專利名稱：準(zhǔn)分子燈及準(zhǔn)分子燈單元及紫外線照射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過外部電極在封入有放電用氣體的放電管內(nèi)的放電空間產(chǎn)生放電而照射紫外線的準(zhǔn)分子燈；用燈座支承該準(zhǔn)分子燈且進(jìn)行外部電極和電源的連接的準(zhǔn)分子燈單元；以及使用它們而構(gòu)成的紫外線照射裝置。
背景技術(shù)：
準(zhǔn)分子燈在使用氙氣作為放電用氣體時(shí)，由于照射的是中心波長為172nm的高能的真空紫外線，所以可以作為對(duì)液晶顯示器的玻璃基板或半導(dǎo)體晶圓等被照射物進(jìn)行光清洗等的紫外線照射裝置的光源燈使用。該準(zhǔn)分子燈有使用圓筒管作為封入放電用氣體的放電管的(例如參考對(duì)比文件1)，也有使用方形的密閉容器作為封入放電用氣體的放電管的 (例如參考對(duì)比文件2)等。真空紫外線被氧吸收會(huì)產(chǎn)生臭氧，因此當(dāng)放出到空氣中時(shí)會(huì)馬上衰減。因此，在使用采用了圓筒管的放電管的準(zhǔn)分子燈的情況下，需要將準(zhǔn)分子燈配置于下端配置有玻璃板的紫外線照射裝置的內(nèi)部，形成凈化了氧等的環(huán)境，通過穿過該下端的玻璃板對(duì)隔開稍許間隔而配置于下方的平坦的被照射物照射真空紫外線，從而不使該真空紫外線白白在空氣中衰減。但是，在使用采用了方形的放電管的準(zhǔn)分子燈的情況下，由于可以對(duì)在廣大的下平坦面的下方隔開稍許間隔而配置的平坦的被照射物直接照射真空紫外線，所以可以使紫外線照射裝置的構(gòu)造簡(jiǎn)化。采用方形的放電管的準(zhǔn)分子燈的現(xiàn)有構(gòu)成例如圖10以及圖11所示。準(zhǔn)分子燈1 的放電管2是由合成石英構(gòu)成的左右長條且上下形成有平坦面的方形的密閉容器，在內(nèi)部的放電空間加封入有氙氣。該放電管2如圖10所示，在上平坦面幾乎遍布整個(gè)面形成有外部電極3，并且如圖11所示，在下平坦面幾乎遍布整個(gè)面形成有外部電極4。這些外部電極3、4是由通過蒸鍍金屬等在放電管2的表面成膜的金屬薄膜構(gòu)成。但是，上平坦面的外部電極3在成膜區(qū)域內(nèi)均勻地成膜金屬薄膜，下平坦面的外部電極4除去左側(cè)的端部在成膜區(qū)域內(nèi)以網(wǎng)狀的圖案成膜金屬薄膜。上述準(zhǔn)分子燈1通過在外部電極3、4之間施加高頻高電壓，在由電介質(zhì)構(gòu)成的放電管2的內(nèi)部的放電空間加產(chǎn)生電介質(zhì)阻擋放電(誘電體〃 U 7放電)而放射真空紫外線，因此可以通過下平坦面的外部電極4的網(wǎng)眼的間隙將該真空紫外線放出到下方。在此，現(xiàn)有的準(zhǔn)分子燈1為了在外部電極3、4之間施加高頻高電壓，如圖12所示， 在外部電極3、4上連接了引線5、5。即，該準(zhǔn)分子燈1將引線5、5的前端分別軟釬焊在外部電極3、4的左側(cè)的端部，并且包括這些引線5、5的前端部在內(nèi)，將放電管2側(cè)的端部用一對(duì)陶瓷塊6、6從上下夾持固定。然后，在未圖示的紫外線照射裝置上支承固定陶瓷塊6、6，并且將引線5、5的基部側(cè)連接于未圖示的高頻高電壓電源的高壓端子和接地端子，從而對(duì)準(zhǔn)分子燈1的外部電極3、4施加高頻高電壓。但是，各引線5為了高頻高電壓的絕緣而需要由被覆件fe覆蓋導(dǎo)線。因此，準(zhǔn)分子燈1由于放電管2會(huì)因放電而變成高溫，所以將用絕緣性和耐熱性高且具有柔軟性的硅酮樹脂覆蓋了導(dǎo)線的硅酮電線用于引線5?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 JP特開2001-243920號(hào)公報(bào)(圖4)專利文獻(xiàn)2 JP特開2000-260396號(hào)公報(bào)但是，在放電管2的放電空間加放射的真空紫外線有時(shí)在該放電管2的管壁內(nèi)重復(fù)反射等而從左右端部漏出到外部，存在硅酮樹脂在真空紫外線的作用下老化的情況。因此，各引線5用難以因真空紫外線老化且絕緣性和耐熱性也高的PFA(熱可塑性氟樹脂)進(jìn)一步覆蓋硅酮電線的硅酮樹脂，采用這些硅酮樹脂和PFA的雙層構(gòu)造的被覆件fe。但是，發(fā)明人進(jìn)行實(shí)驗(yàn)反復(fù)研究的結(jié)果是發(fā)現(xiàn)了下述情況。作為引線5的被覆件 fe的外層使用的PFA若長時(shí)間保露在高能的真空紫外線中也會(huì)產(chǎn)生一定程度的老化。而且，當(dāng)該P(yáng)FA因真空紫外線老化時(shí)，產(chǎn)生分解氣體，該分解氣體使外部電極3、4變色或污染放電管2的表面，因此存在著準(zhǔn)分子燈1照射的真空紫外線的強(qiáng)度下降的問題。另外，還有因該分解氣體污染被照射物的問題。進(jìn)而，如果在被覆件如的上層的PFA產(chǎn)生因老化引起的裂縫等，則真空紫外線照射在下層的硅酮樹脂而產(chǎn)生粉化(白堊化)，所以還有因該粉化造成粉狀物落下而污染被照射物的問題。此外，即使是波長比真空紫外線長的紫外線，樹脂也老化，只是程度有所差別，所以在放射真空紫外線以外的紫外線的準(zhǔn)分子燈的情況下，也同樣產(chǎn)生這些問題。另外，由于準(zhǔn)分子燈的電源是極高的高電壓，所以當(dāng)連接使用引線時(shí)，必須用樹脂制的被覆件fe進(jìn)行絕緣。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要提供一種可以解決上述問題的準(zhǔn)分子燈及準(zhǔn)分子燈單元，以及使用它們而構(gòu)成的紫外線照射裝置。第1發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，在內(nèi)部的放電空間封入有放電用氣體的放電管的外表面的不同部位配置一對(duì)外部電極，并且分別連接于這些外部電極的一對(duì)連接器端子配置在設(shè)置于該放電管的端部的連接器部的外表面?zhèn)鹊牟煌课弧５?發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述連接器部是放電管的左側(cè)或右側(cè)的端部、且是內(nèi)部不存在放電空間的部分。第3發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述放電管是左右為長條狀且上下形成有平坦面的方形的密閉容器，且在該放電管的上下的平坦面分別配置一對(duì)外部電極。第4發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各外部電極由在放電管的外表面形成的金屬薄膜構(gòu)成。第5發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各外部電極由在放電管的外表面配置的金屬板構(gòu)成。第6發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子由外部電極上的在放電管的連接器部的外表面配置的部分構(gòu)成。第7發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子是塊狀的端子，其隔著多點(diǎn)接觸件被按壓于外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。第8發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子由金屬板構(gòu)成，其隔著焊錫層被連接固定于外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。第9發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子是塊狀的端子，其隔著多點(diǎn)接觸件被按壓于金屬片上，其中所述金屬片隔著焊錫層被連接固定于外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。第10發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述塊狀的各連接器端子由一對(duì)從兩側(cè)夾持固定放電管的連接器部的陶瓷塊按壓。第11發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述準(zhǔn)分子燈放射真空紫外線。第12發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子是塊狀的端子，其設(shè)置在外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。第13發(fā)明的紫外線照射裝置，其特征在于，其具備所述準(zhǔn)分子燈。第14發(fā)明的準(zhǔn)分子燈單元，其特征在于，其由所述準(zhǔn)分子燈和燈座構(gòu)成，其中所述燈座上設(shè)有插座部，在所述插座部中插入并支承該準(zhǔn)分子燈的連接器部，并且在該插座部的內(nèi)側(cè)、且與插入的連接器部上的一對(duì)連接器端子接觸的位置上，分別配置與準(zhǔn)分子燈的電源連接的一對(duì)端子接觸件。第15發(fā)明的準(zhǔn)分子燈單元，其特征在于，所述各端子接觸件由多點(diǎn)接觸件構(gòu)成。第16發(fā)明的準(zhǔn)分子燈單元，其特征在于，所述各端子接觸件由金屬制的板簧構(gòu)成。第17發(fā)明的紫外線照射裝置，其特征在于，其具備所述準(zhǔn)分子燈單元。而且，這些發(fā)明中的左右和上下方向只不過是用來簡(jiǎn)單表示相互正交的方向，并不一定必須與現(xiàn)實(shí)的左右、上下方向一致。發(fā)明效果根據(jù)第1發(fā)明，由于在放電管的端部配置與外部電極連接的連接器部，所以即使不在該外部電極連接引線，僅通過使端子接觸件等接觸就能連接于電源，不存在因引線的樹脂被覆在紫外線作用下的樹脂老化而產(chǎn)生分解氣體或粉化引起粉狀物落下的情況。根據(jù)第2發(fā)明，由于在放電管的連接器部的內(nèi)部不存在放電空間，因此即使給該連接器部施加壓力放電管也不存在破損的顧慮。因此，可以采用用連接器端子等按壓該連接器部，或用燈座等支承準(zhǔn)分子燈時(shí)施加壓迫而可靠進(jìn)行支承或連接的構(gòu)造。根據(jù)第3發(fā)明，在使用方形的放電管的準(zhǔn)分子燈中，可以消除被照射物污染的顧慮。即，雖然若在準(zhǔn)分子燈和被照射物之間配置玻璃板等，不存在因樹脂老化而產(chǎn)生的分解氣體或粉化引起的粉狀物污染該被照射物的顧慮，但在使用方形的放電管的準(zhǔn)分子燈的情況下，由于不必配置玻璃板等，所以目前會(huì)產(chǎn)生該分解氣體或粉化引起的粉狀物污染被照射物的顧慮。但是，根據(jù)本發(fā)明，由于不必使用由樹脂覆蓋的引線，所以可以消除這種污染的問題。根據(jù)第4發(fā)明，由于可以使金屬薄膜的外部電極無間隙地密接于放電管的外表面，所以可以提高放電效率。根據(jù)第5發(fā)明，由于僅通過在放電管的外表面配置金屬板作為外部電極，因此該外部電極的組裝容易。根據(jù)第6發(fā)明，由于可將在放電管的外表面配置的外部電極在連接器部直接作為連接器端子使用，因此不必另外組裝連接器端子。根據(jù)第7發(fā)明，由于作為連接器端子的塊狀的端子隔著多點(diǎn)接觸件被按壓到外部電極，因此，該塊狀的連接器端子和外部電極之間的連接變成接觸阻力小的可靠的連接，并且裝卸也容易。另外，多點(diǎn)接觸件由于通過多個(gè)接點(diǎn)進(jìn)行連接，所以尤其適于施加高頻、高壓的準(zhǔn)分子燈的連接。而且，塊狀的連接器端子由于熱容量大，所以通過軟釬焊等直接連接于外部電極并不容易。因此，通過隔著多點(diǎn)接觸件將塊狀的連接器端子按壓到外部電極，從而進(jìn)行可靠連接。根據(jù)第8發(fā)明，即便外部電極例如是如金屬薄膜等那樣容易被削去或剝落的電極，使端子接觸件等接觸而施加壓力的連接器端子是隔著焊錫層連接固定于該外部電極的金屬板，所以也可以防止外部電極的削去或剝落等。而且，作為連接器端子的金屬板的熱容量較小，因此可容易在作為金屬薄膜的外部電極上進(jìn)行軟釬焊。根據(jù)第9發(fā)明，即便外部電極例如是如金屬薄膜等那樣容易被削去或剝落的電極，使端子接觸件等接觸而施加壓力的連接器端子是塊狀的端子，所以也可以防止外部電極的削去或剝落等。而且，介于該塊狀的連接器端子和外部電極之間的多點(diǎn)連接件也與隔著焊錫層連接固定在該外部電極上的金屬片接觸，因此通過該多點(diǎn)接觸件，也不會(huì)產(chǎn)生外部電極被削去或剝落的顧慮。而且，塊狀的連接器端子由于熱容量大，所以難以直接在金屬薄膜等的外部電極進(jìn)行軟釬焊。因此，首先在外部電極軟釬焊熱容量小的金屬片，接著在該金屬片上隔著多點(diǎn)接觸件按壓塊狀的連接器端子，從而進(jìn)行可靠連接。根據(jù)第10發(fā)明，由于可利用具有絕緣性且不存在紫外線造成老化的顧慮的一對(duì)陶瓷塊按壓塊狀的連接器端子，所以可以可靠進(jìn)行連接器端子向外部電極的連接。根據(jù)第11發(fā)明，可以提供尤其適于放射高能的真空紫外線而容易使樹脂老化的準(zhǔn)分子燈的發(fā)明。根據(jù)第12發(fā)明，沒必要安裝引線，可以形成制造及處理都簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。根據(jù)第13發(fā)明，由于在放電管的端部配置與外部電極連接的連接器部，所以即使不在該外部電極上連接引線，僅通過使端子接觸件等接觸就能連接于電源，可提供一種不存在因引線的樹脂被覆在紫外線作用下的樹脂老化而產(chǎn)生分解氣體或粉化引起粉狀物落下的情況的紫外線照射裝置。進(jìn)而，由于在放電管的連接器部的內(nèi)部不存在放電空間，因此即使給該連接器部施加壓力放電管也不存在破損的顧慮。因此，可以采用用連接器端子等按壓該連接器部，或用燈座等支承準(zhǔn)分子燈時(shí)施加壓迫而可靠進(jìn)行支承或連接的構(gòu)造。
根據(jù)第14發(fā)明，燈座由插座部支承準(zhǔn)分子燈的連接器部，并且使該插座部的內(nèi)側(cè)的一對(duì)端子接觸件接觸于準(zhǔn)分子燈的連接器端子而連接于電源，因此，可以安裝且使該準(zhǔn)分子燈放電。而且，由于不必使用由樹脂覆蓋的引線，所以不存在因紫外線的作用造成樹脂老化而產(chǎn)生分解氣體或粉化引起粉狀物落下的情況。此外，準(zhǔn)分子燈沒必要僅由燈座支承， 例如也可以通過基于燈座的支承和基于其他支承件的支承的組合來安裝。根據(jù)第15發(fā)明，由于與準(zhǔn)分子燈的連接器端子接觸的燈座的端子接觸件由多點(diǎn)接觸件構(gòu)成，因此準(zhǔn)分子燈和高頻高電壓的電源之間的連接變成接觸阻力小的可靠的連接，并且裝卸也容易。另外，多點(diǎn)接觸件由于通過多個(gè)接點(diǎn)進(jìn)行連接，所以尤其適于施加高頻、高電壓的準(zhǔn)分子燈的連接。根據(jù)第16發(fā)明，由于與準(zhǔn)分子燈的連接器端子接觸的燈座的端子接觸件由金屬制的板簧構(gòu)成，所以準(zhǔn)分子燈和高頻高電壓的電源之間的連接變可靠，并且裝卸也容易。根據(jù)第17發(fā)明，燈座由插座部支承準(zhǔn)分子燈的連接器部，并且使該插座部的內(nèi)側(cè)的一對(duì)端子接觸件接觸于準(zhǔn)分子燈的連接器端子而連接于電源，因此，可以形成安裝且使準(zhǔn)分子燈放電的紫外線照射裝置。而且，由于不必使用由樹脂覆蓋的引線，所以不存在因紫外線的作用造成樹脂老化而產(chǎn)生分解氣體或粉化引起粉狀物落下的情況。進(jìn)而，由于與準(zhǔn)分子燈的連接器端子接觸的燈座的端子接觸件由多點(diǎn)接觸件構(gòu)成，因此該準(zhǔn)分子燈和高頻高電壓的電源之間的連接變成接觸阻力小的可靠的連接，并且裝卸也容易。另外，多點(diǎn)接觸件由于通過多個(gè)接點(diǎn)進(jìn)行連接，所以尤其適于施加高頻、高電壓的準(zhǔn)分子燈的連接。另外， 與準(zhǔn)分子燈的連接器端子接觸的燈座的端子接觸件由金屬制的板簧構(gòu)成，因此，準(zhǔn)分子燈和高頻高電壓的電源之間的連接變可靠，并且裝卸也容易。


圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈單元的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈的放電管的構(gòu)成的俯視圖 (a)、側(cè)視圖(b)和后視圖(C)。圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈的構(gòu)成的局部放大俯視圖 (a)和局部放大側(cè)視圖(b)。圖4是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖，是表示將準(zhǔn)分子燈插入燈座時(shí)的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖5是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖6是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈單元的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖7是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈單元的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖8是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式的圖，是表示將準(zhǔn)分子燈插入燈座時(shí)的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖9是表示本發(fā)明的其他實(shí)施方式的圖，是表示準(zhǔn)分子燈單元的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。圖10是表示現(xiàn)有例的圖，是表示準(zhǔn)分子燈的放電管的構(gòu)成的俯視立體圖。圖11是表示現(xiàn)有例的圖，是表示準(zhǔn)分子燈的放電管的構(gòu)成的仰視立體圖。圖12是表示現(xiàn)有例的圖，是表示準(zhǔn)分子燈的構(gòu)成的局部放大側(cè)截面圖。
具體實(shí)施例方式以下，參考圖1 圖9說明本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。而且，在這些圖中，對(duì)與圖 10 圖12所示的現(xiàn)有例具有同樣的功能的構(gòu)成部件標(biāo)注相同符號(hào)。本實(shí)施方式如圖1所示，對(duì)于使用了封入有氙氣的方形的放電管2的準(zhǔn)分子燈1 以及用于在進(jìn)行液晶顯示器的玻璃基板等被照射物的光清洗的紫外線照射裝置上安裝該準(zhǔn)分子燈1的燈座7進(jìn)行說明。準(zhǔn)分子燈的放電管該準(zhǔn)分子燈1的放電管2如圖2(a) (c)所示，是用方形的合成石英塊堵塞住由合成石英形成的左右長條的方形的筒體的左右開口端，從而在內(nèi)部形成放電空間加的密閉容器，在該放電空間加中封入有作為放電用氣體的氙氣。該放電管2由于堵塞筒體左側(cè)的開口端的合成石英塊相比于堵塞右側(cè)的開口端的合成石英塊而言，左右的長度更長，因此在放電管2的左側(cè)的端部，遍布左右一定程度的長度存在著不存在放電空間加的部分、 即僅由合成石英構(gòu)成的部分，該部分為連接器部2b。另外，該放電管2由上下的表面大致平坦的上平坦面和下平坦面構(gòu)成，在上平坦面形成有外部電極3，并且在下平坦面形成有外部電極4。上平坦面的外部電極3如圖2 (a)所示，是由在放電管2的上平坦面的大致整個(gè)面上均勻成膜的鋁蒸鍍膜和在該表面上保護(hù)的鎳蒸鍍膜構(gòu)成的雙層的金屬薄膜。而且，該外部電極3還連續(xù)形成于下方?jīng)]有放電空間加的連接器部2b的上平坦面。下平坦面的外部電極4如圖2(c)所示，是由在放電管2的下平坦面的大致整個(gè)面上以網(wǎng)狀的圖案成膜的鋁蒸鍍膜和在該網(wǎng)狀的表面保護(hù)的鎳蒸鍍膜構(gòu)成的雙層的金屬薄膜。另外，該外部電極4也連續(xù)形成于上方?jīng)]有放電空間加的連接器部2b的下平坦面，對(duì)于該部分，并不是以網(wǎng)狀， 而是以均勻的圖案成膜。上述結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子燈1的放電管2，當(dāng)將來自未圖示的高頻高電壓電源的高頻高電壓施加于外部電極3、4間時(shí)，由于在由電介質(zhì)構(gòu)成的放電管2的內(nèi)部的放電空間加產(chǎn)生電介質(zhì)阻擋放電，所以在該放電空間加激發(fā)有作為放電用氣體的氙氣原子，在該氙氣原子返回基底狀態(tài)時(shí)放射中心波長172nm的真空紫外線(準(zhǔn)分子發(fā)光)。然后，該真空紫外線通過放電管2的下平坦面的外部電極4的網(wǎng)眼的間隙而放出到下方。因此，若將放出到該放電管2下方的真空紫外線隔著稍許間隙而照射被照射物，則可以進(jìn)行該被照射物的光清洗。此外，本實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈1的高頻高電壓電源的頻率是70kHz，起動(dòng)時(shí)供應(yīng)14kV的電壓，放電開始后供應(yīng)5kV的高頻高電壓。準(zhǔn)分子燈的連接器端子上述準(zhǔn)分子燈1如圖1所示，將在放電管2的左側(cè)端部的連接器部2b的上下安裝的一對(duì)連接器端子8、8分別連接在外部電極3、4上。連接器端子8、8是用于經(jīng)燈座7與準(zhǔn)分子燈1的高頻高電壓電源連接的塊狀的端子，都是由在銅合金上實(shí)施鍍鎳的端子構(gòu)成
9的。而且，在連接器部2b的上方安裝的連接器端子8上，在方形塊狀的上表面的中央部形成有進(jìn)一步向上方突出成方形的突出部8a，在連接器部2b的下方安裝的連接器端子8上， 在方形塊狀的下表面的中央部形成有進(jìn)一步向下方突出成方形的突出部8a。以下詳細(xì)說明上述連接器端子8、8的安裝構(gòu)造。在連接器部2b的外部電極3、4 的表面，分別隔著銦焊錫層9、9連接固定有鎳片10、10。而且，在鎳片10、10的表面分別隔著多點(diǎn)接觸件11、11配置有連接器端子8、8。各多點(diǎn)接觸件11是在將連接器端子8按壓到鎳片10側(cè)時(shí)，在多個(gè)金屬制的彈簧件在上下接觸于連接器端子8和鎳片10的狀態(tài)下施力的接觸件，由此，連接器端子8和鎳片10在多個(gè)點(diǎn)按壓彈簧件的狀態(tài)下被連接起來，因此，即使施加高電壓也能夠以小的接觸阻力可靠連接。作為上述多點(diǎn)接觸件11采用的金屬制的彈簧件，優(yōu)選使用具有大的彈性、導(dǎo)電率高、接觸阻力小的接點(diǎn)用的金屬材料，為了降低接觸阻力也可以進(jìn)行鍍等表面處理。另外， 在多點(diǎn)接觸件11用框體等支承多個(gè)彈簧件的情況下，該框體也采用金屬制的框體。作為這種多點(diǎn)接觸件11，例如采用多個(gè)短的板簧在連接器端子8和鎳片10之間傾斜配置的接觸件；或多個(gè)短的螺旋彈簧在連接器端子8和鎳片10之間多個(gè)縱向排列配置的接觸件；或使一根 數(shù)根的螺旋彈簧的線圈傾斜后橫向配置在連接器端子8和鎳片10之間的接觸件等。上述放電管2的連接器部2b從上下夾持固定有一對(duì)陶瓷塊6、6。如圖3所示，上方的陶瓷塊6由前后長的方形的陶瓷構(gòu)成，下表面中央部向上方凹陷成方形，在該凹陷的中央部開口有貫通到上表面的方形的孔，并且下表面的前后端部向下方突出。另外，下方的陶瓷塊6由前后長的方形的陶瓷構(gòu)成，上表面中央部向下方凹陷成方形，在該凹陷的中央部開口有貫通到下表面的方形的孔，并且上表面的前后端部向上方突出。而且，這些陶瓷塊 6、6以前后跨越的方式從上下夾持放電管2的連接器部2b，使前后端部的突出端彼此重合并用螺栓12、12緊固而夾持固定。在此，上述各陶瓷塊6在從上下夾持固定放電管2的連接器部2b之際，在內(nèi)側(cè)的凹陷嵌入連接器端子8。此時(shí)，對(duì)于各連接器端子8而言，突出部8a嵌入陶瓷塊6的內(nèi)側(cè)的凹陷的孔而前端部突出。另外，通過用陶瓷塊6將突出部8a的周圍壓向放電管2側(cè)，從而各連接器端子8隔著多點(diǎn)接觸件11按壓鎳片10。通過上述安裝構(gòu)造，連接器端子8、8分別隔著多點(diǎn)接觸件11、11和鎳片10、10和銦焊錫層9、9而可靠地連接于外部電極3、4。在此，連接器端子8由于熱容量大，所以難以對(duì)其進(jìn)行加熱而使銦焊錫層9熔融而直接連接于外部電極3、4。另外，在隔著多點(diǎn)接觸件 11將連接器端子8按壓向外部電極3、4時(shí)，有多點(diǎn)接觸件11的彈簧件削去或剝落外部電極 3、4的薄的金屬薄膜的顧慮。因此，通過對(duì)熱容量小的鎳片10進(jìn)行加熱而使銦焊錫層9熔融而軟釬焊在外部電極3、4上，從而保護(hù)外部電極3、4的金屬薄膜。另外，該鎳片10由于不會(huì)被多點(diǎn)接觸件11的彈簧件削去或剝落，所以通過隔著該多點(diǎn)接觸件11按壓連接器端子8而進(jìn)行可靠的連接。此外，若可隔著銦焊錫層9、9等將連接器端子8、8直接連接固定于由金屬薄膜構(gòu)成的外部電極3、4上，或者可使連接器端子8、8自身熔融而直接連接固定于由金屬薄膜構(gòu)成的外部電極3、4上的話，就不需要鎳片10、10和多點(diǎn)接觸件11、11。燈座燈座7是支承上述準(zhǔn)分子燈1并且連接于高頻高電壓電源的安裝具，其安裝在未圖示的紫外線照射裝置等上。該燈座7如圖1所示，形成有右開口的凹狀的插座部7a。插座部7a是可在其中一起插入準(zhǔn)分子燈1的連接器部2b和陶瓷塊6、6等并進(jìn)行支承的凹部， 在該凹部的內(nèi)側(cè)的上下表面分別配置有多點(diǎn)接觸件13、13 (端子接觸件)。這些多點(diǎn)接觸件13、13與上述多點(diǎn)接觸件11、11同樣，是通過在被上下的面夾著而被按壓從而多個(gè)金屬制的彈簧件與這些上下的面接觸的狀態(tài)下施力的接觸件。在插座部 7a的內(nèi)側(cè)的上表面配置的多點(diǎn)接觸件13通過使多個(gè)彈簧件的上端接觸于在從其上表面稍微凹陷的位置配置的端子連接板14的下表面，從而被配置成使這些彈簧件的下端相比于插座部7a的內(nèi)側(cè)的上表面稍向下方突出。另外，在插座部7a的內(nèi)側(cè)的下表面配置的多點(diǎn)接觸件13通過使多個(gè)彈簧件的下端接觸于在從其下表面稍微凹陷的位置配置的端子連接板14的上表面，從而被配置成使這些彈簧件的上端相比于插座部7a的內(nèi)側(cè)的下表面稍向上方突出。而且，這些端子連接板14、14分別連接于高頻高電壓電源的高壓端子和接地端子。當(dāng)在上述結(jié)構(gòu)的燈座7的插座部7a中將準(zhǔn)分子燈1的左側(cè)端部的連接器部2b和陶瓷塊6、6等一起插入時(shí)，如圖4所示，該準(zhǔn)分子燈1由燈座7支承。而且，準(zhǔn)分子燈1并不一定必須僅由該燈座7支承。本實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈1，例如也有前后的寬度是70mm左右，左右的長度超過IOOOmm的極長的情況，所以例如該準(zhǔn)分子燈1的右側(cè)的端部也可以由未圖示的其他的支承件支承。在插入向上述插座部7a時(shí)，從陶瓷塊6、6的孔上下突出的連接器端子8、8的突出部8a、8a，一邊將在該插座部7a的內(nèi)側(cè)的上下面配置的多點(diǎn)接觸件13、13的多個(gè)彈簧件分別壓開到上方和下方一邊進(jìn)入，當(dāng)完全插入插座部7a時(shí)，停止在壓接所述多點(diǎn)接觸件13、 13的多個(gè)彈簧件的位置。因此，當(dāng)準(zhǔn)分子燈1連接于燈座7時(shí)，該準(zhǔn)分子燈1的外部電極3隔著放電管2的上側(cè)的銦焊錫層9和鎳片10和多點(diǎn)接觸件11和連接器端子8，并且隔著插座部7a的內(nèi)側(cè)的上表面?zhèn)鹊亩帱c(diǎn)接觸件13和端子連接板14而連接于高頻高電壓電源的高壓端子。另外， 準(zhǔn)分子燈1的外部電極4隔著放電管2的下側(cè)的銦焊錫層9和鎳片10和多點(diǎn)接觸件11和連接器端子8，并且隔著插座部7a的內(nèi)側(cè)的下表面?zhèn)鹊亩帱c(diǎn)接觸件13和端子連接板14而連接于高頻高電壓電源的接地端子。本實(shí)施方式的效果根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，燈座7可由插座部7a支承準(zhǔn)分子燈1的連接器部2b。另外，通過將該插座部7a的內(nèi)側(cè)的一對(duì)多點(diǎn)接觸件13、13壓接于準(zhǔn)分子燈1的連接器端子8、8，從而在準(zhǔn)分子燈1的外部電極3、4連接高頻高電壓電源，因此可以使該準(zhǔn)分子燈1放電。而且，由于不需要在準(zhǔn)分子燈1的外部電極3、4連接被樹脂覆蓋了的引線，所以不會(huì)出現(xiàn)因真空紫外線引起的樹脂的老化而產(chǎn)生分解氣體或粉化引起的粉狀物落下到被照射物的情況。即，本實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈1隔著銦焊錫層9、9將鎳片10、10連接固定在外部電極3、4上，隔著多點(diǎn)接觸件11、11將連接器端子8、8連接在這些鎳片10、10上，并用陶瓷塊6、6按壓這些連接器端子8、8，因此，即使有真空紫外線照射在這些金屬制或陶瓷制的部件上，也沒有老化的顧慮。另外，本實(shí)施方式的燈座7、插座部7a的內(nèi)側(cè)的多點(diǎn)接觸件13、 13和端子連接板14、15也是金屬制的，所以即使被真空紫外線照射，也沒有老化的顧慮。尤其，在本實(shí)施方式的情況下，由于準(zhǔn)分子燈1放射高能的真空紫外線，所以若使
11用樹脂則老化加劇，因此這種僅由金屬制成和陶瓷制成的結(jié)構(gòu)極其有效。另外，在本實(shí)施方式的情況下，由于準(zhǔn)分子燈1使用方形的放電管2，所以在該放電管2的下方不用隔著玻璃板等就能向被照射物直接照射真空紫外線，因此，不會(huì)產(chǎn)生因樹脂老化引起的分解氣體或粉化引起的粉狀物的結(jié)構(gòu)極其有效。另外，在本實(shí)施方式的情況下，由于在由陶瓷塊6、6夾持的放電管2的連接器部2b 內(nèi)部不存在放電空間加，所以即使用螺栓12、12從上下夾持固定這些陶瓷塊6、6，連接器端子8、8隔著多點(diǎn)接觸件11、11從上下按壓，放電管2也不會(huì)因這些壓力而破損。其他實(shí)施方式另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了采用氙氣作為放電用氣體的情況，但也可以采用可準(zhǔn)分子發(fā)光的其他稀有氣體或其鹵化物、其他的物質(zhì)。進(jìn)而，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了放射波長172nm的真空紫外線的情況，但由于紫外線的波長由作為放電用氣體使用的物質(zhì)決定，所以不限定于波長172nm，也不限于真空紫外線。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了通過用方形的合成石英塊堵塞由合成石英構(gòu)成的左右長條的方形的筒體的左右開口端，從而制作左右長條的方形的放電管2的情況，但該放電管2的制作方法不限定于此。在此，所謂左右長條的方形是指相比于前后的寬度或上下的高度而言左右長度最長的方形。而且，在此所稱的方形只要是沿前后方向和上下方向的切斷面的縱截面形狀為大致方形即可，也可以是在角部有倒角或圓角等。進(jìn)而，只要上表面和下表面為大致平坦面，則前后的側(cè)面就沒必要為平坦面，例如也可以多少向外側(cè)彎曲。進(jìn)而，為了氣體的吸引/填充或準(zhǔn)分子燈1的安裝等，放電管2的外形也可以形成多少的凹凸。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然說明了使用左右長條的方形的放電管2的準(zhǔn)分子燈1，但該放電管2的形狀是任意的，例如是使用由圓筒管構(gòu)成的放電管2的準(zhǔn)分子燈1也同樣可以實(shí)施。在放電管2由圓筒管等構(gòu)成的情況下，由于紫外線的放出面(在上述實(shí)施方式中為下平坦面)不是平坦面，所以為了凈化準(zhǔn)分子燈1周圍的氧等，可以在與下方的被照射物之間配置玻璃板等。在如此配置玻璃板等的情況下，若因樹脂的老化而產(chǎn)生分解氣體或粉化引起的粉狀物，則外部電極3、4也變色或污染放電管2的表面、玻璃板，因此，本發(fā)明可以解決這樣的問題。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了放電管2使用合成石英的情況，但只要是放射的紫外線的透過率高且該紫外線造成的老化少的材質(zhì)，則沒必要限定于合成石英。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了隔著銦焊錫層9、9將鎳片10、10連接固定在連接器部2b的外部電極3、4的表面上的情況，但只要是不給外部電極3、4的金屬薄膜和鎳片10、10造成損傷而能夠可靠地連接固定，則就不限定于使用銦的焊錫材料，也可以隔著使用其他焊錫材料或焊接材料的焊錫層來進(jìn)行連接固定。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了使用鎳片10的情況，但只要是不會(huì)被多點(diǎn)接觸件11的彈簧件削去或剝落而能夠進(jìn)行可靠連接，則也可以采用其他的金屬片，另外， 不限于金屬片，也可以用金屬板等。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了使用陶瓷塊6、6的情況，但只要是具有足夠的剛性和絕緣性且不受紫外線影響，則材質(zhì)不限于陶瓷，例如也可以使用合成石英。進(jìn)而， 為了按壓連接器端子8、8，不限定于用這樣的陶瓷塊6、6夾持固定放電管2的連接器部2b的構(gòu)造，例如圖5所示，也可以是將陶瓷制的帽狀的陶瓷塊6嵌入放電管2的連接器部2b 的構(gòu)造。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了使用對(duì)銅合金實(shí)施鍍鎳的端子作為連接器端子8、8的情況，但只要是具有足夠剛性的金屬制的端子，連接器端子8、8的材質(zhì)或表面處理為任意，形狀也不限于上述實(shí)施方式的形狀。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了連接器端子8、8隔著多點(diǎn)接觸件11、11和鎳片10、10和銦焊錫層9、9連接于由金屬薄膜構(gòu)成的外部電極3、4的情況，但也可以將連接器端子8、8隔著銦焊錫層9、9等直接連接固定于外部電極3、4。圖6表示將連接器端子8、 8隔著焊錫層連接固定于外部電極3、4的結(jié)構(gòu)。此時(shí)，連接器端子8、8采用熱容量小的金屬板，以使銦焊錫層9、9的軟釬焊變?nèi)菀住＿M(jìn)而，在可將塊狀的連接器端子8、8隔著銦焊錫層9、9等直接連接固定于外部電極3、4的情況下，例如圖7所示，可將所述連接器端子8、8拉出到覆蓋放電管2的左側(cè)端面的一部分的位置，在所述連接器端子8、8的左側(cè)端部設(shè)置連接用的傾斜面。此時(shí)，燈座7如圖7所示由上下的金屬制的端子連接塊15、15以及為了絕緣而配置于所述端子連接塊15、 15間的陶瓷件16構(gòu)成，并且插座部7a呈右側(cè)開口的V字狀的凹陷狀，可在該V字狀的凹陷的上下露出的端子連接塊15、15的傾斜的端面配置多點(diǎn)接觸件13、13。而且，此時(shí)，例如通過在準(zhǔn)分子燈1的右側(cè)的端部配置將該準(zhǔn)分子燈1按壓向左側(cè)的未圖示的支承件，從而由該支承件和燈座7雙方支承準(zhǔn)分子燈1即可。由此，準(zhǔn)分子燈1的連接器端子8、8的左側(cè)的端部的傾斜面隔著多點(diǎn)接觸件13、13壓接到在燈座7的插座部7a的V字狀的凹陷露出的端子連接塊15、15的傾斜的端面上，因此可靠地連接于高頻高電壓電源。另外，在上述實(shí)施方式中，表示了外部電極3是均勻成膜的金屬薄膜，外部電極4 是以網(wǎng)狀的圖案成膜的金屬薄膜的情況，但所述外部電極3、4的金屬薄膜不管以何種圖案成膜都可以。例如雙方的外部電極3、4可以是都以網(wǎng)狀的圖案成膜的金屬薄膜，只要能向放電管2的外部放出紫外線，雙方的外部電極3、4可以是都均勻成膜的金屬薄膜。進(jìn)而也可以例如在均勻成膜的金屬薄膜構(gòu)成的外部電極的一部分，在用于測(cè)定放出的紫外線強(qiáng)度的部分設(shè)置以網(wǎng)狀的圖案成膜的窗部，也可以在由以網(wǎng)狀的圖案成膜的金屬薄膜構(gòu)成的外部電極的一部分設(shè)置均勻成膜的部分(上述的實(shí)施方式的情況下，在連接器部2b形成的外部電極4也由均勻成膜的金屬薄膜構(gòu)成)。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了外部電極4的網(wǎng)狀的圖案通過使細(xì)長的多個(gè)金屬薄膜正交而網(wǎng)眼變成正方形或長方形的情況，但該網(wǎng)狀的圖案形狀或尺寸是任意的。例如細(xì)長的金屬薄膜未正交而網(wǎng)眼變成菱形或平行四邊形的情況也可以，例如網(wǎng)眼變成六邊形的蜂窩網(wǎng)狀也可以。進(jìn)而，例如也可以是平行配置細(xì)長的多個(gè)金屬薄膜的梳齒狀的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了外部電極3、4是由鋁蒸鍍膜和在其表面保護(hù)的鎳蒸鍍膜構(gòu)成的雙層的金屬薄膜的情況，但也可以是僅一層的金屬薄膜或三層以上的金屬薄膜，各層的金屬材料也不限于鋁或鎳，可任意選擇。進(jìn)而所述外部電極3、4可以是由蒸鍍以外的濺射等方法成膜的金屬薄膜，也可以是作為金屬薄膜以外的厚膜等導(dǎo)電膜成膜的薄膜。進(jìn)而，所述外部電極3、4不限定于通過成膜配置于放電管2的外表面，也可以是在放電管2的外表面粘貼金屬箔來配置或?qū)⒔饘侔宓葘?dǎo)電材料配置于放電管2的外表面。
圖8表示外部電極3、4由配置于放電管2的外表面的金屬板構(gòu)成的情況。此時(shí)， 連接器端子8、8可由這些金屬板構(gòu)成的外部電極3、4上的在放電管2的連接器部2b的外表面配置的部分構(gòu)成。在如此使用由金屬板構(gòu)成的外部電極3、4的情況下，例如為了使外部電極4形成網(wǎng)狀，只要使用沖孔金屬(/、° > f > 7 乂夕 > )或膨脹合金、工W、〉Y J夕 > )等即可。但是，即使在使用這種沖孔金屬或膨脹合金等的情況下，也優(yōu)選在放電管 2的連接器部2b的外表面配置的部分為通常的金屬板，將該部分作為連接器端子8。進(jìn)而， 也可以僅設(shè)連接器端子8為金屬板，通過軟釬焊等在其上連接金屬網(wǎng)構(gòu)成的外部電極4。進(jìn)而，不管外部電極3、4是金屬薄膜或金屬板等的哪種，可以都不在放電管2的連接器部2b配置，而分別隔著金屬制的片材等連接在配置于該連接器部2b的由金屬板等構(gòu)成的連接器端子8、8上。另外，在上述實(shí)施方式中，雖然表示了使用多點(diǎn)接觸件13、13作為燈座7的端子接觸件的情況，但如圖9所示，也可以使用金屬制的板簧17、17作為端子接觸件。此時(shí)，也利用彈性將板簧17、17壓接于連接器端子8、8，因此可以進(jìn)行可靠連接。進(jìn)而，燈座7的端子接觸件也可以采用通過螺旋彈簧等施力的金屬板等。但是，這些端子接觸件是在將準(zhǔn)分子燈1的連接器部2b插入燈座7的插座部7a時(shí)，伴隨其插入被連接器端子8、8按壓而自動(dòng)擴(kuò)開開口部的結(jié)構(gòu)。另外，在連接器端子8、8是如上述實(shí)施方式那樣按壓多點(diǎn)接觸件11、11的結(jié)構(gòu)的情況下，燈座7的端子接觸件也可以是固定的金屬板或金屬塊。此時(shí)，連接器端子8、8在插入一對(duì)端子接觸件之間時(shí)，進(jìn)一步按壓多點(diǎn)接觸件11、11而稍微退縮進(jìn)入。本申請(qǐng)基于2008年9月22日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)申請(qǐng)?zhí)?008-242644，其內(nèi)容作為參考并引用于此。工業(yè)實(shí)用性由于在將電源連接于準(zhǔn)分子燈的外部電極時(shí)不必使用引線，所以不存在該引線的樹脂被覆老化那樣的情況，作為紫外線照射裝置的光源燈使用時(shí)極其有用。
0125]符號(hào)說明0126]1準(zhǔn)分子燈0127]2放電管0128]2a放電空間0129]2b連接器部0130]3外部電極0131]4外部電極0132]5引線0133]5a被覆件0134]6陶瓷塊0135]7燈座0136]7a插座部0137]8連接器端子0138]8a突出部0139]9銦焊錫層
10鎳片
11多點(diǎn)接觸件
12螺栓
13多點(diǎn)接觸件
14端子連接板
15端子連接塊
16陶瓷件
17板簧
1權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)分子燈，其特征在于，在內(nèi)部的放電空間封入有放電用氣體的放電管的外表面的不同部位配置一對(duì)外部電極，并且分別連接于這些外部電極的一對(duì)連接器端子配置在設(shè)置于該放電管的端部的連接器部的外表面?zhèn)鹊牟煌课弧?br> 2.如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述連接器部是放電管的左側(cè)或右側(cè)的端部、且是內(nèi)部不存在放電空間的部分。
3.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述放電管是左右為長條狀且上下形成有平坦面的方形的密閉容器，且在該放電管的上下的平坦面分別配置一對(duì)外部電極。
4.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各外部電極由在放電管的外表面形成的金屬薄膜構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各外部電極由在放電管的外表面配置的金屬板構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求5所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子由外部電極上的在放電管的連接器部的外表面配置的部分構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子是塊狀的端子，其隔著多點(diǎn)接觸件被按壓于外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。
8.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子由金屬板構(gòu)成，其隔著焊錫層被連接固定于外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。
9.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子是塊狀的端子，其隔著多點(diǎn)接觸件被按壓于金屬片上，其中所述金屬片隔著焊錫層被連接固定于外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。
10.如權(quán)利要求7所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述塊狀的各連接器端子由一對(duì)從兩側(cè)夾持固定放電管的連接器部的陶瓷塊按壓。
11.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述準(zhǔn)分子燈放射真空紫外線。
12.如權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，所述各連接器端子是塊狀的端子，其設(shè)置在外部電極上的在放電管的連接器部的外表面形成的部分。
13.一種紫外線照射裝置，其特征在于，其具備權(quán)利要求1或2所述的準(zhǔn)分子燈。
14.一種準(zhǔn)分子燈單元，其特征在于，其由權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈和燈座構(gòu)成，其中所述燈座上設(shè)有插座部，在所述插座部中插入并支承該準(zhǔn)分子燈的連接器部，并且在該插座部的內(nèi)側(cè)、且與插入的連接器部上的一對(duì)連接器端子接觸的位置上，分別配置與準(zhǔn)分子燈的電源連接的一對(duì)端子接觸件。
15.如權(quán)利要求14所述的準(zhǔn)分子燈單元，其特征在于，所述各端子接觸件由多點(diǎn)接觸件構(gòu)成。
16.如權(quán)利要求14所述的準(zhǔn)分子燈單元，其特征在于，所述各端子接觸件由金屬制的板簧構(gòu)成。
17. 一種紫外線照射裝置，其特征在于，其具備權(quán)利要求14 16中任一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子燈單元。
全文摘要
提供一種不使用引線就能將電源連接于準(zhǔn)分子燈(1)的外部電極(3、4)的準(zhǔn)分子燈(1)和準(zhǔn)分子燈單元。準(zhǔn)分子燈(1)構(gòu)成為在內(nèi)部的放電空間(2a)封入有放電用氣體的放電管(2)的上下平坦面配置一對(duì)外部電極(3、4)，并且將分別連接于所述外部電極(3、4)的一對(duì)連接器端子(8、8)配置在設(shè)置于該放電管(2)端部的連接器部(2b)的上下平坦面上。另外，準(zhǔn)分子燈單元由準(zhǔn)分子燈和燈座(7)構(gòu)成，燈座(7)設(shè)有可裝卸地插入支承該準(zhǔn)分子燈(1)的連接器部(2b)的插座部(7a)，并且在該插座部(7a)的內(nèi)側(cè)、且與插入的連接器部(2b)上的一對(duì)連接器端子(8、8)接觸的位置上，分別配置與準(zhǔn)分子燈(1)的電源連接的一對(duì)多點(diǎn)接觸件(13、13)。
文檔編號(hào)H01J65/00GK102160142SQ20098013709
公開日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2009年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月22日
發(fā)明者畑瀨和也, 細(xì)谷浩二 申請(qǐng)人:株式會(huì)社杰士湯淺國際