掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座的制作方法
【專利摘要】一種掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，包括試樣座基座，試樣座基座邊緣環(huán)繞設(shè)置有滑道，滑道中設(shè)置有可沿滑道滑動(dòng)的滑塊，滑塊頂面設(shè)置有金屬桿，金屬桿頂端設(shè)置有導(dǎo)電金屬鏈，導(dǎo)電金屬鏈一端與金屬桿頂端連接，導(dǎo)電金屬鏈另一端設(shè)置有銅片與試樣接觸；試樣座基座的試樣承載面設(shè)置有若干錐形支架，錐形支架均勻布置在試樣座基座底部。本設(shè)計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷、降低成本等特點(diǎn)，其上設(shè)置的金屬桿以及與金屬桿配合使用的導(dǎo)電金屬鏈實(shí)現(xiàn)了試樣座與試樣的導(dǎo)電，杜絕了因使用導(dǎo)電膠而引起的一系列故障；利用錐形支架支撐試樣，可有效避免因試樣底部的細(xì)微不平造成的震動(dòng)，影響試驗(yàn)數(shù)據(jù)；本設(shè)計(jì)在有效提高試驗(yàn)掃描準(zhǔn)確性的同時(shí)，大幅降低了試驗(yàn)成本。
【專利說明】掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室中的設(shè)備，具體地指與掃描電鏡配合使用的一種掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座。

【背景技術(shù)】
[0002]掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)中，常常需要對(duì)試樣進(jìn)行鑲嵌以及磨制等處理，然后進(jìn)行觀察分析。有些試樣是導(dǎo)電的，但鑲嵌樹脂導(dǎo)電性不夠好，會(huì)影響掃描電鏡的成像效果，因此常常用導(dǎo)電膠將試樣與樣品臺(tái)連接起來，以防止試樣上電荷積累。一些非金屬材料，本身就不導(dǎo)電，分析時(shí)，除了表面要噴碳、噴金外，也還要用導(dǎo)電膠把噴碳或噴金表面與樣品臺(tái)連接起來。但導(dǎo)電膠是消耗品，成本高昂，而且廢棄的導(dǎo)電膠容易掉進(jìn)樣品臺(tái)的傳動(dòng)軸，也常常會(huì)引起機(jī)械故障。此外，樣品臺(tái)表面是平面，鑲嵌試樣或其它類型底部近似平面的試樣，直接放到樣品臺(tái)上，也常常會(huì)因?yàn)殡娮愚Z擊導(dǎo)致底部的微小震動(dòng)，引起圖片的不清晰，影響掃描準(zhǔn)確性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是要克服現(xiàn)有掃描電鏡試樣座的缺陷，提供一種能夠提高試樣導(dǎo)電性能，進(jìn)而提高掃描準(zhǔn)確性，降低試驗(yàn)成本的掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，包括試樣座基座，其特殊之處在于:所述試樣座基座邊緣環(huán)繞設(shè)置有滑道，所述滑道中設(shè)置有可沿滑道滑動(dòng)的滑塊，所述滑塊頂面設(shè)置有金屬桿，所述金屬桿頂端設(shè)置有導(dǎo)電金屬鏈，所述導(dǎo)電金屬鏈一端與金屬桿頂端連接，所述導(dǎo)電金屬鏈另一端設(shè)置有銅片與試樣接觸；所述試樣座基座的試樣承載面設(shè)置有若干錐形支架，所述錐形支架均勻布置在試樣座基座底部。
[0005]進(jìn)一步地，所述金屬桿可沿長度方向伸縮活動(dòng)。這樣，金屬桿可以根據(jù)所掃描試樣的實(shí)際高度調(diào)整高度，便于導(dǎo)電金屬鏈與試樣接觸。
[0006]進(jìn)一步地，所述錐形支架設(shè)置有三個(gè)，其連線呈三角形布置在試樣座基座的試樣承載面。這樣，可以提高試樣放置在試樣座基座上的穩(wěn)定性，防止晃動(dòng)影響掃描結(jié)果。
[0007]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:所設(shè)計(jì)的掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座具有結(jié)構(gòu)簡單、操作便捷、降低成本等特點(diǎn)，其上設(shè)置的金屬桿以及與金屬桿配合使用的導(dǎo)電金屬鏈實(shí)現(xiàn)了試樣座與試樣的導(dǎo)電，減少了試驗(yàn)準(zhǔn)備工序，杜絕了因使用導(dǎo)電膠而引起的一系列故障；利用試樣座基座底部設(shè)置的錐形支架支撐試樣，可有效避免用平面支撐時(shí)因試樣底部的細(xì)微不平造成的震動(dòng)，影響試驗(yàn)數(shù)據(jù)；本設(shè)計(jì)在有效提高試驗(yàn)掃描準(zhǔn)確性的同時(shí)，大幅降低了試驗(yàn)成本，具有良好的市場前景。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖中:滑道I ;試樣座基座2 ;滑塊3 ;金屬桿4 ;導(dǎo)電金屬鏈5 ;銅片6 ;錐形支架7。

【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
[0011]圖中所示的掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，包括試樣座基座2，試樣座基座2邊緣環(huán)繞設(shè)置有滑道1，滑道I中設(shè)置有可沿滑道I滑動(dòng)的滑塊3，滑塊3頂面設(shè)置有金屬桿4，金屬桿4可沿長度方向伸縮活動(dòng)，并且根據(jù)需要可沿滑道繞試樣作360°旋轉(zhuǎn)；金屬桿4頂端安裝有一條長約20_的導(dǎo)電金屬鏈5，導(dǎo)電金屬鏈5可以靈活彎曲，其一端與金屬桿4頂端連接，另一端設(shè)置有銅片6與試樣接觸；試樣座基座2的試樣承載面設(shè)置有三個(gè)錐形支架7，錐形支架7呈三角形均勻布置在試樣座基座2的試樣承載面。
[0012]該掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，使用步驟如下:
[0013]1.將試樣放置在試樣座基座2上的錐形支架7 ；
[0014]2.滑動(dòng)金屬桿4下部滑塊3，使其到達(dá)需要位置；
[0015]3.調(diào)節(jié)金屬桿4的高度，使其與試樣高度大致相同；
[0016]4.將導(dǎo)電金屬鏈5端部的銅片6放置于待測試樣邊緣,使試樣與試樣座基座2導(dǎo)通；
[0017]5.將試樣放入掃描電鏡試樣室,抽真空后,加高壓后進(jìn)行掃描觀察等操作。
【權(quán)利要求】
1.一種掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，包括試樣座基座(2),其特征在于:所述試樣座基座(2)邊緣環(huán)繞設(shè)置有滑道(I)，所述滑道(I)中設(shè)置有可沿滑道(I)滑動(dòng)的滑塊(3)，所述滑塊(3)頂面設(shè)置有金屬桿(4)，所述金屬桿(4)頂端設(shè)置有導(dǎo)電金屬鏈(5)，所述導(dǎo)電金屬鏈(5) —端與金屬桿(4)頂端連接，所述導(dǎo)電金屬鏈(5)另一端設(shè)置有銅片(6)與試樣接觸；所述試樣座基座(2)的試樣承載面設(shè)置有若干錐形支架(7)，所述錐形支架(7)均勻布置在試樣座基座(2)底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，其特征在于:所述金屬桿(4)可沿長度方向伸縮活動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的掃描電鏡用免導(dǎo)電膠試樣座，其特征在于:所述錐形支架(7)設(shè)置有三個(gè)，其連線呈三角形布置在試樣座基座(2)的試樣承載面。
【文檔編號(hào)】H01J37/20GK204029761SQ201420502418
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年9月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月2日
【發(fā)明者】張彥文, 徐國濤, 王志奮, 吳立新, 陳士華, 許竹桃 申請人:武漢鋼鐵(集團(tuán))公司