一種圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及激光加工【技術(shù)領(lǐng)域】，公開(kāi)了一種圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，用于將激光器發(fā)出的線(xiàn)偏振的入射光束轉(zhuǎn)化為圓偏振激光束，該轉(zhuǎn)換器包括90°相位延遲鏡和第一零相移延遲反射鏡，所述入射光束的偏振方向與90°相位延遲鏡的入射面的夾角為45°，所述入射光束以45°入射角入射到90°相位延遲鏡上，入射面為入射光束和90°相位延遲鏡的反射光束所組成的平面，并且反射光束通過(guò)第一零相移延遲反射鏡反射。本實(shí)用新型通過(guò)90°相位延遲鏡將激光器發(fā)出的線(xiàn)偏振的入射光束進(jìn)行相位延遲，使90°相位延遲鏡的反射光束的相位延遲90°，形成圓偏振光束，再通過(guò)第一零相移延遲反射鏡反射聚焦于工件上進(jìn)行加工，極大的改善切縫的質(zhì)量，提高激光加工的良品率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及激光加工【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體的說(shuō)，特別涉及一種激光精密切割設(shè) 備外光路的不同軸或同軸的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器。

【背景技術(shù)】
[0002] 自上世紀(jì)60年代首次實(shí)現(xiàn)激光輸出以來(lái)，由于激光具有高亮度、單色性、方向性、 相干性等優(yōu)點(diǎn)，受到廣泛關(guān)注，并在國(guó)防軍事、工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究等各個(gè)方面廣泛應(yīng)用。在 工業(yè)生產(chǎn)方面，激光加工方式是利用激光束與物質(zhì)相互作用特性對(duì)材料進(jìn)行加工的一種方 式。與傳統(tǒng)加工方法相比，由于激光加工具有無(wú)接觸、無(wú)應(yīng)力變形，熱影響區(qū)域小，可加工 材料廣泛，可靈活的實(shí)現(xiàn)各種復(fù)雜加工，效率高且質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，因此已經(jīng)形成了激光切 害!]、激光焊接、激光打孔、激光器標(biāo)記、激光表面處理、零件快速成型等多種應(yīng)用工藝，并已 經(jīng)廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、電子、航空航天、冶金、機(jī)械制造等工業(yè)領(lǐng)域。對(duì)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化、提高 產(chǎn)品質(zhì)量和勞動(dòng)生產(chǎn)率、減少材料消耗、降低環(huán)境污染等起到越來(lái)越重要的作用。
[0003] 激光切割技術(shù)是將能量聚焦到微小的空間，焦點(diǎn)處達(dá)到很高的能量密度，這時(shí)激 光輸出的熱量遠(yuǎn)大于被材料反射、傳導(dǎo)的部分，材料很快被加熱至汽化溫度，蒸發(fā)形成孔 洞，隨著光束與材料相對(duì)線(xiàn)性移動(dòng)，使孔洞連續(xù)形成寬度很窄的切縫。工業(yè)生產(chǎn)中，激光切 割是應(yīng)用最廣泛的一種激光加工方法。
[0004] 隨著技術(shù)進(jìn)步及工業(yè)產(chǎn)品升級(jí)換代，對(duì)激光切割效果的要求也越來(lái)越高。例如，隨 著電子行業(yè)及信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，電子和信息設(shè)備產(chǎn)品越來(lái)越小型化，對(duì)激光切割的精度要 求越來(lái)越高。最為典型的需求就是對(duì)切縫寬度的要求，以滿(mǎn)足零部件的不同部位以及不同 零部件的加工需求。
[0005] 激光器輸出的激光偏振模式通常是線(xiàn)偏振或隨機(jī)線(xiàn)偏振模式，例如C02激光器 (如美國(guó)Coherent公司生產(chǎn)的C02激光器輸出激光的偏振方向與激光器底座平行)，金屬切 割和其他高精密或超高精密工件的激光加工對(duì)切縫寬度及橫截面發(fā)生的任何變化都很敏 感。激光切割的質(zhì)量取決于激光相對(duì)切割方向的偏振方向。
[0006] 如圖1所不，以C02激光器為例，C02激光器輸出光束的偏振方向是線(xiàn)偏振，在整 個(gè)外光路傳導(dǎo)過(guò)程中沒(méi)有對(duì)偏振狀態(tài)進(jìn)行處理，以在工件上切割字符"CT"為例，當(dāng)激光切 割軌跡方向與激光的偏振方向平行時(shí)，能夠切割出最佳的切縫，即切口窄而平滑，與加工物 表面垂直度好，如圖1中的A部分所示；當(dāng)切割軌跡方向與激光的偏振方向垂直時(shí)，其切縫 較寬，平滑度仍較好，如圖1中的B部分所示；而當(dāng)切割軌跡方面與激光偏振方向有某個(gè)夾 角的時(shí)候，切縫寬度較大，切口歪斜，且不平滑，如圖1中的C部分所示。
[0007] 在C02激光精密切割設(shè)備中，C02激光器輸出的是線(xiàn)性偏振激光束，由于使用線(xiàn)偏 振光切割工件時(shí)，沿著不同的切割軌跡，其切縫不同，當(dāng)激光切割軌跡方向與激光的偏振方 向平行時(shí)，能夠切割出最佳的切縫，即切口窄而平滑，與加工物表面垂直度好；當(dāng)切割軌跡 方向與激光的偏振方向垂直時(shí)，其切縫較寬，平滑度仍較好；當(dāng)切割軌跡方面與激光偏振方 向有某個(gè)夾角的時(shí)候，切縫寬度較大，切口歪斜，且不平滑。因此，在激光精密切割設(shè)備中， 為了提高激光切割質(zhì)量，需要將工業(yè)激光輸出光束的線(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換為圓偏振激光束，改善激 光切縫質(zhì)量。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0008] 本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題，提供一種切割質(zhì)量好的 圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器。
[0009] 為了解決以上提出的問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：
[0010] 一種圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，用于將激光器發(fā)出的線(xiàn)偏振的入射光束轉(zhuǎn)化為圓偏振激 光束，該轉(zhuǎn)換器包括90°相位延遲鏡和第一零相移延遲反射鏡，所述入射光束的偏振方向 與90°相位延遲鏡的入射面的夾角為45°，所述入射光束以45°入射角入射到90°相位 延遲鏡上，入射面為入射光束和90°相位延遲鏡的反射光束所組成的平面，并且反射光束 通過(guò)第一零相移延遲反射鏡反射。
[0011] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：所述激光器為C02激光器，該C02激光器輸出的 激光的偏振方向與C02激光器的激光器底座平行。
[0012] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：還包括用于安裝90°相位延遲鏡和第一零相 移延遲反射鏡的第一安裝座，該第一安裝座包括上下依次設(shè)置的第一上鏡片壓蓋、第一鏡 片支座和第一下鏡片壓蓋，所述90°相位延遲鏡Ml安裝于第一上鏡片壓蓋和第一鏡片支 座之間，所述第一零相移延遲反射鏡M2安裝于第一下鏡片壓蓋和第一鏡片支座之間。
[0013] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：所述第一上鏡片壓蓋和第一下鏡片壓蓋內(nèi)分別 設(shè)有第一水冷通道和第二水冷通道，并且第一上鏡片壓蓋和第一下鏡片壓蓋上還分別安裝 有與第一水冷通道連通的第一水管接頭，以及第二水冷通道連通的第二水管接頭。
[0014] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：還包括第二零相移延遲反射鏡和第三零相移延 遲反射鏡，所述第二零相移延遲反射鏡設(shè)于第一零相移延遲反射鏡的反射光束上，所述第 三零相移延遲反射鏡設(shè)于第二零相移延遲反射鏡的反射光束上，并且第三零相移延遲反射 鏡的反射光束與90°相位延遲鏡的入射光束位于同一光軸上。
[0015] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：還包括用于安裝第二零相移延遲反射鏡和第三 零相移延遲反射鏡的第二安裝座，該第二安裝座包括上下依次設(shè)置的第二上鏡片壓蓋、第 二鏡片支座和第二下鏡片壓蓋，所述第二零相移延遲反射鏡安裝于第二鏡片支座和第二下 鏡片壓蓋之間，所述第三零相移延遲反射鏡安裝于第二上鏡片壓蓋和第二鏡片支座之間。
[0016] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：所述第二上鏡片壓蓋和第二下鏡片壓蓋內(nèi)分別 設(shè)有第三水冷通道和第四水冷通道，并且第二上鏡片壓蓋和第二下鏡片壓蓋上還分別安裝 有與第三水冷通道連通的第三水管接頭，以及第四水冷通道連通的第四水管接頭。
[0017] 根據(jù)本實(shí)用新型的一優(yōu)選實(shí)施例：所述第一安裝座和第二安裝座之間還設(shè)有中間 隔板，并且該中間隔板上還設(shè)有與第一零相移延遲反射鏡的反射光束相對(duì)應(yīng)的光束孔。
[0018] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：本實(shí)用新型通過(guò)90°相位延遲鏡 將激光器發(fā)出的線(xiàn)偏振的入射光束進(jìn)行相位延遲，使90°相位延遲鏡的反射光束的相位延 遲90°，形成圓偏振光束，再通過(guò)第一零相移延遲反射鏡反射聚焦于工件上進(jìn)行加工，極大 的改善了切縫的質(zhì)量，提高激光加工的良品率。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)中線(xiàn)偏振激光切縫效果示意圖。
[0020] 圖2為本實(shí)用新型中線(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換為圓偏振的光學(xué)原理圖。
[0021] 圖3中3a為相位差為0°的偏振狀態(tài)圖，3b為相位差為90°的偏振狀態(tài)圖，3c為 相位差為180°的偏振狀態(tài)圖。
[0022] 圖4為實(shí)施例一的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的內(nèi)部光路原理圖。
[0023] 圖5為實(shí)施例一的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的結(jié)構(gòu)圖。
[0024] 圖6為實(shí)施例一的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的立體圖。
[0025] 圖7為實(shí)施例一的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的爆炸圖。
[0026] 圖8為實(shí)施例一的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的圓偏振的激光切縫效果。
[0027] 圖9為實(shí)施例二的同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的內(nèi)部光路原理圖。
[0028] 圖10為實(shí)施例二的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的結(jié)構(gòu)圖。
[0029] 圖11為實(shí)施例二的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的立體圖。
[0030] 圖12為實(shí)施例二的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的爆炸圖。
[0031] 圖13為實(shí)施例二的不同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的圓偏振的激光切縫效果。
[0032] 附圖標(biāo)記說(shuō)明：1、激光器，2、激光器底座，3、偏振方向，4、入射面，5、工件，6、激光 束,7、第一上鏡片壓蓋，8、第一下鏡片壓蓋，9、第一鏡片支座，10、第一水管接頭，11、第二水 管接頭，12、第二上鏡片壓蓋，13、第二鏡片支座，14、第二下鏡片壓蓋，15、中間隔板，16、第 三水管接頭，17、第四水管接頭，18、光束孔，Ml、90°相位延遲鏡，M2、第一零相移延遲反射 鏡，M3、第二零相移延遲反射鏡，M4、第三零相移延遲反射鏡。

【具體實(shí)施方式】
[0033] 為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更全面的描 述。附圖中給出了本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例。但是，本實(shí)用新型可以以許多不同的形式來(lái) 實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本實(shí)用新型的 公開(kāi)內(nèi)容的理解更加透徹全面。
[0034] 除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實(shí)用新型的說(shuō)明書(shū)中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為 了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。
[0035] 結(jié)合圖2和圖3所示的本實(shí)用新型的原理構(gòu)思，圖2示出了線(xiàn)偏振轉(zhuǎn)換為圓偏振 的光學(xué)原理：入射光束(線(xiàn)偏振光)的偏振方向與入射面夾角45°角，并以45°角入射90° 相位延遲鏡，從90°相位延遲鏡反射出來(lái)的光束因相位延遲了 90°，再由圖3中所示的不 同相位差的偏振狀態(tài)可知(其中3a的相位差為0°，圖3b的相位差為90°，圖3c的相位差 為180° )，線(xiàn)偏振光被轉(zhuǎn)換為圓偏振光。
[0036] 下面再通過(guò)兩個(gè)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0037] 實(shí)施例一
[0038]參閱圖4所示，本實(shí)施例提供的一種圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，用于將激光器1發(fā)出的線(xiàn) 偏振的入射光束bl轉(zhuǎn)化為圓偏振激光束，并且本實(shí)施例的轉(zhuǎn)換器所轉(zhuǎn)換后的圓偏振激光 束與激光器1所發(fā)出的入射光束bl不在同一個(gè)光軸上。
[0039] 本實(shí)施例的轉(zhuǎn)換器包括90°相位延遲鏡Ml和第一零相移延遲反射鏡M2,其中，所 述入射光束bl的偏振方向3與90°相位延遲鏡Ml的入射面4的夾角為45°，所述入射光 束bl以45°入射角入射到90°相位延遲鏡Ml上，入射面4為入射光束bl和90°相位延 遲鏡Ml的反射光束b2所組成的平面，并且反射光束b2通過(guò)第一零相移延遲反射鏡M2反 射。
[0040] 本實(shí)施例中的激光器1為C02激光器，具體采用的是美國(guó)Coherent公司生產(chǎn)的 C02激光器，該C02激光器輸出的激光的偏振方向與C02激光器的激光器底座2平行。
[0041] 本實(shí)施例為了便于理解和描述激光束的入射光束bl、偏振方向3和出射光束b3等 的方位，故在圖4中增加了兩個(gè)虛線(xiàn)的立方體。
[0042] 本實(shí)施例的工作原理為：C02激光器輸出一線(xiàn)偏振的入射光束bl,其偏振方向3與 激光器底座2是平行的，90°相位延遲鏡Ml和第一零相位延遲反射鏡M2按圖4的位置放 置，以保證入射光束bl的入射面4由入射光束bl和90度相移延遲鏡Ml的反射光束b2構(gòu) 成的平面，入射光束bl的偏振方向3與入射面4的夾角45°，并且入射光束bl以45°入 射角入射到90°相位延遲鏡M1，即此時(shí)的反射光束b2的相位被延遲了 90°，再根據(jù)圖3示 出的不同相位差的偏振狀態(tài)可知，反射光束b2是圓偏振光，通過(guò)零相位延遲反射鏡M2反射 后平行射出，反射光束b3的偏振態(tài)不變，仍然為圓偏振激光束，將此光束聚焦于工件5,可 用于激光精密切割，改善切縫質(zhì)量，提高激光加工的良品率。
[0043] 參閱圖5?圖7所示，本實(shí)施例在結(jié)構(gòu)上還包括用于安裝90°相位延遲鏡Ml和第 一零相移延遲反射鏡M2的第一安裝座，并且該第一安裝座包括上下依次設(shè)置的第一上鏡 片壓蓋7、第一鏡片支座9和第一下鏡片壓蓋8,所述90°相位延遲鏡Ml安裝于第一上鏡片 壓蓋7和第一鏡片支座9之間，所述第一零相移延遲反射鏡M2安裝于第一下鏡片壓蓋8和 第一鏡片支座9之間。
[0044] 具體的，為了便于散熱，進(jìn)一步提高轉(zhuǎn)換器的使用壽命，本實(shí)施例在第一上鏡片壓 蓋7和第一下鏡片壓蓋8內(nèi)分別設(shè)有第一水冷通道(未示出）和第二水冷通道(未示出），并 且第一上鏡片壓蓋7和第一下鏡片壓蓋8上還分別安裝有與第一水冷通道(未示出)連通的 第一水管接頭10,以及第二水冷通道(未示出）連通的第二水管接頭11。
[0045] 本實(shí)施例由于將90°相位延遲鏡Ml和第一零相位延遲反射鏡M2按圖4的結(jié)構(gòu)設(shè) 計(jì)一種不同軸的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，能夠?qū)02激光器輸出的線(xiàn)偏振激光束轉(zhuǎn)換為圓偏振 激光束，圓偏振激光束通過(guò)聚焦于工件表面進(jìn)行切割，使得切割質(zhì)量不隨激光切割軌跡的 變化而變化，改善了激光切縫的質(zhì)量，如圖8中的A、B和C處所示，極大的提高了激光精密 切割的品質(zhì)和良品率。
[0046] 實(shí)施例二
[0047] 本實(shí)施例與實(shí)施一基本相同，不同之處在于：本實(shí)施例為了方便安裝和調(diào)試，將轉(zhuǎn) 換器的入射光束和出射光束設(shè)置在同一光軸上，具體表現(xiàn)在結(jié)構(gòu)上如下。
[0048] 本實(shí)施例還包括第二零相移延遲反射鏡M3和第三零相移延遲反射鏡M4,其中，所 述第二零相移延遲反射鏡M3設(shè)于第一零相移延遲反射鏡M2的反射光束b3上，所述第三零 相移延遲反射鏡M4設(shè)于第二零相移延遲反射鏡M3的反射光束b4上，并且第三零相移延遲 反射鏡M4的反射光束b5與90°相位延遲鏡Ml的入射光束bl同軸。
[0049] 同樣，本實(shí)施例為了便于描述同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的原理及光學(xué)鏡片放置位置 和入射光束和出射光束的方位，故在圖9中采用了三個(gè)虛線(xiàn)立體框。
[0050] 本實(shí)施例的工作原理為：C02激光器輸出一線(xiàn)偏振的入射光束bl，其偏振方向3與 激光器底座2平行，入射光束bl的偏振方向3與入射面4的夾角為45°，入射光束bl以 45°的入射角入射90°相位延遲鏡M1，反射光束b2的相位被延遲了 90°，再根據(jù)圖3的不 同相位差的偏振狀態(tài)可知，反射光束b2的偏振態(tài)為圓偏振，再米用3片零相移反射鏡M2、 M3、M4按照?qǐng)D9所示的位置放置，由于零相移反射鏡不改變光束的偏振狀態(tài)，只改變光的傳 播路徑，所以，光束b2、b3、b4和b5都是圓偏振光。如圖9所不，圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器的出射 光束b5與入射光束bl位于同一光軸上，以便于在C02激光加工設(shè)備的外光路進(jìn)行安裝。 最后再將出射光束b5聚焦于工件5進(jìn)行激光精密切割，切縫不隨激光切割頭的軌跡變化而 變化，從而改善了工件激光切縫的質(zhì)量，保證了激光精密切割精度，提高了激光加工的良品 率。
[0051] 參閱圖10?圖12所示,本實(shí)施例在結(jié)構(gòu)上還包括用于安裝第二零相移延遲反射 鏡M3和第三零相移延遲反射鏡M4的第二安裝座，該第二安裝座包括上下依次設(shè)置的第二 上鏡片壓蓋12、第二鏡片支座13和第二下鏡片壓蓋14,所述第二零相移延遲反射鏡M3安 裝于第二鏡片支座13和第二下鏡片壓蓋14之間，所述第三零相移延遲反射鏡M4安裝于第 二上鏡片壓蓋12和第二鏡片支座13之間。
[0052] 具體的，為了便于散熱，進(jìn)一步提高轉(zhuǎn)換器的使用壽命，本實(shí)施例在第二上鏡片壓 蓋12和第二下鏡片壓蓋14內(nèi)分別設(shè)有第三水冷通道(未示出）和第四水冷通道(未示出）， 并且第二上鏡片壓蓋12和第二下鏡片壓蓋14上還分別安裝有與第三水冷通道(未示出)連 通的第三水管接頭16,以及第四水冷通道(未示出）連通的第四水管接頭17。
[0053] 具體的，為了便于安裝，本實(shí)施例還在第一安裝座和第二安裝座之間設(shè)有中間隔 板15,并且該中間隔板15上還設(shè)有與第一零相移延遲反射鏡M2的反射光束b3相對(duì)應(yīng)的光 束孔18。
[0054] 本實(shí)施例由于采用一片90°相位延遲鏡Ml和三片零相位延遲反射鏡M2、M3和M4 設(shè)計(jì)成同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，而由于是同軸輸出光束，在激光切割設(shè)備的外光路中便于 安裝和調(diào)光。并且同軸圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器能夠?qū)02激光器輸出的線(xiàn)偏振激光束轉(zhuǎn)換為圓 偏振激光束，圓偏振激光束再聚焦于工件表面進(jìn)行切割，使得切割質(zhì)量不隨激光切割軌跡 的變化而變化，改善了激光切縫的質(zhì)量，如圖13所，提高了激光精密切割的品質(zhì)和良品率。
[0055] 上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式并不受上述 實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替 代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，用于將激光器（1)發(fā)出的線(xiàn)偏振的入射光束（bl)轉(zhuǎn)化為 圓偏振激光束，其特征在于：該轉(zhuǎn)換器包括90°相位延遲鏡（Ml)和第一零相移延遲反射鏡 (M2)，所述入射光束（bl)的偏振方向（3)與90°相位延遲鏡（Ml)的入射面（4)的夾角為 45°，所述入射光束（bl)以45°入射角入射到90°相位延遲鏡（Ml)上，入射面（4)為入射 光束（bl)和90°相位延遲鏡（Ml)的反射光束（b2)所組成的平面，并且反射光束（b2)通過(guò) 第一零相移延遲反射鏡（M2)反射。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：所述激光器（1)為C02激光 器，該C02激光器輸出的激光的偏振方向與C02激光器的激光器底座（2)平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：還包括用于安裝90°相 位延遲鏡（Ml)和第一零相移延遲反射鏡（M2)的第一安裝座，該第一安裝座包括上下依次 設(shè)置的第一上鏡片壓蓋（7)、第一鏡片支座（9)和第一下鏡片壓蓋（8)，所述90°相位延遲 鏡（Ml)安裝于第一上鏡片壓蓋（7)和第一鏡片支座（9)之間，所述第一零相移延遲反射鏡 (M2)安裝于第一下鏡片壓蓋（8)和第一鏡片支座（9)之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：所述第一上鏡片壓蓋（7)和 第一下鏡片壓蓋（8)內(nèi)分別設(shè)有第一水冷通道和第二水冷通道,并且第一上鏡片壓蓋（7) 和第一下鏡片壓蓋（8)上還分別安裝有與第一水冷通道連通的第一水管接頭（10)，以及第 二水冷通道連通的第二水管接頭（11)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：還包括第二零相移延 遲反射鏡（M3)和第三零相移延遲反射鏡（M4)，所述第二零相移延遲反射鏡（M3)設(shè)于第一 零相移延遲反射鏡（M2)的反射光束（b3)上，所述第三零相移延遲反射鏡（M4)設(shè)于第二 零相移延遲反射鏡（M3)的反射光束（b4)上，并且第三零相移延遲反射鏡（M4)的反射光束 (b5)與90°相位延遲鏡（Ml)的入射光束（bl)位于同一光軸上。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：還包括用于安裝第二零相 移延遲反射鏡（M3)和第三零相移延遲反射鏡（M4)的第二安裝座，該第二安裝座包括上下 依次設(shè)置的第二上鏡片壓蓋（12)、第二鏡片支座（13)和第二下鏡片壓蓋（14)，所述第二零 相移延遲反射鏡（M3)安裝于第二鏡片支座（13)和第二下鏡片壓蓋（14)之間，所述第三零 相移延遲反射鏡（M4)安裝于第二上鏡片壓蓋（12)和第二鏡片支座（13)之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：所述第二上鏡片壓蓋（12) 和第二下鏡片壓蓋（14)內(nèi)分別設(shè)有第三水冷通道和第四水冷通道，并且第二上鏡片壓蓋 (12)和第二下鏡片壓蓋（14)上還分別安裝有與第三水冷通道連通的第三水管接頭（16)，以及第四水冷通道連通的第四水管接頭（17)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的圓偏振光學(xué)轉(zhuǎn)換器，其特征在于：所述第一安裝座和第 二安裝座之間還設(shè)有中間隔板（15)，并且該中間隔板（15)上還設(shè)有與第一零相移延遲反 射鏡（M2)的反射光束（b3)相對(duì)應(yīng)的光束孔（18)。
【文檔編號(hào)】B23K26/064GK203863214SQ201420162498
【公開(kāi)日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年4月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月4日
【發(fā)明者】肖磊, 龔成萬(wàn), 趙建濤, 楊錦彬, 寧艷華, 高云峰 申請(qǐng)人:深圳市大族激光科技股份有限公司