專利名稱：一種真空中電極引入裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空中電極引入裝置。進一步地，本發(fā)明涉及一種簡單可靠的電極引入裝置。本發(fā)明涉及離子注入機，屬于半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
離子源是離子注入機很重要的組成部分，其工作原理是基于各種方法和結(jié)構(gòu)獲得離子，如電子轟擊使氣體分子電離、原子在固體表面上電離和氣體在放電中電離等。在離子源的制造和改進中，要使預(yù)電離媒質(zhì)能夠得到充分的電離，一種形成具有必需離子濃度等離子體的適當(dāng)方法是非常重要的因素之一，合理而方便的離子源結(jié)構(gòu)是解決這一問題的關(guān)鍵所在。本發(fā)明提供了真空中一種電極引入裝置，結(jié)構(gòu)簡單可靠，可用于離子源結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種簡單可靠的電極弓丨入裝置。一種電極引入裝置，具有和電源連接的真空封電極，將電源引入到弧室腔體的陰陽兩極，使弧室腔體兩端具有一定壓差，具有和電源連接的燈絲桿將電流引入燈絲，使燈絲發(fā)熱，以產(chǎn)生電子，電子在磁場作用下在具有一定電壓的弧室腔體中做螺旋運動，和通入弧室腔體的氣體分子相碰撞，由此得到離子。


下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明專利的限定。圖1是電極引入裝置的一側(cè)視圖。圖2是電極引入裝置的另一側(cè)視圖。圖1中，1和2為燈絲桿，3和4為電極過渡片，5、9和10為L型電極桿，6、7和8 為絕緣塊，11、12和14為彈性夾，13為陰極，15為燈絲，16為弧室腔體，17為安裝板。圖2 中18為真空封電極，19為偏置引線連接桿，20為扁平連接線，21為絕緣塊，22為電極桿，23 為安裝板，24為彈性夾，25為陽極。
具體實施例方式一種真空中電極引入裝置，真空封電極18和電源相連，通過偏置引線連接桿19和扁平連接線20將電流分別引入電極桿22和電極桿9，電極桿22和彈性夾M相連將電流的一極引入到陽極25，此處使用彈性夾用于夾緊陽極25的引出桿，使用方便。電極桿9和彈性夾12相連，使用彈性夾12夾緊陰極13的引出桿，將電流的另一極引入到陰極13上。由此在弧室腔體的陰陽兩極產(chǎn)生電壓差。其中電極桿22通過絕緣塊21和安裝板23與離子源腔體相連，以達(dá)到和離子源腔體絕緣的作用。
本發(fā)明所涉及的裝置中，其中燈絲桿1和電源相連，由于工作過程中會產(chǎn)生大量熱量，在燈絲桿1開孔，用以安裝冷卻水管。燈絲桿1通過電極過渡片3和電極桿5相連， 電極桿5連接用于夾緊燈絲15 —端的彈性夾11，將電流傳送給燈絲，使燈絲發(fā)熱，使其在高溫狀況下發(fā)射電子，電子進入具有一定壓差的弧室腔體16，在磁場的作用下做螺旋運動，和氣體分子碰撞，以產(chǎn)生所需離子。其中電極桿5通過絕緣塊6和安裝板17與離子源腔體相連。由圖1可見，該使燈絲發(fā)熱裝置共有基本相同的兩部分，分別連接燈絲的兩端，同時用以加熱燈絲。以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種真空中電極引入裝置包括燈絲桿1和2，電極過渡片3和4，L型電極桿5、9和 10，絕緣塊6、7和8，彈性夾11、12和14，陰極13，燈絲15，弧室腔體16，安裝板17，真空封電極18，偏置引線連接桿19，扁平連接線20，絕緣塊21，電極桿22，安裝板23，彈性夾24，陽極25。
2.權(quán)利1所述的燈絲桿1通過電極過渡片3和電極桿5相連，電極桿5連接用于夾緊燈絲15—端的彈性夾11，將電流傳送給燈絲，使燈絲發(fā)熱，使其在高溫狀況下發(fā)射電子。
3.權(quán)利1所述的真空封電極18和電源相連，通過偏置引線連接桿19和扁平連接線20 將電流分別弓I入弧室腔體的兩極，產(chǎn)生壓差。
全文摘要
本發(fā)明提供一種真空中電極引入裝置。該裝置具有和電源連接的真空封電極，將電源引入到弧室腔體的陰陽兩極，使弧室腔體兩端具有一定壓差，具有和電源連接的燈絲桿將電流引入燈絲，使燈絲發(fā)熱，以產(chǎn)生電子，電子在磁場作用下在具有一定電壓的弧室腔體中做螺旋運動，和通入弧室腔體的氣體分子相碰撞，由此得到離子。
文檔編號H01J37/317GK102446689SQ20101051415
公開日2012年5月9日 申請日期2010年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月13日
發(fā)明者伍三忠, 唐景庭, 孫勇, 鄧穎輝 申請人:北京中科信電子裝備有限公司