專利名稱：激光加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)印制電路板等被加工物體進(jìn)行打孔加工為主要目的的激光加工裝置，是謀求提高其生產(chǎn)率的激光加工裝置。
背景技術(shù)：
圖6所示為以往的一般打孔用激光加工裝置的簡要構(gòu)成圖。
在圖中，31為印制電路板等被加工物體，32為對(duì)被加工物體31進(jìn)行例如輔助孔及通孔等打孔加工等用的激光，33為產(chǎn)生激光32的激光振蕩器，34為使激光32反射而引導(dǎo)光路的多個(gè)反射鏡，35及36為將激光32掃描用的電流計(jì)掃描器，37為使激光32聚焦在被加工物體31上用的fθ透鏡，38為使被加工物體31移動(dòng)用的XY平臺(tái)。
在一般的打孔加工用激光加工裝置中，由激光振蕩器33激振的激光32，經(jīng)過必需的遮光板及反射鏡34，引向電流計(jì)掃描器35及36，通過控制電流計(jì)掃描器35及36的偏轉(zhuǎn)角，利用fθ透鏡37，將激光32聚焦在被加工物體31的規(guī)定位置。
另外，通過fθ透鏡37的電流計(jì)掃描器35及36的偏轉(zhuǎn)角，由于例如有50mm見方的界限，因此利用激光32對(duì)被加工物體31的規(guī)定位置進(jìn)行聚焦，再通過控制XY平臺(tái)38，就能夠在大范圍內(nèi)對(duì)被加工物體進(jìn)行加工。
一般，激光加工裝置的生產(chǎn)率與電流計(jì)掃描器35及36的驅(qū)動(dòng)速度和fθ透鏡37的加工區(qū)域有密切的關(guān)系。
另外，在維持加工范圍不變的情況下，要減小電流計(jì)掃描器的偏轉(zhuǎn)角，雖然能夠通過改變fθ透鏡與電流計(jì)掃描器的位置關(guān)系等來改變光學(xué)設(shè)計(jì)，但設(shè)計(jì)最需要時(shí)間，并且必須改變非常昂貴的fθ透鏡的規(guī)格及整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，因此難以用單束激光以廉價(jià)又簡單的方法提高生產(chǎn)率。
作為以提高前述方式的生產(chǎn)率為目的激光加工裝置，例如有日本專利特開平11-314188號(hào)公報(bào)所揭示的裝置。
圖7為特開平11-314188號(hào)公報(bào)所示的激光加工裝置的簡要構(gòu)成圖。
在圖中，39為被加工物體，40為遮光板，41為將激光進(jìn)行分光用的半透明反射鏡，42為二向色反射鏡，43a為由半透明反射鏡反射的激光，43b為透過半透明反射鏡并用二向色反射鏡反射的激光，44及45為反射鏡，46為使激光43a及43b聚焦在被加工物體39上用的fθ透鏡，47及48為將激光43a引向加工區(qū)域A1用的電流計(jì)掃描器，49及50為將激光43b引向加工區(qū)域A2用的電流計(jì)掃描器，51為使被加工物體的各部分移動(dòng)至加工區(qū)域A1或A2用的XY平臺(tái)。
圖7所示的激光加工裝置，是將通過遮光板40的激光經(jīng)過半透明反射鏡41分光為多束激光，并將分光后的激光43a及43b分別引向配置在fθ透鏡46的入射側(cè)的多個(gè)電流計(jì)掃描器系統(tǒng)，利用該多個(gè)電流計(jì)掃描器系統(tǒng)進(jìn)行掃描，通過這樣能夠照向分開設(shè)定的加工區(qū)A1及A2。
另外，分光后的激光43a經(jīng)過第1電流計(jì)掃描器系統(tǒng)47及48，引入fθ透鏡46的一半?yún)^(qū)域。
而分光后的另一激光43b經(jīng)過第2電流計(jì)掃描器系統(tǒng)49及50，引入fθ透鏡46剩下的另一半?yún)^(qū)域，第1及第2電流計(jì)掃描器系統(tǒng)相對(duì)于fθ透鏡46的中心軸對(duì)稱配置，通過這樣能夠同時(shí)各利用1/2的fθ透鏡46，提高生產(chǎn)率。
但是，在特開平11-314188號(hào)公報(bào)所揭示的裝置中，由于其構(gòu)成是將經(jīng)過半透明反射鏡41分光為多束的激光分別利用第1電流計(jì)掃描器系統(tǒng)47及48和第2電流計(jì)掃描器系統(tǒng)49及50進(jìn)行掃描，照向分開設(shè)定的加工區(qū)A1及A2，因此在利用半透明反射鏡41分光的激光43a與43b之間，由于通過半透明反射鏡41進(jìn)行反射與透射的判別，容易產(chǎn)生激光質(zhì)量的差異，另外在分光能量不同時(shí)為了使能量相同，必須采用更昂貴的光學(xué)零部件。
另外，在圖7所示的光路構(gòu)成中還存在下述的問題，即分光后的激光43a與43b在通過遮光板40后到照向被加工物體39為止的光路長度不同，在被加工物體39上嚴(yán)格講光束點(diǎn)的直徑也不相同。
再有，由于將fθ透鏡46等分割，對(duì)分開設(shè)定的加工區(qū)A1及A2同時(shí)進(jìn)行加工，因此在加工區(qū)A1與A2的加工孔數(shù)有很大差別時(shí)，另外在工件端部等加工區(qū)A1及A2中某一個(gè)區(qū)沒有加工對(duì)象孔時(shí)，不能指望提高生產(chǎn)率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述問題提出的，其目的在于提供一種激光加工裝置，該激光加工裝置能使分光后的激光能量及質(zhì)量的差異最小，通過使各自的光路長度相等，使光束點(diǎn)的直徑也相同，另外通過使分光后的激光照向同一區(qū)域，能夠以更廉價(jià)的方法提高生產(chǎn)率。
另外，本發(fā)明的目的在于提供能夠通過簡單的調(diào)整使分光后的激光能量均勻、能夠使加工性能更穩(wěn)定的激光加工裝置。
為了達(dá)到該目的，根據(jù)第1觀點(diǎn)，激光加工裝置將1束激光利用第1偏振光裝置分光為2束激光，1束經(jīng)過反射鏡，另1束利用第1電流計(jì)掃描器在2個(gè)軸方向進(jìn)行掃描，將2束激光引向第2偏振光裝置后，用第2電流計(jì)掃描器進(jìn)行掃描，對(duì)被加工物體進(jìn)行加工，在這種激光加工裝置中，用第1偏振光裝置透射的激光用第2偏振光裝置反射、用第1偏振光裝置反射的激光用第2偏振光裝置透射地構(gòu)成光路。
另外，配置成2個(gè)偏振光裝置的反射面互相相對(duì)，形成分光后的各激光的光路長度分別相同的光路。
另外，在第1偏振光裝置的前面配置角度能夠調(diào)節(jié)的第3偏振角調(diào)整用偏振光裝置。
再有，設(shè)置能夠測(cè)量激光能量的傳感器，測(cè)量2束激光的能量，并調(diào)整第3偏振角調(diào)整用偏振光裝置的角度，以便以所希望比例的能量取出2束激光。


圖1所示為本實(shí)施形態(tài)的激光加工機(jī)的簡要構(gòu)成圖。
圖2為偏振光分束器的分光模式圖。
圖3所示為其它實(shí)施形態(tài)的激光加工機(jī)的簡要光路構(gòu)成圖。
圖4為偏振角調(diào)整用偏振光分束器部分的放大圖。
圖5為偏振角調(diào)整用偏振光分束器的自動(dòng)調(diào)整程序流程圖。
圖6所示為以往的一般打孔用激光加工機(jī)的簡要構(gòu)成圖。
圖7所示為以往的以提高生產(chǎn)率為目的的打孔用激光加工機(jī)的簡要構(gòu)成圖。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施形態(tài)1圖1所示為將1束激光利用分光用偏振光分束器分光為2束激光、并通過將2束激光獨(dú)立進(jìn)行掃描能夠?qū)?個(gè)地方同時(shí)進(jìn)行加工的打孔用激光加工裝置的簡要構(gòu)成圖。
在圖中，1為激光振蕩器，2為激光，2a為入射延遲片3前的激光2的偏振方向，2b為用延遲片3反射后的激光2的偏振方向，3為將直線偏振光的激光變?yōu)閳A偏振光的延遲片，4為要使加工孔形成所希望的大小及形狀而從入射的激光取出所需要部分的激光的遮光板，5為將激光2反射沿光路引導(dǎo)的多個(gè)反射鏡，6為將激光2分光為2束激光的第1偏振光分束器，7為用第1偏振光分束器6分光的1束激光，7a為激光7的偏振方向，8為用第1偏振光分束器分束的另1束激光，8a為激光8的偏振方向，9為將激光7及激光8引向電流計(jì)掃描器12用的第2偏振光分束器，10為使激光7及8聚焦在被加工物體13上用的fθ透鏡，11為將激光8在2個(gè)軸方向掃描并引向第2偏振光分束器用的第1電流計(jì)掃描器，12為將激光7及激光8在2個(gè)軸方向掃描并引向被加工物體13用的第2電流計(jì)掃描器，13為被加工物體，14為使被加工物體13移動(dòng)用的XY平臺(tái)。
下面說明本實(shí)施形態(tài)的詳細(xì)動(dòng)作過程。
如本實(shí)施形態(tài)所示，將1束激光利用分光用偏振光分束器分光為2束激光，并將2束激光獨(dú)立進(jìn)行掃描，通過這樣能夠?qū)?個(gè)地方同時(shí)進(jìn)行加工，在這樣的打孔加工用激光加工裝置中，由激光振蕩器以直線偏振光激振的激光2，利用在光路途中配置的延遲片3，變?yōu)閳A偏振光，再經(jīng)過遮光板4及反射鏡5，引向第1偏振光分束器6。然后，利用第1偏振光分束器6，以圓偏振光入射的激光2的P波分量透過偏振光分束器6，形成激光7，S波分量由偏振光分束器6反射，分光成為激光8。
另外，由于圓偏振光在所有方向都具有均勻的偏振光分量，因此進(jìn)行分光使激光7與激光8具有相同的能量。
透過第1偏振光分束器6的激光7，經(jīng)過彎曲反射鏡5，引向第2偏振光分束器9。
另一方向，用第1分束器6反射的激光8，利用第1電流計(jì)掃描器11在2個(gè)軸方向進(jìn)行掃描后，引向第2偏振光分束器9。
另外，激光7總是以相同的位置引向第2偏振光分束器9，而激光8通過控制第1電流計(jì)掃描器11的偏轉(zhuǎn)角，能夠調(diào)整入射至第2偏振光分束器9的位置及角度。
然后，激光7及8利用第2電流計(jì)掃描器12在2個(gè)軸方向掃描后，引向fθ透鏡10，分別聚焦在被加工物體13的規(guī)定位置。
這時(shí)，通過將第1電流計(jì)掃描器11進(jìn)行掃描，激光8在被加工物體13上能夠與激光7照射在同一位置。
另外，能夠在預(yù)先設(shè)定的范圍內(nèi)，相對(duì)于激光7的任意位置，例如考慮到通過將電流計(jì)掃描器11進(jìn)行掃描，激光8的以激光7為中心的分束器窗口特性，可在4mm見方范圍內(nèi)進(jìn)行掃描，同時(shí)通過例如在50mm見方的能夠加工范圍內(nèi)偏轉(zhuǎn)的第2電流計(jì)掃描器12，將激光照射在被加工物體13上的任意不同的2點(diǎn)。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中是這樣構(gòu)成的，即在第1偏振光分束器6反射的激光8透過第2偏振光分束器9，而透過第1偏振光分束器6的激光7在第2偏振光分束器9反射。
因此，分光的2束激光分別經(jīng)過反射及透射這兩個(gè)過程，所以能夠抵消因反射與透射的不同而引起的激光質(zhì)量的差異及能量的不均衡。
這里，利用激光7及激光8對(duì)被加工物體13進(jìn)行加工的加工孔的質(zhì)量與激光的能量有很大的關(guān)系。
在用激光7及激光8對(duì)被加工物體13加工相同質(zhì)量的孔時(shí)，必須使激光7與激光8的能量相等。
因此，在本實(shí)施形態(tài)中，采用將激光2分光為激光7及激光8的第1偏振光分束器6，通過使P被透射，使S波反射，分光為2束激光光束。
另外，對(duì)于第1偏振光分光束6，必須使具有均勻的P波及S波分量的激光入射。
圖2的中間所示為第1偏振光分束器6的正視圖，在其左右所示為側(cè)視圖，在其上部所示為頂視圖。
在圖中，61為偏振光分束器的窗口部分，在二氧化碳激光的情況下，使用ZnSe或Ge。62為將窗口部分61反射的激光折向90°用的反射鏡。
入射至偏振光分束器6的激光，其偏振方向7a的分量(P波分量)具有透射性質(zhì)，其偏振方向8a的分量(S波分量)具有反射性質(zhì)。
順便說一下，P波及S波的偏振方向是直線前進(jìn)方向。
因此，若入射激光的偏振方向與偏振方向7a(P波分量)相同，則全部透射；若與偏振方向8a(S波分量)相同，則全部反射。
另外，若是所有偏振方向均勻存在的圓偏振光或P波及S波是形成45°角度的偏振方向，則激光被等分，激光7與激光8的能量相等。
在本實(shí)施形態(tài)中，由于如圖1所示配置2個(gè)偏振光分束器，通過這樣使第1偏振光分束器6至第2偏振光分束器9之間的激光8與7的光路長度相等，因此能夠使分光后的2束激光的光束點(diǎn)直徑相同。
例如，在本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)中，即使將光路沿X、Y、Z的方向分解，各自也形成相同的光路長度，因此即使改變光路構(gòu)成要素的大小設(shè)計(jì)，也能夠通過將光路沿X、Y、Z的方向伸縮，能夠使激光8與7的光路長度保持相等的情況不變。
實(shí)施形態(tài)2在上述實(shí)施形態(tài)1中，由激光振蕩器1激振的激光2，必須對(duì)延遲片3以入射光與反射光形成90°角度入射，另外激光2的偏振方向2a，必須對(duì)延遲片3以相對(duì)于入射光軸與反射光軸作為2邊的平面與延遲片3的反射面的交線為45°角度入射。
這里，假設(shè)相對(duì)于延遲片3的激光2入射的偏振方向及光軸角度的調(diào)整不夠，則圓偏振率下降，入射至第1偏振光分束器6的激光2的P波分量與S波分量不均勻，激光7與激光8的能量不均勻，激光2在入射至延遲片3時(shí)的偏振方向及光軸角度的調(diào)整，由于偏振方向用眼睛看不見，在二氧化碳激光那樣不是可見光的情況下，光軸角度也不能目測(cè)，因此還存在下述的情況，即若測(cè)量圓偏振率不準(zhǔn)確，則必須反復(fù)進(jìn)行角度調(diào)整，這是非常煩瑣的作業(yè)。
另外，在使激光2形成圓偏振光2b之后，在入射至第1偏振光分束器6之前，利用多個(gè)反射鏡5進(jìn)行反射，在用反射鏡5進(jìn)行反射時(shí)，有的情況下圓偏振率也下降。
因此，在本實(shí)施形態(tài)中，不使用圓偏振光，而使用以直線偏振激振的激光，下面說明這種情況。
圖3所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的激光加工裝置的簡要構(gòu)成圖。
在圖中，2c為入射至第3偏振分束器15之前的激光2的偏振方向，2d為透過第3偏振光分束器15之后的激光2的偏振方向，15為調(diào)整激光2的偏振方向用的第3偏振光分束器，16為測(cè)量從fθ透鏡出射的激光能量的功率傳感器，17為遮住激光7的第1光閘，18為遮住激光8的第2光閘。功率傳感器16固定在XY平臺(tái)14上，在測(cè)量激光能量時(shí)，功率傳感器16能夠移動(dòng)至激光可照射功率傳感器16的受光部分的位置。
另外，其它相同符號(hào)與實(shí)施形態(tài)1中所示的圖1相同，因此省略其說明。
圖4為圖3所示的第3偏振光分束器15的詳細(xì)說明圖。
在圖中，20為伺服電動(dòng)機(jī)，21為固定第2偏振光分束器15及伺服電動(dòng)機(jī)20的支架，22為將伺服電動(dòng)機(jī)20的驅(qū)動(dòng)力傳遞給第3偏振光分束器15的同步齒型帶，23為安裝在伺服電動(dòng)機(jī)20上的將伺服電動(dòng)機(jī)20的驅(qū)動(dòng)力傳遞給伺服同步齒型帶22的第1皮帶輪，24為安裝在第3偏振光分束器15的利用同步齒型帶22旋轉(zhuǎn)的第2皮帶輪，25為阻擋用第3偏振光分束器15反射的激光2的S波分量的擋板。
激光2由激光振蕩器1以直線偏振光20激振，用反射鏡5反射，引向第3偏振光分束器15。
激光2的P波分量透過第3偏振光分束器15，改變偏振方向?yàn)榫哂信c直線偏振光2c不同角度的直線偏振光2d，引向遮向板4。
另外，激光2的S波分量用第3偏振光分束器15反射，被擋板25吸收。
在遮光板4中僅所希望部分透過的激光2用反射鏡5反射，引向第1偏振光分束器6。
在第1偏振光分束器6中，激光的P波分量透過第1偏振光分束器6(激光7)，S波分量用第1偏振光分束器6反射(激光8)。
激光7用反射鏡5反射，被相用第2偏振光分束器9之后，被引向第2電流計(jì)掃描器12，沿X方向及Y方向進(jìn)行掃描，用fθ透鏡10進(jìn)行聚焦，對(duì)安裝在XY平臺(tái)14上的被加工物體13進(jìn)行加工。
另一方面，激光8用第1電流計(jì)掃描器11沿X方向及Y方向進(jìn)行掃描，被引向第2偏振光分束器9。
然后，用第2電流計(jì)掃描器12再一次沿X方向及Y方向進(jìn)行掃描之后，用fθ透鏡10進(jìn)行聚焦，對(duì)安裝在XY平臺(tái)14上的被加工物體13進(jìn)行加工。
為了改變激光7與激光8的能量均衡，只要改變?nèi)肷渲恋?偏振光分束器6的P波分量與S波分量的比例即可，在對(duì)第1偏振光分束器6入射直線偏振光的激光時(shí)，只要改變?nèi)肷浼す?的偏振角度2d即可。順便說一下，若去掉第1偏振光分束器6的損耗及制造誤差等，使得與P波相同偏振方向的激光2入射，則全部形成激光7透過，而使得與S波相同偏振方向的激光2入射，則全部形成激光8反射。
為了使分光的激光7與激光8的能量相等，只要以相對(duì)于P波及S波為45°的偏振角使激光2入射即可。
由于激光2在由激光振蕩器1激振時(shí)的偏振角2c取決于激光振蕩器1的光學(xué)結(jié)構(gòu)，因此偏振光不容易改變。
但是，若使激光2通過第3偏振光分束器15，則由于僅P波分量通過，而S波分量反射，因此通過改變第3偏振光分束器15的角度，就能夠很容易改變激光2的偏振角2c。
即，若使分光的激光7與激光8的能量相等，則只要調(diào)整第3偏振光分束器15的角度，使得對(duì)第1偏振光分束器6，激光2相對(duì)于P波及S波以偏振角2d形成45°角度入射即可。
關(guān)于第3偏振光分束器15的角度調(diào)整機(jī)構(gòu)如圖4所示。
第3偏振光分束器15固定在支架21上，使其能夠以激光2的光軸為中心旋轉(zhuǎn)，另外固定第2皮帶輪24，使其與第3偏振光分束器15一起旋轉(zhuǎn)。
另外，安裝有第1皮帶輪23的伺服電動(dòng)機(jī)20也固定在支架21上，固定在第3偏振光分束器15上的第2皮帶輪24與固定在伺服電動(dòng)機(jī)20上的第1皮帶輪23用同步齒帶22連接。
根據(jù)未圖示的控制裝置發(fā)出的信號(hào)，伺服電動(dòng)機(jī)20旋轉(zhuǎn)，則通過同步齒型帶22將驅(qū)動(dòng)力傳遞給第3偏振光分束器15，第3偏振光分束器15的角度變化。另外，用第3偏振光分束器15反射的激光2的S波分量用擋板25阻擋。
這里，在用第3偏振光分束器15調(diào)整偏振方向的角度時(shí)，由于S波分量不透過，構(gòu)成損耗，因此在高效率利用激光時(shí)，最好使第3偏振光分束器15之前的激光2的偏振角2A與第3偏振光分束器15之后的激光2的偏振角2d盡可能為相同角度入射。
為了對(duì)第1偏振光分束器6以正確的偏振角入射激光2，第3偏振光分束器15的角度調(diào)整起到對(duì)偏振角2d進(jìn)行微調(diào)的作用。
圖5所示為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)中為了以所希望比例的能量取出2束激光而自動(dòng)調(diào)整偏振角調(diào)整用偏振光分束器的角度時(shí)的流程。
利用圖3及圖5進(jìn)行說明，為了說明方便起見，說明使2個(gè)能量相等的情況。
另外，即使在2束激光的能量是不同比例的情況下，若改變初始設(shè)定，則也能夠用同樣的方法實(shí)施。
決定激光7與激光8允許的能量差，輸入至未圖示的控制裝置，執(zhí)行第3偏振光分束器15的自動(dòng)角度調(diào)整程序。
首先，功率傳感器14移動(dòng)至固定在XY平臺(tái)14上的功率傳感器16的受光部分能夠接受到由fθ透鏡10出射的激光的位置。
然后，第2光閘18關(guān)閉，由激光振蕩器1激振，產(chǎn)生激光。
通過關(guān)閉第2光閘18，則激光8被該部分遮斷，從fθ透鏡10僅出射鏡7，用功率傳感器16測(cè)量激光7的能量。
能量測(cè)量后，暫時(shí)停止激光的激振，第1光閘17關(guān)閉，第2光閘18打開，激光再次被激振。這一次，通過關(guān)閉第1光閘17，則激光7被該部分遮斷，從fθ透鏡10僅出射激光8。用功率傳感器16測(cè)量激光8的能量。能量測(cè)量后，停止激光的激振，第2光閘18打開。在控制裝置中計(jì)算測(cè)量的2束激光的能量差，與開始輸入的允許值進(jìn)行比較。
若是在允許值范圍內(nèi)，則程序結(jié)束，而在偏離了允許值時(shí)，則調(diào)節(jié)稅第3偏振光分束器15的角度，再次進(jìn)行2束激光的能量測(cè)量，重復(fù)前述動(dòng)作，直到在允許范圍內(nèi)為止。第3偏振光分束器15的角度調(diào)整量取決與入射激光2的偏振方向2d及第1偏振光分束器6的安裝角度，若將第3偏振光分束器15透過后的激光2的偏振角2d相對(duì)于第3偏振光分束器15入射前的激光2的偏振角2c改變幾度左右，則理論上推導(dǎo)出第3偏振光分束器15的角度每1度大約能夠調(diào)整7％的能量差。
這樣，由于第3偏振光分束器15的調(diào)整角度與2束激光的能量差的關(guān)系理論上能夠根據(jù)入射激光2的偏振角2d及第1偏振光分束器6的安裝角度推導(dǎo)出，因此調(diào)整也取決于能量差的允許值，但若是5％左右的允許值，則由于實(shí)施2次上述調(diào)整循環(huán)，調(diào)整(程序)就結(jié)束，因此能夠在短時(shí)間內(nèi)很容易完成調(diào)整。
根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，激光加工機(jī)是將1束激光利用分光用偏振分束器分光為2束激光，通過將2束激光獨(dú)立掃描，對(duì)2個(gè)地方同時(shí)進(jìn)行加工，在所述激光加工機(jī)中，在偏振光分束器的前面設(shè)置偏振角調(diào)整用偏振光分束器，使得能夠相對(duì)于分光用偏振光分束器的P波(透射波)及S波(反射波)改變激光的偏振角，在該偏振角調(diào)整用偏振光分束器上設(shè)置能夠調(diào)節(jié)角度的機(jī)構(gòu)，能夠根據(jù)來自控制裝置的指令調(diào)節(jié)角度，通過這樣容易調(diào)整分光的激光能量的均衡性，使能量均勻，從而能夠使加工性能穩(wěn)定，另外能夠縮短操作時(shí)間，同實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定生產(chǎn)。
另外，設(shè)置能夠測(cè)量激光能量的傳感器，測(cè)量2束激光的能量，并通過能夠自動(dòng)調(diào)整偏振角調(diào)整用偏振光分束器的角度，使其以所希望比例的能量取出2束激光，就能夠更進(jìn)一步縮短操作時(shí)間，另外由于容易調(diào)整，因此對(duì)操作者的熟練程度沒有要求，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的加工。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，能夠使分光的激光質(zhì)量均勻，消除能量的差異，使生產(chǎn)率提高。
另外，通過使分光的2束激光的光路長度相等，能夠使2束激光的光束點(diǎn)直徑相等。
另外，能夠容易調(diào)整分光的激光能量均衡性，能夠縮短操作時(shí)間，同時(shí)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定生產(chǎn)。
另外，設(shè)置能夠測(cè)量激光能量的傳感器，測(cè)量2束激光的能量，并通過能夠自動(dòng)調(diào)整偏振角調(diào)整用偏振光分束器的角度，使其以所希望比例的能量取出2束激光，就能夠更進(jìn)一步縮短操作時(shí)間，另外由于容易調(diào)整，因此對(duì)操作者的熟練程序沒有要求，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的加工。
工業(yè)上的實(shí)用性如上所述，本發(fā)明有關(guān)的激光加工機(jī)適用于對(duì)印制電路板等被加工物體以打孔加工為主要目的激光加工機(jī)。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，是將1束激光利用第1偏振光裝置分光為2束激光，1束經(jīng)過反射鏡，另1束利用第1電流計(jì)掃描器在2個(gè)軸方向進(jìn)行掃描，將2束激光引向第2偏振裝置后，用第2電流計(jì)掃描器進(jìn)行掃描，對(duì)被加工物體進(jìn)行加工，其特征在于，用第1偏振光裝置透射的激光用第2偏振光裝置反射、用第1偏振光裝置反射的激光用第2偏振光裝置透射地構(gòu)成光路。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，配置成2個(gè)偏振裝置的反射面互相相對(duì)，形成分光后的各激光的光路長度分別相同的光路。
3.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，在第1偏振裝置的前面，配置角度能夠調(diào)節(jié)的第3偏振角調(diào)整用偏振光裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于，設(shè)置能夠測(cè)量激光能量的傳感器，測(cè)量2束激光的能量，并調(diào)整第3偏振角調(diào)整用偏振光裝置的角度、以便以所希望比例的能量取出2束激光。
全文摘要
激光加工裝置將1束激光利用第1偏振光裝置分光為2束激光，1束經(jīng)過反射鏡，另1束利用第1電流計(jì)掃描器在2個(gè)軸方向進(jìn)行掃描，將2束激光引向第2偏振光裝置后，用第2電流計(jì)掃描器進(jìn)行掃描，對(duì)被加工物體進(jìn)行加工，在所述激光加工裝置中，用第1偏振光裝置透射的激光用第2偏激光裝置反射、用第1偏振光裝置反射的激光用第2偏振光裝置透射地構(gòu)成光路。
文檔編號(hào)B23K26/067GK1474730SQ02802979
公開日2004年2月11日 申請(qǐng)日期2002年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月28日
發(fā)明者井 健一, 井嵨健一, 黑巖忠 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社