專利名稱：掃描電鏡樣品臺(tái)及掃描電鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及微型鉆頭檢測技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說，涉及一種微型刀具用掃描 電鏡樣品臺(tái)及掃描電鏡。
背景技術(shù)：
掃描電鏡是一種電子光學(xué)顯像儀器，采用極細(xì)的電子束在樣品表面掃描，高能電 子射束與物質(zhì)之交互作用，產(chǎn)生了各種訊號(hào)，這些訊號(hào)，經(jīng)由適當(dāng)之檢測器(Detector)接 收后，經(jīng)放大器(Amplifier)放大，然后送到顯像管(Braim Tube)上成像。它具有制樣簡 單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)?，F(xiàn)有的掃描電鏡的掃描電鏡樣品臺(tái)，通常都是呈平臺(tái)或平面狀，待檢測的樣品放 置在掃描電鏡樣品臺(tái)上導(dǎo)電后進(jìn)行觀測?，F(xiàn)有技術(shù)中的掃描電鏡樣品臺(tái)通常都是用來檢測 微粒狀物體，適用于PCB微型鉆頭、微型銑刀等微型刀具的掃描電鏡樣品臺(tái)很少。由于掃描 電鏡樣品臺(tái)的空間有限，在對(duì)微型刀具進(jìn)行掃描電鏡檢測時(shí)，須將待觀察部分敲斷放入掃 描電鏡樣品臺(tái)中；而為了觀察微型刀具尖部的結(jié)構(gòu)，還需要使用碳膠帶將微型刀具豎直固 定，不僅固定操作復(fù)雜，而且也很難保證微型刀具足夠的豎直度。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種適用于檢測微型刀具的掃描電鏡樣 品臺(tái)及使用了此掃描電鏡樣品臺(tái)的掃描電鏡。本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的一種掃描電鏡樣品臺(tái)，其中，包括外筒及設(shè)置在外筒內(nèi)與外筒連接的插孔臺(tái)，所述 插孔臺(tái)上設(shè)有用于插放微型刀具的插孔。所述的插孔為貫穿插孔臺(tái)的通孔。這樣的設(shè)計(jì)使插孔的加工更為簡便，且微型刀 具的柄部可以貫穿整個(gè)插孔臺(tái)，到達(dá)外筒內(nèi)的底部。當(dāng)然，插孔臺(tái)的插孔也可以設(shè)計(jì)成非貫 穿的插孔。所述的插孔臺(tái)上規(guī)則分布有兩個(gè)以上具有不同內(nèi)徑大小的插孔。這樣的設(shè)計(jì)可以 支持對(duì)不同柄徑的微型刀具的檢測，還可以一次檢測多個(gè)微型刀具，尤其適用于對(duì)比檢測。 一次性的對(duì)磨損或崩缺的微型刀具和正常刀具進(jìn)行同時(shí)的對(duì)比檢測，可以更方便地對(duì)比被 測樣品的性能，以致得到一組完整有效的試驗(yàn)數(shù)據(jù)。所述的插孔的內(nèi)徑與微型刀具的柄部的外徑相適應(yīng)，插孔臺(tái)上的插孔的內(nèi)徑小于 微型刀具柄部上套環(huán)的直徑。這樣的設(shè)計(jì)使得微型刀具可以連帶套在其刀具柄部上的套環(huán) 一同進(jìn)行掃描電鏡的檢測。不僅在檢測時(shí)不需取下套環(huán)，操作更為方便，還可以通過套環(huán)在 微型刀具刀柄上的位置來調(diào)節(jié)微型刀具露出插孔臺(tái)的高度；不同的套環(huán)，也可以輔助用來 對(duì)不同的微型鉆頭進(jìn)行標(biāo)識(shí)區(qū)別。所述的外筒的內(nèi)壁呈圓柱形，內(nèi)壁設(shè)有螺紋，對(duì)應(yīng)的，所述與外筒連接的插孔臺(tái)的 外壁也設(shè)有與外筒相配合的螺紋；所述的插孔臺(tái)的圓形表面上設(shè)有凹槽，所述的凹槽設(shè)置在外筒的軸心處。這樣的設(shè)計(jì)，使得可以使用類似于起子等工具，更方便地使插孔臺(tái)在外筒 內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以輔助調(diào)節(jié)插孔臺(tái)在外筒內(nèi)的高度，使得檢測更為方便。所述的掃描電鏡樣品臺(tái)還包括圓餅狀的托臺(tái)，所述的托臺(tái)設(shè)置在插孔臺(tái)的下方， 托臺(tái)與外筒連接的外壁也設(shè)有與外筒相配合的螺紋。這樣的設(shè)計(jì)，使得微型刀具在插入到 插孔臺(tái)的插孔中后，底部由托臺(tái)托住，通過托臺(tái)的位置調(diào)節(jié)，即使微型刀具不帶套環(huán)，也可 以調(diào)節(jié)微型刀具的高度位置。所述的插孔臺(tái)上在每個(gè)插孔旁設(shè)有標(biāo)簽。設(shè)置標(biāo)簽是用于標(biāo)識(shí)每個(gè)插孔，以便對(duì) 待檢測的微型刀具進(jìn)行標(biāo)識(shí)區(qū)別。所述的標(biāo)簽可以為激光打字標(biāo)簽，或?yàn)榱硇性O(shè)置的標(biāo)簽箋等。所述的掃描電鏡樣品臺(tái)包括一個(gè)外筒和兩個(gè)以上的插孔大小、分布均不相同的插 孔臺(tái)。這樣的設(shè)置使得每個(gè)外筒可以配備多個(gè)插孔規(guī)格不同的插孔臺(tái)，以適應(yīng)不同要求、不 同型號(hào)的微型刀具的檢測。在對(duì)微型刀具進(jìn)行檢測時(shí)，根據(jù)微型刀具的柄部外徑的不同，及 需要的插孔的分布狀態(tài)的不同，選用相應(yīng)的插孔臺(tái)。所述的外筒的外壁呈圓柱形，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)還包括樣品座，樣品座上設(shè) 有用于容納外筒的凹腔；所述凹腔呈圓柱形，與外筒的外壁相適應(yīng)；外筒可拆卸的固定在 樣品座的凹腔中；所述凹腔的底部為平面，其對(duì)應(yīng)于外筒軸心處設(shè)有與外筒相通的通孔； 所述樣品座的外壁設(shè)有至少一對(duì)互相平行的平面。一種掃描電鏡，包括掃描電鏡樣品臺(tái)，其中，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)包括外筒及設(shè) 置在外筒內(nèi)與外筒連接的插孔臺(tái)，所述插孔臺(tái)上設(shè)有用于插放微型刀具的插孔；所述的插 孔的內(nèi)徑大于待檢測的微型刀具的柄部的外徑；小于2倍的待檢測的微型刀具的柄部外徑。本實(shí)用新型中所述的掃描電鏡中使用的掃描電鏡樣品臺(tái)包括有外筒及設(shè)置在外 筒內(nèi)的插孔臺(tái)，由于具有一定高度的外筒及插孔臺(tái)上插孔的設(shè)置，使微型刀具可以直接插 放在插孔內(nèi)進(jìn)行掃描電鏡的檢測，不僅操作更為方便，而且還可以在不破壞微型刀具的情 況下觀察微型刀具的磨損、崩口等情況，非常適合檢測微型刀具，檢測效果較好。
圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中樣品座的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中樣品座的俯視示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例中外筒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例中插孔臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例中插孔臺(tái)的截面示意圖；圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例中托臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例中托臺(tái)的截面示意圖。其中1、樣品座；11、平面；12、凹腔；13、凹腔的底部；14、通孔；15、螺孔；2、外筒； 21、外筒的外壁；22、外筒的內(nèi)壁；23、螺孔；3、插孔臺(tái)；31、插孔；32、凹槽；33、螺紋；4、托 臺(tái)；41、凹槽；42、螺紋。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和較佳的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。本實(shí)用新型實(shí)施例中所述的掃描電鏡所使用的掃描電鏡樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)如圖1-7所示，其包括外筒2、及設(shè)置在外筒2內(nèi)與外筒連接的插孔臺(tái)3。插孔臺(tái)3上設(shè)有用于插放 微型刀具的插孔31。插孔31的內(nèi)徑與放置在插孔內(nèi)的微型刀具的柄部的外徑相適應(yīng)。所述的插孔的 內(nèi)徑與微型刀具的柄部的外徑相適應(yīng)，是指所述的插孔的內(nèi)徑稍大于微型刀具的柄部的 外徑，使得微型刀具可以方便的插放在插孔內(nèi)，而插孔的內(nèi)徑又足以保證微型刀具的觀測
需要的豎直度。外筒的內(nèi)壁22呈圓柱形，內(nèi)壁設(shè)有內(nèi)螺紋，對(duì)應(yīng)的，與外筒2連接的插孔臺(tái)3的外 壁也設(shè)有與外筒相配合的螺紋33 ；這樣的設(shè)計(jì)，可以使插孔臺(tái)3通過在外筒2內(nèi)旋轉(zhuǎn)來調(diào) 節(jié)插孔臺(tái)3在外筒2內(nèi)的高度，方便各種條件的檢測。而為了更方便的選擇插孔臺(tái)進(jìn)行條 件，在插孔臺(tái)的底面對(duì)應(yīng)于外筒的軸心的位置且避讓插孔的位置處還設(shè)有凹槽32，使得可 以使用類似于起子等工具，更方便地使插孔臺(tái)在外筒內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以輔助調(diào)節(jié)插孔臺(tái)在外筒內(nèi) 的高度，使得檢測更為方便。其中，插孔臺(tái)上的插孔可以為貫穿插孔臺(tái)的通孔，也可以為非貫穿的插孔，本實(shí)施 例中的插孔優(yōu)選為貫穿插孔臺(tái)的通孔，其加工更為簡便，且通孔的設(shè)計(jì)使得微型刀具的柄 部可以貫穿整個(gè)插孔臺(tái)，到達(dá)外筒內(nèi)的底部，相對(duì)于必須有足夠的厚度以容納微型刀具的 柄部高度的插孔臺(tái)來說，通孔的插孔可以減小插孔臺(tái)的厚度，減少成本。插孔臺(tái)上的插孔31的內(nèi)徑稍大于被檢測的微型刀具的柄部的外徑，且小于微型 刀具柄部上套環(huán)的直徑，使得微型刀具可以連帶套在其刀具柄部上的套環(huán)一同進(jìn)行掃描電 鏡的檢測。不僅在檢測時(shí)不需取下套環(huán)，操作更為方便，還可以通過套環(huán)在微型刀具刀柄上 的位置來調(diào)節(jié)微型刀具露出插孔臺(tái)的高度；不同的套環(huán)，也可以輔助用來對(duì)不同的微型鉆 頭進(jìn)行標(biāo)識(shí)區(qū)別。如圖4所示，插孔臺(tái)上的插孔設(shè)計(jì)為多個(gè)，其插孔的內(nèi)徑大小可以是不 同的，規(guī)則地分布在插孔臺(tái)上。這樣的設(shè)計(jì)可以放不同柄徑的PCB微型鉆頭、微型銑刀進(jìn)行 SEM、能譜EDS測試，還可以一次檢測多個(gè)微型刀具，尤其適用于對(duì)比檢測一次性的對(duì)磨損 損壞的微型刀具和正常刀具進(jìn)行同時(shí)的對(duì)比檢測，可以更方便地對(duì)比被測樣品的性能，以 致得到一組完整有效的試驗(yàn)數(shù)據(jù)。插孔臺(tái)上在每個(gè)插孔旁設(shè)有標(biāo)簽(圖中未示出)。設(shè)置 標(biāo)簽是用于標(biāo)識(shí)每個(gè)插孔，以便對(duì)待檢測的微型刀具進(jìn)行標(biāo)識(shí)區(qū)別。標(biāo)簽可以為激光打字 標(biāo)簽，或?yàn)榱硇性O(shè)置的標(biāo)簽箋等。另外，掃描電鏡樣品臺(tái)還可以包括一個(gè)設(shè)置在插孔臺(tái)3的下方的圓餅狀的托臺(tái)4。 同插孔臺(tái)一樣，托臺(tái)與外筒連接的外壁也設(shè)有與外筒相配合的螺紋42，以調(diào)節(jié)托臺(tái)在外筒 中的高度位置；托臺(tái)4的底面對(duì)應(yīng)于外筒的軸心的位置處也設(shè)有凹槽41，使得可以使用類 似于起子等工具，更方便地使托臺(tái)在外筒內(nèi)旋轉(zhuǎn)，以輔助調(diào)節(jié)托臺(tái)在外筒內(nèi)的高度。托臺(tái)的 設(shè)計(jì)，使得微型刀具在插入到插孔臺(tái)的插孔中后，底部由托臺(tái)托住，通過托臺(tái)的位置調(diào)節(jié)， 即使微型刀具不帶套環(huán)，也可以調(diào)節(jié)微型刀具的高度位置。在對(duì)托臺(tái)及插孔臺(tái)的位置進(jìn)行 調(diào)節(jié)時(shí)，由于凹槽皆設(shè)置在底部，可根據(jù)需要，先使用起子調(diào)節(jié)好插孔臺(tái)的位置，再調(diào)節(jié)托 臺(tái)的位置。在進(jìn)行掃描電鏡檢測時(shí)，可根據(jù)具體情況決定是否選用托臺(tái)。所述的掃描電鏡樣品臺(tái)還包括樣品座1，樣品座1上設(shè)有用于容納外筒2的凹腔 12 ；所述凹腔12與外筒的外壁21相適應(yīng)，所述的外筒的外壁21呈光滑的圓柱形，凹腔12 對(duì)應(yīng)的也呈圓柱形，外筒2通過螺釘及螺孔15、23可拆卸的固定在樣品座1的凹腔12中。 凹腔12的底部13為平面，其對(duì)應(yīng)于外筒軸心處設(shè)有與外筒相通的通孔14，通過通孔14，可以調(diào)節(jié)外筒內(nèi)最底部的插孔臺(tái)或托臺(tái)的高度；而樣品座的外壁設(shè)有至少一對(duì)互相平行的平 面11，以更好的對(duì)樣品座進(jìn)行夾持固定。由于掃描電鏡檢測需要對(duì)待檢物體導(dǎo)電處理，掃描電鏡樣品臺(tái)的樣品座、外筒、插 孔臺(tái)及托臺(tái)都可采用導(dǎo)體制成，而在微型刀具與樣品座的凹腔底部(不使用托臺(tái))、或與托 臺(tái)的上表面(使用托臺(tái))接觸的位置處，還可使用碳膠帶等導(dǎo)電膠進(jìn)行輔助固定，以更好的 為微型刀具通電。每一套掃描電鏡樣品臺(tái)包括有一個(gè)外筒，卻可以有多個(gè)規(guī)格不同的、插孔大小、分 布均不相同的插孔臺(tái)。每個(gè)外筒通過配備多個(gè)插孔規(guī)格不同的插孔臺(tái)，以適應(yīng)不同要求、不 同型號(hào)的微型刀具的檢測。使用上述掃描電鏡樣品臺(tái)進(jìn)行掃描電鏡檢測前，先根據(jù)微型刀具的柄部外徑的不 同，及需要的插孔的分布狀態(tài)的不同，選用相應(yīng)的插孔臺(tái)；將插孔臺(tái)旋進(jìn)外筒中，通過起子 等輔助工具將插孔臺(tái)旋至預(yù)設(shè)的位置處；如果需要使用托臺(tái)，在調(diào)整好插孔臺(tái)后，可根據(jù)需 要在托臺(tái)的表面布置導(dǎo)電膠，將托臺(tái)也旋進(jìn)外筒中，通過起子等輔助工具將托臺(tái)旋至預(yù)設(shè) 的位置處；再將外筒放置到樣品座的凹腔中，并進(jìn)行固定；如果不使用托臺(tái)，可根據(jù)需要在 凹腔的底面上布置導(dǎo)電膠；在將外筒固定到樣品座中后，還可通過起子等工具，經(jīng)由樣品座 凹腔底面上的通孔，探入到凹腔內(nèi)，對(duì)外筒底部的插孔臺(tái)或托臺(tái)的位置進(jìn)行調(diào)整。在講樣品 座、外筒、插孔臺(tái)及托臺(tái)都設(shè)置好后，即可將樣品座夾持固定到掃描電鏡的預(yù)設(shè)位置處。在使用掃描電鏡進(jìn)行微型刀具的檢測時(shí)，可直接將微型刀具柄部在下，尖部在上 的放置到掃描電鏡樣品臺(tái)的插孔臺(tái)的插孔中，微型刀具的柄部的套環(huán)不需取下，可以一并 檢測。如有多個(gè)微型刀具進(jìn)行同時(shí)檢測，可參考微型刀具的套環(huán)或插孔臺(tái)上每個(gè)插孔的標(biāo) 簽對(duì)微型刀具進(jìn)行記錄，以避免出現(xiàn)混料。在將一個(gè)或多個(gè)微型刀具放置好后，即可進(jìn)行掃 描電鏡的檢測處理過程。使用上述掃描電鏡樣品臺(tái)，微型刀具可以直接豎直地插放在插孔內(nèi)進(jìn)行掃描電鏡 的檢測，不僅操作更為方便，而且還可以在不破壞微型刀具的情況下觀察微型刀具的磨損、 崩口等情況，檢測效果較好，還能方便地調(diào)節(jié)待檢測樣品的高度，一次可同時(shí)檢測多支樣 品，且不會(huì)混料。以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能 認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視 為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，包括外筒及設(shè)置在外筒內(nèi)與外筒連接的插孔臺(tái)， 所述插孔臺(tái)上設(shè)有用于插放微型刀具的插孔。
2.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的插孔為貫穿插孔臺(tái)的通孔。
3.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的插孔臺(tái)上規(guī)則分布有兩 個(gè)以上具有不同內(nèi)徑大小的插孔。
4.如權(quán)利要求2或3所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的插孔的內(nèi)徑與微型刀 具的柄部的外徑相適應(yīng)，插孔臺(tái)上的插孔的內(nèi)徑小于微型刀具柄部上套環(huán)的直徑。
5.如權(quán)利要求1所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的外筒的內(nèi)壁設(shè)有螺紋，對(duì) 應(yīng)的，所述與外筒連接的插孔臺(tái)的外壁也設(shè)有與外筒相配合的螺紋；所述的插孔臺(tái)的圓形 表面上設(shè)有凹槽，所述的凹槽設(shè)置在外筒的軸心處。
6.如權(quán)利要求5所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)還包括 圓餅狀的托臺(tái)，所述的托臺(tái)設(shè)置在插孔臺(tái)的下方，托臺(tái)與外筒連接的外壁也設(shè)有與外筒相 配合的螺紋。
7.如權(quán)利要求3所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的插孔臺(tái)上在每個(gè)插孔旁 設(shè)有標(biāo)簽。
8.如權(quán)利要求3所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)包括一 個(gè)外筒和兩個(gè)以上的插孔大小、分布均不相同的插孔臺(tái)。
9.如權(quán)利要求1或2所述的掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的外筒的外壁呈圓柱 形，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)還包括樣品座，樣品座上設(shè)有用于容納外筒的凹腔；所述凹腔呈 圓柱形，與外筒的外壁相適應(yīng)；外筒可拆卸的固定在樣品座的凹腔中；所述凹腔的底部為 平面，其對(duì)應(yīng)于外筒軸心處設(shè)有與外筒相通的通孔；所述樣品座的外壁設(shè)有至少一對(duì)互相 平行的平面。
10.一種掃描電鏡，包括掃描電鏡樣品臺(tái)，其特征在于，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)包括外 筒及設(shè)置在外筒內(nèi)與外筒連接的插孔臺(tái)，所述插孔臺(tái)上設(shè)有用于插放微型刀具的插孔；所 述的插孔的內(nèi)徑大于待檢測的微型刀具的柄部的外徑；小于2倍的待檢測的微型刀具的柄 部外徑。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種掃描電鏡樣品臺(tái)及掃描電鏡，所述的掃描電鏡樣品臺(tái)包括外筒及設(shè)置在外筒內(nèi)與外筒連接的插孔臺(tái)，所述插孔臺(tái)上設(shè)有插孔，所述的插孔的內(nèi)徑大于待檢測的微型刀具的柄部的外徑；小于待檢測微型刀具柄部上套環(huán)的直徑。本實(shí)用新型中所述的掃描電鏡中使用的掃描電鏡樣品臺(tái)包括有外筒及設(shè)置在外筒內(nèi)的插孔臺(tái)，由于具有一定高度的外筒及插孔臺(tái)上插孔的設(shè)置，使微型刀具可以直接豎直地插放在插孔內(nèi)進(jìn)行掃描電鏡的檢測，不僅操作更為方便，而且還可以在不破壞微型刀具的情況下觀察微型刀具的磨損、崩口等情況，檢測效果較好。
文檔編號(hào)H01J37/20GK201820737SQ20102028029
公開日2011年5月4日 申請(qǐng)日期2010年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月3日
發(fā)明者劉燚 申請(qǐng)人:深圳市金洲精工科技股份有限公司