精密電極進(jìn)給裝置及其工作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種精密電極進(jìn)給裝置,包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I、對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II、第一伸縮機(jī)構(gòu)、第二伸縮機(jī)構(gòu),第一伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第一箝位機(jī)構(gòu)I和第一箝位機(jī)構(gòu)II之間,第二伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第二箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I以及第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間均設(shè)有用于電極進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的進(jìn)給間隙,電極沿電極進(jìn)給方向設(shè)置于進(jìn)給間隙內(nèi)。同時(shí)還提供了工作方法。本發(fā)明操控簡(jiǎn)單方便、體積小,通過外部驅(qū)動(dòng)和伸縮機(jī)構(gòu)反復(fù)伸縮,實(shí)現(xiàn)電極的大幅度進(jìn)給和高頻微幅進(jìn)給,保證加工的穩(wěn)定性及精確度。
【專利說明】精密電極進(jìn)給裝置及其工作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及放電加工加工【技術(shù)領(lǐng)域】的電極運(yùn)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng),具體地,涉及一種用于電極放電加工裝置中的精密電極進(jìn)給裝置及其工作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]放電加工,即電火花加工,是利用加工用的電極工具和被加工物之間所發(fā)生的放電作用,將被加工物的加工部分去除的加工方式,廣泛應(yīng)用在模具制造、機(jī)械加工行業(yè),而電極運(yùn)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)是放電加工裝置的重要組成部分。
[0003]目前放電加工裝置中的電極運(yùn)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng),主要采用噴嘴-擋板式電液壓進(jìn)給方式、伺服電機(jī)進(jìn)給方式以及直線電機(jī)進(jìn)給方式;這些方式多采用電機(jī)或液壓驅(qū)動(dòng)方式帶動(dòng)多部件傳動(dòng)進(jìn)而驅(qū)動(dòng)電極進(jìn)給。采用這些方式的放電加工裝置,具有系統(tǒng)設(shè)備尺寸大、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、能耗高、控制系統(tǒng)和控制環(huán)節(jié)繁瑣、進(jìn)給誤差大、進(jìn)給精度低以及分辨率低等問題,無法滿足現(xiàn)代工業(yè)對(duì)精密加工的需求。
[0004]目前沒有發(fā)現(xiàn)同本發(fā)明類似技術(shù)的說明或報(bào)道,也尚未收集到國(guó)內(nèi)外類似的資料。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足,提供了一種用于電極放電加工裝置中的精密電極進(jìn)給裝置及其工作方法。
[0006]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供了一種精密電極進(jìn)給裝置,包括筘位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II以及伸縮機(jī)構(gòu),所述箝位機(jī)構(gòu)I包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I,所述箝位機(jī)構(gòu)II包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II,所述伸縮機(jī)構(gòu)包括第一伸縮機(jī)構(gòu)和第二伸縮機(jī)構(gòu),所述第一伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第一箝位機(jī)構(gòu)I和第一箝位機(jī)構(gòu)I I之間,所述第二伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第二箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間,所述第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I以及第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間均設(shè)有用于電極進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的進(jìn)給間隙,所述電極沿電極進(jìn)給方向設(shè)置于進(jìn)給間隙內(nèi)。
[0008]優(yōu)選地,還包括外殼,所述箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II和伸縮機(jī)構(gòu)均設(shè)置于外殼內(nèi)部,所述外殼在進(jìn)給間隙處設(shè)有用于電極運(yùn)動(dòng)的通孔。
[0009]優(yōu)選地,所述第一箝位機(jī)構(gòu)1、第二箝位機(jī)構(gòu)1、第一箝位機(jī)構(gòu)II以及第二箝位機(jī)構(gòu)II均分別米用永磁體和/或電磁體,所述第一箝位機(jī)構(gòu)1、第二箝位機(jī)構(gòu)1、第一筘位機(jī)構(gòu)II以及第二箝位機(jī)構(gòu)II分別連接驅(qū)動(dòng)電源。
[0010]優(yōu)選地,所述伸縮機(jī)構(gòu)采用磁致伸縮材料體或壓電伸縮材料體,所述磁致伸縮材料或壓電伸縮材料體在外部磁激勵(lì)體作用下進(jìn)行往復(fù)微幅振動(dòng)。
[0011 ] 優(yōu)選地,所述外部磁激勵(lì)體采用電磁線圈。[0012]優(yōu)選地,還包括6自由度進(jìn)給平臺(tái),所述6自由度進(jìn)給平臺(tái)與箝位機(jī)構(gòu)I剛性連接。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面,提供了一種上述精密電極進(jìn)給裝置的工作方法,包括如下步驟:
[0014]步驟0,箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II以及伸縮機(jī)構(gòu)均處于初始狀態(tài),即電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊,并處于初始工位d ;
[0015]步驟1,對(duì)箝位機(jī)構(gòu)I通電,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I在磁力的作用下遠(yuǎn)離,處于箝位機(jī)構(gòu)I處的電極處于松弛狀態(tài);
[0016]步驟2,電極在外部驅(qū)動(dòng)力的作用下沿進(jìn)給方向向下運(yùn)動(dòng);由于處于箝位機(jī)構(gòu)II處的電極仍處于夾緊狀態(tài),電極帶動(dòng)箝位機(jī)構(gòu)II向下運(yùn)動(dòng),同時(shí),伸縮機(jī)構(gòu)在箝位機(jī)構(gòu)II的作用力下伸長(zhǎng);
[0017]步驟3,電極移動(dòng)至下一工位d+ Δ d,筘位機(jī)構(gòu)I斷電,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I回歸初始狀態(tài),電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊;其中,Λ d為電極移動(dòng)位移;
[0018]步驟4,對(duì)箝位機(jī)構(gòu)II通電,第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II在磁力作用下遠(yuǎn)離,電極在箝位機(jī)構(gòu)II處處于松弛狀態(tài);
[0019]步驟5,伸縮機(jī)構(gòu)在拉力作用下回歸初始狀態(tài);
[0020]步驟6,箝位機(jī)構(gòu)II斷電,第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II回歸初始狀態(tài),電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊,完成一次進(jìn)給運(yùn)動(dòng);
[0021]步驟7,重復(fù)步驟I至步驟6,反復(fù)加載實(shí)現(xiàn)多步累積的電極大行程或無限長(zhǎng)行程進(jìn)給。
[0022]優(yōu)選地,所述步驟2還包括如下步驟:
[0023]伸縮機(jī)構(gòu)在外部磁激勵(lì)體作用下進(jìn)行往復(fù)高頻伸縮,帶動(dòng)電極相對(duì)工件往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0024]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有如下的有益效果:
[0025]1、本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了一種針對(duì)放電加工電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的微小型超精密電極進(jìn)給系統(tǒng),具有操控簡(jiǎn)單方便、體積小的特點(diǎn);
[0026]2、本發(fā)明通過跟蹤和保證加工放電間隙,實(shí)現(xiàn)加工的穩(wěn)定性,以適應(yīng)設(shè)定的加工電參數(shù);
[0027]3、通過外部驅(qū)動(dòng)和伸縮機(jī)構(gòu)反復(fù)伸縮,實(shí)現(xiàn)電極的大幅度進(jìn)給和高頻微幅進(jìn)給,保證加工的精確度;
[0028]4、本發(fā)明由于采用了伸縮機(jī)構(gòu)進(jìn)行高頻微幅振動(dòng),提高了加工效率;同時(shí),加工過程中產(chǎn)生的不良介質(zhì),也能通在高頻微幅振動(dòng)的進(jìn)給過程中帶出;
[0029]5、由于電極本身質(zhì)量輕,無需使用大電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng),本發(fā)明脫離了機(jī)床的控制,還具有體積小、質(zhì)量輕的特點(diǎn),克服了現(xiàn)有電極進(jìn)給裝置體積大、質(zhì)量重的缺陷;
[0030]6、本發(fā)明尤其使用小孔加工。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0031]通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述,本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:[0032]圖1為本發(fā)明精密電極進(jìn)給裝置結(jié)構(gòu)示意圖;
[0033]圖2為本發(fā)明精密電極進(jìn)給裝置進(jìn)給一步工作過程示意圖;
[0034]圖3為本發(fā)明精密電極進(jìn)給裝置的外殼結(jié)構(gòu)示意圖;
[0035]圖4位本發(fā)明精密電極進(jìn)給裝置的6自由度進(jìn)給平臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖;
[0036]圖中:I為精密電極進(jìn)給裝置,2為電極,3為箝位機(jī)構(gòu)I,4為伸縮機(jī)構(gòu),5為箝位機(jī)構(gòu)11,6為6自由度進(jìn)給平臺(tái),7為外殼。
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說明:本實(shí)施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為前提下進(jìn)行實(shí)施,給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過程。應(yīng)當(dāng)指出的是,對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0038]請(qǐng)同時(shí)參閱圖1至圖4。
[0039]實(shí)施例1
[0040]本實(shí)施例提供了一種精密電極進(jìn)給裝置,包括箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II以及伸縮機(jī)構(gòu),所述箝位機(jī)構(gòu)I 包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I,所述箝位機(jī)構(gòu)II包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II,所述伸縮機(jī)構(gòu)包括第一伸縮機(jī)構(gòu)和第二伸縮機(jī)構(gòu),所述第一伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第一箝位機(jī)構(gòu)I和第一箝位機(jī)構(gòu)II之間,所述第二伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第二箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間,所述第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I以及第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間均設(shè)有用于電極進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的進(jìn)給間隙,所述電極沿電極進(jìn)給方向設(shè)置于進(jìn)給間隙內(nèi)。
[0041]進(jìn)一步地,所述第一箝位機(jī)構(gòu)1、第二筘位機(jī)構(gòu)1、第一筘位機(jī)構(gòu)II以及第二箝位機(jī)構(gòu)II均分別采用永磁體和/或電磁體,所述第一箝位機(jī)構(gòu)1、第二箝位機(jī)構(gòu)1、第一箝位機(jī)構(gòu)II以及第二箝位機(jī)構(gòu)II分別連接驅(qū)動(dòng)電源。
[0042]進(jìn)一步地,所述伸縮機(jī)構(gòu)采用磁致伸縮材料體或壓電伸縮材料體,所述磁致伸縮材料或壓電伸縮材料體在外部磁激勵(lì)體作用下進(jìn)行往復(fù)微幅振動(dòng)。
[0043]進(jìn)一步地,所述外部磁激勵(lì)體采用電磁線圈。
[0044]本實(shí)施例提供的上述精密電極進(jìn)給裝置,其工作方法,包括如下步驟:
[0045]步驟0,箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II以及伸縮機(jī)構(gòu)均處于初始狀態(tài),即電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊,并處于初始工位d ;
[0046]步驟1,對(duì)箝位機(jī)構(gòu)I通電,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二筘位機(jī)構(gòu)I在磁力的作用下遠(yuǎn)離,處于箝位機(jī)構(gòu)I處的電極處于松弛狀態(tài);
[0047]步驟2,電極在外部驅(qū)動(dòng)力的作用下沿進(jìn)給方向向下運(yùn)動(dòng);由于處于箝位機(jī)構(gòu)II處的電極仍處于夾緊狀態(tài),電極帶動(dòng)箝位機(jī)構(gòu)II向下運(yùn)動(dòng),同時(shí),伸縮機(jī)構(gòu)在箝位機(jī)構(gòu)II的作用力下伸長(zhǎng);
[0048]步驟3,電極移動(dòng)至下一工位d+ Δ d,箝位機(jī)構(gòu)I斷電,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I回歸初始狀態(tài),電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊;
[0049]步驟4,對(duì)箝位機(jī)構(gòu)II通電,第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II在磁力作用下遠(yuǎn)離,電極在箝位機(jī)構(gòu)II處處于松弛狀態(tài);[0050]步驟5,伸縮機(jī)構(gòu)在拉力作用下回歸初始狀態(tài);
[0051]步驟6,箝位機(jī)構(gòu)II斷電,第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II回歸初始狀態(tài),電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊,完成一次進(jìn)給運(yùn)動(dòng);
[0052]步驟7,重復(fù)步驟I至步驟6,反復(fù)加載實(shí)現(xiàn)多步累積的電極大行程或無限長(zhǎng)行程進(jìn)給。
[0053]進(jìn)一步地,所述步驟2還包括如下步驟:
[0054]伸縮機(jī)構(gòu)在外部磁激勵(lì)體作用下進(jìn)行往復(fù)高頻伸縮,帶動(dòng)電極相對(duì)工件往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0055]本實(shí)施例提供的精密電極進(jìn)給裝置及其工作方法,在電極進(jìn)給過程中,進(jìn)行大幅度位移的同時(shí),還能夠?qū)崿F(xiàn)高頻微幅振動(dòng),伸縮機(jī)構(gòu)通過外部磁激勵(lì)體作用往復(fù)高頻伸縮,帶動(dòng)電極相對(duì)工件往復(fù)運(yùn)動(dòng),提高加工效率的同時(shí),保證加工精度。
[0056]實(shí)施例2
[0057]實(shí)施例2為實(shí)施例1的變化例。
[0058]本實(shí)施例在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上,還包括外殼,所述箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)I和伸縮機(jī)構(gòu)均設(shè)置于外殼內(nèi)部,所述外殼在進(jìn)給間隙處設(shè)有用于電極運(yùn)動(dòng)的通孔。
[0059]實(shí)施例3
[0060]實(shí)施例3為實(shí)施例1或?qū)嵤├?的變化例。
[0061]本實(shí)施例在實(shí)施例1或?qū)嵤├?的基礎(chǔ)上,還包括6自由度進(jìn)給平臺(tái)。
[0062]所述6自由度進(jìn)給平臺(tái)與箝位機(jī)構(gòu)I剛性連接。
[0063]所述6自由度進(jìn)給平臺(tái)包括三個(gè)平動(dòng)方向和三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)方向,在電極進(jìn)給過程中,實(shí)現(xiàn)多個(gè)方位的運(yùn)動(dòng)。
[0064]以上對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是,本發(fā)明并不局限于上述特定實(shí)施方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改,這并不影響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。
【權(quán)利要求】
1.一種精密電極進(jìn)給裝置,其特征在于,包括箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II以及伸縮機(jī)構(gòu),所述箝位機(jī)構(gòu)I包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I,所述箝位機(jī)構(gòu)II包括對(duì)稱設(shè)置的第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II,所述伸縮機(jī)構(gòu)包括第一伸縮機(jī)構(gòu)和第二伸縮機(jī)構(gòu),所述第一伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第一箝位機(jī)構(gòu)I和第一箝位機(jī)構(gòu)II之間,所述第二伸縮機(jī)構(gòu)沿電極進(jìn)給方向連接于第二箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間,所述第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I之間以及第一筘位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II之間均設(shè)有用于電極進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的進(jìn)給間隙,電極沿電極進(jìn)給方向設(shè)置于進(jìn)給間隙內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密電極進(jìn)給裝置,其特征在于,還包括外殼,所述箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II和伸縮機(jī)構(gòu)均設(shè)置于外殼內(nèi)部,所述外殼在進(jìn)給間隙處設(shè)有用于電極運(yùn)動(dòng)的通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的精密電極進(jìn)給裝置,其特征在于,所述第一箝位機(jī)構(gòu)1、第二箝位機(jī)構(gòu)1、第一箝位機(jī)構(gòu)II以及第二箝位機(jī)構(gòu)II均分別采用永磁體和/或電磁體,所述第一箝位機(jī)構(gòu)1、第二箝位機(jī)構(gòu)1、第一箝位機(jī)構(gòu)I以及第二箝位機(jī)構(gòu)II分別連接驅(qū)動(dòng)電源。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的精密電極進(jìn)給裝置,其特征在于,所述伸縮機(jī)構(gòu)采用磁致伸縮材料體或壓電伸縮材料體,所述磁致伸縮材料或壓電材料體在外部磁激勵(lì)體作用下進(jìn)行往復(fù)微幅振動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密電極進(jìn)給裝置,其特征在于,所述外部磁激勵(lì)體采用電磁線圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的精密電極進(jìn)給裝置,其特征在于,還包括6自由度進(jìn)給平臺(tái),所述6自由度進(jìn)給平臺(tái)與箝位機(jī)構(gòu)I剛性連接。
7.—種權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的精密電極進(jìn)給裝置的工作方法,其特征在于,包括如下步驟: 步驟O,箝位機(jī)構(gòu)1、箝位機(jī)構(gòu)II以及伸縮機(jī)構(gòu)均處于初始狀態(tài),即電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊,并處于初始工位d ; 步驟1,對(duì)箝位機(jī)構(gòu)I通電,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I在磁力的作用下遠(yuǎn)離,處于箝位機(jī)構(gòu)I處的電極處于松弛狀態(tài); 步驟2,電極在外部驅(qū)動(dòng)力的作用下沿進(jìn)給方向向下運(yùn)動(dòng);由于處于箝位機(jī)構(gòu)II處的電極仍處于夾緊狀態(tài),電極帶動(dòng)箝位機(jī)構(gòu)II向下運(yùn)動(dòng),同時(shí),伸縮機(jī)構(gòu)在箝位機(jī)構(gòu)II的作用力下伸長(zhǎng); 步驟3,電極移動(dòng)至下一工位d+ Δ d,箝位機(jī)構(gòu)I斷電,第一箝位機(jī)構(gòu)I和第二箝位機(jī)構(gòu)I回歸初始狀態(tài),電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊;其中,Λ d為電極移動(dòng)位移; 步驟4,對(duì)箝位機(jī)構(gòu)II通電,第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II在磁力作用下遠(yuǎn)離,電極在箝位機(jī)構(gòu)II處處于松弛狀態(tài); 步驟5,伸縮機(jī)構(gòu)在拉力作用下回歸初始狀態(tài); 步驟6,箝位機(jī)構(gòu)II斷電,第一箝位機(jī)構(gòu)II和第二箝位機(jī)構(gòu)II回歸初始狀態(tài),電極在進(jìn)給間隙內(nèi)夾緊,完成一次進(jìn)給運(yùn)動(dòng); 步驟7,重復(fù)步驟I至步驟6,反復(fù)加載實(shí)現(xiàn)多步累積的電極大行程或無限長(zhǎng)行程進(jìn)給。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的精密電極進(jìn)給裝置的工作方法,其特征在于,所述步驟2還包括如下步驟:伸縮機(jī)構(gòu)在外部 磁激勵(lì)體作用下進(jìn)行往復(fù)高頻伸縮,帶動(dòng)電極相對(duì)工件往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】B23H1/00GK104014889SQ201410203296
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月14日
【發(fā)明者】楊斌堂 申請(qǐng)人:楊斌堂