一種用于多波束材料加工的圖像旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償方法
【專利摘要】一個(gè)圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)包括一個(gè)光束分離器配置為用于接收一個(gè)射入光束，將其分割成多個(gè)處理光束，光掃描元件配置為用于接收多個(gè)處理光束并且在一個(gè)目標(biāo)上掃描光束，和一個(gè)圖像補(bǔ)償系統(tǒng)配置為用于選擇性地調(diào)整目標(biāo)中的多個(gè)處理光束的旋轉(zhuǎn)圖像。一個(gè)補(bǔ)償多束光圖片的方法，包括用一個(gè)光束分離器將一個(gè)光束分割成多個(gè)處理光束，用光掃描元件在一個(gè)目標(biāo)中掃描這些處理光束，并且選擇性的調(diào)整目標(biāo)中多個(gè)處理光束的旋轉(zhuǎn)圖像。光束通過(guò)光掃描元件穿過(guò)目標(biāo)，并且選擇性的調(diào)整目標(biāo)中數(shù)個(gè)處理光束的圖片的路線。
【專利說(shuō)明】—種用于多波束材料加工的圖像旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]通常，本發(fā)明的【技術(shù)領(lǐng)域】涉及多波束材料加工。更進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，本發(fā)明涉及與多波束材料加工有關(guān)的圖像校正。

【背景技術(shù)】
[0002]激光的屬性中，比如高能性和高精度性，其應(yīng)用已經(jīng)取得了更好的成功，有了實(shí)質(zhì)性的進(jìn)步。在一些應(yīng)用中，將一束光被分割成多束的技術(shù)是非常有價(jià)值的。例如，在美國(guó)貝爾德專利號(hào)為8178818的專利中，一個(gè)激光處理系統(tǒng)將一個(gè)脈沖激光束分割成為多個(gè)小射野射束，并且控制性的調(diào)節(jié)它的振幅。這個(gè)系統(tǒng)將小射野射束依照順序傳遞給它的處理的目標(biāo)。其應(yīng)用包括鉆孔、切割、雕刻和切邊，適用于微型設(shè)備的加工，例如計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)。在另外一個(gè)例子中，美國(guó)第7666759號(hào)專利中，公開(kāi)了一種將一束光分割為多束光，對(duì)齊到環(huán)形元件，精確操控一批環(huán)形元件的方法。精確地將多光束指引到一個(gè)目標(biāo)，仍存在一個(gè)對(duì)于多束光處理工業(yè)的挑戰(zhàn)，在需要處理日益復(fù)雜精煉技術(shù)下而變得增加的公差的背景下，更是如此。因此，在多束光材料處理領(lǐng)域內(nèi)仍然存在一個(gè)提升的空間。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的一個(gè)方面，一個(gè)圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)包括一個(gè)用于接收一個(gè)輸入光束并將輸入光束分割為多束處理光束的光束分離器；一光掃描兀件，用于接收多束處理光束，并且在一個(gè)目標(biāo)中掃描這些處理光束，一個(gè)圖像補(bǔ)償系統(tǒng)用于選擇性的調(diào)整圖像目標(biāo)中多束處理光束的循環(huán)。輸入光較好地從一個(gè)脈沖光源中發(fā)出，而多束光非常適合于材料加工。圖像的選擇性轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整可以通過(guò)操作光掃描元件去校正一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)的錯(cuò)誤。在一些例子中選擇性轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整可以通過(guò)控制光束分離器的轉(zhuǎn)動(dòng)或者一個(gè)單獨(dú)的圖像轉(zhuǎn)動(dòng)元件來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0004]根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種用于補(bǔ)償多波束圖像的方法包括:使用光束分離器分離一輸入光束使其進(jìn)入多個(gè)處理光束。使用光束掃描光學(xué)器掃描所述多個(gè)的處理光束并穿過(guò)的目標(biāo)。以及，選擇性地調(diào)節(jié)多個(gè)處理光束的圖像在一目標(biāo)上的旋轉(zhuǎn)。輸入光較好地從一個(gè)脈沖光源中發(fā)出，而多束光非常適合于材料加工。圖像的選擇性轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整可以通過(guò)操作光掃描元件去校正一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)的錯(cuò)誤。在一些例子中選擇性轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整可以通過(guò)控制光束分離器的轉(zhuǎn)動(dòng)或者一個(gè)單獨(dú)的圖像轉(zhuǎn)動(dòng)元件來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0005]上述和其他對(duì)內(nèi)容，特征，和優(yōu)點(diǎn)將在下文的詳細(xì)描述中更為明顯，相關(guān)參考附圖不一定是按比例繪制。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0006]圖1為一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的主要方面繪制的圖像補(bǔ)償中的多波束材料處理系統(tǒng)的具體實(shí)施例的示意圖。
[0007]圖2為圖2是一個(gè)在一個(gè)目標(biāo)上的多光束圖像的示意圖。
[0008]圖3為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面進(jìn)行的圖表圖像的旋轉(zhuǎn)誤差校正。
[0009]圖4為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，一個(gè)圖像補(bǔ)償中多束光材料處理系統(tǒng)的替代實(shí)施例的示意圖。
[0010]圖5是依照本發(fā)明的另一個(gè)方面，一個(gè)多波束圖像補(bǔ)償方法的流程圖。
[0011]圖6是依照本發(fā)明的各個(gè)方面的圖5中流程圖的一種變形。
[0012]圖7是依照本發(fā)明的各個(gè)方面的圖5的方法的另一種替代方法的另一個(gè)流程圖的變化部分。
具體實(shí)施例
[0013]參照?qǐng)D1，如圖所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，一個(gè)典型的多波束圖像補(bǔ)償系統(tǒng)10示意圖。成像裝置10中包括一個(gè)射入光束12，優(yōu)選地，從脈沖激光源(未畫(huà)出)射入，沿光軸14，光束分離16傳播，以及一個(gè)圖像補(bǔ)償光束掃描元件以及子系統(tǒng)20。光束12射入光束分離器6，在具體實(shí)施例中是一個(gè)衍射光學(xué)元件將射入光束12衍射為多束單光束18。在另一個(gè)例子中，光束分離器16可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)棱鏡，偏振或非偏振光分離立體或平面，立體或平面序列，或者其他適合此應(yīng)用的光束分離器，提供多束光。
[0014]光掃描兀件20稱合于那些單光束18,并且以預(yù)設(shè)方式掃描光束18。在具體實(shí)施例中，光掃描元件20包括一個(gè)檢流計(jì)掃描儀，具有一副可旋轉(zhuǎn)反射鏡來(lái)操控和引導(dǎo)光束，使光束18的傳輸位置能夠直接對(duì)準(zhǔn)傳播路徑。經(jīng)過(guò)掃描的光束22直接射入一個(gè)可選目標(biāo)24，并且在上面成像。光束分離器16可以通過(guò)圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)控制器來(lái)進(jìn)行可控旋轉(zhuǎn)，與光掃描兀件20提供的掃描轉(zhuǎn)換器18進(jìn)行匹配。在一些例子中，光掃描兀件20可以包括一個(gè)Risley棱鏡，一個(gè)或多個(gè)壓控或聲控快速操控反射鏡，或者一個(gè)聲光調(diào)制器。
[0015]根據(jù)應(yīng)用或系統(tǒng)的需要，光束分離器16可以包括提供一系列預(yù)定的單光束18。例如，如圖1所示，結(jié)合圖2所展示的一個(gè)簡(jiǎn)化了的光束18作為單光斑28的橫斷面圖像，光束18是一些5個(gè)乘5個(gè)的有序排列的單光束(和相應(yīng)的點(diǎn))。在其他的一些例子中，也使用了一些不同的光束圖案，比如，不同的序列，面積，形狀等等。光斑28獨(dú)立的預(yù)設(shè)的形式掃描至各自的處理區(qū)域30中。因此，多束光可以被用于同時(shí)處理一個(gè)目標(biāo)表面從而進(jìn)行精確加工、打孔等等。處理區(qū)域30通常具有很小的公差與重疊區(qū)，可達(dá)數(shù)十微米以下或更小。在一些例子中，多束光能夠在掃描一個(gè)處理區(qū)域時(shí)控制公差，但是，如果不糾正，在光斑28轉(zhuǎn)入處理區(qū)域32的相鄰點(diǎn)時(shí)，一個(gè)或多個(gè)光斑28可能會(huì)超過(guò)公差允許范圍。
[0016]圖1中多束光系統(tǒng)10的示意圖簡(jiǎn)單展示了現(xiàn)有發(fā)明的特征和方面并和相應(yīng)和配合關(guān)系。在多波束系統(tǒng)之外的光學(xué)裝置可能會(huì)通過(guò)反射，折射，成像，調(diào)整處理射入光束
12、多光束18和掃描版本22，或以其他方式處理光束12，18，22，這些均沒(méi)有脫離本發(fā)明的發(fā)明構(gòu)思和保護(hù)范圍。例如，光束22可以通過(guò)f-theta棱鏡進(jìn)行電子成像到目標(biāo)24中。許多光束可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)反射鏡進(jìn)行鏡面反射或者通過(guò)一個(gè)或多個(gè)光傳導(dǎo)棱鏡進(jìn)行傳播。隨著光束的傳播路徑中光學(xué)元素?cái)?shù)量的增加，額外的對(duì)齊、像差、熱、機(jī)械、和其他錯(cuò)誤逐漸引入了多波束系統(tǒng)。但是隨著加工領(lǐng)域的復(fù)雜性和光束公差要求的提高，錯(cuò)誤變得難以糾正和消除。
[0017]在光掃描元件20的掃描鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)留下的一個(gè)非常小的角度可能會(huì)間接或直接的導(dǎo)致一個(gè)這樣的錯(cuò)誤檢測(cè)不到。參照?qǐng)D3，一個(gè)圖表放大展示了通過(guò)本發(fā)明的多個(gè)方面去糾正一個(gè)旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤的位置。未校正的光斑排列區(qū)域34顯示有四個(gè)角不符合精度+ / - 4毫米平方。當(dāng)分布區(qū)域通過(guò)光掃描元件20轉(zhuǎn)化為一個(gè)誤差位置之外時(shí)，區(qū)域34的旋轉(zhuǎn)錯(cuò)誤由描繪在圖2中一個(gè)放大的估算誤差的光斑28引發(fā)。逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)誤差出現(xiàn)幾度。在典型實(shí)施例中，系統(tǒng)中旋轉(zhuǎn)的數(shù)量錯(cuò)誤統(tǒng)計(jì)由于光束掃描元件20的作用，相對(duì)較小，如不到幾度，不到I度，或小于0.1度?？赡苁琼槙r(shí)針或逆時(shí)針回轉(zhuǎn)誤差取決于光束的方向和距離的轉(zhuǎn)化。
[0018]調(diào)整的光斑排列區(qū)域36也是圖3所示，四個(gè)角都符合精度+-4平方毫米。調(diào)整光斑排列區(qū)域36順時(shí)針旋轉(zhuǎn)為正確對(duì)齊通過(guò)同步旋轉(zhuǎn)的光束分離器16旋轉(zhuǎn)控制器26。它可以再一個(gè)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上通過(guò)光束分離器16非常方便的進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)整，從而精確調(diào)整光束I禹合到光束18與目標(biāo)24。因此,在許多例子中，光束分離器16可以根據(jù)由光掃描兀件20或者其他的多波束系統(tǒng)10來(lái)進(jìn)行逆向調(diào)整。
[0019]控制器26可以米用多種方式來(lái)控制光束分離器16的旋轉(zhuǎn)。例如,一個(gè)包括光掃描元件30的與反射鏡位置(或其他數(shù)值)有關(guān)的信號(hào)的信息可以被控制器26接收。反射鏡位置信號(hào)可以給予一個(gè)發(fā)送給伺服系統(tǒng)的信號(hào)的控制信號(hào)來(lái)控制光掃描元件20的掃描位置?；蚪o予一個(gè)發(fā)送給控制器26的一個(gè)探測(cè)信號(hào)來(lái)探測(cè)反射鏡位置。在這些其他的例子中，一個(gè)包括掃描數(shù)據(jù)的圖像文件也可以用來(lái)控制應(yīng)用與光束分離器16的逆向旋轉(zhuǎn)。例如，圖像文件可以同時(shí)被發(fā)送到控制器26和光掃描元件20中。
[0020]控制器26可以通過(guò)一個(gè)預(yù)置或計(jì)算過(guò)的數(shù)據(jù)以一個(gè)持續(xù)的形式或者離散的實(shí)行逆向旋轉(zhuǎn)光束分離器16。同樣，在一些例子中，逆向旋轉(zhuǎn)僅僅在光掃描兀件20的接近閾值時(shí)才被應(yīng)用、例如，閾值反射鏡位置或角度，或者兩者的結(jié)合。一個(gè)閾值變量可以從特定模式文件的偏差的公差或被使用的掃描模式來(lái)確定。閾值或旋轉(zhuǎn)關(guān)系還可以通過(guò)操作一些確定的多波束裝置10。因此，額外的旋轉(zhuǎn)誤差或從其他光學(xué)組件引入的其他像差可以通過(guò)視覺(jué)對(duì)加工目標(biāo)的比較和調(diào)整旋轉(zhuǎn)參數(shù)的控制器26來(lái)減少。
[0021]在圖4中另一種具體實(shí)施例展示了多波束圖像補(bǔ)償系統(tǒng)的38的示意圖，符合本發(fā)明的另一個(gè)方面。多波束系統(tǒng)38包括一個(gè)射入光束40沿著光軸42、光束分離器44，光掃描元件48，光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像54至少在光束掃描光學(xué)48之前或之后的光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像54和一個(gè)圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)進(jìn)行傳播。射入光束40優(yōu)選脈沖高功率的，適用于各種材料加工應(yīng)用。射入光束40入射至光束分離器44，即可操作的將射入光束40分成多個(gè)單光束46。光掃描元件48耦合到多元化的單光束46并且預(yù)定的方式掃描光束46。優(yōu)選地，光掃描元件48，包括有一對(duì)可旋轉(zhuǎn)的鏡子用于調(diào)整光束46的位置的一個(gè)檢流計(jì)掃描儀，及其調(diào)整對(duì)應(yīng)的圖像橫向的傳播路徑。掃描光束50直接選擇目標(biāo)52并且在上面成像。
[0022]如前面提到的，多波束系統(tǒng)38同樣提供了一個(gè)用虛線標(biāo)出的單獨(dú)的光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像54，可以被同時(shí)裝配在坐標(biāo)上，通過(guò)一個(gè)第二個(gè)光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像是常見(jiàn)的但不是必要的。光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像54耦合到光束46或光束50上，用于旋轉(zhuǎn)各自的光去調(diào)整到合適的路徑上。光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像54耦合于圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)控制器56并且可控旋轉(zhuǎn)與光掃描元件提供的光束46的掃描傳播相匹配。光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像54可以從幾個(gè)適合的類型中挑選。例如，鴿子棱鏡、佩肯棱鏡、無(wú)源的阿貝棱鏡、柱面棱鏡，、三反射式的無(wú)源阿貝棱鏡等，不再敖述，多種多樣。系統(tǒng)38的其他方面可以是與多波束圖像補(bǔ)償系統(tǒng)10相類似。
[0023]在圖5中，按照本發(fā)明所示流程圖，多波束圖像補(bǔ)償方法的一個(gè)例子所展示，通常指定100、各個(gè)步驟可能并發(fā)或接近同時(shí)完成。在一個(gè)第一區(qū)域102中，一個(gè)射入光束優(yōu)選地從一個(gè)高能脈沖光源中發(fā)出，在第二個(gè)區(qū)域104中射入光束被光束分離器分離，相匹配的光束分離器包括衍射光學(xué)元件，這些元件可以被用來(lái)將射入光束或部分組件衍射到一些單光束中。光束序列可以被分割，例如被衍射，進(jìn)入一個(gè)反射裝置，或進(jìn)入其他形狀中，在第三個(gè)區(qū)域106中，分離光束被光掃描兀件接收,并以一個(gè)預(yù)定的方式掃描。在第四個(gè)區(qū)域108中，掃描過(guò)的光束被直接進(jìn)入目標(biāo)中對(duì)材料進(jìn)行處理。
[0024]與每個(gè)區(qū)域的掃描光束有關(guān)，在第五區(qū)域110中，決定了是否應(yīng)該在目標(biāo)中完成一個(gè)圖像旋轉(zhuǎn)調(diào)整圖像的光束掃描的命令。在第六個(gè)區(qū)域中，如果一個(gè)旋轉(zhuǎn)調(diào)整的命令被完成，旋轉(zhuǎn)調(diào)整將應(yīng)用與掃描每個(gè)區(qū)域的多束光106.旋轉(zhuǎn)調(diào)整的表現(xiàn)可以與多個(gè)光束的掃描同步，因此旋轉(zhuǎn)調(diào)整與掃描同事進(jìn)行，可以與掃描同時(shí)，也可以單獨(dú)進(jìn)行。例如，旋轉(zhuǎn)調(diào)整可以完成掃描中的增量或傳遞。甚至，旋轉(zhuǎn)調(diào)整可以被離散或持續(xù)，在閾值之后，或者在括號(hào)內(nèi)的值之間。在一些例子中，閾值可以與目標(biāo)圖像中的距離或者公差相關(guān)，而在其他的一些例子中，閾值與移動(dòng)值相關(guān)，比如位置或者角度，與每個(gè)區(qū)域中的掃描光束的光掃描元件相關(guān)。
[0025]圖5中的多種多樣的變化形式，可以參考圖6和圖7進(jìn)行理解。正如在圖5中的具體實(shí)施例100中所描述的那樣，與每個(gè)區(qū)域106中所掃描的多束光有關(guān)，每個(gè)區(qū)域110中會(huì)要求做出是否旋轉(zhuǎn)糾正。在圖6中的另外情況，一個(gè)變形方式114被描述為具有一個(gè)與區(qū)域116中相似的步驟來(lái)決定是否需要旋轉(zhuǎn)調(diào)整。如果一個(gè)旋轉(zhuǎn)調(diào)整的命令被要求，在第二個(gè)區(qū)域118中，光束分離器在目標(biāo)中將一個(gè)光軸逆向旋轉(zhuǎn)或旋轉(zhuǎn)調(diào)整光束。另外根據(jù)參考圖7，另一種方法變化120，在每個(gè)區(qū)域122中有一個(gè)類似的步驟來(lái)確定是否需要旋轉(zhuǎn)調(diào)整。如果一個(gè)旋轉(zhuǎn)調(diào)整的決定是需要做出的，那么在第二個(gè)區(qū)域124中一個(gè)圖形旋轉(zhuǎn)元件就旋轉(zhuǎn)大約一個(gè)光軸去逆向旋轉(zhuǎn)或者調(diào)整圖形在目標(biāo)中的旋轉(zhuǎn)。
[0026]可在本發(fā)明主要思想上進(jìn)行一些變換，或利用本發(fā)明的附帶優(yōu)勢(shì)進(jìn)行的一些改進(jìn)均未脫離本發(fā)明的主要發(fā)明構(gòu)思和發(fā)明的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一個(gè)圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，包括: 光束分離器，配置為用于接收射入光束并將接收的光束分離為多個(gè)處理光束 光掃描兀件，配置為用于接收多個(gè)處理光束并且在一個(gè)目標(biāo)中掃描這些處理光束；并且 一個(gè)圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)，配置為用于選擇性地調(diào)整目標(biāo)中的多個(gè)處理光束的旋轉(zhuǎn)圖像。
2.如權(quán)利要求1中所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于，所述射入光束是指脈沖激光束。
3.如權(quán)利要求1所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)用于選擇性的將光束分離器繞著一個(gè)或多個(gè)光軸旋轉(zhuǎn)。
4.如權(quán)利要求1所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，所述光束分離器是一個(gè)離散光學(xué)元件。
5.如權(quán)利要求1所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，還包括一個(gè)光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像，并且圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)特征在于光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像選擇性的繞著一個(gè)或多個(gè)光軸旋轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求5所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于，所述圖像旋轉(zhuǎn)元件是鴿子棱鏡、佩肯棱鏡、無(wú)源阿貝棱鏡、柱面棱鏡望遠(yuǎn)鏡或者三反射式的無(wú)源阿貝棱鏡中的一種。
7.如權(quán)利要求1中所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于，通過(guò)圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)的逆向旋轉(zhuǎn)來(lái)糾正由光掃描元件引入的圖像錯(cuò)誤。
8.如權(quán)利要求7中所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于，所述逆向旋轉(zhuǎn)角度小于I度。
9.如權(quán)利要求1中所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于所述圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)從與光束掃描元件相關(guān)的一個(gè)或多個(gè)移動(dòng)值中確定一個(gè)旋轉(zhuǎn)值。
10.如權(quán)利要求1中所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于所述圖像補(bǔ)償子系統(tǒng)提供了 一個(gè)20微米以內(nèi)的圖像糾正功能。
11.如權(quán)利要求1中所述的圖像補(bǔ)償多束光系統(tǒng)，其特征在于所述光掃描元件包括一個(gè)帶有一副角度可控的掃描鏡的檢流計(jì)掃描儀。
12.一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，包括: 將一束射入光用光束分離器分離為多個(gè)處理光束； 通過(guò)一個(gè)光掃描兀件在一個(gè)目標(biāo)中掃描這些處理光束；并且 選擇性的調(diào)整目標(biāo)中多個(gè)處理光束的旋轉(zhuǎn)圖像。
13.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，其特征在于，所述射入光束是一個(gè)脈沖激光束。
14.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法,其特征在于所述的選擇性調(diào)整是通過(guò)與光掃描元件同步進(jìn)行的逆向旋轉(zhuǎn)光束分離器來(lái)完成的。
15.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法,其特征在于所述光束分離器是一個(gè)離散的光學(xué)兀件。
16.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法,其特征在于所述選擇性調(diào)整是通過(guò)逆向旋轉(zhuǎn)光學(xué)旋轉(zhuǎn)圖像來(lái)操控多個(gè)處理光束的路徑的。
17.如權(quán)利要求16所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，其特征在于所述圖像逆向旋轉(zhuǎn)元件是鴿子棱鏡、佩肯棱鏡、無(wú)源阿貝棱鏡、柱面棱鏡望遠(yuǎn)鏡或者三反射式的無(wú)源阿貝棱鏡中的一種。
18.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，其特征在于所述選擇性的調(diào)整目標(biāo)中多個(gè)處理光束的旋轉(zhuǎn)圖像是指通過(guò)逆向旋轉(zhuǎn)來(lái)糾正由光掃描元件引入的圖像錯(cuò)誤。
19.如權(quán)利要求18所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，其特征在于所述逆向旋轉(zhuǎn)的角度小于I度。
20.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，其特征在于所述選擇性調(diào)整旋轉(zhuǎn)的數(shù)量是由一個(gè)或多個(gè)與光束掃描元件相關(guān)的移動(dòng)值確定的。
21.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法，其特征在于所述圖像補(bǔ)償系統(tǒng)提供了一個(gè)大約20微米或以下的圖像糾正的功能。
22.如權(quán)利要求12所述的一種用于補(bǔ)償一個(gè)多束光圖像的方法,其特征在于所述光束掃描元件用于將射入光束通過(guò)受控旋轉(zhuǎn)的掃描鏡轉(zhuǎn)向檢流計(jì)掃描儀。
【文檔編號(hào)】B23K26/064GK104227234SQ201410237270
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月11日
【發(fā)明者】斯科特·R·卡爾森 申請(qǐng)人:恩耐激光技術(shù)有限公司