本發(fā)明涉及激光切割技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種激光切割濾光片的方法和系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的手機(jī)攝像頭大多采用藍(lán)玻璃濾光片吸收紅外光來(lái)濾除進(jìn)入鏡頭的可見光中的紅外光，以避免紅外光影響拍攝圖像的質(zhì)量。進(jìn)一步地，為了增加藍(lán)玻璃濾光片的透光率、提升拍攝圖像的亮度，現(xiàn)有技術(shù)中還會(huì)在濾光片的表面貼附增透膜。

在將上述濾光片應(yīng)用到手機(jī)攝像頭之前，需對(duì)濾光片進(jìn)行切割，以使濾光片的尺寸滿足攝像頭的要求?，F(xiàn)有技術(shù)中公開了一種采用激光對(duì)貼附有增透膜的濾光片進(jìn)行切割的方法，但是，由于其激光的聚焦光斑較大，因此，會(huì)對(duì)濾光片表面的增透膜造成損傷，并且，采用聚焦光斑較大的激光對(duì)具有一定厚度的濾光片進(jìn)行切割時(shí)，會(huì)導(dǎo)致濾光片的切割溝道寬度較大，進(jìn)而造成濾光片材料的浪費(fèi)，降低濾光片的出片率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供了一種激光切割濾光片的方法和系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的激光聚焦光斑較大造成的濾光片表面增透膜損傷和切割溝道較寬的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種激光切割濾光片的方法，所述濾光片包括相對(duì)的第一表面和第二表面，所述第一表面和/或所述第二表面具有增透膜，所述方法包括：

將所述濾光片貼合在擴(kuò)展薄膜上；

采用聚光元件將皮秒激光器出射的激光聚焦到所述濾光片的內(nèi)部，以在所述濾光片內(nèi)部形成爆裂點(diǎn)；

采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)所述濾光片沿著預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，以使多個(gè)所述爆裂點(diǎn)在所述濾光片內(nèi)部形成爆裂帶；

均勻拉伸所述擴(kuò)展薄膜，使所述濾光片沿著所述爆裂帶分離；

其中，所述第一表面到所述爆裂帶的距離大于或等于第一預(yù)設(shè)值，所述第二表面到所述爆裂帶的距離大于或等于所述第一預(yù)設(shè)值。

優(yōu)選的，采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)所述濾光片沿著預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，以使多個(gè)所述爆裂點(diǎn)在所述濾光片內(nèi)部形成爆裂帶，包括：

采用所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)所述濾光片在第一方向和/或第二方向上運(yùn)動(dòng)，以在所述濾光片內(nèi)部形成一條所述爆裂帶。

優(yōu)選的，還包括：

采用所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)所述濾光片在第三方向上運(yùn)動(dòng)，以在所述濾光片內(nèi)部形成沿所述第三方向依次排列的多條爆裂帶，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向所在的平面；

其中，相鄰的兩條所述爆裂帶之間部分重疊或者完全不重疊，且當(dāng)相鄰的兩條所述爆裂帶之間完全不重疊時(shí)，相鄰的兩條所述爆裂帶之間的距離等于第二預(yù)設(shè)值。

優(yōu)選的，所述第一預(yù)設(shè)值等于40μm；

所述第二預(yù)設(shè)值等于0，或者，所述第二預(yù)設(shè)值大于或等于10μm、小于或等于30μm。

優(yōu)選的，相鄰的兩個(gè)所述爆裂點(diǎn)之間的距離為6μm～15μm；

所述爆裂點(diǎn)在所述濾光片厚度方向的長(zhǎng)度為20μm～50μm。

優(yōu)選的，聚焦在所述濾光片內(nèi)部的激光光斑的直徑小于5μm。

一種激光切割濾光片的系統(tǒng)，所述濾光片包括相對(duì)的第一表面和第二表面，所述第一表面和/或所述第二表面具有增透膜，所述系統(tǒng)包括：

皮秒激光器，用于出射激光；

聚光元件，用于將所述皮秒激光器出射的激光聚焦到所述濾光片的內(nèi)部，以在所述濾光片內(nèi)部形成爆裂點(diǎn)；

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于帶動(dòng)所述濾光片沿預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，以使多個(gè)所述爆裂點(diǎn)在所述濾光片內(nèi)部形成爆裂帶；

擴(kuò)展薄膜，用于貼合所述濾光片；

擴(kuò)膜器件，用于均勻拉伸所述擴(kuò)展薄膜，以使所述濾光片沿著所述爆裂帶分離；

其中，所述第一表面到所述爆裂帶的距離大于或等于第一預(yù)設(shè)值，所述第二表面到所述爆裂帶的距離大于或等于所述第一預(yù)設(shè)值。

優(yōu)選的，所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)用于帶動(dòng)所述濾光片在第一方向和/或第二方向上運(yùn)動(dòng)，以在所述濾光片內(nèi)部形成一條所述爆裂帶；

所述運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還用于帶動(dòng)所述濾光片在第三方向上運(yùn)動(dòng)，以在所述濾光片內(nèi)部形成沿所述第三方向依次排列的多條爆裂帶，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向所在的平面；

其中，相鄰的兩條所述爆裂帶之間部分重疊或者完全不重疊，且當(dāng)相鄰的兩條所述爆裂帶之間完全不重疊時(shí)，相鄰的兩條所述爆裂帶之間的距離等于第二預(yù)設(shè)值。

優(yōu)選的，所述第一預(yù)設(shè)值等于40μm；

所述第二預(yù)設(shè)值等于0，或者，所述第二預(yù)設(shè)值大于或等于10μm、小于或等于30μm。

優(yōu)選的，相鄰的兩個(gè)所述爆裂點(diǎn)之間的距離為6μm～15μm；

所述爆裂點(diǎn)在所述濾光片厚度方向的長(zhǎng)度為20μm～50μm；

聚焦在所述濾光片內(nèi)部的聚焦光斑的直徑小于5μm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明所提供的激光切割濾光片的方法和系統(tǒng)，采用皮秒激光器出射激光，采用聚光元件對(duì)激光進(jìn)行聚焦，由于聚焦后的激光光斑較小，因此，形成的爆裂帶即切割溝道的寬度較小，從而可以減少材料的損耗、提高出片率；并且，由于濾光片內(nèi)部的爆裂帶到第一表面和第二表面的距離都大于或等于第一預(yù)設(shè)值，即爆裂帶并未延伸至第一表面和/或第二表面的增透膜，因此，不會(huì)對(duì)第一表面和/或第二表面的增透膜造成損傷；此外，通過(guò)均勻拉伸擴(kuò)展薄膜，使得濾光片內(nèi)部的爆裂帶向上下兩個(gè)表面即第一表面和第二表面擴(kuò)散產(chǎn)生應(yīng)力釋放來(lái)實(shí)現(xiàn)裂片分離，可以使得濾光片的斷裂面均勻無(wú)錐度，更符合實(shí)際應(yīng)用的需求。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的激光切割濾光片的方法的流程圖；

圖3a至圖3c為本發(fā)明實(shí)施例提供的激光切割濾光片的過(guò)程示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的具有爆裂帶的濾光片的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5a至圖5d為本發(fā)明實(shí)施例提供的具有爆裂帶的濾光片的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種激光切割濾光片的方法，該濾光片優(yōu)選為藍(lán)玻璃濾光片，其通過(guò)吸收紅外光來(lái)濾除可見光中的紅外光，當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，該濾光片還可以是通過(guò)反射紅外光來(lái)濾除可見光中的紅外光的濾光片。

進(jìn)一步地，如圖1所示，濾光片1包括相對(duì)的兩個(gè)表面，即第一表面a1和第二表面a1，并且，第一表面a1具有增透膜10，本實(shí)施例中僅以此為例進(jìn)行說(shuō)明，并不僅限于此。本發(fā)明中，濾光片1的第一表面a1和/或第二表面a2具有增透膜10，即第一表面a1或第二表面a2具有增透膜10，或者，第一表面a1和第二表面a2都具有增透膜10，以通過(guò)該增透膜10增加濾光片1的透光率。

本實(shí)施例中的激光切割濾光片的方法，如圖2所示，包括：

s101：將濾光片貼合在擴(kuò)展薄膜上；

s102：采用聚光元件將皮秒激光器出射的激光聚焦到濾光片的內(nèi)部，以在濾光片內(nèi)部形成爆裂點(diǎn)；

s103：采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)濾光片沿著預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，以使多個(gè)爆裂點(diǎn)在濾光片內(nèi)部形成爆裂帶；

s104：均勻拉伸擴(kuò)展薄膜，使濾光片沿著爆裂帶分離；

其中，所述第一表面到所述爆裂帶的距離大于或等于第一預(yù)設(shè)值，所述第二表面到所述爆裂帶的距離大于或等于所述第一預(yù)設(shè)值。

下面結(jié)合濾光片1的結(jié)構(gòu)來(lái)對(duì)激光切割濾光片1的過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。

首先，如圖3a所示，將待切割的濾光片1貼合在擴(kuò)展薄膜2上，其中，可將濾光片1的第一表面a1貼合在擴(kuò)展薄膜2上，也可將濾光片1的第二表面a2貼合在擴(kuò)展薄膜2上，本發(fā)明并不僅限于此。

然后，如圖3b所示，將貼合有濾光片1的擴(kuò)展薄膜2吸附運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3上，具體地，可先將貼合有濾光片1的擴(kuò)展薄膜2吸附在真空陶瓷吸盤上，然后再將真空陶瓷吸盤固定在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3上?；诖耍N合有濾光片1的擴(kuò)展薄膜2可在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3的帶動(dòng)下沿預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，例如，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1沿濾光片1的厚度方向即z軸方向移動(dòng)，以使激光在濾光片1內(nèi)部的一定深度處形成爆裂點(diǎn)b。其中，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3可在直線電機(jī)的帶動(dòng)下沿x軸、y軸和z軸方向移動(dòng)，即運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3可帶動(dòng)濾光片1沿x軸、y軸和z軸方向移動(dòng)，其中，x軸和y軸所在的平面與濾光片1所在的平面平行，z軸垂直于x軸和y軸所在的平面即垂直于濾光片1。

之后，如圖3c所示，開啟皮秒激光器4，調(diào)節(jié)皮秒激光器4的功率等，并采用位于皮秒激光器4出光光路上的聚光元件5如物鏡將皮秒激光器4出射的激光聚焦到濾光片1的內(nèi)部，以在濾光片1內(nèi)部形成爆裂點(diǎn)b。其中，激光通過(guò)對(duì)濾光片1內(nèi)部的材料進(jìn)行改質(zhì)或氣化來(lái)形成爆裂點(diǎn)b?？蛇x地，皮秒激光器4出射的激光波長(zhǎng)范圍為400nm～700nm，優(yōu)選為532nm；聚焦后的激光光斑的直徑小于5μm，優(yōu)選小于3μm，進(jìn)一步優(yōu)選為2μm～3μm；單個(gè)激光脈沖的寬度小于15ps，單個(gè)激光脈沖的能量約為1μj～25μj。

然后，采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1沿著預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，例如，沿著x軸和/或y軸方向移動(dòng)，以使多個(gè)爆裂點(diǎn)b在濾光片1內(nèi)部形成爆裂帶c。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖4所示，爆裂帶c為橫豎排列的直線線條，以將濾光片1分裂成多個(gè)方形的小塊，當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，爆裂帶c可以為曲線，以將濾光片1分割成不規(guī)則的形狀。該爆裂帶c由多個(gè)爆裂點(diǎn)b組成，由于爆裂點(diǎn)b的應(yīng)力向?yàn)V光片1上下兩個(gè)表面即第一表面a1和第二表面a2擴(kuò)散，因此，沿圓周方向均勻拉伸擴(kuò)展薄膜2后，在擴(kuò)展薄膜2的拉伸作用下，濾光片1可以沿著爆裂帶c裂片分離，從而實(shí)現(xiàn)了濾光片1的切割分離。

本實(shí)施例中，主要采用擴(kuò)膜機(jī)沿圓周方向拉伸擴(kuò)展薄膜2，當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，還可以采用其他擴(kuò)膜器件拉伸擴(kuò)展薄膜2。

需要說(shuō)明的是，在激光切割濾光片1形成爆裂帶c的過(guò)程中，相鄰的激光脈沖的作用間距即相鄰的兩個(gè)爆裂點(diǎn)b之間的距離不能太密或太疏，若太疏，則濾光片1不易分裂開或不能按照爆裂帶c分離開，若太密，則濾光片1的邊緣容易崩裂。可選地，本實(shí)施例中，如圖4所示，相鄰的兩個(gè)爆裂點(diǎn)b之間的距離l1為6μm～15μm。

此外，本實(shí)施例中，可以通過(guò)調(diào)節(jié)皮秒激光器4的功率以及選擇合適參數(shù)的聚光元件5等，來(lái)控制單個(gè)激光脈沖在濾光片1內(nèi)部形成的爆裂點(diǎn)b在濾光片1厚度方向上的長(zhǎng)度?？蛇x地，如圖3c所示，本實(shí)施例中的爆裂點(diǎn)b在濾光片1厚度方向上的長(zhǎng)度l2范圍為20μm～50μm。若長(zhǎng)度l2大于50μm，則激光能量會(huì)在長(zhǎng)度方向上分散，爆裂應(yīng)力不足以裂片分離；若長(zhǎng)度l2小于20μm，則對(duì)于相同厚度的濾光片1而言，需進(jìn)行多次切割才能分離濾光片，會(huì)影響濾光片1的切割效率。需要說(shuō)明的是，爆裂點(diǎn)b的直徑是由激光光斑直徑?jīng)Q定的，即爆裂點(diǎn)b的直徑在小于5μm的范圍。

對(duì)于較薄的濾光片1而言，只需采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在第一方向即x軸，和/或，第二方向即y軸上運(yùn)動(dòng)，在濾光片1內(nèi)部的某一深度上形成一條爆裂帶c，即可實(shí)現(xiàn)濾光片1的裂片分離，如圖5a所示。但是，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，對(duì)于較厚的濾光片1而言，還需采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在第三方向即z軸上運(yùn)動(dòng)，在濾光片1內(nèi)部形成沿第三方向z軸依次排列的多條爆裂帶c，來(lái)實(shí)現(xiàn)濾光片1的裂片分離，如圖5b至5d所示，其中，第三方向即z軸垂直于第一方向即x軸和第二方向即y軸所在的平面。

在圖5a所示的結(jié)構(gòu)中，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3先帶動(dòng)濾光片1在z軸上移動(dòng)，當(dāng)激光在濾光片1內(nèi)部一深度處聚焦后，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在x軸和y軸上移動(dòng)，以在濾光片1的同一深度處形成一條爆裂帶c。在圖5b至圖5d所示的結(jié)構(gòu)中，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在z軸上移動(dòng)，當(dāng)激光在濾光片1內(nèi)部第一深度處聚焦后，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在x軸和y軸上移動(dòng)，在濾光片1的第一深度處形成一條爆裂帶c1，然后，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在z軸上移動(dòng)，當(dāng)激光在濾光片1內(nèi)部第二深度處聚焦后，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在x軸和y軸上移動(dòng)，在濾光片1的第二深度處形成一條爆裂帶c2。

進(jìn)一步地，如圖5b所示，相鄰的兩條爆裂帶如c1和c2之間部分重疊，當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，相鄰的兩條爆裂帶如c1和c2之間可以完全不重疊，如圖5c和5d所示。當(dāng)相鄰的兩條爆裂帶之間完全不重疊時(shí)，相鄰的兩條爆裂帶之間的距離等于第二預(yù)設(shè)值。

其中，第二預(yù)設(shè)值可以等于0，如圖5c所示，相鄰的兩條爆裂帶緊密銜接但不重疊，或者，第二預(yù)設(shè)值可以大于等于10μm、小于等于30μm，即相鄰的兩條爆裂帶之間具有一定間距，且該間距l(xiāng)3大于等于10μm、小于等于30μm。進(jìn)一步地，第二預(yù)設(shè)值優(yōu)選為大于等于15μm、小于等于30μm。

并且，在上述任一實(shí)施例中，第一預(yù)設(shè)值等于40μm，即爆裂帶到第一表面a1的距離d1大于或等于40μm，并且，爆裂帶到第二表面a2的距離d2大于或等于40μm，以避免激光光斑對(duì)濾光片1表面的增透膜造成損傷。

本發(fā)明實(shí)施例所提供的激光切割濾光片的方法，采用皮秒激光器出射激光，采用聚光元件對(duì)激光進(jìn)行聚焦，由于聚焦后的激光光斑較小，因此，形成的爆裂帶即切割溝道的寬度較小，從而可以減少材料的損耗、提高出片率；并且，由于濾光片內(nèi)部的爆裂帶到第一表面和第二表面的距離都大于或等于第一預(yù)設(shè)值，即爆裂帶并未延伸至第一表面和/或第二表面的增透膜，因此，不會(huì)對(duì)第一表面和/或第二表面的增透膜造成損傷；此外，通過(guò)均勻拉伸擴(kuò)展薄膜，使得濾光片內(nèi)部的爆裂帶向上下兩個(gè)表面即第一表面和第二表面擴(kuò)散產(chǎn)生應(yīng)力釋放來(lái)實(shí)現(xiàn)裂片分離，可以使得濾光片的斷裂面均勻無(wú)錐度，更符合實(shí)際應(yīng)用的需求。此外，采用激光聚焦在濾光片內(nèi)部進(jìn)行切割，無(wú)切割粉塵，切割環(huán)境較清潔。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種激光切割濾光片的系統(tǒng)，應(yīng)用于上述任一實(shí)施例提供的方法，同樣，如圖1所示，濾光片1包括相對(duì)的兩個(gè)表面，即第一表面a1和第二表面a1，并且，濾光片1的第一表面a1和/或第二表面a2具有增透膜10，以增加濾光片1的透光率。

如圖3c所示，該系統(tǒng)包括皮秒激光器4、聚光元件5、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3、擴(kuò)展薄膜2和擴(kuò)膜器件(圖中未示出)，皮秒激光器4用于出射激光；聚光元件5用于將皮秒激光器4出射的激光聚焦到濾光片1的內(nèi)部，以在濾光片1內(nèi)部形成爆裂點(diǎn)b；運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3用于帶動(dòng)濾光片1沿預(yù)設(shè)軌跡運(yùn)動(dòng)，以使多個(gè)爆裂點(diǎn)b在濾光片1內(nèi)部形成爆裂帶c；擴(kuò)展薄膜2用于貼合濾光片1；擴(kuò)膜器件，用于均勻拉伸擴(kuò)展薄膜2，以使濾光片1沿著爆裂帶c分離；其中，第一表面a1到爆裂帶c的距離d1大于或等于第一預(yù)設(shè)值，第二表面a2到爆裂帶c的距離大于或等于第一預(yù)設(shè)值。

可選地，皮秒激光器4出射的激光波長(zhǎng)范圍為400nm～700nm，優(yōu)選為532nm；聚焦后的激光光斑的直徑小于5μm，優(yōu)選小于3μm，進(jìn)一步優(yōu)選為2μm～3μm；單個(gè)激光脈沖的寬度小于15ps，單個(gè)激光脈沖的能量約為1μj～25μj。

可選地，本實(shí)施例中的擴(kuò)膜器件為擴(kuò)膜機(jī)。

可選地，本實(shí)施例中，相鄰的激光脈沖的作用間距即相鄰的兩個(gè)爆裂點(diǎn)b之間的距離l1為6μm～15μm；爆裂點(diǎn)b在濾光片1厚度方向上的長(zhǎng)度l2的范圍為20μm～50μm。

本實(shí)施例中，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3用于帶動(dòng)濾光片1在第一方向即x軸，和/或，第二方向即y軸上運(yùn)動(dòng)，以在濾光片1內(nèi)部某一深度處形成一條爆裂帶c；此外，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3還用于帶動(dòng)濾光片1在第三方向即z軸上運(yùn)動(dòng)，以在濾光片1內(nèi)部形成沿第三方向即z軸依次排列的多條爆裂帶，其中，第三方向即z軸垂直于第一方向即x軸和第二方向即y軸所在的平面。

對(duì)于較薄的濾光片1而言，只需采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在第一方向即x軸，和/或，第二方向即y軸上運(yùn)動(dòng)，在濾光片1內(nèi)部的某一深度上形成一條爆裂帶c，即可實(shí)現(xiàn)濾光片1的裂片分離，如圖5a所示。但是，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，對(duì)于較厚的濾光片1而言，還需采用運(yùn)動(dòng)平臺(tái)3帶動(dòng)濾光片1在第三方向即z軸上運(yùn)動(dòng)，在濾光片1內(nèi)部形成沿第三方向z軸依次排列的多條爆裂帶如c1和c2，來(lái)實(shí)現(xiàn)濾光片1的裂片分離，如圖5b至5d所示，其中，第三方向即z軸垂直于第一方向即x軸和第二方向即y軸所在的平面。

進(jìn)一步地，如圖5b所示，相鄰的兩條爆裂帶如c1和c2之間部分重疊，當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，相鄰的兩條爆裂帶如c1和c2之間可以完全不重疊，如圖5c和5d所示。當(dāng)相鄰的兩條爆裂帶之間完全不重疊時(shí)，相鄰的兩條爆裂帶之間的距離等于第二預(yù)設(shè)值。

其中，第二預(yù)設(shè)值可以等于0，如圖5c所示，相鄰的兩條爆裂帶緊密銜接但不重疊，或者，第二預(yù)設(shè)值可以大于等于10μm、小于等于30μm，即相鄰的兩條爆裂帶之間具有一定間距，且該間距l(xiāng)3大于等于10μm、小于等于30μm。進(jìn)一步地，第二預(yù)設(shè)值優(yōu)選為大于等于15μm、小于等于30μm。

并且，在上述任一實(shí)施例中，第一預(yù)設(shè)值等于40μm，即爆裂帶到第一表面a1的距離d1大于或等于40μm，并且，爆裂帶到第二表面a2的距離d2大于或等于40μm，以避免激光光斑對(duì)濾光片1表面的增透膜造成損傷。

本發(fā)明實(shí)施例所提供的激光切割濾光片的系統(tǒng)，由于聚焦后的激光光斑較小，因此，形成的爆裂帶即切割溝道的寬度較小，從而可以減少材料的損耗、提高出片率；并且，由于濾光片內(nèi)部的爆裂帶到第一表面和第二表面的距離都大于或等于第一預(yù)設(shè)值，即爆裂帶并未延伸至第一表面和/或第二表面的增透膜，因此，不會(huì)對(duì)第一表面和/或第二表面的增透膜造成損傷；此外，通過(guò)均勻拉伸擴(kuò)展薄膜，使得濾光片內(nèi)部的爆裂帶向上下兩個(gè)表面即第一表面和第二表面擴(kuò)散產(chǎn)生應(yīng)力釋放來(lái)實(shí)現(xiàn)裂片分離，可以使得濾光片的斷裂面均勻無(wú)錐度，更符合實(shí)際應(yīng)用的需求。

本說(shuō)明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)于實(shí)施例公開的裝置而言，由于其與實(shí)施例公開的方法相對(duì)應(yīng)，所以描述的比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見方法部分說(shuō)明即可。

對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。