專利名稱：排氣集管和真空排氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及排氣集管和真空祠汽處理裝置。
背景技術(shù)：
在等離子體顯示面板的制造過程中等，要l頓在安裝于產(chǎn)品的尾管上安裝 排氣集管艦行抽真空的真空排氣體。
例如，在專利文獻l中，記載了如圖5所示的用于對等離子體顯示面板41 抽真空的真空祠汽體用的以往的S汽集管42。以往的排，管42包括劃定 接，管43的尾管插入室44的杯形部件45，設(shè)置在尾管插入室44的口部、內(nèi) 部被供給加壓空氣而膨脹、將杯形部件45和尾管43之間的間隙密封的膨脹密 封環(huán)46，以及緊貼地設(shè)置在杯形部件45和膨脹密封環(huán)46的外周的、為了使杯 形部件45和膨脹密封環(huán)46 7賴卩而MA冷卻水的封套47。
此外，以往的S^管42包括作為將尾管插入室44內(nèi)的空氣排出的流 路的真空排氣管48、作為向膨脹密封環(huán)46供給壓縮空氣的流路的壓縮空氣連接 管49，作為向封套47供給7轉(zhuǎn)口水的鵬的糊水供給管50，以及作為^^寸套 47流出Jt4P水的^^各的7轉(zhuǎn)P水排出管51 。排，管42需要在安裝于尾管43上 時以及尾管43熔斷時移動。因此，真空排氣管48、壓縮空氣連接管49、冷卻 7K供給管50和7轉(zhuǎn)卩水排出管51分別M^性管(未圖示)連接在與其他排氣 集管共用的總管配管上。
由于是在加熱爐內(nèi)進行處理，因此要求與排氣集管42連接的4個柔性管具 有耐熱性，從而可撓性不夠。因此，這些柔性管限制了排，管42的可動范圍， 使得排，管42的動作調(diào)整很困難。
專利文獻1:特許第3670997號公報

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明的目的是，皿一種需要連接的柔性管的數(shù)量少的 排氣集管和柔性管的連接數(shù)少的真空排氣體。為了解決戰(zhàn)問題，本發(fā)明的排氣集管包括育,魏管的尾管插入室， 在上述尾管插入室內(nèi)側(cè)的全周上露出、禾擁內(nèi)部壓力的上升而將，尾管插入
室和上述尾管之間的間隙封堵的膨脹封閉環(huán)，與上述膨脹密封環(huán)3iM、包圍上
述尾管插入室的封套，用于排出上述尾管插入室內(nèi)部的氣體的真空排氣獅各， 向上述封套供給冷卻水的冷卻水供給流路，以及^Jl^i寸套排出上述冷卻水的 冷卻水排出鵬。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于可以利用冷卻水的水壓使膨脹密封環(huán)膨脹，且將尾 管插入室和尾管之間的間隙封閉，因此不必供給用于^f脹密封環(huán)膨脹的壓縮 空氣等，使連接到掃愾集管的柔性管^K
此外，在本發(fā)明的排氣集管中，可以是，膨脹密封環(huán)的外周和上皿套 的內(nèi)壁抵接。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，膨脹密封環(huán)容易和封S^接，此外，由于封套限制了膨 脹密封環(huán)向外側(cè)擴大直徑，因此可以利用膨脹密封環(huán)內(nèi)壓的上升有效地縮小內(nèi) 徑。
此外，在本發(fā)明的排氣集管中，上3ii寸套的內(nèi)壁也可以構(gòu)成上述尾管插入
室的內(nèi)壁。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，育辦M^排氣集管的部件數(shù)量，簡4^S。
此外，本發(fā)明的真空排氣^S包括J^任一排氣集管。
如果采用這樣的結(jié)構(gòu)，不必供給^0脹密封環(huán)膨脹的壓縮空氣等，且連接 至,氣集管的柔性管M^，因雌性管對排氣集管動作的限制M^，使排氣集 管能夠精密地移動。
此外，本發(fā)明的真空排氣裝置也可以進一步包括調(diào)節(jié)上述封套內(nèi)壓力的壓 力調(diào)節(jié)裝置。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，由于能夠利用壓力調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)膨脹密封環(huán)的膨脹力， 因此可以利用膨脹密封環(huán)恰當?shù)孛芊馕补堋?發(fā)明效果
由于利用冷卻水的水壓{，脹密封環(huán)膨脹，從而封閉尾管插入室和尾管之 間的間隙，因此其優(yōu)點是不必供給用于1娜脹密封環(huán)膨脹的壓縮空氣等，使連 接到排，管上的柔性管變少。因此排，管能夠精密地移動。


圖1是本發(fā)明第1實施例的排氣集管的咅艦圖。
圖2是具有圖1的排氣集管的真空排氣驢的概略圖。
圖3是本發(fā)明第2實施例的掃汽集管的咅艦圖。 圖4是本發(fā)明第3實施例的排氣集管的剖視圖。 圖5是以往的排氣集管的咅艦圖。 符號說明
1、 la、 lb—排，管 2—鵬面板 4一尾管 5—尾管插入室
7— 膨脹密封環(huán) 7a—加壓孔
8— 封套 8a—魏孔 8b—內(nèi)筒(內(nèi)壁)
11— 真空排氣管(真空排氣灕各)
12— 糊水供給管(糊水供給繊)
13— 7賴卩7jC排出管(m卩7K排出、m) 19一柔性管
21、 22—柔性管
30—調(diào)節(jié)閥(壓力調(diào)節(jié)裝置)
33_膨脹密封環(huán)
具體實施例方式
現(xiàn)在參照

本發(fā)明的實施例。圖1示出了本發(fā)明第1實施例的祠汽 集管1 。S汽集管1用于fflil尾管4 ，離子體顯示面板用的自面板2的內(nèi)部 抽真空，尾管4用鵬漿('j^^封)3與鵬面板2的開口端2a連接。
排氣集管1包括形成接魏管4的尾管插入室5的杯形部件6，布置在杯 形部件6的上端并貌管插入室5內(nèi)側(cè)露出的膨脹密封環(huán)7，麟在杯形部件6和膨脹密封環(huán)7的夕卜周的封套8，以^U:下方向夾持杯形部件6、膨脹密封環(huán) 7和封套8的上端板9和下端板10。
膨脹密封環(huán)7由成型為中空環(huán)狀的耐熱性賺構(gòu)成，并砂卜周形成有使內(nèi) 部空間開口的加壓孔7a。封套8由封閉了兩端的雙重管構(gòu)成，并形成有與膨脹 密封環(huán)7的加壓孔7a i^il的M孔8a。加壓孔7a和M孔8a氣密ite接。
此外，掃汽集管1包括貫穿下端板10皿接到杯形部件6上、與尾管插 入室5連通的真空祠汽管11 ，以及貫穿下端板10、與封套8連接成與其內(nèi)部空 間iSl的狀態(tài)的冷卻水供給管12和7t4P7K排出管13。
下端板10具有插入導(dǎo)向筒15的導(dǎo)向軸16，該導(dǎo)向筒15固定在固定臺架 14上，排氣集管1安，可相對于固定臺架14上下動作。itWh上端板9和固 定臺架14之間配設(shè)有壓縮彈簧17，育絲合排氣集管1施加向上的力。
真空排氣管11提供將尾管插入室5內(nèi)部的空氣抽真空、并M尾管4使玻 璃面板2的內(nèi)部成為真空的真空祠愾、鵬，7襯P水供給管12和7襯P水排出管13 提供為了使7^P7Kil到封套8中而供給冷卻水的7賴卩7K供給M和排出冷卻水 的y賴卩7jC排股敲各。供給到封套8的y轉(zhuǎn)卩水的壓力MM L 8a和加壓 L 7a 從內(nèi)部對膨脹密封環(huán)7加壓而使其膨脹。
此外，圖2示出了具有多個排氣集管1的真空排氣體18的結(jié)構(gòu)。糾汽 集管1的真空排氣管11分別M;耐受真空的耐熱性的柔性管19與真空支集管 20連接，H^口水供給管12和7轉(zhuǎn)卩水排出管13分別m耐熱性的柔性管21 、 22 與冷卻水供給支集管23和yt4P7k返回支集管24連接。
真空支集管20通過截止閥25與真空主集管26連接，該真空主集管26向 并設(shè)的多個真空排氣裝置18衝共真空源。冷卻水供給支集管23 M截止閥27 與7賴卩水供給主集管28連接，y賴卩水返回支集管24通過iUh閥29和調(diào)節(jié)閥(壓 力調(diào)節(jié)，)30 ^ai使截止閥29和調(diào)節(jié)闊30被旁路的旁通閥31與冷卻水返 回支集管32連接。調(diào)節(jié)閥30用于限制冷卻水的流量，在)t4P水返回支集管24 中形成背壓，調(diào)節(jié)封套8的內(nèi)部壓力。
真空排氣裝置18中，首先以裝載了玻璃槳3的狀態(tài)將尾管4插入尾管插入 室5，由于截止閥27、 29、 31是打開的，因此可以傲轉(zhuǎn)卩水在^f，管1的 封套8內(nèi)循環(huán)。fflil關(guān)閉旁通閥31 ，利用調(diào)節(jié)閥30使封套8的內(nèi)部壓力升壓到 設(shè)定的值，例如0.4MPa。由此，膨脹密封環(huán)7的內(nèi)部壓力也同樣iiLt升，膨脹
6密封環(huán)7向內(nèi)側(cè)膨脹(內(nèi)徑收縮)，與尾管4的外周壓接。由此將尾管插入室5 和尾管4之間的間P雜寸閉，從而f提管插入室5閉塞，并將尾管4鵬在掃汽 集管1上。此時，膨脹密封環(huán)7由于外周與封套8的內(nèi)壁抵接而不能向外側(cè)擴 大直徑，內(nèi)部壓力的上升可以有效地使內(nèi)徑縮小。
接著，利用未圖示的自動機械等確定自面板2的位置，從而將其裝, 幵口部2a位于尾管4和鵬漿3的上端的狀態(tài)。此時，由于壓縮彈簧17 |艦 縮，因此可以確保尾管4和玻璃漿3與自面板2之間的壓接力。在加熱爐中， m加熱自面板2使玻璃漿3溶化，保證玻璃面板2和尾管4之間的氣密性。 接著，打開截止閥25， 3M尾管4和尾管插入室5進而M真空支集管20來吸 取玻璃面板2內(nèi)的空氣，將自面板2的內(nèi)部抽成高真空。當將玻璃面板2充 分地抽成真空時， 一邊用氣體燃燒器等將在排氣集管1上露出的尾管4的中部 加熱， 一邊拉下排，管1，將尾管4熔斷而將其封閉。此外，鄉(xiāng)斷尾管4 以將其封閉之前，禾,在抽真空中使用的路徑導(dǎo)入氤等氣體，并將其封入在玻 璃面板2內(nèi)。
由于在掃汽集管1的封套8中有冷卻水循環(huán)，因此即使在加熱爐內(nèi)也不會 形成高溫，不會因熱膨脹導(dǎo)致的 等使尾管4折斷。財卜，由于冷卻水可以 施加使膨脹密封環(huán)7膨脹的壓力，因此沒有必要皿用于密封尾管4的壓縮空 氣等等。由此，排，管1可以只與用于7賴卩水供給和排出的柔性管21、 22以 及用于抽真空的柔性管19這3個柔性t3i接。因此，祠汽集管l的可動范圍擴 大，且由于只承魏自3麟性管19、 21、 22的彈力造成的外力，因此祠， 管1的位置確定動作以皿管4熔斷時去除尾管4的下端的動作更加容易而且 會,密鵬行。
此外，圖3示出了本發(fā)明實施例第2實施例的排，管la。財卜，在以下 的說明中，與前面說明過的元件結(jié)構(gòu)相同的部件賦予相同的符號，省略了重復(fù) 說明。祠汽集管la形成為，用上端板9和下端板10將封套8的形成iiM孔8a 的內(nèi)筒8b與布置在內(nèi)筒8b夕卜側(cè)的外筒8c之間的兩端封閉。財卜，尾管插入室 5的內(nèi)壁由內(nèi)筒8b也就是由封套8的內(nèi)壁構(gòu)成。
本實施例的排，管la與第l實施例相比，具有部件數(shù)量少，結(jié)構(gòu)簡單， 制造i^:低的優(yōu)點。
此外，圖4示出了本發(fā)明第3實施例的^H集管lb。排氣集管lb中，在內(nèi)筒8b和上端板9之間形成一定寬度的間隙，并利用膨脹密封環(huán)33封堵該間隙， 該膨脹密封環(huán)33由帶狀的或者成型為可嵌合在該間隙中的皿的耐熱橡膠構(gòu) 成。隨^^寸套8內(nèi)部壓力的上升，本實施例的膨脹密封環(huán)33也會膨脹并突出到 尾管插入室5的內(nèi)部，氣密地保持尾管4，并將尾管插入室5封閉。因此，只要 是膨脹密封環(huán)33在尾管插入室5內(nèi)側(cè)的全周上露出，并利用封套8的內(nèi)部壓力 向內(nèi)偵ij膨脹，其微不受限制。
此外，本實施例的封套8在內(nèi)筒8b和外筒8c之間具有其上部沒有到M 端板9的稍微短些的分隔筒8d，在外筒8c和分隔筒8d之間連^7令卻水供給管 12，在內(nèi)筒8b和分隔筒8d之間連擻令卻7乂排出管13。由此，當將排氣集管lb 與冷卻水供給支集管23和7轉(zhuǎn)卩7X返回支集管24連接時，從y轉(zhuǎn)卩水供給管12供 給的冷卻水在到達分隔筒8d的上端之前，不會,lA冷卻水排出管13。這樣做可 省去排出空氣的程序。
權(quán)利要求
1. 一種排氣集管，其特征在于，包括能夠接受尾管的尾管插入室，在上述尾管插入室內(nèi)側(cè)的全周上露出、利用內(nèi)部壓力的上升而將上述尾管插入室和上述尾管之間的間隙封堵的膨脹封閉環(huán)，與上述膨脹密封環(huán)連通、包圍上述尾管插入室的封套，用于排出上述尾管插入室內(nèi)部的氣體的真空排氣流路，向上述封套供給冷卻水的冷卻水供給流路，以及從上述封套排出上述冷卻水的冷卻水排出流路。
2. 如權(quán)利要求1戶腿的排，管，其特征在于，±3 脹密封環(huán)的外周和上 ^i寸套的內(nèi)壁抵接。
3. 如權(quán)利要求1戶腿的排氣集管，其特征在于，i^^寸套的內(nèi)壁構(gòu)成戰(zhàn)尾 管插入室的內(nèi)壁。
4. 一種真空排氣處理^S，其特征在于，具有如權(quán)利要求1至3中的ffi可一 項記載的排，管。
5. 如權(quán)利要求4戶艦的真空祠汽處理體，其特征在于，還包J湖節(jié)J^t 套內(nèi)壓力的壓力調(diào)節(jié)裝置。
全文摘要
本發(fā)明涉及排氣集管和真空排氣處理裝置。一種排氣集管(1)，其具有可接受尾管(4)的尾管插入室(5)，在上述尾管插入室(5)的內(nèi)側(cè)全周連續(xù)露出并利用內(nèi)部壓力的上升封堵上述尾管插入室(5)和上述尾管(4)之間的間隙的膨脹封閉環(huán)(7)，與上述膨脹密封環(huán)(7)連通并包圍上述尾管插入室(5)的封套(8)，用于排出上述尾管插入室(5)內(nèi)部的氣體的真空排氣流路(11)，在上述封套(8)中供給冷卻水的冷卻水供給流路(12)，以及從上述封套(8)排出上述冷卻水的冷卻水排出流路(13)。本發(fā)明可提供需要連接的柔性管的數(shù)量少的排氣集管。
文檔編號H01J11/46GK101510490SQ20091013070
公開日2009年8月19日 申請日期2009年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月15日
發(fā)明者惠上壽雄 申請人:中外爐工業(yè)株式會社