專利名稱：一種照明裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬光刻設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種照明裝置。
背景技術(shù)：
光刻機(jī)系統(tǒng)中用到很多的對準(zhǔn)系統(tǒng)，如掩模精預(yù)對準(zhǔn)和掩模CHUCK對 準(zhǔn)，其對準(zhǔn)精度需要實(shí)現(xiàn)微米級別，通常采用的方法如圖1所示直接使用 LD激光器光源或LED光源照射到某個(gè)特定的標(biāo)記上，在標(biāo)記的正下方使用 四象限探測器探測光強(qiáng)，在標(biāo)記運(yùn)動(dòng)的過程中，四象限探測器探測出光強(qiáng)的 變化，通過算法將光強(qiáng)的變化量轉(zhuǎn)換成標(biāo)記的位置變化量。這種方法的缺點(diǎn) 是照明均勻性差、光功率低，導(dǎo)致對準(zhǔn)精度差。
有鑒于此，如何解決上述方法中照明均勻性差和光功率低的問題，是本 領(lǐng)域的技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提高照明面實(shí)際使用光功率，從而提 高對準(zhǔn)精度要求。本發(fā)明的另 一 個(gè)目的在于提高對準(zhǔn)系統(tǒng)中照明的均勻性， 從而提高對準(zhǔn)精度要求。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案
一種'照明裝置，包括光源，還包括凹面反射鏡和凸面反射鏡，且所述凹 面反射鏡和凸面反射鏡同軸，所述凹面反射鏡具有透光區(qū)和不透光區(qū)，所述 光源至少為兩個(gè)且設(shè)于以所述光軸為中心軸的同一圓周上，所述至少兩個(gè)光 源發(fā)出的光依次經(jīng)所述凹面反射鏡的不透光區(qū)和凸面反射鏡反射后的出射光 分別穿越凹面反射鏡的透光區(qū)并匯聚于照明面。將兩個(gè)以上光源同時(shí)收集并 匯聚到一個(gè)指定大小的照明區(qū)域，可以提高照明面實(shí)際使用光功率，從而提 高對準(zhǔn)精度要求。所述透光區(qū)位于凹面反射鏡的中央。 所述透光區(qū)為圓形。
所述光源均布于以光軸為中心軸的同 一 圓周上。由于多光源均布設(shè)置， 因此，可以提高對準(zhǔn)系統(tǒng)中照明的均勻性，從而進(jìn)一步提高對準(zhǔn)精度要求。
所述光源為LD激光光源或LED光源。 本發(fā)明的有益效果
本發(fā)明由于采用多光源匯集到照明面上，因此，可以提高照明面實(shí)際使 用光功率，從而提高對準(zhǔn)精度要求。由于多光源均布設(shè)置，因此可以提高對 準(zhǔn)系統(tǒng)中照明的均勻性，進(jìn)而提高對準(zhǔn)區(qū)域范圍內(nèi)的線性靈敏度，從而進(jìn)一 步提高對準(zhǔn)精度要求。


圖l是現(xiàn)有的照明裝置的示意圖； 圖2是本發(fā)明照明裝置實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本發(fā)明照明裝置實(shí)施例1的側(cè)視示意圖； 圖4是本發(fā)明照明裝置實(shí)施例2的側(cè)視示意圖中l(wèi)-光源；2-凹面反射鏡，21-(凹面反射鏡的)透光區(qū)；22-(凹面反射 鏡的)不透光區(qū)，3-凸面反射4竟；4-照明面。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作清楚、完整地說明 實(shí)施例1
請參閱圖2和圖3，這種照明裝置，包括光源l、凹面反射鏡2和凸面反 射鏡3,且所述凹面反射鏡2和凸面反射鏡3同軸。所述凹面反射鏡2具有透 光區(qū)21和不透光區(qū)22。所述光源1至少為兩個(gè)且"i殳于以所述光軸為中心軸的 同一圓周上。所述光源1為LD激光光源或LED光源，同時(shí)也可以4吏用其他 照明的光源。本實(shí)施例中所述光源1為兩個(gè)LD光源1。所述凹面反射鏡2和 凸面反射鏡3共同組成一個(gè)照明準(zhǔn)直系統(tǒng)，根據(jù)實(shí)際對準(zhǔn)系統(tǒng)的需求，調(diào)整 照明準(zhǔn)直系統(tǒng)的焦距，從而可以獲得凹面反射鏡2和凸面反射鏡3的曲率半
4徑。所述兩個(gè)LD光源l發(fā)出的光依次經(jīng)所述凹面反射鏡2的不透光區(qū)22和 凸面反射鏡3反射后分別穿越凹面反射鏡2的透光區(qū)21并匯聚于照明面4。 由于采用多光源1并將這些光源匯集到同一照明面4上，可以提高照明面4 的總光能，即提高照明面4的實(shí)際使用光功率，從而可以有效提高對準(zhǔn)精度。
所述透光區(qū)21位于凹面反射鏡2的中央。所述透光區(qū)21為圓形。所述 透光區(qū)21的直徑需要滿足足以使凸面反射鏡3的反射光穿越，即不能遮擋從 凸面反射鏡3反射回來的光束。
可以，將所述兩個(gè)LD光源1均勻設(shè)置于以光軸為中心軸的同一圓周上， 即使得每個(gè)光源1與光源1之間的圓周長相等。由于多光源1均勻設(shè)置，且 將這些光源同時(shí)校直到同一個(gè)照明面4上，可以提高該對準(zhǔn)系統(tǒng)中照明的均 勻性，進(jìn)而提高對準(zhǔn)區(qū)域范圍內(nèi)的線性靈敏度，從而提高對準(zhǔn)精度。另外， 也可以利用單個(gè)光源1相對位置的調(diào)節(jié)(傾斜、偏心或旋轉(zhuǎn))來提高照明均 勻性，進(jìn)而提高對準(zhǔn)精度要求。
實(shí)施例2
請參閱圖4，本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別在于，光源1采用5個(gè)均布的 LED光源。光源1越多，匯集到照明面4的光能越多，可以提高照明面4實(shí) 際使用光功率。4個(gè)LED光源1均布同時(shí)準(zhǔn)直到同一個(gè)照明面4上，可以提 高照明均勻性，從而提高對準(zhǔn)精度要求。
本發(fā)明由于釆用多光源匯集到照明面上，因此，可以提高照明面實(shí)際使 用光功率，從而提高對準(zhǔn)精度要求。由于多光源均布設(shè)置，因此可以提高對 準(zhǔn)系統(tǒng)中照明的均勻性，進(jìn)而提高對準(zhǔn)區(qū)域范圍內(nèi)的線性靈敏度，從而進(jìn)一 步提高對準(zhǔn)精度要求?？傊@種照明裝置可以實(shí)現(xiàn)較好的照明均勻性和較 大的光功率。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā) 明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可 作各種的更動(dòng)與潤飾。因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種照明裝置，包括光源，其特征在于還包括凹面反射鏡和凸面反射鏡，且所述凹面反射鏡和凸面反射鏡同軸，所述凹面反射鏡具有透光區(qū)和不透光區(qū)，所述光源至少為兩個(gè)且設(shè)于以所述光軸為中心軸的同一圓周上，所述至少兩個(gè)光源發(fā)出的光依次經(jīng)所述凹面反射鏡的不透光區(qū)和凸面反射鏡反射后的出射光分別穿越凹面反射鏡的透光區(qū)并匯聚于照明面。
2. 如權(quán)利要求1所述的照明裝置，其特征在于所述透光區(qū)位于凹面反射鏡 的中央。
3. 如權(quán)利要求2所述的照明裝置，其特征在于所述透光區(qū)為圓形。
4. 如權(quán)利要求1任意一項(xiàng)所述的照明裝置，其特征在于所述光源均布于以 光軸為中心軸的同 一 圓周上。
5. 如權(quán)利要求1所述的照明裝置，其特征在于所述光源為LD激光光源或 LED光源。
全文摘要
本發(fā)明屬光刻設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種照明裝置。這種照明裝置，包括光源，還包括凹面反射鏡和凸面反射鏡，且所述凹面反射鏡和凸面反射鏡同軸，所述凹面反射鏡具有透光區(qū)和不透光區(qū)，所述光源至少為兩個(gè)且設(shè)于以所述光軸為中心軸的同一圓周上，所述至少兩個(gè)光源發(fā)出的光依次經(jīng)所述凹面反射鏡的不透光區(qū)和凸面反射鏡反射后的出射光分別穿越凹面反射鏡的透光區(qū)并匯聚于照明面。由于采用多光源匯集到同一照明面上，因此，可以提高照明面實(shí)際使用光功率，從而提高對準(zhǔn)精度要求。由于多光源均布設(shè)置，因此可以提高對準(zhǔn)系統(tǒng)中照明的均勻性，進(jìn)而提高對準(zhǔn)區(qū)域范圍內(nèi)的線性靈敏度，從而進(jìn)一步提高對準(zhǔn)精度要求。
文檔編號(hào)F21V19/00GK101586748SQ20091004904
公開日2009年11月25日 申請日期2009年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月9日
發(fā)明者儲(chǔ)兆祥 申請人:上海微電子裝備有限公司