專利名稱：紫外線照射裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種紫外線照射裝置，該紫外線照射裝置具備進行準(zhǔn)分子 發(fā)光的準(zhǔn)分子燈，特別涉及具備多個準(zhǔn)分子燈的紫外線照射裝置。
背景技術(shù)：
以往，在半導(dǎo)體襯底或液晶襯底的制造工序中，為了清洗這些襯底， 使用紫外線照射裝置，該紫外線照射裝置具備照射真空紫外線的準(zhǔn)分子燈。 在這種包括準(zhǔn)分子燈的紫外線照射裝置中，有專利文獻1記載的裝置。使用圖6來說明現(xiàn)有的紫外線照射裝置1。圖6是現(xiàn)有的紫外線照射裝置1的說明圖，是與紫外線照射裝置1具 備的準(zhǔn)分子燈2的管軸方向正交的方向上的剖面圖?，F(xiàn)有的紫外線照射裝置1包括燈單元ll，具備照射真空紫外線的準(zhǔn) 分子燈2;和傳送單元12,傳送被照射物W。燈單元ll包括；準(zhǔn)分子燈2;變壓器6，升高提供給準(zhǔn)分子燈2的電 壓；以及機殼3，保持準(zhǔn)分子燈2和變壓器6。以下將描述該燈單元ll的 詳細(xì)結(jié)構(gòu)。在機殼3中，在其內(nèi)部配置有準(zhǔn)分子燈2和變壓器6，在準(zhǔn)分子燈2和 變壓器6之間設(shè)有隔壁32，并在該機殼3中設(shè)有配置有準(zhǔn)分子燈2的光源 部35和配置有變壓器6的電氣設(shè)備部34。機殼3的電氣設(shè)備部34包括隔壁32，載置變壓器6;電氣設(shè)備部側(cè) 的側(cè)壁341(圖6中的變壓器6的紙面左右方向的電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341、 位于紙面前后的未圖示的電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁)，被連接在隔壁32上，并且 包圍變壓器6的四方；以及頂板31，被設(shè)成覆蓋電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341。機殼3的光源部35包括燈保持體36，保持準(zhǔn)分子燈2;隔壁32，設(shè) 有燈保持體36;光源部端側(cè)壁351(圖6中的準(zhǔn)分子燈2的紙面左右方向的 光源部端側(cè)壁351、位于紙面前后的未圖示的光源部端側(cè)壁)，被連接在隔壁32上，并且包圍準(zhǔn)分子燈2的四方。此外，在光源部35中設(shè)有透光窗4，使其覆蓋光源部端側(cè)壁351。為了電連接變壓器6和準(zhǔn)分子燈2，在隔壁32上設(shè)有貫通孔331，該 貫通孔331連通電氣設(shè)備部34和光源部35，在該貫通孔331中，穿過供電 線5，該供電線5電連接了變壓器6和準(zhǔn)分子燈2。在隔壁32的貫通孔331中，為了在空間上隔離光源部35的內(nèi)部和電 氣設(shè)備部34的內(nèi)部，在穿過了供電線5的狀態(tài)下設(shè)有密封體332。上述燈單元11被設(shè)成載置在傳送單元12上。傳送單元12包括多個輥121,傳送被照射物W;和驅(qū)動體122，旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動各輥121。多個輥121被排列成與燈單元11的透光窗4的平面平行。上述準(zhǔn)分子燈2包括放電容器，由密封了例如氙氣那樣的發(fā)光氣體 的例如石英玻璃構(gòu)成；外側(cè)電極，被設(shè)在放電容器的外周面上；以及內(nèi)側(cè) 電極，被設(shè)在放電容器的內(nèi)周面上。在準(zhǔn)分子燈2的內(nèi)側(cè)電極上，經(jīng)供電線5電連接有上述變壓器6。而在 準(zhǔn)分子燈2的外側(cè)電極上設(shè)有燈保持體36，該燈保持體36例如由不銹鋼那 樣的具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)件構(gòu)成。在準(zhǔn)分子燈2的內(nèi)側(cè)電極及外側(cè)電極上，經(jīng)變壓器6連接有未圖示的 高頻電源，外側(cè)電極經(jīng)抵接的燈保持體36而接地。因此，在點亮燈時，從 未圖示的高頻電源向準(zhǔn)分子燈2的內(nèi)側(cè)電極供電，在位于被供電的內(nèi)側(cè)電 極和接地的外側(cè)電極之間的放電容器21的內(nèi)部開始準(zhǔn)分子發(fā)光，從而向放 電容器21的外邊照射峰值波長在例如200nm以下的真空紫外線。從準(zhǔn)分子燈2照射的真空紫外線透過透光窗4，被照射到被照射物W 上，該被照射物W是與透光窗4相對置地被傳送。傳送單元12的內(nèi)部是大氣狀態(tài)，透過了透光窗4的真空紫外線在傳送 單元12的內(nèi)部被大氣中的氧所吸收，產(chǎn)生臭氧氣體。因此，被照射物W由 真空紫外線和臭氧處理。作為準(zhǔn)分子燈2上所設(shè)的變壓器6，例如有專利文獻2記載的變壓器， 有的在構(gòu)成變壓器6的構(gòu)件中包含例如硅酮樹脂那樣的樹脂構(gòu)件。樹脂構(gòu) 件有被直接照射了真空紫外線后會完全分解而劣化的問題，還有被臭氧分 解而劣化的問題。因此，在變壓器6和準(zhǔn)分子燈2之間，設(shè)有隔壁32，該隔壁32由不能 透過真空紫外線的例如鋁那樣的金屬構(gòu)件構(gòu)成。此外，配置有變壓器6的 電氣設(shè)備部34為了防止臭氧的流入，構(gòu)成為密閉結(jié)構(gòu)。另外，在上述內(nèi)容中說明了具有透光窗4的紫外線照射裝置1，但是在 現(xiàn)有的紫外線照射裝置中，也有的如專利文獻3記載的那樣的不具有透光 窗。此外，專利文獻3所記載的準(zhǔn)分子燈將一對電極設(shè)在放電容器的外表 面上。此外，在上述內(nèi)容中，說明了具備一個準(zhǔn)分子燈2的紫外線照射裝置1， 但是在現(xiàn)有的紫外線照射裝置中，也有的像專利文獻4記載的那樣設(shè)有多 個準(zhǔn)分子燈，在各準(zhǔn)分子燈中設(shè)有獨立的變壓器。專利文獻1(日本)特開2001-243923號公報專利文獻2(日本)特開2005-260007號公報專利文獻3(日本)特開2004-097986號公報專利文獻4(日本)特開M03-303694號公報近來，人們希望隨著被照射物W的大型化而加長準(zhǔn)分子燈2，此外為 了縮短處理時間而提高來自準(zhǔn)分子燈2的真空紫外線的照度。因此，為了 提高向準(zhǔn)分子燈2輸入的功率，需要提高向變壓器6輸入的功率。在向變 壓器6輸入的功率為例如500W那樣的高輸入時，電氣設(shè)備部34那樣的密 閉空間中配置的變壓器6會被加熱，在構(gòu)成變壓器6的構(gòu)件中包含樹脂時， 有由于加熱而使該樹脂劣化的問題。特別是在具備多個準(zhǔn)分子燈2、在各準(zhǔn)分子燈2中設(shè)有獨立的變壓器6 的情況下，由于在點亮燈時各變壓器6分別被加熱，所以各變壓器6會被 相鄰的變壓器6加熱，有樹脂的劣化會加快的問題。因此，為了冷卻配置了變壓器6的電氣設(shè)備部34的內(nèi)部，可以例如通 過在電氣設(shè)備部34的電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341上設(shè)通風(fēng)口、并且在該通風(fēng) 口上設(shè)導(dǎo)管，而從導(dǎo)管向電氣設(shè)備部34的內(nèi)部吹送冷卻風(fēng)，冷卻變壓器6。然而，在構(gòu)成變壓器6的構(gòu)件中包含樹脂時，如前所述，為了使得使 變壓器6劣化的例如臭氧氣體那樣的腐蝕性氣體不混入到冷卻風(fēng)中，而設(shè) 有去除腐蝕性氣體的過濾器等等，就有裝置復(fù)雜化的問題。此外，如果設(shè) 有導(dǎo)管，則也有裝置大型化這一問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種紫外線照射裝置，它一邊密閉電氣設(shè) 備部， 一邊冷卻該被密閉的電氣設(shè)備部的內(nèi)部。
第1發(fā)明的紫外線照射裝置包括準(zhǔn)分子燈，包括放電容器和隔著該 放電容器的放電空間而相對配置的電極；變壓器，分別被電連接在多個該 準(zhǔn)分子燈上；機殼，保持該多個準(zhǔn)分子燈和該多個變壓器，并且具備隔壁， 該隔壁設(shè)在該多個準(zhǔn)分子燈和該多個變壓器之間；以及電氣設(shè)備部，在該 機殼內(nèi)通過該隔壁而包圍該多個變壓器，該紫外線照射裝置的特征在于， 在該電氣設(shè)備部中設(shè)有冷卻機構(gòu)，該冷卻機構(gòu)具備冷卻液的流路；在該各 變壓器的外邊設(shè)有風(fēng)洞體，該風(fēng)洞體分別包圍該各變壓器，并且該風(fēng)洞體 具備隔著該變壓器而相對的一對開口部；在該電氣設(shè)備部的內(nèi)部設(shè)有送風(fēng) 機構(gòu)，該送風(fēng)機構(gòu)從該風(fēng)洞體的一個開口部向另一個開口部送風(fēng)。
第2發(fā)明的紫外線照射裝置的特征在于，在第1發(fā)明的紫外線照射裝 置中，該隔壁由冷卻機構(gòu)構(gòu)成，該冷卻機構(gòu)在其內(nèi)部具備冷卻液的流路。
第1發(fā)明的紫外線照射裝置通過上述特征，能夠冷卻變壓器。
第2發(fā)明的紫外線照射裝置通過上述特征，能夠通過由冷卻機構(gòu)構(gòu)成 的隔壁來冷卻來自準(zhǔn)分子燈的照射熱，抑制變壓器被照射熱加熱。


圖1是本發(fā)明第1實施例的紫外線照射裝置的說明圖。 圖2是本發(fā)明第1實施例的紫外線照射裝置的說明圖。 圖3a、 3b是本發(fā)明第1實施例的紫外線照射裝置具備的準(zhǔn)分子燈的說 明圖。
圖4a、 4b是將比較例的紫外線照射裝置和本發(fā)明第1實施例的紫外線 照射裝置進行比較的說明圖。
圖5是本發(fā)明第2實施例的紫外線照射裝置的說明圖。
圖6是現(xiàn)有的紫外線照射裝置的說明圖。
附圖標(biāo)記
I 紫外線照射裝置
II 燈單元 12 傳送單121輥
122驅(qū)動體
2準(zhǔn)分子燈
21放電容器
211外側(cè)管
212內(nèi)側(cè)管
213端壁部
214放電空間
221外側(cè)電極
222內(nèi)側(cè)電極
3機殼
31頂板
32隔壁
331貫通孑L
332密封體
34電氣設(shè)備部
341電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁
342貫通孔
343密封體
35光源部
351光源部端側(cè)壁
36燈保持體
4透光窗
5供電線
6變壓器
71送風(fēng)機構(gòu)
72風(fēng)洞體
721一個開口部
722另一個開口部
73冷卻機構(gòu)
731流路A 冷卻風(fēng)流
L 冷卻液流 w 被照射物
具體實施例方式
本發(fā)明的紫外線照射裝置，在包圍變壓器的電氣設(shè)備部中設(shè)有冷卻機
構(gòu)，該冷卻機構(gòu)具備冷卻液的流路；在變壓器的外邊設(shè)有具有一對開口部 的風(fēng)洞體，設(shè)有從風(fēng)洞體的一個開口部向另一個開口部送風(fēng)的送風(fēng)機構(gòu)。
首先，本發(fā)明第1實施例的紫外線照射裝置說明將冷卻機構(gòu)設(shè)在電氣 設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁上的結(jié)構(gòu)。
圖1是第1實施例的紫外線照射裝置1的說明圖，是與紫外線照射裝 置1具備的準(zhǔn)分子燈2的管軸方向正交的方向上的剖面圖。圖2是沿圖1 的紫外線照射裝置1的準(zhǔn)分子燈2的管軸方向的剖面圖(圖1中紫外線照射 裝置1的A-A剖面圖)。
在圖l及圖2中，對與圖6所示的部件相同的部件附以同一標(biāo)記。
第1實施例的紫外線照射裝置1包括燈單元ll,具備照射真空紫外 線的準(zhǔn)分子燈2;和傳送單元12，傳送被照射物W。
燈單元11包括準(zhǔn)分子燈2;變壓器6，升高向準(zhǔn)分子燈2提供的電
壓；以及機殼3，保持準(zhǔn)分子燈2和變壓器6，以下將描述其詳細(xì)結(jié)構(gòu)。
在機殼3中，在其內(nèi)部配置有準(zhǔn)分子燈2和變壓器6，在準(zhǔn)分子燈2和 變壓器6之間設(shè)有隔壁32，并在機殼3中設(shè)有光源部35和電氣設(shè)備部34， 準(zhǔn)分子燈2位于該光源部35，變壓器6位于該電氣設(shè)備部34。
機殼3的電氣設(shè)備部34為六面結(jié)構(gòu)，在其內(nèi)部具有密閉空間，該電氣 設(shè)備部34包括板狀的隔壁32，具有載置變壓器6的長方形平面；電氣設(shè) 備部側(cè)的側(cè)壁341(圖1中的向與隔壁32的長方形平面垂直的方向的紙面上 方延伸的電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341、圖2中的向與隔壁32的長方形平面垂 直的方向的紙面上方延伸的電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341)，被連接在隔壁32的 長方形平面的周緣上，并且包圍變壓器6的四方；以及頂板31，被設(shè)成覆 蓋電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341。
由于在電氣設(shè)備部34的密閉空間中配置有多個變壓器6,所以多個變 壓器6處于被電氣設(shè)備部34包圍著的狀態(tài)。作為構(gòu)成電氣設(shè)備部34的構(gòu)件，例如有由實施了氧化鋁膜處理的鋁或
不銹鋼構(gòu)成的具有耐臭氧性的金屬構(gòu)件。
機殼3的光源部35由下述部分構(gòu)成的五面結(jié)構(gòu)構(gòu)成燈保持體36，保 持準(zhǔn)分子燈2的兩端；板狀的隔壁32，設(shè)有燈保持體36，并且具有長方形 平面；光源部端側(cè)壁351(圖1中的向與隔壁32的長方形平面垂直的方向的 紙面下方延伸的光源部端側(cè)壁351、和圖2中的向與隔壁32的長方形平面 垂直的方向的紙面下方延伸的光源部端側(cè)壁351)，被連接在隔壁32的長方 形平面的周緣上，并且包圍準(zhǔn)分子燈2的四方。
在光源部35上設(shè)有板狀的透光窗4，該板狀的透光窗4例如由石英玻 璃那樣的透過真空紫外線的構(gòu)件構(gòu)成，使其覆蓋光源部端側(cè)壁351，并且與 隔壁32相對。
由于在設(shè)有透光窗4的光源部35的內(nèi)部配置有多個準(zhǔn)分子燈2，所以 多個準(zhǔn)分子燈2處于被光源部35和透光窗4包圍的狀態(tài)。
作為構(gòu)成光源部35的構(gòu)件，例如有由實施了氧化鋁膜處理的鋁或不銹 鋼構(gòu)成的具有耐紫外線性及耐臭氧性的金屬構(gòu)件。
在多個準(zhǔn)分子燈2中，分別設(shè)有獨立的變壓器6。例如在圖1中，記載 有3個準(zhǔn)分子燈2，在各準(zhǔn)分子燈2的后述內(nèi)側(cè)電極(在圖1及圖2中未圖 示，后述圖3a、 3b中的標(biāo)記222)上分別通過供電線5電連接著獨立的變壓 器6。
為了穿過供電線5，該供電線5電連接各準(zhǔn)分子燈2和各變壓器6，在 隔壁32上設(shè)有連通電氣設(shè)備部34和光源部35的貫通孔331。隔壁32上所 設(shè)的貫通孔331是以削除位于準(zhǔn)分子燈2和變壓器6之間的隔壁32的一部 分的方式而設(shè)的，例如在如圖1所示設(shè)有3個準(zhǔn)分子燈2的情況下，設(shè)有 與各準(zhǔn)分子燈2對應(yīng)的3處貫通孔331 。
在隔壁32上所設(shè)的貫通孔331中穿過了供電線5的狀態(tài)下，該供電線 電連接準(zhǔn)分子燈2和變壓器6，為了在空間上隔離光源部35的內(nèi)部和電氣 設(shè)備部34的內(nèi)部，使其不連通，而設(shè)有例如由聚丙烯構(gòu)成的具有耐臭氧性 的密封體332。
在電氣設(shè)備部34的內(nèi)部，將多個變壓器6載置在隔壁32上，并且以 包圍該變壓器的外邊的方式設(shè)有風(fēng)洞體72。
風(fēng)洞體72被設(shè)成沿準(zhǔn)分子燈2的管軸方向延伸，使得圖1所示的剖面 ^字形構(gòu)件如圖2所示包圍變壓器6的外邊。在風(fēng)洞體72中，設(shè)有隔著變壓器6相對的一對開口部721、 722。設(shè)有多個風(fēng)洞體72，使其分別包圍多 個變壓器6，該多個變壓器6配置在電氣設(shè)備部34的內(nèi)部。例如，在如圖 1所示設(shè)有3個變壓器6的情況下，為每個變壓器6也設(shè)有風(fēng)洞體72，合 計設(shè)有3個風(fēng)洞體72。作為構(gòu)成風(fēng)洞體72的構(gòu)件，例如有由環(huán)氧玻璃構(gòu)成 的具有電絕緣性的樹脂構(gòu)件。
在風(fēng)洞體72的一個開口部721的外邊，設(shè)有從一個開口部721向另一 個開口部722送風(fēng)的例如冷卻風(fēng)扇那樣的送風(fēng)機構(gòu)71。送風(fēng)機構(gòu)71是為了 冷卻變壓器6而設(shè)的，所以為每個風(fēng)洞體72設(shè)有1個送風(fēng)機構(gòu)71，該每個 風(fēng)洞體72與各變壓器6對應(yīng)。
在電氣設(shè)備部34的內(nèi)部，設(shè)有例如散熱器等熱交換器那樣的冷卻機構(gòu)73。
冷卻機構(gòu)73被配置成在電氣設(shè)備部34的內(nèi)部、隔著送風(fēng)機構(gòu)71與一 個開口部721相對配置。此外，如第1實施例所示，在具備多個變壓器6 的情況下，為了高效地冷卻多個變壓器6，配置了多個冷卻機構(gòu)73，使其 與各變壓器上所設(shè)的各風(fēng)洞體的各一個開口部72對置。(參考后述圖4b)。
在冷卻機構(gòu)73上，設(shè)有流路731，以便向其內(nèi)部供給、排出冷卻液L。
冷卻機構(gòu)73的流路731如圖2所示，從電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341上所 設(shè)的貫通孔342導(dǎo)出，以便從電氣設(shè)備部34的內(nèi)部延伸到外部。
在電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341的貫通孔342和冷卻機構(gòu)73的流路731之 間，設(shè)有例如由鋁構(gòu)成的密封體343，將電氣設(shè)備部34內(nèi)部做成密閉空間。
從電氣設(shè)備部34導(dǎo)出的流路731通過在電氣設(shè)備部34的外部設(shè)有未 圖示的循環(huán)機構(gòu)，而使流路731的內(nèi)部的冷卻液L循環(huán)。
上述燈單元11被設(shè)成載置在傳送單元12上。
傳送單元12包括多個圓筒狀的輥121，傳送被照射物W;驅(qū)動體122， 繞各輥121的中心軸來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。
多個圓筒狀的輥121被排列成與燈單元11上所設(shè)的透光窗4的平面平行。
用圖3a、 3b來說明上述燈單元ll具備的準(zhǔn)分子燈2的結(jié)構(gòu)的一例。 圖3a、 3b是圖1記載的準(zhǔn)分子燈2的說明圖。圖3a是沿構(gòu)成準(zhǔn)分子燈 2的放電容器21的管軸方向的剖面圖，圖3b是與構(gòu)成準(zhǔn)分子燈2的放電容 器21的管軸方向正交的方向上的放大剖面圖(圖3a的B-B剖面的放大圖)。在圖3a、 3b中，對與圖1及圖2所示的部件相同的部件附以同一標(biāo)記。 準(zhǔn)分子燈2包括放電容器21，具有封入發(fā)光氣體的放電空間214; 電極221、 222，隔著放電空間214被對置配置。
放電容器21由下述部分構(gòu)成的套管結(jié)構(gòu)構(gòu)成圓筒狀的外側(cè)管211; 圓筒狀的內(nèi)側(cè)管212，位于外側(cè)管211的內(nèi)部，并且具有比外側(cè)管211的直 徑小的直徑；以及圓環(huán)狀的端壁部213，保持圓筒狀的外側(cè)管211的管軸和 圓筒狀的內(nèi)側(cè)管212的管軸一致，并且設(shè)在外側(cè)管211和內(nèi)側(cè)管212的管 軸方向的兩端。
在放電容器21中構(gòu)成有由外側(cè)管211、內(nèi)側(cè)管212以及一對端壁部213 包圍的放電空間214，在該放電空間214中密封了例如氙氣那樣的稀有氣體 作為發(fā)光氣體。
作為構(gòu)成放電容器21的構(gòu)件，例如有石英玻璃那樣能夠具有絕緣性、 并且對具有200nm以下的峰值波長的真空紫外線具有透光性的構(gòu)件。
在構(gòu)成放電容器21的內(nèi)側(cè)管212的內(nèi)周面上，沿著其整個長度方向上 緊貼著設(shè)有圓筒狀的內(nèi)側(cè)電極222。
此外，在構(gòu)成放電容器21的外側(cè)管211的外周面上，沿著其整個長度 方向上緊貼著設(shè)有網(wǎng)狀的外側(cè)電極221。
外側(cè)電極221和內(nèi)側(cè)電極222由于通過被這樣設(shè)置，從而隔著由絕緣 體構(gòu)成的放電容器21的外側(cè)管211、內(nèi)側(cè)管212以及放電空間214而對置。
作為構(gòu)成內(nèi)側(cè)電極222及外側(cè)電極221的構(gòu)件，例如有銅鎳合金那樣 的具有導(dǎo)電性的金屬構(gòu)件。
在圖3a、 3b所示的內(nèi)側(cè)電極222及外側(cè)電極221上，電連接有圖1所 示的變壓器6的未圖示的次級端，變壓器6的未圖示的初級端被電連接在 未圖示的高頻電源上。
此外，在外側(cè)電極221的外周上，由于設(shè)有例如由實施了氧化鋁膜處 理的鋁或不銹鋼那樣的金屬構(gòu)件構(gòu)成的燈保持體36，而使外側(cè)電極221通 過燈保持體36接地。
上述第1實施例的紫外線照射裝置1在點亮燈時，從未圖示的高頻電 源提供的電壓由變壓器6升壓，向準(zhǔn)分子燈2供電。
被供電的準(zhǔn)分子燈2由于一對電極221、 222間的電位差，通過放電容 器21的內(nèi)部密封的發(fā)光氣體開始準(zhǔn)分子發(fā)光，在發(fā)光氣體例如為氙氣時產(chǎn)生峰值波長在172nrn以下的真空紫外線。放電空間214中產(chǎn)生的真空紫外 線透過放電容器21，照射到準(zhǔn)分子燈2的外邊。
機殼3的光源部35由于填充了例如氮氣那樣的惰性氣體，所以來自準(zhǔn) 分子燈2的真空紫外線不會被惰性氣體吸收，而是透過透光窗4而照射到 傳送單元12—側(cè)。
傳送單元12的驅(qū)動體122被連接在未圖示的電源上，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動各輥 121。輥121上載置的被照射物W通過輥121的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動而被傳送，與透 光窗4相對。例如，在圖1中，被照射物W被從紙面右側(cè)傳送到紙面左側(cè)， 移動到與透光窗4相對的下方側(cè)。
傳送單元12的內(nèi)部是大氣，所以透過了透光窗4的真空紫外線被大氣 中的氧吸收了一部分，但是由于傳送的被照射物W和透光窗4被相鄰配置， 所以在被氧全部吸收之前被照射到被照射物W上。
在被照射物W如圖2所示在紙面左右方向很大的情況下，通過將準(zhǔn)分 子燈2配置為交錯狀(在圖2中，在紙面前面一側(cè)將一方的準(zhǔn)分子燈2配置 在紙面右側(cè)，在紙面后面一側(cè)將另一方的準(zhǔn)分子燈2配置在紙面左側(cè))，來 自準(zhǔn)分子燈2的真空紫外線被全部照射到被照射物W上，從而處理被照射 物W。此外，在傳送單元12的內(nèi)部，由于真空紫外線被氧吸收而產(chǎn)生臭氧， 該臭氧也處理被照射物W。
第1實施例的紫外線照射裝置1如上所述，由于機殼3的電氣設(shè)備部 34的內(nèi)部為密閉空間，所以能夠防止傳送單元12產(chǎn)生的臭氧流入電氣設(shè)備 部34，防止電氣設(shè)備部34的內(nèi)部配置的變壓器6暴露在臭氧中。
第1實施例的紫外線照射裝置1在點亮燈時，由于用變壓器6來升高 向準(zhǔn)分子燈2提供的電壓，所以變壓器6被加熱。通過示出風(fēng)洞體72，與 其進行比較，來說明第1實施例的紫外線照射裝置1中的冷卻變壓器6的 結(jié)構(gòu)及其作用、效果。
圖4a是比較例的紫外線照射裝置1的說明圖，是沿電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè) 壁341的長度方向的剖面圖。圖4b是第1實施例的紫外線照射裝置1的說 明圖，是沿電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341的長度方向的剖面圖(圖1中的C-C剖 面圖)。
另外，在圖4a、 4b中，對與圖1及圖2所示的部件相同的部件附以同 一標(biāo)記o比較例的紫外線照射裝置1在未設(shè)風(fēng)洞體72這一點上與第1實施例不同。
比較例及第1實施例的紫外線照射裝置1通過將準(zhǔn)分子燈2配置成交 錯狀，從而將變壓器6也按照準(zhǔn)分子燈2的排列而配置成交錯狀。由此， 電連接準(zhǔn)分子燈2和變壓器6的供電線5不會變成不期望的長度，而是能 夠簡便地布線。
比較例及第1實施例的紫外線照射裝置1在點亮燈時，用未圖示的電 源來驅(qū)動送風(fēng)機構(gòu)71及冷卻機構(gòu)73。
比較例及第1實施例的紫外線照射裝置1用具備的送風(fēng)機構(gòu)71向變壓 器6吹送冷卻風(fēng)A。
在如比較例的紫外線照射裝置1那樣為具備的多個準(zhǔn)分子燈2設(shè)獨立 的變壓器6的情況下，送風(fēng)機構(gòu)71吹送的冷卻風(fēng)A在碰撞變壓器6后會擴 散。具體地說，如圖4a所示，在冷卻風(fēng)A碰撞變壓器6后，紙面上側(cè)及下 側(cè)的變壓器6使冷卻風(fēng)A擴散到?jīng)]有電氣設(shè)備部側(cè)的側(cè)壁341的一側(cè)，至 于紙面正中側(cè)的變壓器6，則使冷卻風(fēng)A向紙面上下方向擴散。這樣，在 比較例的紫外線照射裝置1的情況下，變壓器6的和與冷卻機構(gòu)73對置的 一側(cè)相反的一側(cè)的冷卻不充分。
而在第1實施例的紫外線照射裝置1的情況下，通過與比較例同樣為 具備的多個準(zhǔn)分子燈2設(shè)獨立的變壓器6，并且具備風(fēng)洞體72，能夠防止 送風(fēng)機構(gòu)71吹送的冷卻風(fēng)A在碰撞變壓器6后擴散。具體地說，如圖4b 所示，在機殼3的電氣設(shè)備部34中，設(shè)有分別包圍各變壓器6、并且具備 隔著變壓器6對置的一對開口部721、 722的風(fēng)洞體72，而且送風(fēng)機構(gòu)71 被設(shè)在風(fēng)洞體72的一個開口部721上，并且用送風(fēng)機構(gòu)71從風(fēng)洞體72的 一個開口部721向另一個開口部722吹送冷卻風(fēng)A。通過該結(jié)構(gòu)，來自送 風(fēng)機構(gòu)71的冷卻風(fēng)A通過風(fēng)洞體72的里邊時不會擴散，就能夠最佳地吹 到風(fēng)洞體72的里邊配置的變壓器6上，最佳地冷卻被加熱了的變壓器6。
第1實施例的紫外線照射裝置1通過將機殼3的電氣設(shè)備部34做成密 閉空間，而從風(fēng)洞體72的另一個開口部722導(dǎo)出由被加熱了的變壓器6產(chǎn) 生的高溫的排熱風(fēng)，在機殼3的內(nèi)部循環(huán)。第1實施例的紫外線照射裝置1 通過在電氣設(shè)備部34的密閉空間中設(shè)冷卻機構(gòu)73，該冷卻機構(gòu)73具備冷 卻液L的流路731的，而使來自被加熱了的變壓器6的排熱風(fēng)由冷卻機構(gòu)73熱交換，能夠冷卻密閉的電氣設(shè)備部34。該冷卻機構(gòu)73由于隔著送風(fēng) 機構(gòu)721與各變壓器6分別對置配置，所以能夠?qū)⒗鋮s機構(gòu)73熱交換過的 冷卻風(fēng)A最佳地吹到各變壓器6上。
如上所述，第1實施例的紫外線照射裝置1的特征在于，將電氣設(shè)備 部34做成密閉空間，而且在該電氣設(shè)備部34中，設(shè)有冷卻機構(gòu)73，該冷 卻機構(gòu)73具備冷卻液L的流路731，在該各變壓器6的外邊，設(shè)有風(fēng)洞體 72,該風(fēng)洞體72分別包圍該各變壓器6、并且該風(fēng)洞體72具備隔著該變壓 器6對置的開口部721、 722，在該電氣設(shè)備部34的內(nèi)部，設(shè)有從該風(fēng)洞體 72的一個開口部721向另一個開口部722送風(fēng)的送風(fēng)機構(gòu)71。由此，第l 實施例的紫外線照射裝置1能夠防止腐蝕性氣體從外部進入電氣設(shè)備部34 的內(nèi)部，而且防止由于冷卻機構(gòu)73熱交換而使電氣設(shè)備部34的內(nèi)部變?yōu)?高溫，能夠在防止變?yōu)楦邷氐碾姎庠O(shè)備部34的內(nèi)部用送風(fēng)機構(gòu)71來冷卻 風(fēng)洞體72的里邊配置的變壓器6。
第1實施例的紫外線照射裝置1說明了設(shè)有透光窗4的結(jié)構(gòu)，但是本 發(fā)明的紫外線照射裝置1只要能夠防止電氣設(shè)備部34中配置的變壓器6暴 露在腐蝕性氣體中即可，只要是電氣設(shè)備部34的內(nèi)部和光源部35的內(nèi)部 在大氣上不連通的結(jié)構(gòu)，則也可以不設(shè)透光窗。
此外，本發(fā)明的紫外線照射裝置1具備的準(zhǔn)分子燈2只要隔著放電空 間214和絕緣體21對置配置一對電極221、 222，照射真空紫外線即可，例 如也可以像上述專利文獻3那樣，是將一對電極221、 222設(shè)在放電容器21 的外表面上的準(zhǔn)分子燈2。
在上述第1實施例的紫外線照射裝置1中，在電氣設(shè)備部34的內(nèi)部設(shè) 有冷卻機構(gòu)73，下面對用冷卻機構(gòu)73來構(gòu)成隔壁32的紫外線照射裝置1 作為第2實施例進行說明。
圖5是第2實施例的紫外線照射裝置1的說明圖，是與紫外線照射裝 置1具備的準(zhǔn)分子燈2的管軸方向正交的方向上的剖面圖。
在圖5中，對與圖l所示的部件相同的部件附以同一標(biāo)記。
圖5所示的紫外線照射裝置1在用冷卻機構(gòu)73來構(gòu)成隔壁32這一點 上與圖1所示的紫外線照射裝置1不同。
作為圖5所示的紫外線照射裝置1的說明，省略與圖1所示的紫外線 照射裝置1的說明共通的部分，描述與圖1的不同點。載置變壓器6的隔壁32由例如實施了氧化鋁膜處理的鋁構(gòu)成的具有導(dǎo) 熱性的金屬構(gòu)件構(gòu)成，通過在其內(nèi)部設(shè)有流通冷卻液L的流路731，而構(gòu)成 冷卻機構(gòu)73。
這樣，第2實施例的紫外線照射裝置1通過用冷卻機構(gòu)73來構(gòu)成隔壁 32，并且用能夠進行電氣設(shè)備部34的密閉空間的熱交換的、具有導(dǎo)熱性的 構(gòu)件來構(gòu)成隔壁32，在點亮燈時，奪去變壓器6的熱的排熱風(fēng)由構(gòu)成隔壁 32的冷卻機構(gòu)73來進行熱交換，能夠冷卻密閉的電氣設(shè)備部34。
此外，在從準(zhǔn)分子燈2照射的光中，除了真空紫外線以外，還包含不 同波段的光，在該光中，也包含加熱隔壁32的光。此外，由于被供電而被 加熱，所以從準(zhǔn)分子燈2放射其輻射熱。
第2實施例的紫外線照射裝置1通過用冷卻機構(gòu)73來構(gòu)成位于準(zhǔn)分子 燈2和變壓器6之間的隔壁32，來自準(zhǔn)分子燈2的照射熱和輻射熱由隔壁 32進行熱交換，能夠防止變壓器6被加熱。
權(quán)利要求
1.一種紫外線照射裝置，包括準(zhǔn)分子燈，包括放電容器和隔著該放電容器的放電空間而相對配置的電極；變壓器，分別被電連接在多個該準(zhǔn)分子燈上；機殼，保持該多個準(zhǔn)分子燈和該多個變壓器，并且具備隔壁，該隔壁設(shè)在該多個準(zhǔn)分子燈和該多個變壓器之間；及電氣設(shè)備部，在該機殼內(nèi)通過該隔壁而包圍該多個變壓器，該紫外線照射裝置的特征在于，在該電氣設(shè)備部中設(shè)有冷卻機構(gòu)，該冷卻機構(gòu)具備冷卻液的流路；在該各變壓器的外邊設(shè)有風(fēng)洞體，該風(fēng)洞體對該各變壓器進行獨立包圍，并且該風(fēng)洞體具備隔著該變壓器而相對的一對開口部；在該電氣設(shè)備部的內(nèi)部設(shè)有送風(fēng)機構(gòu)，該送風(fēng)機構(gòu)從該風(fēng)洞體的一個開口部向另一個開口部送風(fēng)。
2. 如權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置，其特征在于， 該隔壁由冷卻機構(gòu)構(gòu)成，該冷卻機構(gòu)在其內(nèi)部具備冷卻液的流路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種紫外線照射裝置，它密閉電氣設(shè)備部，并冷卻該密閉的電氣設(shè)備部的內(nèi)部。第1發(fā)明的紫外線照射裝置包括準(zhǔn)分子燈，包括放電容器和隔著該放電容器的放電空間而相對配置的電極；變壓器，分別被電連接在多個該準(zhǔn)分子燈上；機殼，保持該多個準(zhǔn)分子燈和該多個變壓器，并具備設(shè)在該多個準(zhǔn)分子燈和該多個變壓器之間的隔壁；以及電氣設(shè)備部，在該機殼內(nèi)通過該隔壁而包圍該多個變壓器；該紫外線照射裝置的特征在于，在該電氣設(shè)備部中，設(shè)有冷卻機構(gòu)；在該各變壓器的外邊，設(shè)有風(fēng)洞體，該風(fēng)洞體分別包圍該各變壓器，并且具備隔著該變壓器而對置的一對開口部；在該電氣設(shè)備部的內(nèi)部，設(shè)有從該風(fēng)洞體的一個開口部向另一個開口部送風(fēng)的送風(fēng)機構(gòu)。
文檔編號F21V23/02GK101603640SQ20091014135
公開日2009年12月16日 申請日期2009年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月9日
發(fā)明者山森賢治 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社