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排氣集管和真空排氣處理裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:2849306

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本發(fā)明涉及排氣集管和真空祠汽處理裝置。 背景技術在等離子體顯示面板的制造過程中等,要l頓在安裝于產品的尾管上安裝 排氣集管艦行抽真空的真空排氣體。例如,在專利文獻l中,記載了如圖5所示的用于對等離子體顯示面板41 抽真空的真空祠汽體用的以往的S汽集管42。以往的排,管42包括劃定 接,管43的尾管插入室44的杯形部件45,設置在尾管插入室44的口部、內 部被供給加壓空氣而膨脹、將杯形部件45和尾管43之間的間隙密封的膨脹密 封環(huán)46,以及緊貼地設置在杯形部...
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  • 高老師:1.電力電子及應用 2.嵌入式系統(tǒng)應用