技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種基于激光沖擊波的薄膜元件力學(xué)性能后處理方法，以未進(jìn)行激光沖擊波后處理時(shí)薄膜元件的力學(xué)特性R0、A0、B0、H0和抗激光損傷能力F0、G0為基準(zhǔn)，分別獲得E0、Em和ΔE對(duì)S次激光沖擊波處理后樣品力學(xué)性能Rs、AS、Bs、HS和抗激光損傷能力FS、GS的影響規(guī)律；根據(jù)力學(xué)性能和抗激光損傷能力的提升情況，對(duì)初始激光能量E0、能量遞增梯度ΔE和最大激光能量Em進(jìn)行優(yōu)化，當(dāng)薄膜元件力學(xué)性能和抗激光損傷能力不再提升，且滿足實(shí)驗(yàn)樣品的要求時(shí)，停止循環(huán)，完成薄膜元件力學(xué)性能后處理。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了對(duì)高功率光學(xué)薄膜元件力學(xué)性能的改善，解決了光學(xué)薄膜元件附著力、膜層結(jié)合力、殘余應(yīng)力等力學(xué)性能目前缺乏有效手段控制的難題。

技術(shù)研發(fā)人員：劉文文;曹宇;張健;朱德華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：溫州大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710092401
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.20
技術(shù)公布日：2017.06.30