本實用新型涉及激光劃片領域，具體涉及一種晶圓劃片機。

背景技術：

二維直線電機平臺已廣泛的運用在LED晶圓劃片機上。目前LED市場對LED晶圓劃片機的劃片精度和速度越來越高，而劃片精度和速度主要體現在二維直線電機平臺上?，F有的二維直線電機平臺以一臺獨立的部件安裝在LED晶圓劃片機底座上，其上再安裝CCD(Charge Coupled Device)相機、DD(Direct Drive motor)馬達等部件。由于劃片機有底座，二維直線電機平臺也有底座，再加上DD馬達通過一件中空的安裝座安裝在二維直線電機平臺上，這增加了工作臺高度和平臺重心，影響了二維直線電機平臺的速度和穩(wěn)定性。

同時，CCD相機單臂懸空的安裝在中空的安裝座上，影響了CCD相機識別晶圓的精度，從而影響了晶圓劃片機的劃片速度和精度。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題在于，提供一種結構緊湊，重量輕，精度高的晶圓劃片機。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：提供一種晶圓劃片機，包括設有基臺的機架、安裝在所述機架上的激光器、CCD機構以及安裝在所述基臺上的三維中空平臺，所述三維中空平臺包括沿X軸移動的X軸中空機構、沿Y軸移動的Y軸中空機構、繞Z軸旋轉的θ軸中空旋轉機構，所述θ軸中空旋轉機構包括中空DD馬達和安裝在所述中空DD馬達上的吸盤，所述CCD機構包括用于識別晶圓的CCD相機和可對所述CCD相機進行三維調節(jié)的調節(jié)組件；

所述X軸中空機構包括至少三根X軸直線導軌、X軸動力部以及X軸中空移動板，所述X軸直線導軌直接安裝在所述基臺上，所述X軸中空移動板可滑動的安裝在所述X軸直線導軌上，所述X軸動力部驅動所述X軸中空移動板沿所述X軸直線導軌往復移動；

所述中空DD馬達直接安裝在所述Y軸中空機構上，所述調節(jié)組件安裝在所述基臺上，所述CCD相機位于所述三維中空平臺的中空處。

進一步地，所述調節(jié)組件包括調節(jié)底板、Y-Z二維精密滑臺、立板、用于固定所述CCD相機的固定板以及用于固定所述CCD相機鏡頭的壓蓋，所述調節(jié)底板可移動的安裝在所述基臺上，所述立板安裝在所述調節(jié)底板上，所述Y-Z二維精密滑臺一側安裝在所述立板上，所述固定板安裝在所述Y-Z二維精密滑臺的另一側，所述壓蓋固定安裝在所述固定板上。

進一步地，所述調節(jié)組件還包括調節(jié)塊、拉簧和調節(jié)螺栓，所述調節(jié)塊固定在所述基臺上，所述拉簧的兩端分別連接所述調節(jié)塊和所述調節(jié)底板，所述調節(jié)螺栓穿過所述調節(jié)塊頂緊在所述調節(jié)底板上。

進一步地，所述基臺上還開設有第一凹槽，所述調節(jié)底板設置在所述第一凹槽內。

進一步地，所述X軸中空機構還包括X軸讀數頭和第一限位塊，所述X軸讀數頭安裝于所述X軸中空移動板上，所述第一限位塊安裝在所述基臺上，并分別位于X軸直線導軌方向的兩端。

進一步地，所述Y軸中空機構包括Y軸底座、Y軸直線導軌、Y軸動力部以及Y軸中空移動板，所述Y軸底座安裝在所述X軸中空移動板上，所述Y軸直線導軌安裝在所述Y軸底座上，所述Y軸中空移動板可滑動的安裝在所述Y軸直線導軌上，所述Y軸動力部驅動所述Y軸中空移動板沿所述Y軸直線導軌往復移動，所述中空DD馬達安裝在所述Y軸中空移動板上。

進一步地，所述Y軸中空機構還包括為切割晶圓提供照明的輪廓光源，所述輪廓光源安裝在所述Y軸底座上或所述基臺上。

進一步地，所述Y軸中空機構還包括Y軸讀數頭和第二限位塊，所述Y軸讀數頭安裝于所述Y軸中空移動板上，所述第二限位塊安裝在所述Y軸底座上，并分別位于Y軸直線導軌方向的兩端。

進一步地，所述X軸動力部和Y軸動力部均為直線電機。

進一步地，所述X軸動力部和Y軸動力部均包括伺服旋轉電機、聯軸器和滾珠絲杠，通過所述滾珠絲杠驅動所述X軸中空移動板及所述Y軸移動板移動。

與現有技術相比，本實用新型的晶圓劃片機，包括至少三根X軸直線導軌相比兩根導軌的支撐剛度更高，運動更穩(wěn)定；X軸直線導軌直接安裝在基臺上，這樣減少X軸中空機構的底座；同時中空DD馬達直接安裝在Y軸中空機構上，避免通過中空的安裝座進行安裝，降低三維中空平臺的高度和重心，減少三維中空平臺的重量，提高三維中空平臺速度和穩(wěn)定性；另外CCD機構安裝在基臺上，避免單臂懸空安裝在中空的安裝座上，提高CCD相機識別晶圓的精度。

附圖說明

下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中：

圖1是本實用新型的晶圓劃片機的結構示意圖；

圖2是圖1中基臺和三維中空平臺安裝的立體示意圖；

圖3是圖2中基臺和X軸中空機構安裝示意圖；

圖4是圖1中Y軸中空機構的結構示意圖；

圖5是圖3中CCD機構的結構示意圖。

具體實施方式

現結合附圖，對本實用新型的較佳實施例作詳細說明。

如圖1至4所示，本實施例的一種晶圓劃片機，包括設有基臺100的機架1、安裝在機架1上的激光器2、CCD機構200以及安裝在基臺100上的三維中空平臺300。三維中空平臺300包括沿X軸移動的X軸中空機構310、沿Y軸移動的Y軸中空機構320、繞Z軸旋轉的θ軸中空旋轉機構330，θ軸中空旋轉機構330包括中空DD馬達331和安裝在中空DD馬達331上的吸盤332，吸盤332通過真空吸附待切割的晶圓。CCD機構200包括用于識別晶圓的CCD相機210和可對CCD相機210進行三維調節(jié)的調節(jié)組件220。

X軸中空機構310包括至少三根X軸直線導軌311、X軸動力部312以及X軸中空移動板313。X軸直線導軌311直接安裝在基臺100上，X軸中空移動板313可滑動的安裝在X軸直線導軌311上，X軸動力部312驅動X軸中空移動板313沿X軸直線導軌311往復移動；中空DD馬達331直接安裝在Y軸中空機構320上，調節(jié)組件220安裝在基臺100上，CCD相機210位于三維中空平臺300的中空處。通過中空的設計，使得三維中空平臺300在運行過程中，不會碰撞到CCD相機210，CCD相機210可從下向上識別晶圓。在本實施例中，X軸動力部為直線電機，直線電機外部罩設有防塵罩400。X軸中空機構310包括四根X軸直線導軌，相比兩根導軌的支撐剛度更高，運動更穩(wěn)定。X軸直線導軌311直接安裝在基臺100上，這樣減少X軸中空機構310的底座；同時中空DD馬達331直接安裝在Y軸中空機構320上，避免通過中空的安裝座進行安裝，降低了三維中空平臺的高度和重心，減小了重量，提高了三維中空平臺300速度和穩(wěn)定性。

具體地，X軸中空機構310還包括X軸讀數頭314和第一限位塊315。X軸讀數頭314安裝于X軸中空移動板313上，第一限位塊315安裝在基臺100上，并分別位于X軸直線導軌311方向的兩端。X軸動力部312通過X軸讀數頭314的反饋信號驅動X軸中空移動板313沿X軸直線導軌311移動。第一限位塊315能夠限制X軸中空移動板313移動的兩個極限位置，防止X軸中空移動板313脫落。

具體地，Y軸中空機構320包括Y軸底座321、Y軸直線導軌322、Y軸動力部323以及Y軸中空移動板324。Y軸底座321安裝在X軸中空移動板313上，Y軸直線導軌322安裝在Y軸底座321上，Y軸中空移動板324可滑動的安裝在Y軸直線導軌322上，Y軸動力部323驅動Y軸中空移動板324沿Y軸直線導軌322往復移動，中空DD馬達331安裝在Y軸中空移動板324上。在本實施例中，Y軸動力部均為直線電機，Y軸中空機構320還包括為切割晶圓提供照明的輪廓光源325，輪廓光源325安裝在Y軸底座321上，輪廓光源325向上透過θ軸中空旋轉機構給晶圓照明，從而提高了晶圓劃片機的劃片精度。當然，輪廓光源325還可以安裝在基臺100上。

具體地，Y軸中空機構320還包括Y軸讀數頭325和第二限位塊326。Y軸讀數頭325安裝于Y軸中空移動板324上，第二限位塊326安裝在Y軸底座321上，并分別位于Y軸直線導軌322方向的兩端。Y軸動力部323通過Y軸讀數頭325的反饋信號驅動Y軸中空移動板324沿Y軸直線導軌322移動。第二限位塊326能夠限制Y軸中空移動板324移動的兩個極限位置，防止Y軸中空移動板324脫落。

如圖5所示，調節(jié)組件220包括調節(jié)底板221、Y-Z二維精密滑臺222、立板223、用于固定CCD相機210的固定板224以及用于固定CCD相機210鏡頭的壓蓋225。調節(jié)底板221可移動的安裝在基臺100上，立板223安裝在調節(jié)底板221上，Y-Z二維精密滑臺222一側安裝在立板223上，固定板224安裝在Y-Z二維精密滑臺222的另一側，壓蓋225固定安裝在固定板224上。

在本實施例中，基臺100由大理石材料制成，其上還沿X方向開設有第一凹槽110和用于布線的第二凹槽120，調節(jié)底板221設置在第一凹槽110內，這樣有利于降低CCD機構200的高度。調節(jié)組件220還包括調節(jié)塊226、拉簧227和調節(jié)螺栓228，調節(jié)塊226固定在基臺100上，拉簧227的兩端分別連接調節(jié)塊226和調節(jié)底板221，調節(jié)螺栓228穿過調節(jié)塊226頂緊在調節(jié)底板221上。具體地，通過調節(jié)Y-Z二維精密滑臺222實現CCD相機Y-Z方向的調節(jié)，通過擰進或擰出調節(jié)螺栓228使調節(jié)底板221在第一凹槽110中沿X方向移動。這樣通過調節(jié)組件220，可以調節(jié)CCD相機210的鏡頭中心和激光器的激光中心重合，提高了切割精度。其中，拉簧227能使調節(jié)過程更平緩，保證調節(jié)底板221的穩(wěn)定性；同時還可以消除調節(jié)螺栓228反向擰出時細牙螺紋的間隙；另外，當調節(jié)螺栓228反向擰出時，調節(jié)底板221需要通過拉簧227的拉力返回。

在其它實施例中，X軸中空機構310還可以包括三根X軸直線導軌311。X軸動力部312和Y軸動力部323還可以包括伺服旋轉電機、聯軸器和滾珠絲杠。通過伺服旋轉電機驅動滾珠絲杠，進而帶動X軸中空移動板313及Y軸中空移動板324移動，但沒有直線電機精密和高速。

應當理解的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術方案，而非對其限制，對本領域技術人員來說，可以對上述實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換；而所有這些修改和替換，都應屬于本實用新型所附權利要求的保護范圍。