技術編號:2849306
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及排氣集管和真空祠汽處理裝置。 背景技術在等離子體顯示面板的制造過程中等,要l頓在安裝于產品的尾管上安裝 排氣集管艦行抽真空的真空排氣體。例如,在專利文獻l中,記載了如圖5所示的用于對等離子體顯示面板41 抽真空的真空祠汽體用的以往的S汽集管42。以往的排,管42包括劃定 接,管43的尾管插入室44的杯形部件45,設置在尾管插入室44的口部、內 部被供給加壓空氣而膨脹、將杯形部件45和尾管43之間的間隙密封的膨脹密 封環(huán)46,以及緊貼地設置在杯形部...
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