專利名稱：一種連續(xù)式真空焊接爐及其焊接方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種焊接設(shè)備及其焊接方法，特別涉及一種連續(xù)式真空焊接爐及其焊接方法。
背景技術(shù)：
隨著電子元器件封裝尺寸日漸縮小，功率等級(jí)日漸增長(zhǎng)，對(duì)無(wú)空洞焊接的需求應(yīng)運(yùn)而生。由于在少氧或無(wú)氧的環(huán)境下進(jìn)行焊接，可以減少焊接過(guò)程中空洞的產(chǎn)生進(jìn)而提高焊接的質(zhì)量，人們一直希望焊接過(guò)程能在少氧或無(wú)氧的環(huán)境下進(jìn)行。而目前的焊接爐大多是在大氣環(huán)境下進(jìn)行焊接的，空洞的產(chǎn)生無(wú)法控制，焊接的品質(zhì)不高。此外，對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的真空焊接爐，一般是在一個(gè)腔體空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)焊接整個(gè)過(guò)程。每次焊接工作都需要從室溫加熱到焊接溫度，再?gòu)暮附訙囟冉档偷绞覝?。進(jìn)行多次焊接，就要進(jìn)行多次溫度冷熱沖擊。首先，頻繁升溫和降溫會(huì)造成能量的大量損耗；其次，頻繁升溫、降溫對(duì)焊接設(shè)備本身會(huì)造成溫度應(yīng)力疲勞損傷；再者，升溫和降溫要花費(fèi)不少時(shí)間，降低了焊接效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種連續(xù)式真空焊接爐及其焊接方法。本發(fā)明連續(xù)式真空焊接爐采用的技術(shù)方案是
一種連續(xù)式真空焊接爐，包括機(jī)架和位于機(jī)架上的真空腔部件、控制裝置，所述控制裝置包括電器控制裝置、氣動(dòng)控制裝置、人機(jī)交互裝置，其特征在于在機(jī)架上設(shè)有長(zhǎng)方體形的工作室，在工作室內(nèi)依次并排設(shè)有第一真空腔體部件、第二真空腔體部件、第三真空腔體部件、第四真空腔體部件，上述真空腔體部件兩端均設(shè)有高真空插板閥，相鄰的高真空插板閥的閥口相互連通；工作室內(nèi)設(shè)有將上述四個(gè)真空腔體部件兩兩分開(kāi)的隔溫板，隔溫板將工作室分為相互獨(dú)立的兩個(gè)部分，其中第一真空腔體部件、第二真空腔體部件所在部分為加熱區(qū)，第三真空腔體部件、第四真空腔體部件所在部分為冷卻區(qū)；工作室靠近加熱區(qū)一側(cè)的壁上設(shè)有進(jìn)料口，進(jìn)料口上連接有進(jìn)料部件；工作室靠近冷卻區(qū)一側(cè)的壁上設(shè)有出料口，出料口上連接有出料部件;第一真空腔體部件外側(cè)的高真空插板閥的閥口與工作室的進(jìn)料口相連通；第四真空腔體部件的高真空插板閥外側(cè)的閥口與出料口相連通；在加熱區(qū)內(nèi)的真空腔體部件包括真空室、真空裝置、加熱裝置、輸送裝置；在冷卻區(qū)內(nèi)的真空腔體部件包括真空室、真空裝置、冷卻裝置、輸送裝置；所述控制裝置控制真空裝置、加熱裝置、冷卻裝置、輸送裝置、高真空插板閥的工作。進(jìn)一步，所述真空裝置為真空泵，真空泵通過(guò)管路與真空腔體部件的抽真空閥門連接；所述進(jìn)料部件設(shè)有滾輪機(jī)構(gòu)，滾輪機(jī)構(gòu)設(shè)有用于輸送托盤的輸送輪；所述出料部件設(shè)有滾輪機(jī)構(gòu)，滾輪機(jī)構(gòu)設(shè)有用于輸送托盤的輸送輪；所述高真空插板閥上設(shè)有控制高真空插板閥打開(kāi)或關(guān)閉的驅(qū)動(dòng)裝置；所述人機(jī)交互裝置為可編程邏輯控制器。
進(jìn)一步，所述輸送裝置包括位于真空腔體部件側(cè)部的軸承固定板，軸承固定板上固定有主動(dòng)軸和從動(dòng)軸,主動(dòng)軸和從動(dòng)軸上設(shè)有滾輪,主動(dòng)軸和從動(dòng)軸的之間設(shè)有相互配合的聯(lián)動(dòng)齒輪；主動(dòng)軸一部分位于真空腔體部件側(cè)部以外,位于真空腔體部件側(cè)部以外部分設(shè)有磁流體密封件；主動(dòng)軸伸出真空腔體部件側(cè)部以外的部分與伺服電機(jī)的聯(lián)軸器相連，通過(guò)伺服電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)主動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)一步，所述加熱裝置包括加熱板，加熱板位于真空室中滾輪的下方，加熱板由電阻絲加熱或電熱管加熱；位于加熱區(qū)的真空腔體部件的底部連接有底座，底座上安裝有一對(duì)相互平行的線性滑軌，線性滑軌垂直于真空腔體部件的底部；線性滑軌的滑塊上設(shè)有可垂直移動(dòng)的底板，底板的中部通過(guò)絲杠螺母連接有滾珠絲杠；滾珠絲杠頂部與真空腔體部件的底部通過(guò)滾珠絲杠軸承座連接；底板與真空腔體部件的底部之間垂直方向密封連接有兩個(gè)金屬波紋管；金屬波紋管內(nèi)設(shè)有內(nèi)柱，內(nèi)柱穿過(guò)真空腔體部件的底部，內(nèi)柱頂部連接有加熱板，內(nèi)柱的底部與底板相連；底座上設(shè)有伺服電機(jī)，滾珠絲杠與伺服電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器相連；通過(guò)伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)節(jié)加熱板與真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤之間的距離從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤輻射溫度的精確控制，或者通過(guò)調(diào)整電阻絲或電熱管的電流大小實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤輻射溫度的精確控制。當(dāng)加熱板與托盤緊貼時(shí)，達(dá)到最大冷卻效果。進(jìn)一步，所述冷卻裝置為冷卻板，冷卻板位于真空室中滾輪的下方，冷卻板內(nèi)設(shè)有用于冷卻液流通的通道；所述冷卻液為水或液氮，通過(guò)冷卻液輸送泵來(lái)實(shí)現(xiàn)循環(huán)；位于冷卻區(qū)的真空腔體部件的底部連接有底座，底座上安裝有一對(duì)相互平行的線性滑軌，線性滑軌垂直于真空腔體部件的底部；線性滑軌的滑塊上設(shè)有可垂直移動(dòng)的底板，底板的中部通過(guò)絲杠螺母連接有滾珠絲杠；滾珠絲杠頂部與真空腔體部件的底部通過(guò)滾珠絲杠軸承座連接；底板與真空腔體部件的底部之間垂直方向密封連接有兩個(gè)金屬波紋管；金屬波紋管內(nèi)設(shè)有內(nèi)柱，內(nèi)柱穿過(guò)真空腔體部件的底部，內(nèi)柱頂部連接有冷卻板，內(nèi)柱的底部與底板相連；底座上設(shè)有伺服電機(jī)，滾珠絲杠與伺服電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器相連；通過(guò)伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)節(jié)冷卻板與真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤之間的距離從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空 腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤的溫度的精確控制，或者通過(guò)調(diào)整冷卻液的流量實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤的溫度的精確控制。當(dāng)冷卻板與托盤緊貼時(shí)，達(dá)到最大冷卻效果。進(jìn)一步，真空腔體部件設(shè)有溫度測(cè)量裝置，所述溫度測(cè)量裝置包括溫度傳感器，溫度測(cè)量裝置與控制裝置相連；真空腔體部件設(shè)有壓力測(cè)量裝置，所述壓力測(cè)量裝置包括壓力傳感器，壓力測(cè)量裝置與控制裝置相連?？梢酝ㄟ^(guò)壓力測(cè)量裝置測(cè)量真空室的真空度。進(jìn)一步，第一真空腔體部件為預(yù)加熱真空腔體部件，其加熱溫度控制在150^2000C ;第二真空腔體部件為加熱真空腔體部件，其加熱溫度控制在39(T410°C ;第三真空腔體部件為預(yù)冷卻真空腔體部件，其冷卻溫度控制在11(T130°C ;第四真空腔體部件為冷卻真空腔體部件，其冷卻溫度控制在6(T70°C。進(jìn)一步，所述真空腔體部件上設(shè)有兩個(gè)預(yù)留閥門?？梢栽谝院蟮膽?yīng)用中用于插入輔助加熱裝置或插入腔體溫度傳感器。還有更好的擴(kuò)展作用，如通過(guò)聯(lián)通的法蘭向真空腔體部件內(nèi)部輸送氮?dú)饣蚨栊詺怏w，減少焊料氧化。
進(jìn)一步，位于加熱區(qū)的真空腔體部件的真空蓋上設(shè)有供冷卻液通過(guò)的冷卻道；所述冷卻液為水或液氮。進(jìn)一步，所述真空室上設(shè)有密封蓋，密封蓋的一端與真空室鉸接，密封蓋與真空室之間通過(guò)支撐架連接，支撐架和氣缸連接，通過(guò)氣缸帶動(dòng)支撐架的張開(kāi)與閉合來(lái)實(shí)現(xiàn)密封蓋的打開(kāi)與關(guān)閉；密封蓋上設(shè)有快速排氣閥；密封蓋上設(shè)有用于觀察腔體內(nèi)工件的焊接和設(shè)備的運(yùn)行情況的真空觀察窗，以便于控制升降溫速度，達(dá)到理想的焊接效果。連續(xù)式真空焊接爐的焊接方法包括下列步驟
A)打開(kāi)第一真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，將裝載待焊物件的托盤放入進(jìn)料部件，進(jìn)料部件的輸送輪帶動(dòng)托盤通過(guò)進(jìn)料口進(jìn)入該真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第一真空腔體部件抽真空，真空度控制在I毫巴；以1°C /秒速度將托盤加熱到15(T200°C ；
B)打開(kāi)第一真空腔體部件和第二真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第一真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第二真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第二真空腔體部件抽真空，真空度控制在I毫巴；以1°C /秒速度將托盤加熱到39(T410°C，對(duì)工件進(jìn)行焊接；
C)打開(kāi)第二真空腔體部件和第三真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第二真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第三真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第三真空腔體部件抽真空，真空度控制在在I毫巴；以3°C /秒速度將托盤降溫到11(T130°C ；
D)打開(kāi)第三真空腔體部件和第四真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第三真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第四真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第四真空腔體部件抽真空，真空度控制在在I毫巴；以3°C /秒速度將托盤降溫到6(T70°C ；
E)打開(kāi)第四真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第四真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入出料部件，關(guān)閉閥口；出料部件的輸送輪將托盤送出，此時(shí)待焊物件焊接完成。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是工作室被分隔成四個(gè)獨(dú)立區(qū)域，擁有獨(dú)立的加熱系統(tǒng)或冷卻系統(tǒng)。在輸送裝置的作用下，會(huì)依次經(jīng)過(guò)預(yù)熱區(qū)、焊接區(qū)、預(yù)冷卻區(qū)、冷卻區(qū)，從而實(shí)現(xiàn)不同的處理過(guò)程即預(yù)熱階段、加熱階段、預(yù)冷階段和冷卻階段。焊接的溫度升溫分在兩個(gè)區(qū)域完成，升溫速度慢，可以起到焊料不沸騰、飛濺，防止電子元器件由于升溫過(guò)快造成斷裂、變形的現(xiàn)象，避免因液體表面張力造成焊點(diǎn)焊接不牢；焊接的降溫也在兩個(gè)區(qū)域完成，降溫慢，可以避免由于降溫太快引起電子元器件內(nèi)部應(yīng)力加大從而導(dǎo)致焊接不牢固。與現(xiàn)有技術(shù)的爐體結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明具備獨(dú)立的加熱系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)，即加熱區(qū)和冷卻區(qū)之間設(shè)有隔溫板，避免了冷熱空氣會(huì)相互影響或者混合，減少了能量損失；加熱和冷卻互不干擾，無(wú)需多次升溫與降溫，節(jié)省了焊接時(shí)間，也節(jié)約了能源。加熱區(qū)和冷卻區(qū)分為兩個(gè)獨(dú)立區(qū)域，相比現(xiàn)有技術(shù)中僅設(shè)置加熱和冷卻兩個(gè)區(qū)域，每個(gè)區(qū)域耗時(shí)更少，因此，流水線作業(yè)時(shí)，相當(dāng)于將加熱和冷卻的時(shí)間均縮短了一半，也節(jié)省了焊接時(shí)間。真空腔體部件之間一字依次排開(kāi)，進(jìn)出料路線最短，相互之間進(jìn)出料方便，也比較省時(shí)。真空腔體部件之間相互獨(dú)立，便于在個(gè)真空腔體部件內(nèi)實(shí)現(xiàn)不同的溫度、壓力，實(shí)現(xiàn)不同的升溫或降溫速度。裝載待焊物件的托盤與真空腔體部件的輸送裝置之間為滾動(dòng)摩擦，對(duì)托盤的磨損小。加熱板或冷卻板位于托盤下方，保證托盤比待焊物料先受熱或先降溫，有效防止了空洞的產(chǎn)生。通過(guò)伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的運(yùn)動(dòng)來(lái)調(diào)節(jié)加熱板或冷卻板與真空腔體部件中滾輪上的裝載待焊電子元器件的托盤之間的距離從而可以實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件加熱或降溫速度的精確控制。本發(fā)明連續(xù)式焊接爐能進(jìn)行流水線操作的連續(xù)焊接，并且還能保證在真空或者保護(hù)氣氛下的工作，而現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法做到在流水線焊接的同時(shí)還能保持在真空和保護(hù)氣氛下進(jìn)行焊接。這樣不僅減少了空洞的產(chǎn)生并提高了焊接的質(zhì)量，而且還能連續(xù)不斷地進(jìn)行焊接操作。本裝置可以應(yīng)用于大型、中型和小型等各種焊接生產(chǎn)中，適用范圍大。焊劑溫度升高產(chǎn)生蒸發(fā)是空洞產(chǎn)生主要原因。焊接室內(nèi)壓為I毫巴的真空環(huán)境，使空洞內(nèi)部和外部形成壓差，壓差能克服焊料粘度，釋放空洞。在傳統(tǒng)焊接爐中，組件所有部分同時(shí)暴露在高溫中，導(dǎo)致焊料在托盤到加熱溫度之前就開(kāi)始融化。本發(fā)明輻射式加熱方式先加熱托盤底部，托盤到加熱溫度后，待焊電子元器件才開(kāi)始焊接，避免了空洞的產(chǎn)生。降溫也是同樣的道理，先降溫托盤底部，托盤降溫后，待焊電子元器件才開(kāi)始逐步冷卻。由于真空水平、粘度、時(shí)間等因素也會(huì)對(duì)空洞的消除率產(chǎn)生影響，因此本發(fā)明連續(xù)式真空焊接爐可以通過(guò)控制真空度、加熱速度、加熱時(shí)間等因素，可有效防止空洞的產(chǎn)生，實(shí)現(xiàn)無(wú)空洞焊接。


圖1是本發(fā)明連續(xù)式真空焊接爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是圖1的正視圖。
圖3是圖1的左視圖。
圖4是真空腔體部件的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5是真空腔體部件的溫度控制裝置安裝在真空腔體部件上時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6是圖5真空腔體部件的溫度控制裝置的立體圖。
圖7是真空腔體部件的輸送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖8是真空腔體部件的密封蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖9是圖8的左視圖。
圖10是圖9的正視圖。
其中1_進(jìn)料部件；2_推拉防護(hù)門；3-機(jī)架；4_隔溫層；5_第一真空腔體部件
6-真空泵；7_可編程邏輯控制器；8_出料部件；9_托盤；10_電器柜；11_氣動(dòng)柜；12_工作室；13_隔溫板；14_高真空插板閥；15_預(yù)熱區(qū)；16_焊接區(qū)；17_預(yù)冷卻區(qū)；18-冷卻區(qū)；19_輸送輪；20_溫度控制裝置；21_輸送裝置；22_第二真空腔體部件；23_第三真空腔體部件；24-第四真腔體部件；201-密封蓋；202-抽真空閥門；203-高真空插板閥進(jìn)口 ；204-預(yù)留閥門一 ；205_真空室；206_傳感器接口 ；207_螺桿；208_預(yù)留閥門二 ；301_導(dǎo)熱板；302_線性滑軌；303-隔熱托盤；304_軸承；305_滾珠絲杠；306_滾珠絲杠軸承座；307-托板；308_底座；309_絲杠螺母；310_聯(lián)軸器；311_伺服電機(jī)連接座；312_伺服電機(jī)；313-線性滑軌滑塊；314-金屬波紋管；315-底板；316_通道；317_托盤；318_真空腔體部件；319_真空腔體部件的底部；320-內(nèi)柱；401_真空腔體；402_軸承固定板；403_主動(dòng)軸；404-磁流體密封件；405_伺服電機(jī)；406_聯(lián)軸器；407_聯(lián)動(dòng)齒輪；408_滾輪；409_從動(dòng)軸；501-護(hù)板；502_真空觀察窗；503_支撐架；504_壓力傳感器；505_快速排氣閥；506_密封板；507-冷卻板；508-手柄；509_連接鉸；510-壓緊裝置；511_冷卻通道。
具體實(shí)施例方式下面，結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。圖1、圖2、圖3出示連續(xù)式真空焊接爐主要功能組件的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明主要由進(jìn)料部件1、機(jī)架3、隔溫層4、第一真空腔體部件5、第二真空腔體部件22、第三真空腔體部件23、第四真空腔體部件24、真空泵6、可編程邏輯控制器7、出料部件8、電器柜10、氣動(dòng)柜11、工作室12等組成。工作室12為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，工作室內(nèi)從左至右依次設(shè)有第一真空腔體部件5、第二真空腔體部件22、第三真空腔體部件23、第四真空腔體部件24。電器柜10內(nèi)設(shè)有電氣控制裝置，氣動(dòng)柜11內(nèi)設(shè)有氣動(dòng)控制裝置，電氣控制裝置、氣動(dòng)控制裝置均與可編程邏輯控制器7相連。裝有待焊電子元器件的托盤9從進(jìn)料部件I進(jìn)入連續(xù)式真空焊接爐，焊接完成后，從出料部件8輸出。上述真空腔體部件兩端均設(shè)有高真空插板閥14，真空腔體部件兩端的高真空插板閥的閥口依次相互連通；工作室12內(nèi)設(shè)有將上述四個(gè)真空腔體部件兩兩分開(kāi)的隔溫板13，隔溫板13將工作室分為相互獨(dú)立且密閉的兩個(gè)部分，其中第一真空腔體部件5、第二真空腔體部件22所在部分為加熱區(qū)，位于工作室12左側(cè)；第三真空腔體部件23、第四真空腔體部件24所在部分為冷卻區(qū)，位于工作室12右側(cè)。工作室左側(cè)壁上設(shè)有進(jìn)料口，進(jìn)料口上連接有進(jìn)料部件I ;工作室12右側(cè)壁上設(shè)有出料口，進(jìn)料口上連接有出料部件8 ;第一真空腔體部件5左側(cè)的高真空插板閥的閥口與工作室的進(jìn)料口相連通；第四真空腔體部件24的右側(cè)高真空插板閥的閥口與出料口相連通。上述四個(gè)真空腔體部、高真空插板閥14、進(jìn)料口、出料口在同一軸線上。在加熱區(qū)內(nèi)的真空腔體部件包括真空室、真空裝置、加熱裝置，真空室的底部設(shè)有輸送裝置；在冷卻區(qū)內(nèi)的真空腔體部件包括真空室、真空裝置、冷卻裝置，真空室的底部設(shè)有輸送裝置；所述控制裝置控制真空裝置、加熱裝置、冷卻裝置、輸送裝置、高真空插板閥的工作。所述真空裝置為真空泵6，安裝在氣動(dòng)柜11內(nèi)，真空泵6通過(guò)管路與真空腔體部件的抽真空閥門連接；進(jìn)料部件I的底部設(shè)有用于輸送裝有待焊電子元器件的托盤的輸送輪19 ;出料部件8的底部設(shè)有用于輸送托盤9的輸送輪；所述高真空插板閥14上設(shè)有控制高真空插板閥打開(kāi)或關(guān)閉的驅(qū)動(dòng)裝置；所述控制裝置為可編程邏輯控制器7。可編程邏輯控制器7負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)反映設(shè)備的運(yùn)行情況，以便及時(shí)調(diào)整設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。架體上還設(shè)有電器柜10，用于放置各種電器元件，如測(cè)溫度、壓力裝置，伺服電機(jī)電源等。電器柜10與工作室12之間設(shè)有隔溫層4，以減少工作室溫度對(duì)電器系統(tǒng)的影響。圖4是真空腔體部件的結(jié)構(gòu)示意圖。所述真空腔體部件包括一個(gè)長(zhǎng)方形的真空室205，真空室205上設(shè)有密封蓋201。真空室205兩側(cè)設(shè)有高真空插板閥14，高真空插板閥14上設(shè)有高真空插板閥閥口 203。真空室上還設(shè)有用于抽真空的抽真空閥門202，還設(shè)有用于測(cè)量溫度、壓力、托盤移動(dòng)情況等參數(shù)的傳感器接口 206。真空腔體部件設(shè)有預(yù)留閥門一 204、預(yù)留閥門二 208，設(shè)置預(yù)留閥門的目的主要是方便以后根據(jù)需要從這些預(yù)留閥門上的閥門向真空腔體部件內(nèi)輸送氮?dú)饣蚨栊詺怏w或其它用途時(shí)使用。向真空腔體部件輸送氮?dú)饣蚨栊詺怏w，可以有效降低焊料氧化，提高焊接質(zhì)量。輸送裝置21安裝在真空腔體部件的前端，輸送裝置通過(guò)伺服電機(jī)帶動(dòng)真空腔體部件底部的滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)托盤的運(yùn)送。溫度控制裝置20安裝在真空腔體部件的底部。圖5、圖6出示了真空腔體部件溫度控制裝置的結(jié)構(gòu)。所述溫度控制裝置包括底座308，底座308安裝在真空腔體部件的底部319。底座308的兩側(cè)在垂直方向安裝有一對(duì)相互平行的線性滑軌302，兩線性滑軌滑塊313之間水平方向安裝有底板315。滾珠絲杠305在垂直立設(shè)且穿過(guò)底板315和底座308的中部，通過(guò)絲杠螺母309固定在底板315上。底板315的兩側(cè)安裝有托板307，托板307上立設(shè)有兩個(gè)金屬波紋管314，金屬波紋管314內(nèi)設(shè)有內(nèi)柱320，內(nèi)柱320穿過(guò)真空腔體部件的底部319且頂部設(shè)有隔熱托盤303，隔熱托盤303上連接有導(dǎo)熱板301，內(nèi)柱320與底板315連接。金屬波紋管與真空腔體部件的底部319、底板315密封連接。底座308的底部連接有伺服電機(jī)連接座311，伺服電機(jī)連接座311上設(shè)有伺服電機(jī)312，伺服電機(jī)312通過(guò)聯(lián)軸器310與滾珠絲杠305相連。滾珠絲杠305的頂部設(shè)有滾珠絲杠軸承座306，滾珠絲杠軸承座306上設(shè)有軸承304，滾珠絲杠軸承座306連接在真空腔體部件的底部319。導(dǎo)熱板301上設(shè)有通道316。工作時(shí)，在伺服電機(jī)312的作用下，滾珠絲杠305旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)底板315沿底座308上的線性滑軌302運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)底板315上的金屬波紋管314內(nèi)管上的隔熱托盤303相對(duì)于底座308運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)熱板301在垂直方向運(yùn)動(dòng)。由于底板315固定在真空腔體部件底部，通過(guò)伺服電機(jī)的運(yùn)動(dòng)就可以控制導(dǎo)熱板301與真空腔體部件中托盤的距離，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中托盤溫度的調(diào)節(jié)。。金屬波紋管具有一定柔性，可以伸縮且與真空腔體部件的底部319密封，因此內(nèi)柱320垂直運(yùn)動(dòng)不會(huì)影響真空腔體部件的真空度。第一真空腔體部件、第二真空腔體部件，采用加熱裝置。通道316內(nèi)設(shè)置加熱電阻絲，通過(guò)輻射和對(duì)流向真空腔體部件加熱，導(dǎo)熱板起升溫作用，此時(shí)導(dǎo)熱板即為加熱板。當(dāng)加熱板緊貼真空腔體部件中的托盤317的底部時(shí)，達(dá)到最大升溫效果。第三真空腔體部件、第四真空腔體部件，采用冷卻裝置。通道316內(nèi)循環(huán)有冷卻液，導(dǎo)熱板起降溫作用，此時(shí)導(dǎo)熱板即為冷卻板。當(dāng)冷卻板緊貼真空腔體部件中的托盤317的底部時(shí)，達(dá)到最大降溫效果。所述冷卻液為水或液氮，通過(guò)冷卻液輸送泵來(lái)實(shí)現(xiàn)循環(huán)。圖7出示了真空腔體部件的輸送裝置的結(jié)構(gòu)。所述輸送裝置包括位于真空腔體401側(cè)部的軸承固定板402，軸承固定板402上固定有主動(dòng)軸403和從動(dòng)軸409，主動(dòng)軸403和從動(dòng)軸409上設(shè)有滾輪408，主動(dòng)軸403和從動(dòng)軸409之間設(shè)有相互配合的聯(lián)動(dòng)齒輪407 ；主動(dòng)軸403 —部分位于真空腔體401側(cè)部以外，位于真空腔體401側(cè)部以外部分設(shè)有磁流體密封件404 ;主動(dòng)軸403伸出真空腔體401側(cè)部以外的部分與伺服電機(jī)405的聯(lián)軸器406相連，通過(guò)伺服電機(jī)405運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)主動(dòng)軸403轉(zhuǎn)動(dòng)。主動(dòng)軸403轉(zhuǎn)動(dòng)后，通過(guò)聯(lián)動(dòng)齒輪407帶動(dòng)從動(dòng)軸409上的滾輪408轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)放置在滾輪408上的托盤運(yùn)動(dòng)。磁流體密封件404的作用是在運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下保持真空腔體部件內(nèi)的真空度。真空腔體部件的密封蓋主要用于打開(kāi)真空腔體部件。如圖8到圖10所示，密封蓋的一端通過(guò)連接絞509與真空室鉸接，另一端設(shè)有手柄508、壓緊裝置510。所述壓緊裝置510與螺桿207 (見(jiàn)圖4)配合，可以將密封蓋鎖緊，提高真空室的真空度。設(shè)置手柄508，方便手動(dòng)打開(kāi)密封蓋。密封蓋的外部設(shè)有支撐架503，支撐架與氣缸的輸出軸鉸接后，可以通過(guò)氣缸的輸出軸的運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)密封蓋的張開(kāi)與閉合。設(shè)置密封蓋后，方便在檢修、試驗(yàn)或其它原因需要打開(kāi)真空室的密封蓋。密封蓋設(shè)有快速排氣閥505，方便在打開(kāi)真空室的密封蓋時(shí)注入空氣，消除真空室的真空。密封蓋上設(shè)有真空觀察窗502。方便觀察真空腔體部件內(nèi)部的情況，以便于控制升降溫速度。密封蓋為多層結(jié)構(gòu)，最外層是護(hù)板501，用具有一定保溫效果的材料制成；中間層是密封板506，采用比較柔軟的材質(zhì)制成；最內(nèi)層為冷卻板507，冷卻板507上設(shè)有供冷卻液流過(guò)的冷卻通道511。設(shè)置冷卻板511的目的是為了進(jìn)一步精確控制真空腔體部件內(nèi)的溫度，還可以對(duì)米飯?jiān)撁芊馍w降溫，防止灼傷操作者。密封蓋上設(shè)有壓力傳感器504，可以測(cè)量真空室的真空度。
連續(xù)式真空焊接爐的焊接方法包括下列步驟
A)打開(kāi)第一真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，將裝載待焊物件的托盤放入進(jìn)料部件，進(jìn)料部件的輸送輪帶動(dòng)托盤通過(guò)進(jìn)料口進(jìn)入該真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第一真空腔體部件抽真空，真空度控制在I毫巴；以1°C /秒速度將托盤加熱到15(T200°C ；
B)打開(kāi)第一真空腔體部件和第二真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第一真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第二真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第二真空腔體部件抽真空，真空度控制在I毫巴；以1°C /秒速度將托盤加熱到39(T410°C，對(duì)工件進(jìn)行焊接；
C)打開(kāi)第二真空腔體部件和第三真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第二真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第三真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第三真空腔體部件抽真空，真空度控制在在I毫巴；以3°C /秒速度將托盤降溫到11(T130°C ；
D)打開(kāi)第三真空腔體部件和第四真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第三真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第四真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第四真空腔體部件抽真空，真空度控制在在I毫巴；以3°C /秒速度將托盤降溫到6(T70°C ；
E)打開(kāi)第四真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第四真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入出料部件，關(guān)閉閥口；出料部件的輸送輪將托盤送出，此時(shí)待焊物件焊接完成。一般的焊接爐由于一直處于冷熱交替狀態(tài)，很容易變形，不少部件需要定期更換。本實(shí)施例的焊接爐中，需要溫度變化的只是裝載待焊電子元器件的托盤部分，避免了整個(gè)加熱系統(tǒng)每次都要進(jìn)行冷熱循環(huán)變化，不但保護(hù)了設(shè)備，也顯著降低了電能消耗。此外，由于托盤隨時(shí)可以打開(kāi)真空腔體部件進(jìn)行更換，這樣可以方便地進(jìn)行維修或更換操作。焊接爐擁有獨(dú)立的預(yù)熱區(qū)15、焊接區(qū)16、預(yù)冷卻區(qū)17、冷卻區(qū)18，互不干擾，能分別儲(chǔ)備熱能和冷能，無(wú)需在每次焊接中都進(jìn)行升溫和降溫操作。這樣的特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以帶來(lái)很多優(yōu)勢(shì)它可以減少焊接時(shí)間，節(jié)約能源，避免溫度冷熱沖擊對(duì)設(shè)備造成傷害等。另夕卜，由于具有獨(dú)立的預(yù)熱區(qū)15、焊接區(qū)16、預(yù)冷卻區(qū)17、冷卻區(qū)18，不是在同一個(gè)腔體內(nèi)進(jìn)行加熱和冷卻，可以避免助焊劑氣體遇冷凝結(jié)，不會(huì)影響焊接的質(zhì)量，也不會(huì)造成產(chǎn)品的二次污染。當(dāng)使用焊片工藝并采用保護(hù)氣氛時(shí)可使用甲酸(HCOOH)或氮?dú)浠旌蠚?N2/H2)進(jìn)行助焊，由此可增強(qiáng)焊接表面活化能力，提高浸潤(rùn)性，并能夠?qū)崿F(xiàn)無(wú)焊劑的無(wú)空洞焊接。四個(gè)空腔體部件，各自擁有獨(dú)立的溫度調(diào)控系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)、測(cè)量系統(tǒng)、調(diào)控系統(tǒng)；在真空焊接爐內(nèi)形成預(yù)熱區(qū)、焊接區(qū)、預(yù)冷卻區(qū)、冷卻區(qū)四個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)不同的處理過(guò)程即預(yù)熱階段、加熱階段、預(yù)冷階段和冷卻階段。爐內(nèi)的溫度由測(cè)溫傳感器感知、壓力由壓力傳感器感知、托盤的運(yùn)動(dòng)情況由位置傳感器感知，所有的傳感器的信號(hào)均與可編程邏輯控制器相連，由可編程邏輯控制器根據(jù)情況，調(diào)節(jié)加熱功率、導(dǎo)熱板上電阻絲的電流強(qiáng)度或冷卻液流量、導(dǎo)熱板與真空腔體部件底部距離、密封蓋上冷卻液流量、輸送裝置的運(yùn)動(dòng)速度、溫度上升或下降的速率、停滯時(shí)間、高真空插板閥閥口的開(kāi)合、真空室的真空度等等。為進(jìn)一步提高焊接質(zhì)量，本實(shí)施例中各個(gè)真空腔體部件設(shè)置了密封蓋，可以隨時(shí)根據(jù)需要，打開(kāi)密封蓋，對(duì)焊接情況進(jìn)行檢查，提高了質(zhì)量的可控性。而且，還可以通過(guò)觀察窗觀察焊接情況，對(duì)這些參數(shù)認(rèn)為進(jìn)行調(diào)節(jié)，大大提高了焊接的質(zhì)量。一般單腔體焊接設(shè)備是不具備流水線式生產(chǎn)能力的，大型焊接設(shè)備往往存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜，占地面積大的缺點(diǎn)。本實(shí)施各真空腔體部件之間連接緊密，采用直線結(jié)構(gòu)，最大限度的減少了運(yùn)輸距離，節(jié)省了時(shí)間，能在一個(gè)工作室內(nèi)實(shí)現(xiàn)流水線操作。整個(gè)裝置密封好，保證在預(yù)熱、加熱、預(yù)冷和冷卻過(guò)程中，焊接整個(gè)工藝流程是在真空的環(huán)境下進(jìn)行焊接的；升溫降溫速度低，可以盡量減少焊接過(guò)程中產(chǎn)生的空洞。各真空腔體部件互不影響，保證了密閉性和獨(dú)立性。導(dǎo)熱板與真空腔體部件中托盤的面積相適應(yīng)，導(dǎo)熱面積大，能使整個(gè)托盤上的產(chǎn)品都能均勻地受熱，保證焊接過(guò)程中托盤的溫度比焊料的溫度先達(dá)到熔點(diǎn)，消除空洞產(chǎn)生的條件，由此可以避免傳統(tǒng)的電流加熱導(dǎo)致質(zhì)量輕的組件溫度上升快的缺點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種連續(xù)式真空焊接爐，包括機(jī)架和位于機(jī)架上的真空腔部件、控制裝置，所述控制裝置包括電器控制裝置、氣動(dòng)控制裝置、人機(jī)交互裝置，其特征在于在機(jī)架上設(shè)有長(zhǎng)方體形的工作室，在工作室內(nèi)依次并排設(shè)有第一真空腔體部件、第二真空腔體部件、第三真空腔體部件、第四真空腔體部件，上述真空腔體部件兩端均設(shè)有高真空插板閥，相鄰的高真空插板閥的閥口相互連通；工作室內(nèi)設(shè)有將上述四個(gè)真空腔體部件兩兩分開(kāi)的隔溫板，隔溫板將工作室分為相互獨(dú)立的兩個(gè)部分，其中第一真空腔體部件、第二真空腔體部件所在部分為加熱區(qū)，第三真空腔體部件、第四真空腔體部件所在部分為冷卻區(qū)；工作室靠近加熱區(qū)一側(cè)的壁上設(shè)有進(jìn)料口，進(jìn)料口上連接有進(jìn)料部件；工作室靠近冷卻區(qū)一側(cè)的壁上設(shè)有出料口，出料口上連接有出料部件；第一真空腔體部件外側(cè)的高真空插板閥的閥口與工作室的進(jìn)料口相連通；第四真空腔體部件的高真空插板閥外側(cè)的閥口與出料口相連通；在加熱區(qū)內(nèi)的真空腔體部件包括真空室、真空裝置、加熱裝置、輸送裝置；在冷卻區(qū)內(nèi)的真空腔體部件包括真空室、真空裝置、冷卻裝置、輸送裝置；所述控制裝置控制真空裝置、加熱裝置、冷卻裝置、輸送裝置、高真空插板閥的工作。
2.如權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于所述真空裝置為真空泵，真空泵通過(guò)管路與真空腔體部件的抽真空閥門連接；所述進(jìn)料部件設(shè)有滾輪機(jī)構(gòu)，滾輪機(jī)構(gòu)設(shè)有用于輸送托盤的輸送輪；所述出料部件設(shè)有滾輪機(jī)構(gòu)，滾輪機(jī)構(gòu)設(shè)有用于輸送托盤的輸送輪；所述高真空插板閥上設(shè)有控制高真空插板閥打開(kāi)或關(guān)閉的驅(qū)動(dòng)裝置；所述人機(jī)交互裝置為可編程邏輯控制器。
3.如權(quán)利要求2所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于所述輸送裝置包括位于真空腔體部件側(cè)部的軸承固定板,軸承固定板上固定有主動(dòng)軸和從動(dòng)軸,主動(dòng)軸和從動(dòng)軸上設(shè)有滾輪，主動(dòng)軸和從動(dòng)軸的之間設(shè)有相互配合的聯(lián)動(dòng)齒輪；主動(dòng)軸一部分位于真空腔體部件側(cè)部以外，位于真空腔體部件側(cè)部以外部分設(shè)有磁流體密封件；主動(dòng)軸伸出真空腔體部件側(cè)部以外的部分與伺服電機(jī)的聯(lián)軸器相連，通過(guò)伺服電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)主動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于所述加熱裝置包括加熱板，加熱板位于真空室中滾輪的下方，加熱板由電阻絲加熱或電熱管加熱；位于加熱區(qū)的真空腔體部件的底部連接有底座，底座上安裝有一對(duì)相互平行的線性滑軌，線性滑軌垂直于真空腔體部件的底部；線性滑軌的滑塊上設(shè)有可垂直移動(dòng)的底板,底板的中部通過(guò)絲杠螺母連接有滾珠絲杠；滾珠絲杠頂部與真空腔體部件的底部通過(guò)滾珠絲杠軸承座連接；底板與真空腔體部件的底部之間垂直方向密封連接有兩個(gè)金屬波紋管；金屬波紋管內(nèi)設(shè)有內(nèi)柱，內(nèi)柱穿過(guò)真空腔體部件的底部，內(nèi)柱頂部連接有加熱板，內(nèi)柱的底部與底板相連；底座上設(shè)有伺服電機(jī)，滾珠絲杠與伺服電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器相連；通過(guò)伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)節(jié)加熱板與真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤之間的距離從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤輻射溫度的精確控制，或者通過(guò)調(diào)整電阻絲或電熱管的電流大小實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤輻射溫度的精確控制。
5.如權(quán)利要求3所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于所述冷卻裝置為冷卻板，冷卻板位于真空室中滾輪的下方，冷卻板內(nèi)設(shè)有用于冷卻液流通的通道；所述冷卻液為水或液氮，通過(guò)冷卻液輸送泵來(lái)實(shí)現(xiàn)循環(huán)；位于冷卻區(qū)的真空腔體部件的底部連接有底座，底座上安裝有一對(duì)相互平行的線性滑軌，線性滑軌垂直于真空腔體部件的底部；線性滑軌的滑塊上設(shè)有可垂直移動(dòng)的底板，底板的中部通過(guò)絲杠螺母連接有滾珠絲杠；滾珠絲杠頂部與真空腔體部件的底部通過(guò)滾珠絲杠軸承座連接；底板與真空腔體部件的底部之間垂直方向密封連接有兩個(gè)金屬波紋管；金屬波紋管內(nèi)設(shè)有內(nèi)柱，內(nèi)柱穿過(guò)真空腔體部件的底部，內(nèi)柱頂部連接有冷卻板，內(nèi)柱的底部與底板相連；底座上設(shè)有伺服電機(jī)，滾珠絲杠與伺服電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器相連；通過(guò)伺服電機(jī)帶動(dòng)滾珠絲杠的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)節(jié)冷卻板與真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤之間的距離從而實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤的溫度的精確控制，或者通過(guò)調(diào)整冷卻液的流量實(shí)現(xiàn)對(duì)真空腔體部件中位于滾輪上的裝載有待焊物件的托盤的溫度的精確控制。
6.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于真空腔體部件設(shè)有溫度測(cè)量裝置，所述溫度測(cè)量裝置包括溫度傳感器，溫度測(cè)量裝置與控制裝置相連；真空腔體部件設(shè)有壓力測(cè)量裝置，所述壓力測(cè)量裝置包括壓力傳感器，壓力測(cè)量裝置與控制裝置相連。
7.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于第一真空腔體部件為預(yù)加熱真空腔體部件，其加熱溫度控制在15(T20(TC ;第二真空腔體部件為加熱真空腔體部件，其加熱溫度控制在39(T410°C ;第三真空腔體部件為預(yù)冷卻真空腔體部件，其冷卻溫度控制在11(T130°C ;第四真空腔體部件為冷卻真空腔體部件，其冷卻溫度控制在6(T70°C。
8.如權(quán)利要求1到5任意一權(quán)利要求所述的一種連續(xù)式真空焊接爐，其特征在于所述真空腔體部件上設(shè)有兩個(gè)預(yù)留閥門。
9.如權(quán)利要求1到8任意一權(quán)利要求所述的一種連續(xù)式真空焊接爐的焊接方法，其特征在于包括下列步驟A)打開(kāi)第一真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，將裝載待焊物件的托盤放入進(jìn)料部件，進(jìn)料部件的輸送輪帶動(dòng)托盤通過(guò)進(jìn)料口進(jìn)入該真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第一真空腔體部件抽真空，真空度控制在I毫巴；以1°C /秒速度將托盤加熱到15(T200°C ；B)打開(kāi)第一真空腔體部件和第二真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第一真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第二真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第二真空腔體部件抽真空，真空度控制在I毫巴；以1°C /秒速度將托盤加熱到39(T410°C，對(duì)工件進(jìn)行焊接；C)打開(kāi)第二真空腔體部件和第三真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第二真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第三真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第三真空腔體部件抽真空，真空度控制在在I毫巴；以3°C /秒速度將托盤降溫到11(T130°C ；D)打開(kāi)第三真空腔體部件和第四真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第三真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入第四真空腔體部件內(nèi)，關(guān)閉閥口 ；對(duì)第四真空腔體部件抽真空，真空度控制在在I毫巴；以3°C /秒速度將托盤降溫到6(T70°C ；E)打開(kāi)第四真空腔體部件的高真空插板閥的閥口，通過(guò)第四真空腔體部件的輸送裝置將托盤送入出料部件，關(guān)閉閥口；出料部件的輸送輪將托盤送出，此時(shí)待焊物件焊接完成。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種連續(xù)式真空焊接爐，該真空焊接爐包括工作室、進(jìn)料口、出料口，在工作室內(nèi)依次并排設(shè)有四個(gè)真空腔體部件，各自擁有獨(dú)立的溫度調(diào)控系統(tǒng)、傳動(dòng)系統(tǒng)、測(cè)量系統(tǒng)、調(diào)控系統(tǒng)；在真空焊接爐內(nèi)形成預(yù)熱區(qū)、焊接區(qū)、預(yù)冷卻區(qū)、冷卻區(qū)四個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)不同的處理過(guò)程即預(yù)熱階段、加熱階段、預(yù)冷階段和冷卻階段。本發(fā)明還公開(kāi)了該真空焊接爐的使用方法。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是能在真空或保護(hù)氣氛下進(jìn)行互不干擾的加熱和冷卻過(guò)程，無(wú)需多次升溫與降溫，由此能夠節(jié)省焊接時(shí)間和節(jié)約電能消耗并能提高工作效率和焊接質(zhì)量。
文檔編號(hào)B23K3/00GK103056473SQ201310003958
公開(kāi)日2013年4月24日 申請(qǐng)日期2013年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月7日
發(fā)明者馬玉水 申請(qǐng)人:山東高唐杰盛半導(dǎo)體科技有限公司