，另一方面，作為小型的旋轉(zhuǎn)式拾取器的吸附裝置垂直地配置。該移載裝置中，也為吸附裝置為對(duì)保持裝置供給電子零件的供給用，保持裝置自供給裝置接收電子零件，并形成電子零件的主搬送路徑，它們的用途、種類(lèi)、大小不同。然而，該移載裝置也將保持裝置與吸附裝置上下配置，且在外周的一部分具有重疊部分。[0010]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)[0011]專(zhuān)利文獻(xiàn)[0012]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利特開(kāi)2000-315856公報(bào)[0013]專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本專(zhuān)利第2667712號(hào)公報(bào)[0014]專(zhuān)利文獻(xiàn)3:日本專(zhuān)利特開(kāi)2011-66277公報(bào)【
發(fā)明內(nèi)容】[0015]發(fā)明所要解決的問(wèn)題[0016]現(xiàn)有的移載裝置中具有多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，在設(shè)置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的保持部在一條直線上排列的位置交付電子零件，由此形成一個(gè)搬送路徑，在此種類(lèi)型的移載裝置中，彼此的旋轉(zhuǎn)臺(tái)會(huì)產(chǎn)生重疊。[0017]移載裝置中需要實(shí)施多種加工，有時(shí)期望將多個(gè)加工點(diǎn)設(shè)置在搬送路徑上。然而，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)的互相重疊的部分，其他旋轉(zhuǎn)臺(tái)或馬達(dá)等成為物理性障礙，使加工點(diǎn)的設(shè)置困難。因此，若嘗試設(shè)置多個(gè)加工點(diǎn)，則無(wú)法避免旋轉(zhuǎn)臺(tái)的大型化。于是，為了設(shè)置移載裝置，大的空間是必需的。[0018]若旋轉(zhuǎn)臺(tái)大型化，則為了達(dá)成旋轉(zhuǎn)臺(tái)的一定以上的旋轉(zhuǎn)速度，大的馬達(dá)是必需的。因此，為了設(shè)置移載裝置，所需的空間將越發(fā)增大。而且，若不使用大的馬達(dá)，則無(wú)法避免旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)速度降低。[0019]如上，在將多個(gè)旋轉(zhuǎn)臺(tái)以上下重疊的方式進(jìn)行配置的移載裝置中，以小型化與加工點(diǎn)的增加來(lái)說(shuō)存在折衷的關(guān)系。本發(fā)明是為了解決如上述的現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而提出，目的在于提供一種可同時(shí)實(shí)現(xiàn)小型化與加工點(diǎn)的增加的移載裝置。[0020]解決問(wèn)題的技術(shù)手段[0021]用以解決上述課題的移載裝置將電子零件自一收容體取出并搭載于另一收容體，上述移載裝置的特征在于包括:保持部，以前端保持并脫離上述電子零件的一面；以及N架(N^2)旋轉(zhuǎn)式拾取器，在旋轉(zhuǎn)軸周?chē)渲枚鄠€(gè)上述保持部，以上述前端一直朝向外側(cè)的方式且以上述旋轉(zhuǎn)軸為中心每次按照規(guī)定角度間歇旋轉(zhuǎn)，通過(guò)上述N架旋轉(zhuǎn)式拾取器的接續(xù)而形成自該一收容體向該另一收容體的上述電子零件的主搬送路徑，相鄰的上述旋轉(zhuǎn)式拾取器以相互不重疊的方式，使上述旋轉(zhuǎn)軸平行而鄰接配置于同一平面上，并且具有雙方所具有的上述保持部的前端相互面對(duì)面且共用的停止位置，將上述停止位置作為交付地點(diǎn)，而交付上述電子零件。[0022]上述旋轉(zhuǎn)式拾取器為自該一收容體對(duì)利用轉(zhuǎn)塔式臺(tái)而形成的主搬送路徑供給上述電子零件的供給用，也可以使上述轉(zhuǎn)塔式臺(tái)被排除，由上述旋轉(zhuǎn)式拾取器自身形成主搬送路徑，自該一收容體向該另一收容體搬送上述電子零件。[0023]上述旋轉(zhuǎn)式拾取器也可配置有奇數(shù)架，與該一收容體相對(duì)應(yīng)而配置的上述旋轉(zhuǎn)式拾取器將自該一收容體取出的上述電子零件的一面加以保持，直到搬送至上述交付地點(diǎn)為止，與該另一收容體相對(duì)應(yīng)而配置的上述旋轉(zhuǎn)式拾取器在上述交付地點(diǎn)保持上述電子零件的相反面，并使上述電子零件向該另一收容體脫離。[0024]上述N架旋轉(zhuǎn)式拾取器也可均為縱向放置而具有垂直的旋轉(zhuǎn)面。[0025]也可在相鄰的上述旋轉(zhuǎn)式拾取器中的任一個(gè)，在相當(dāng)于上述交付地點(diǎn)的上述停止位置進(jìn)而配置進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部，上述進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部使停止在上述停止位置的上述保持部向離開(kāi)上述旋轉(zhuǎn)軸的半徑方向外側(cè)伸出，使得在上述交付地點(diǎn)面對(duì)面的上述保持部中的任一個(gè)送出或接收作為交付對(duì)象的電子零件。[0026]也可以使上述進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部包括產(chǎn)生使上述保持部伸出的推力的馬達(dá)，上述馬達(dá)使上述伸出的保持部的移動(dòng)速度隨著接近面對(duì)面的另一保持部而減慢。[0027]也可以使上述進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部包括音圈馬達(dá)(voicecoilmotor)，上述音圈馬達(dá)控制上述伸出的保持部對(duì)作為交付對(duì)象的上述電子零件賦予的負(fù)載。[0028]也可以使上述音圈馬達(dá)在尚未到達(dá)上述作為交付對(duì)象的電子零件的狀態(tài)下，對(duì)上述保持部賦予自上述保持部受到的抵抗力的對(duì)抗推力，而吸收上述作為交付對(duì)象的電子零件與上述保持部的沖撞。[0029]也可以使上述進(jìn)退驅(qū)動(dòng)部包括音圈馬達(dá)，上述音圈馬達(dá)在尚未到達(dá)上述作為交付對(duì)象的電子零件的狀態(tài)下，對(duì)上述保持部賦予自上述保持部受到的抵抗力的對(duì)抗推力，且基于通過(guò)上述作為交付對(duì)象的電子零件與上述保持部的接觸而產(chǎn)生的上述音圈馬達(dá)的舉動(dòng)變化，來(lái)決定用以使上述保持部伸出的上述馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)量。[0030]也可以使上述N架旋轉(zhuǎn)式拾取器為基于同一設(shè)計(jì)圖而成的同一產(chǎn)品。[0031]也可以使上述移載裝置還包括一個(gè)共用的支架，上述支架限制上述第一旋轉(zhuǎn)式拾取器及第二旋轉(zhuǎn)式拾取器的旋轉(zhuǎn)軸的位置。[0032]也可以在上述N架旋轉(zhuǎn)式拾取器中的第奇數(shù)個(gè)排列的一架旋轉(zhuǎn)式拾取器及第偶數(shù)個(gè)排列的一架旋轉(zhuǎn)式拾取器上，分別配置著對(duì)電子零件的外觀進(jìn)行攝影的攝影光學(xué)系統(tǒng)。[0033]也可以使一攝影光學(xué)系統(tǒng)對(duì)上述電子零件的上述一面以外的五面進(jìn)行攝影，另一攝影光學(xué)系統(tǒng)對(duì)上述電子零件的上述一面進(jìn)行攝影。而且，也可為一攝影光學(xué)系統(tǒng)對(duì)上述電子零件的上述相反面以外的五面進(jìn)行攝影，另一攝影光學(xué)系統(tǒng)對(duì)上述電子零件的上述相反面進(jìn)行攝影。[0034]也可以使在與該另一收容體相對(duì)應(yīng)而配置的旋轉(zhuǎn)式拾取器中，配置著對(duì)電子零件的姿勢(shì)進(jìn)行攝影的攝影光學(xué)系統(tǒng)，使該另一收容體以與被攝影的姿勢(shì)中的位置及旋轉(zhuǎn)一致的方式進(jìn)行二維方向移動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。[0035]該一收容體及該另一收容體也可為晶片片材、導(dǎo)線架、有機(jī)基板、無(wú)機(jī)基板、粘合性的托盤(pán)、基板、零件給料器、或者形成著袋狀物的帶、托盤(pán)、分類(lèi)箱中的任一種或兩種的組入口O[0036]也可在與該另一收容體相對(duì)應(yīng)而配置的旋轉(zhuǎn)式拾取器中，配置著對(duì)上述電子零件涂布粘接劑的膏涂布裝置。[0037]發(fā)明的效果[0038]根據(jù)本發(fā)明，在旋轉(zhuǎn)式拾取器中不存在無(wú)法設(shè)置加工點(diǎn)的重疊部分，在能設(shè)置更多的加工點(diǎn)的同時(shí)無(wú)須使直徑大型化，從而可實(shí)現(xiàn)省空間化。此外，通過(guò)旋轉(zhuǎn)式拾取器的小型化，不但能實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)式拾取器的縱向放置，也可實(shí)現(xiàn)馬達(dá)的小型化。因此，使得更為省空間化。進(jìn)而，若可使旋轉(zhuǎn)式拾取器小型化，則也可提高旋轉(zhuǎn)式拾取器的旋轉(zhuǎn)速度，從而使電子零件的搬送速度提高?！靖綀D說(shuō)明】[0039]圖1是表示本實(shí)施形態(tài)的移載裝置的整體構(gòu)成的正面圖。[0040]圖2是旋轉(zhuǎn)式拾取器的前視圖。[0041]圖3是旋轉(zhuǎn)式拾取器的側(cè)視圖。[0042]圖4是旋轉(zhuǎn)式拾取器的俯視圖。[0043]圖5是表示進(jìn)退驅(qū)動(dòng)裝置的立體圖。[0044]圖6是表示支架的立體圖。[0045]圖7是表示移載裝置的動(dòng)作的說(shuō)明圖。[0046]圖8是表示搭載著電子零件的收容體的移動(dòng)的立體圖。[0047]圖9是表示進(jìn)退驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作的示意圖。[0048]圖10是表示搭載著電子零件的收容體的移動(dòng)的俯視圖。[0049]圖11是表示移載裝置的另一例的示意圖。[0050]圖12是表示移載裝置的又一例的示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】[0051](1.整體構(gòu)成)[0052]以下，一邊參照附圖一邊對(duì)本發(fā)明的移載裝置的本實(shí)施形態(tài)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。圖1是表示本實(shí)施形態(tài)的移載裝置I的整體構(gòu)成的前視圖。移載裝置I將電子零件W自一收容體5a取出，并經(jīng)由各種加工點(diǎn)而搭載于另一收容體5b。[0053]電子零件W為用于電器的零件，可列舉半導(dǎo)體元件及半導(dǎo)體元件以外的電阻或電容器等。作為半導(dǎo)體元件，可列舉晶體管、二極管、LED、電容器、及晶閘管等離散半導(dǎo)體(discretesemiconductor)，集成電路(integratedcircuit，IC)或大規(guī)模集成電路(large-scaleintegratedcircuit，LSI)等集成電路等。收容體5a、收容體5b例如為晶片片材、導(dǎo)線架、有機(jī)基板、無(wú)機(jī)基板、粘合性的托盤(pán)、基板、零件給料器、或者形成著袋狀物的帶、托盤(pán)、分類(lèi)箱等捆包容器。本實(shí)施形態(tài)中，將當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3 4 5