本發(fā)明涉及圖形化加工，尤其涉及一種圖形加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、激光加工技術(shù)是利用高功率密度的激光束照射工件，使工件材料熔化氣化進(jìn)行加工。但這種方法加工精度受限，因此如何提升精細(xì)化的圖形加工是當(dāng)下的研究重點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實(shí)施例提供了一種圖形加工系統(tǒng)，通過光束整形模塊和光線調(diào)整模塊保證高能量的圖形加工，再利用掩膜版可以提升加工精度。

2、第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種圖形加工系統(tǒng)，包括光學(xué)模組和工作臺(tái)，所述光學(xué)模組包括光源和圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述光源出射的激光通過所述圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)傳輸至所述工作臺(tái)，所述工作臺(tái)承載待加工工件；

3、所述圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)包括光束整形組件和圖形加工組件，所述光束整形組件和所述圖形加工組件位于所述激光的傳輸路徑上，所述光束整形組件位于所述光源和所述圖形加工組件之間；

4、其中，所述光束整形組件包括光束整形模塊，所述光束整形模塊用于將傳輸至所述光束整形組件的所述激光調(diào)整為平頂光束；所述圖形加工組件包括光線調(diào)整模塊和掩膜版，所述光線調(diào)整模塊用于將所述平頂光束調(diào)整至所述掩膜版處，所述平頂光束通過所述掩膜版對(duì)所述待加工工件進(jìn)行圖形加工。

5、可選的，所述光線調(diào)整模塊包括振鏡單元和場(chǎng)鏡單元；在所述激光的傳輸路徑上，所述振鏡單元位于所述場(chǎng)鏡單元靠近所述光源的一側(cè)。

6、可選的，所述光束整形模塊包括衍射光學(xué)元件、勻光棒或者柱面鏡中至少一種。

7、可選的，所述光束整形組件還包括分束元件和擴(kuò)束元件；

8、在所述激光的傳輸路徑上，所述分束元件位于所述擴(kuò)束元件靠近所述光源的一側(cè)，所述擴(kuò)束元件位于所述光束整形模塊靠近所述光源的一側(cè)。

9、可選的，所述分束元件包括偏振分束器或者衰減器中至少一種；

10、所述擴(kuò)束元件包括n變倍擴(kuò)束元件；其中，n≥1，且n為正整數(shù)。

11、可選的，所述光束整形組件還包括光路調(diào)整元件；在所述激光的傳輸路徑上，所述光路調(diào)整元件位于所述分束元件和所述擴(kuò)束元件之間。

12、可選的，所述光路調(diào)整元件包括至少一個(gè)反射鏡，所述反射鏡用于調(diào)整光路。

13、可選的，所述光束整形組件還包括開關(guān)元件；在所述激光的傳輸路徑上，所述開關(guān)元件位于所述分束元件和所述擴(kuò)束元件之間。

14、可選的，所述開關(guān)元件包括光閘。

15、可選的，所述光源采用脈沖激光器。

16、本發(fā)明實(shí)施例提供一種圖形加工系統(tǒng)，圖形加工系統(tǒng)包括光學(xué)模組和工作臺(tái)，光學(xué)模組中光源聽過圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)將光源輸出的激光傳輸至工作臺(tái)處，并且對(duì)工作臺(tái)上放置的待加工工件進(jìn)行圖形加工；具體的，圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)包括光束整形組件和圖形加工組件，圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)用于將傳輸至光束整形組件的激光調(diào)整為平頂光束，即可以將高斯光束整形為平頂光束，使得激光的能量分布均勻，最大程度降低光能量對(duì)掩膜版的損傷，保證對(duì)待加工的圖形加工效果；進(jìn)一步的，圖形加工組件包括光線調(diào)整模塊和掩膜版，通過光線調(diào)整模塊和掩膜版的配合，實(shí)現(xiàn)工件的圖形化加工，利用掩膜版的高精度，實(shí)現(xiàn)精細(xì)化圖形的加工，總的來說，本發(fā)明實(shí)施例提供的圖形加工系統(tǒng)可以體現(xiàn)對(duì)待加工工件的圖形加工精度，即保證圖形加工的效果。

技術(shù)特征：

1.一種圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，包括光學(xué)模組和工作臺(tái)，所述光學(xué)模組包括光源和圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)，所述光源出射的激光通過所述圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)傳輸至所述工作臺(tái)，所述工作臺(tái)承載待加工工件；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光線調(diào)整模塊包括振鏡單元和場(chǎng)鏡單元；在所述激光的傳輸路徑上，所述振鏡單元位于所述場(chǎng)鏡單元靠近所述光源的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光束整形模塊包括衍射光學(xué)元件、勻光棒或者柱面鏡中至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光束整形組件還包括分束元件和擴(kuò)束元件；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述分束元件包括偏振分束器或者衰減器中至少一種；

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光束整形組件還包括光路調(diào)整元件；在所述激光的傳輸路徑上，所述光路調(diào)整元件位于所述分束元件和所述擴(kuò)束元件之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光路調(diào)整元件包括至少一個(gè)反射鏡，所述反射鏡用于調(diào)整光路。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光束整形組件還包括開關(guān)元件；在所述激光的傳輸路徑上，所述開關(guān)元件位于所述分束元件和所述擴(kuò)束元件之間。

9.根據(jù)權(quán)利要8所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述開關(guān)元件包括光閘。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖形加工系統(tǒng)，其特征在于，所述光源采用脈沖激光器。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種圖形加工系統(tǒng)，圖形加工系統(tǒng)包括光學(xué)模組和工作臺(tái)，光學(xué)模組包括光源和圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)，光源出射的激光通過圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)傳輸至工作臺(tái)，工作臺(tái)承載待加工工件；圖形調(diào)整結(jié)構(gòu)包括光束整形組件和圖形加工組件，光束整形組件和圖形加工組件位于激光的傳輸路徑上，光束整形組件位于光源和所述圖形加工組件之間；光束整形組件包括光束整形模塊，光束整形模塊用于將傳輸至光束整形組件的激光調(diào)整為平頂光束；圖形加工組件包括光線調(diào)整模塊和掩膜版，光線調(diào)整模塊用于將平頂光束調(diào)整至掩膜版處，平頂光束通過掩膜版對(duì)待加工工件進(jìn)行圖形加工。通過光束整形模塊和光線調(diào)整模塊保證高能量的圖形加工，再利用掩膜版可以提升加工精度。

技術(shù)研發(fā)人員：蔡志兵,尹杰,張健
受保護(hù)的技術(shù)使用者：雷澤新能源科技（江蘇）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/26