多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種涉及光電陰極產(chǎn)品領(lǐng)域，尤指一種應(yīng)用于光電陰極制作系統(tǒng)，并對不同陰極的制作結(jié)構(gòu)改進(jìn)的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)。本實(shí)用新型通過兩種不同方式的管道接口，既能對玻璃材質(zhì)管道進(jìn)行連接的影像增強(qiáng)器，又能對金屬材質(zhì)管道進(jìn)行連接的影像增強(qiáng)器，并在影像增強(qiáng)器內(nèi)建立適合其工作的高真空狀態(tài)的光電陰極生成環(huán)境。主要解決如何改進(jìn)既能對玻璃材質(zhì)管道進(jìn)行連接，又能對金屬材質(zhì)管道進(jìn)行連接接口的結(jié)構(gòu)等有關(guān)技術(shù)問題。本實(shí)用新型的有益效果是：該系統(tǒng)通過兩種不同方式的管道接口的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了能同時針對不同品種、規(guī)格以及應(yīng)用連接的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)，具有使用方便、結(jié)構(gòu)合理及產(chǎn)品質(zhì)量可靠等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光電陰極產(chǎn)品領(lǐng)域，尤指一種主要應(yīng)用于光電陰極制作系統(tǒng)對不同陰極的制作結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對兩種材質(zhì)的管道都能連接的改進(jìn)裝置，是保證產(chǎn)品的高真空度狀態(tài)，制作生成光電陰極產(chǎn)品的制作系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]陰極制作在影像增強(qiáng)器的工藝中，是關(guān)鍵的工藝。在多功能陰極制作系統(tǒng)上，主要達(dá)到兩個目的:一是在影像增強(qiáng)器內(nèi)建立適合其工作的高真空狀態(tài)；二是制作生成光電陰極。
[0003]由于影像增強(qiáng)器的品種、規(guī)格以及應(yīng)用對象等原因，陰極的制作工藝也有很多方法，且各有千秋。但是無外乎都是通過施加電流來蒸發(fā)或?yàn)R射不同的堿金屬、銻以及其它元素，形成我們想要的光電陰極。所以只要改變電流施加的大小、持續(xù)時間，以及他們的組合，就能達(dá)到目的。目前市場上尚無可同時針對那些不同品種、規(guī)格以及應(yīng)用連接的制作系統(tǒng)，這時，多功能的制作系統(tǒng)能否與那些不同品種、規(guī)格以及應(yīng)用連接，就成為非常重要的因素了。
[0004]一般的陰極制作系統(tǒng)的連接主要有兩種方式:既玻璃材質(zhì)管道連接或者金屬材質(zhì)管道連接。所以要實(shí)現(xiàn)一臺制作系統(tǒng)對不同陰極的制作，必須能對這兩種材質(zhì)的管道都能連接。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服上述不足之處，本實(shí)用新型的主要目的旨在提供一種改進(jìn)型的光電陰極工藝制作系統(tǒng)，該系統(tǒng)通過兩種不同方式的管道接口，既能對玻璃材質(zhì)管道進(jìn)行連接的影像增強(qiáng)器，又能對金屬材質(zhì)管道進(jìn)行連接的影像增強(qiáng)器，并在影像增強(qiáng)器內(nèi)建立適合其工作的高真空狀態(tài)的光電陰極生成環(huán)境，達(dá)到可同時針對那些不同品種、規(guī)格以及應(yīng)用連接的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)。
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:主要解決如何改進(jìn)既能對玻璃材質(zhì)管道進(jìn)行連接，又能對金屬材質(zhì)管道進(jìn)行連接的光電陰極工藝制作系統(tǒng)；要解決如何在影像增強(qiáng)器內(nèi)構(gòu)建適合其工作的高真空狀態(tài)結(jié)構(gòu)等有關(guān)技術(shù)問題。
[0007]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:該裝置包括影像增強(qiáng)器、玻璃管、金屬管及其光電陰極等部件，還包括:玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器、玻璃管連接接口、金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器和金屬管連接接口，在多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)模塊中連接不同光電陰極的制作系統(tǒng)，一側(cè)為通過玻璃管連接接口與玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器相互聯(lián)接，另一側(cè)為通過金屬管連接接口與金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器相互聯(lián)接，該系統(tǒng)至少包括有:
[0008]玻璃管連接接口的結(jié)構(gòu)包括:玻璃管、壓緊螺母A、銅質(zhì)壓圈、氟橡膠密封圈、連接座A和水冷卻管，玻璃管從壓緊螺母A中心穿過插入連接座A內(nèi)，氟橡膠密封圈套在玻璃管夕卜，其間通過旋緊壓緊螺母A壓緊密封，在壓緊螺母A與氟橡膠密封圈之間墊一銅質(zhì)壓圈，水冷卻管與連接座A相互固定聯(lián)接；
[0009]金屬管連接接口的結(jié)構(gòu)包括:金屬管、錐形壓緊套、壓緊螺母B、錐形壓圈和連接座B，金屬管內(nèi)壁設(shè)有環(huán)狀結(jié)構(gòu)，連接座B內(nèi)設(shè)有環(huán)狀刀口，其中:
[0010]金屬管套入錐形壓緊套中，在錐形壓緊套外面套一個相互匹配的錐形壓圈，其間通過旋緊壓緊螺母B壓緊密封，錐形壓圈為向下滑動結(jié)構(gòu)，錐形壓緊套隨之縮小直徑，將金屬管的內(nèi)壁環(huán)狀嵌入連接座B的環(huán)狀刀口中。
[0011]進(jìn)一步的，所述的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)錐形壓緊套的錐形部分開有兩條以上的直槽。
[0012]進(jìn)一步的，所述的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)的金屬管與錐形壓緊套之間的間隙為0.05毫米,誤差為正負(fù)0.01毫米。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:光電陰極工藝制作系統(tǒng)可同時連接兩種不同方式的管道，既能對玻璃材質(zhì)管道進(jìn)行連接，又能對金屬材質(zhì)管道進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)了能同時針對那些不同品種、規(guī)格以及應(yīng)用連接的多功能制作系統(tǒng)，并在影像增強(qiáng)器內(nèi)建立適合其工作的高真空狀態(tài)的光電陰極生成環(huán)境，具有使用方便、結(jié)構(gòu)合理及產(chǎn)品質(zhì)量可靠等優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。
[0015]附圖1是本實(shí)用新型整體模塊結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]附圖2是本實(shí)用新型玻璃管連接接口的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]附圖3是本實(shí)用新型金屬管連接接口的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]附圖4是本實(shí)用新型圖3中A區(qū)域放大結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]附圖中標(biāo)號說明:
[0020]I一玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器；
[0021]2—玻璃管連接接口 ；
[0022]3—金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器；
[0023]4一金屬管連接接口 ；
[0024]5—多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)模塊；
[0025]6—玻璃管；
[0026]7—壓緊螺母A ;
[0027]8—銅質(zhì)壓圈；
[0028]9一氟橡膠密封圈；
[0029]10—連接座 A ；
[0030]11一水冷卻管；
[0031]12—金屬管；
[0032]13—錐形壓緊套；
[0033]14一壓緊螺母B ；
[0034]15—錐形壓圈；
[0035]16—連接座 B ；【具體實(shí)施方式】
[0036]請參閱附圖1、2、3及4所示，本實(shí)用新型包括影像增強(qiáng)器、玻璃管、金屬管及其光電陰極等部件，還包括:玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器1、玻璃管連接接口 2、金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器3和金屬管連接接口 4，在多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)模塊5中連接不同光電陰極的制作系統(tǒng)，一側(cè)為通過玻璃管連接接口 2與玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器I相互聯(lián)接，另一側(cè)為通過金屬管連接接口 4與金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器3相互聯(lián)接，該系統(tǒng)至少包括有:
[0037]玻璃管連接接口 2的結(jié)構(gòu)包括:玻璃管6、壓緊螺母A7、銅質(zhì)壓圈8、氟橡膠密封圈
9、連接座AlO和水冷卻管11，玻璃管6從壓緊螺母A7中心穿過插入連接座AlO內(nèi)，氟橡膠密封圈9套在玻璃管6外，其間通過旋緊壓緊螺母A7壓緊密封，在壓緊螺母A7與氟橡膠密封圈9之間墊一銅質(zhì)壓圈8，水冷卻管11與連接座AlO相互固定聯(lián)接；
[0038]金屬管連接接口 4的結(jié)構(gòu)包括:金屬管12、錐形壓緊套13、壓緊螺母B14、錐形壓圈15和連接座B16，金屬管12內(nèi)壁設(shè)有環(huán)狀結(jié)構(gòu)，連接座B16內(nèi)設(shè)有環(huán)狀刀口，其中:
[0039]金屬管12套入錐形壓緊套13中，在錐形壓緊套13外面套一個相互匹配的錐形壓圈15，其間通過旋緊壓緊螺母B14壓緊密封，錐形壓圈15為向下滑動結(jié)構(gòu)，錐形壓緊套13隨之縮小直徑,將金屬管12的內(nèi)壁環(huán)狀嵌入連接座B16的環(huán)狀刀口中。
[0040]進(jìn)一步的，所述的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)錐形壓緊套13的錐形部分開有兩條以上的直槽。
[0041]進(jìn)一步的，所述的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)的金屬管12與錐形壓緊套13之間的間隙為0.05毫米，誤差為正負(fù)0.01毫米。
[0042]一般的陰極制作系統(tǒng)的連接主要有兩種方式:既玻璃材質(zhì)管道連接或者金屬材質(zhì)管道連接。所以要實(shí)現(xiàn)一臺制作系統(tǒng)對不同陰極的制作，必須能對這兩種材質(zhì)的管道都能連接。
[0043]圖2中玻璃管從壓緊螺母A7中心穿過，插入連接座AlO內(nèi)，氟橡膠密封圈9套在玻璃管6外。用壓緊螺母A7壓緊密封。在壓緊螺母與氟橡膠密封圈9之間墊一銅質(zhì)壓圈8，主要是為了在漲緊密封時，減少橡膠與金屬之間的滑動。在270攝氏度高溫除氣時，水冷卻管11主要是為裝有氟橡膠密封圈9的區(qū)域冷卻降溫，防止氟橡膠密封圈9的溫度過高。
[0044]圖3是金屬管連接接口，密封結(jié)構(gòu)詳見圖4。金屬管12套入錐形壓緊套13，它們之間的間隙大約在0.05毫米左右。錐形壓緊套13在其錐形部分開有若干條直槽，用于收縮直徑，壓緊金屬管，以達(dá)到真空密封的目的。在錐形壓緊套13外面套一個相匹配的錐形壓圈15。通過旋緊壓緊螺母B14，使得錐形壓圈15向下滑動，從而錐形壓緊套13隨之縮小直徑，將金屬管12的內(nèi)壁環(huán)狀嵌入連接座B16的環(huán)狀刀口。起到真空密封的作用。
[0045]以上的實(shí)施例僅僅是用來說明本實(shí)用新型，在沒有脫離本實(shí)用新型精神的情況下還可作出各種等效的變化和修改，因此，只要在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)精神范圍內(nèi)對上述實(shí)施例的變化，變換都將落在本實(shí)用新型權(quán)利要求書的范圍里。
【權(quán)利要求】
1.一種多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)，包括影像增強(qiáng)器、玻璃管、金屬管及其光電陰極，其特征在于還包括:玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器(I)、玻璃管連接接口(2)、金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器(3)和金屬管連接接口(4)，在多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)模塊(5)中連接不同光電陰極的制作系統(tǒng)，一側(cè)為通過玻璃管連接接口( 2 )與玻璃管連接方式的影像增強(qiáng)器(I)相互聯(lián)接，另一側(cè)為通過金屬管連接接口(4)與金屬管連接方式的影像增強(qiáng)器(3)相互聯(lián)接，該系統(tǒng)至少包括有: 玻璃管連接接口(2)的結(jié)構(gòu)包括:玻璃管(6)、壓緊螺母A (7)、銅質(zhì)壓圈(8)、氟橡膠密封圈(9)、連接座A (10)和水冷卻管(11)，玻璃管(6)從壓緊螺母A (7)中心穿過插入連接座A (10)內(nèi)，氟橡膠密封圈(9)套在玻璃管(6)外，其間通過旋緊壓緊螺母A (7)壓緊密封，在壓緊螺母A (7)與氟橡膠密封圈(9)之間墊一銅質(zhì)壓圈(8)，水冷卻管(11)與連接座A (10)相互固定聯(lián)接； 金屬管連接接口(4)的結(jié)構(gòu)包括:金屬管(12)、錐形壓緊套(13)、壓緊螺母B (14)、錐形壓圈(15)和連接座B (16)，金屬管(12)內(nèi)壁設(shè)有環(huán)狀結(jié)構(gòu)，連接座B (16)內(nèi)設(shè)有環(huán)狀刀口，其中: 金屬管(12)套入錐形壓緊套(13)中，在錐形壓緊套(13)外面套一個相互匹配的錐形壓圈(15)，其間通過旋緊壓緊螺母B (14)壓緊密封，錐形壓圈(15)為向下滑動結(jié)構(gòu)，錐形壓緊套(13)隨之縮小直徑，將金屬管(12)的內(nèi)壁環(huán)狀嵌入連接座B (16)的環(huán)狀刀口中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)，其特征在于:所述錐形壓緊套(13)的錐形部分開有兩條以上的直槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能光電陰極工藝制作系統(tǒng)，其特征在于:所述的金屬管(12)與錐形壓緊套(13)之間的間隙為0.05毫米，誤差為正負(fù)0.01毫米。
【文檔編號】H01J9/12GK203733743SQ201420093586
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年3月3日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月3日
【發(fā)明者】章振昂, 吳明康, 王新軍, 張丹 申請人:上海泰雷茲電子管有限公司