專(zhuān)利名稱(chēng)：：支撐結(jié)構(gòu)及其制造方法、以及使用它的顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及在用電子發(fā)射元件構(gòu)成的平面型顯示裝置中，作為真空容器的耐大氣壓手段使用的支撐結(jié)構(gòu)及其制造方法，還涉及用該支撐結(jié)構(gòu)構(gòu)成的顯示裝置。
背景技術(shù)：
：一般說(shuō)來(lái)，在將具有多個(gè)電子發(fā)射元件的作為電子源基板的第一基板和作為顯示面的第二基板間隔開(kāi)相對(duì)配置的顯示裝置中，為了獲得必要的耐大氣壓性能，將用絕緣材料構(gòu)成的支撐結(jié)構(gòu)(隔離物)夾在第一基板和第二基板之間。作為該支撐結(jié)構(gòu)的制造方法，已知一種加熱玻璃母材使其延伸，用金剛石切割器、或通過(guò)激光照射，將其切斷成規(guī)定的長(zhǎng)度的方法(日本專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)2000-251705號(hào)公報(bào))。另外，還知道通過(guò)在支撐結(jié)構(gòu)的表面上形成多個(gè)槽，能防止支撐結(jié)構(gòu)帶電。這樣，作為表面上有多個(gè)槽的支撐結(jié)構(gòu)的制造方法，已知一種加熱玻璃母材使其延伸，用金剛石切割器、或通過(guò)激光照射，將其切斷成規(guī)定的長(zhǎng)度的方法(特開(kāi)2003-229056號(hào)公報(bào))。可是應(yīng)力集中在切斷工序中在切斷面上產(chǎn)生的微小突起或豁口上，存在支撐結(jié)構(gòu)發(fā)生壓曲破壞，或者，由于電場(chǎng)集中在該突起或豁口上，容易發(fā)生表面放電的問(wèn)題。因此在特開(kāi)2000-251705號(hào)公報(bào)中，還公開(kāi)了通過(guò)對(duì)切斷后的支3撐結(jié)構(gòu)實(shí)施加熱處理或化學(xué)刻蝕處理，進(jìn)行切斷面的平滑化處理，謀求防止該支撐結(jié)構(gòu)體的壓曲破壞及表面放電的制造方法?？墒?，通過(guò)在表面上形成槽，制造能防靜電的支撐結(jié)構(gòu)的情況下，采用特開(kāi)2000-251705號(hào)公報(bào)中公開(kāi)的制造方法，由于退火或化學(xué)刻蝕，槽的形狀(深度、角度、棱部的形狀)發(fā)生變化，不能謀求所希望的防靜電。本發(fā)明在于解決上述問(wèn)題，不附加繁雜的工序，就能提供一種耐破壞強(qiáng)度高、而且表面上具有所希望的槽、謀求防靜電的支撐結(jié)構(gòu)，用該支撐結(jié)構(gòu)構(gòu)成可靠性高的顯示裝置。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的第一方面，是一種支撐結(jié)構(gòu)，在板狀的基體材料的表面上，有相對(duì)于該基體材料的縱向平行的多個(gè)槽，在該基體材料的與該縱向平行的端部上支撐著顯示裝置的構(gòu)成部件，其特征在于上述槽的端部離開(kāi)與上述基體材料的橫向平行的端部。本發(fā)明的第二方面，是一種支撐結(jié)構(gòu)，在板狀的基體材料的表面上，有相對(duì)于該基體材料的縱向平行的多個(gè)槽，在與該基體材料的該縱向平行的端部上支撐著顯示裝置的構(gòu)成部件，其特征在于在與基體材料的橫向平行的端部上，有曲率半徑比該基體材料的厚度大的彎曲部分。本發(fā)明的第三方面，是一種表面上有多條槽的板狀的支撐結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于包括對(duì)表面上有多條槽的板狀的玻璃母材進(jìn)行加熱，使其沿平行于該槽的方向延伸的工序；以及沿與該玻璃基體材料的槽正交的方向，對(duì)延伸后的玻璃基體材料照射激光，切斷該玻璃基體材料的工序，且切斷該玻璃基體材料的工序，是在使該玻璃基體材料的該激光的照射區(qū)熔融了的狀態(tài)下，將該照射區(qū)作為邊界，通過(guò)牽引該玻璃基體材料的一端，在該照射區(qū)將該玻璃基體材料切斷。本發(fā)明的第四方面，是一種顯示裝置，其特征在于具有具有電子發(fā)射元件的第一基板；具有通過(guò)照射從上述電子發(fā)射元件發(fā)射的電子而發(fā)光的發(fā)光部件和電極的第二基板；以及位于上述第一基板和笫二基板之間支撐兩個(gè)基板，且表面上具有與上述第一基板或笫二基板平行的多個(gè)槽的板狀的支撐結(jié)構(gòu)，上述槽的端部離開(kāi)上述支撐結(jié)構(gòu)的不面對(duì)上述第一基板或第二基板的端部。本發(fā)明的第五方面，是一種顯示裝置，它具有有電子發(fā)射元件的第一基板；具有通過(guò)照射從上述電子發(fā)射元件發(fā)射的電子而發(fā)光的發(fā)光部件和電極的第二基板；以及位于上述第一基板和第二基板之間支撐兩個(gè)基板，表面上有相對(duì)于上述第一基板或第二基板平行的多個(gè)槽的板狀的支撐結(jié)構(gòu)，該顯示裝置的特征在于上述支撐結(jié)構(gòu)的不面對(duì)上述第一基板或第二基板的端部上，有曲率半徑比該支撐結(jié)構(gòu)的厚度大的彎曲部分。圖1A和1B是表示本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)體的優(yōu)選實(shí)施方式的圖。圖2A和2B是表示本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)體的另一實(shí)施方式的圖。圖3A和3B是表示現(xiàn)有的支撐結(jié)構(gòu)體之一例圖。圖4A和4B是表示本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)體的另一優(yōu)選實(shí)施方式的圖。圖5A和5B是表示本發(fā)明的制造方法中的激光的照射圖形的圖。圖6是表示本發(fā)明的制造方法中的切斷工序的圖。圖7是表示本發(fā)明的制造方法中的切斷后的玻璃基板的切斷部的圖。圖8是表示本發(fā)明的顯示裝置的顯示面板的結(jié)構(gòu)的圖。圖9是支撐結(jié)構(gòu)(隔離物)的局部放大圖。具體實(shí)施例方式以下，舉出優(yōu)選實(shí)施方式說(shuō)明本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)、使用該支撐結(jié)5構(gòu)的顯示裝置、以及該支撐結(jié)構(gòu)的制造方法。圖8是表示本發(fā)明的顯示裝置的優(yōu)選實(shí)施方式的顯示面板的結(jié)構(gòu)的斜視圖，是表示將一部分結(jié)構(gòu)切去后示出的圖。如圖8所示，本例的顯示面板使作為第一基板的背面板81和作為第二基板的正面板82隔開(kāi)一定間隔相對(duì)，將平板狀的支撐結(jié)構(gòu)(以下有時(shí)也稱(chēng)為隔離物)83夾入兩者之間，同時(shí)用側(cè)壁84密封周?chē)?，使?nèi)部呈真空氣氛。形成了行方向布線85、列方向布線86、層間絕緣層(圖中未示出)及電子發(fā)射元件88的電子源基板89被固定在背面板81上。圖示的電子發(fā)射元件88是連接著在一對(duì)元件電極之間有電子發(fā)射部的導(dǎo)電性薄膜的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件。本例是配置了NxM個(gè)該表面?zhèn)鲗?dǎo)型的電子發(fā)射元件88、有呈矩陣狀配置了分別以等間隔形成的M條行方向布線85和N條列方向布線86的多電子束源的例子。另外，在本例中，行方向布線85隔著層間絕緣層(圖中未示出)位于列方向布線86上。而且掃描信號(hào)通過(guò)引出端子DxlDxm加在行方向布線85上，調(diào)制信號(hào)(圖像信號(hào))通過(guò)引出端子DylDyn加在列方向布線86上。在正面板82的下表面(與背面板81相對(duì)置的面)上，形成熒光膜90作為發(fā)光部件，另外，作為導(dǎo)電性部件的金屬背(加速電極)91設(shè)置在該熒光膜90的表面上。該金屬背91是使從電子發(fā)射元件88發(fā)射的電子加速用的，從高壓端子Hv施加高電壓，規(guī)定為比上述行方向布線85高的電位。呈平板狀的隔離物83與行方向布線85平行地安裝在行方向布線85上。該隔離物83的隔離物固定塊92被安裝在兩端，以載于行方向布線85上的狀態(tài)，被固定在電子源基板89上。由于用隔離物固定塊92固定隔離物83，所以電子的動(dòng)能小，能降低電子軌道容易受電場(chǎng)的影響的電子發(fā)射元件88附近的電場(chǎng)的干擾。另外，圖9中只示出了圖8中的隔離物。在圖9中，100是隔離物的與正面板或背面板面對(duì)的端部，101是隔離物的不與正面板或背面板面對(duì)的端部。換言之，100是隔離物的與縱向平行的端部，101是隔離物的與橫向平行的端部。另外，102是隔離物的縱向(圖8中的X方向)，103是隔離物的橫向(圖8中的Z方向)。隔離物83被夾在具有電子源基板89的背面板81和設(shè)置了熒光膜90及金屬背91的正面板82之間，上下面分別被壓焊在金屬背91和行方向布線85上。為了使顯示面板具有耐大氣壓性能，通常，等間隔地設(shè)置多個(gè)隔離物83。另外，側(cè)壁84被夾在背面板81和正面板82的邊緣部中，背面板81和側(cè)壁84的接合部、以及正面板82和側(cè)壁84的接合部，分別用玻璃料密封。圖1A及1B中，示出了本發(fā)明的第一支撐結(jié)構(gòu)、即圖8中的隔離物3的優(yōu)選實(shí)施方式。圖1A是側(cè)視圖(在圖8中，是從Y方向看到的隔離物的圖，X-Z平面圖)，1B是俯視圖(在圖8中，是從Z方向看到的隔離物的圖，X-Y平面圖。另外，本圖表示與隔離物的正面板82面對(duì)且接觸的端面)。另外，后面所述的圖2A、2B、3A、3B、4A、4B、5A及5B也是從與圖1A及1B同樣的方向看到的圖。如圖1A及1B所示，本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)呈平板狀，在表面上有平行于第一及第二基板的多條槽1,該槽1不到達(dá)端部是本發(fā)明的特征。換句話說(shuō)，槽1的端部離開(kāi)支撐結(jié)構(gòu)的不面對(duì)背面板或正面板的端部。這樣，由于槽l不到達(dá)端部，所以在耐破壞強(qiáng)度方面，能確保充分的強(qiáng)度。沒(méi)有槽1的區(qū)域的長(zhǎng)度(t)最好與支撐結(jié)構(gòu)體的厚度(T)等同或更大。其理由是因?yàn)槿绻捎煤竺嫠龅谋景l(fā)明的制造方法，則在延伸的玻璃基板的切斷工序中，沒(méi)有槽1的區(qū)域的長(zhǎng)度(t)和垂直于基板的端部的形狀有相關(guān)關(guān)系。如圖1B所示，端部的形狀最好在厚度(T)的范圍內(nèi)形成緩和的R形狀(Rn)。這時(shí)，如果至少Rn在外側(cè)呈凸的R形狀，則用本例的支撐結(jié)構(gòu)組裝顯示面板時(shí)的所謂處理(handling)時(shí)，使該端部與其他部件接觸時(shí)，該端部缺損的可能性很小。另一方面，隨著切斷工序的條件的不同，如圖2A及2B所示，沒(méi)有槽1的區(qū)域的長(zhǎng)度(t)有時(shí)小于支撐結(jié)構(gòu)的厚度(T)，在此情況下，在端部上朝外側(cè)形成凹陷的R形狀(RT2)。在這樣的形狀的情況下，在耐破壞強(qiáng)度方面由于槽1不到達(dá)端部，所以沒(méi)有問(wèn)題，但有必要注意支撐結(jié)構(gòu)的使用。這是因?yàn)槎瞬烤哂蟹聪驈澢男螤?，即呈尖狀，所以用這樣的支撐結(jié)構(gòu)組裝顯示面板時(shí)進(jìn)行處理時(shí)，該端部與其他部件接觸時(shí)該端部有可能損壞，處理時(shí)需要注意。另外，關(guān)于高度(H)方向(圖8中的Z方向)上存在的R形狀(圖1A及1B中的RH1、圖2A及2B中的RH2)，最好盡可能地呈緩和的彎曲形狀。如果對(duì)圖1A及1B中的Rm和圖2A及2B中的RH2進(jìn)行比較，則如圖2A及2B所示，端部形狀呈反向彎曲(RT2)時(shí)的Rm明顯地比圖1A及IB中的Rm的曲率小，呈尖狀。即，圖2A及2B中的端部呈處理時(shí)容易發(fā)生豁口的形狀。圖3A及3B是使用現(xiàn)有的例如玻璃劃線器等中用的金剛石切割器切斷延伸了的基板而制造的支撐結(jié)構(gòu)。這樣，與橫向平行的端部(切斷部)的形狀非常銳利，槽1的棱線清楚地到達(dá)切斷面的棱線。另外，在這樣的支撐結(jié)構(gòu)中，在切斷面的棱線上存在不少微小的裂紋(豁口或傷痕)，成為應(yīng)力集中的主要原因，不利于耐破壞強(qiáng)度。另外，處理時(shí)也成為發(fā)生豁口的原因。圖4A及4B中，示出了本發(fā)明的第二種支撐結(jié)構(gòu)的優(yōu)選實(shí)施方式。本例是在與橫向平行的端部上，通過(guò)形成曲率半徑比支撐結(jié)構(gòu)的厚度(T)大的彎曲部(RT4)，該彎曲部具有作為端部的增強(qiáng)構(gòu)件的作用，提高耐破壞強(qiáng)度。在本例的情況下，槽l即使到達(dá)與橫向平行的端部也沒(méi)關(guān)系，但在用后面所述的本發(fā)明的制造方法制造的情況下，實(shí)際上槽1不到達(dá)與橫向平行的端部。另外，為了有意地使槽l不到達(dá)與橫向平行的端部，特別是如果沒(méi)有槽1的區(qū)域的長(zhǎng)度(t)比支撐結(jié)構(gòu)體的厚度(T)大，則與圖1A及1B所示的支撐結(jié)構(gòu)相比，進(jìn)一步提高了耐破壞強(qiáng)度，所以是所希望的。另外，具有高度(H)方向的R形狀(RH4)也比圖1A及1B所示的支撐結(jié)構(gòu)大的傾向，這樣很好。另外，在將本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)裝入圖8所示的顯示裝置中的情況下，利用隔離物固定塊92固定沒(méi)有槽的區(qū)域，以便配置得對(duì)顯示區(qū)沒(méi)有影響。其次，說(shuō)明本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)的制造方法。按照規(guī)定的長(zhǎng)度，將呈平板狀、表面上有平行的多條(與支撐結(jié)構(gòu)上的槽數(shù)量相同的)槽的玻璃母材沿著平行于該槽方向加熱延伸獲得的玻璃基板切斷，能獲得本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的制造方法中，特征在于在上述切斷工序中，從與玻璃基板上的槽正交的方向照射激光，在使照射區(qū)熔融了的狀態(tài)下，通過(guò)牽引玻璃基板的一端，進(jìn)行切斷。即，在本發(fā)明的制造方法中，通過(guò)用光的方向性高的激光，局部地加熱玻璃基板，只在照射區(qū)使玻璃基板熔融，將槽埋沒(méi)，同時(shí)照射區(qū)以外能保持槽的形狀而切斷。另外，通過(guò)調(diào)節(jié)照射條件或牽引玻璃基板時(shí)的條件，能容易地形成圖1A、1B、圖4A及4B所示的端部(與橫向平行的端部)形狀。本發(fā)明中用的激光的波長(zhǎng)，只要作為切斷對(duì)象的玻璃基板能有效地吸收激光，則哪個(gè)范圍都可以。例如能舉出波長(zhǎng)為10.6微米的C02(二氧化碳)激光、或波長(zhǎng)為1.06微米的YAG激光，特別是玻璃對(duì)C02激光的吸收率高，所以C02激光好。另外，有必要根據(jù)玻璃基板的形態(tài)(材質(zhì)、厚度、寬度)等，選擇激光的輸出功率和頻率。如果激光的功率過(guò)大，則照射區(qū)的溫度上升過(guò)快，切斷部上產(chǎn)生裂紋，引起玻璃基板燃燒、蒸發(fā)、飛散等，往往造成周邊污染。為了避免這樣的不良現(xiàn)象的發(fā)生，如果減小振蕩頻率，則照射區(qū)的時(shí)間性的(斷續(xù)的)溫度變化增大，有時(shí)會(huì)發(fā)生裂紋。因此，盡可能將激光頻率設(shè)定得高一些，照射片刻，緩和時(shí)間性的溫度變化。另外如后面所述，在能切斷玻璃基板的范圍內(nèi)設(shè)定功率。如本發(fā)明所述，在將激光照射在加熱延伸了的玻璃基板上的情況下，為了在不發(fā)生、飛揚(yáng)或飛散不需要的熔融物的狀態(tài)下進(jìn)行切斷，有必要將對(duì)應(yīng)于高度(H)方向盡可能均勻的激光照射在對(duì)應(yīng)于延伸方向盡可能狹窄的區(qū)域上。具體地說(shuō)，考慮將激光聚焦成從數(shù)微米至數(shù)十微米的點(diǎn)狀，沿高9度方向進(jìn)行掃描的方法；或通過(guò)掩模形成照射區(qū)等方法。可是，在前一種情況下，通過(guò)用點(diǎn)光進(jìn)行掃描，切斷部的時(shí)間性的溫度變化大，多半在玻璃基板上產(chǎn)生裂紋。另外，為了避免這種情況，雖然也可以考慮提高掃描速度，但在機(jī)械性地使反射鏡振動(dòng)進(jìn)行掃描的方式中，掃描速度有極限。另外，在后一種情況下，C02或YAG激光的波長(zhǎng)長(zhǎng)，對(duì)應(yīng)于掩蔽的圖形精度不好(圖形的邊界模糊)，而且掩模的磨損厲害(能有效地反射或吸收激光的掩模材料少)，所以很難說(shuō)是最佳方法。圖5A及5B中示出了最好的方式。圖中，ll是延伸了的玻璃基板，12是激光的照射圖形。如圖5A及5B所示，通過(guò)圓柱狀透鏡將激光本身聚焦成細(xì)長(zhǎng)的圖形12，這樣進(jìn)行照射使照射圖形12的長(zhǎng)度方向(W)成為支撐結(jié)構(gòu)體的高度(H)方向。而且，通過(guò)從玻璃基板11的兩面同時(shí)照射，能效率更高地加熱玻璃基板11的厚度(T)方向。在此情況下，有必要使兩面的照射圖形12的位置充分地一致。如圖5A及5B所示，在照射激光，使玻璃基板11的照射區(qū)熔融的狀態(tài)下，如圖6所示，通過(guò)以激光的照射圖形12為中心(界線)，將一側(cè)13固定，牽引另一側(cè)14,能獲得圖7所示的切斷形狀。然后，將固定的一側(cè)作為產(chǎn)品，將牽引了的一側(cè)14廢棄。使玻璃基板ll熔融后，牽引另一側(cè)14時(shí)，最好在熔融物隨著玻璃基板的另一側(cè)14移動(dòng)的期間繼續(xù)照射激光。在熔融物被牽引的過(guò)程中，如果停止照射激光，則熔融物的溫度急劇下降(散熱)，所以會(huì)在牽引的(拉絲的)狀態(tài)下直接硬化。不能將一側(cè)13的端部加工成所希望的形狀。圖2A及2B所示的反向彎曲形狀示出了在與其類(lèi)似的狀態(tài)下切斷了的情況。另外，將激光的照射時(shí)間設(shè)定得長(zhǎng)一些，提高熔融溫度(熔融面積也隨著時(shí)間的推移而擴(kuò)展)，熔融部的體積增大。因此牽引另一側(cè)14時(shí)，熔融物殘留在一側(cè)13上，能獲得圖4A及4B所示的彎曲部的直徑大的切斷部。[實(shí)施例10(實(shí)施例1)如圖5A及5B所示，對(duì)通過(guò)加熱延伸加工獲得的玻璃基板(材質(zhì)無(wú)堿玻璃，高度(H):1.6mm,厚度(T):0.195mm，槽深度8微米，槽數(shù)40條，槽寬15微米，槽間距30微米)，從兩側(cè)進(jìn)行3秒鐘的激光照射，激光照射圖形為長(zhǎng)度方向(W):6mm，寬(L):1.5mm。激光振蕩器使用輸出功率為10W的COr激光器('〉》，少卜，公司型號(hào)48-lW)。用光束擴(kuò)展器將2mmcp的激光擴(kuò)展為6mmq),為了照射在玻璃基板的兩面上，用分光器將光路分成兩路，各光路將玻璃基板夾在中間相對(duì)配置。而且通過(guò)用焦距為2.5英寸的圓柱狀透鏡聚焦在玻璃基板的前面，將上述尺寸的照射圖形照射在玻璃基板的兩面上。激光輸出條件為頻率為5kHz，功率為7.0W(脈沖的占空因數(shù)設(shè)定為30%)。另外，牽引條件為從照射激光開(kāi)始2.0秒鐘后開(kāi)始牽引，牽引速度為7mm/sec。牽引距離為10mm。按照這樣的條件將玻璃基板切斷，結(jié)果，切斷部呈圖1A及1B所示的形狀，沒(méi)有槽的區(qū)域的長(zhǎng)度(t)為0.2mm，Rn呈向外側(cè)凸起的圓滑的R形狀。關(guān)于本例中切斷后獲得的支撐結(jié)構(gòu)和用現(xiàn)有的方法獲得的支撐結(jié)構(gòu)，分別進(jìn)行了32個(gè)彎曲試驗(yàn)，并進(jìn)行了耐破壞強(qiáng)度的驗(yàn)證。將其結(jié)果示于表l中。表中的"切片(夕4廿-)"是通過(guò)用金剛石砂輪等工具切斷玻璃或硅晶片等的現(xiàn)有的方式，將玻璃基板切斷獲得的支撐結(jié)構(gòu)。該支撐結(jié)構(gòu)的切斷面的形狀近似于圖3A及3B所示的形狀，但切斷面總體呈皺面，所以存在無(wú)數(shù)微小的裂紋。彎曲試驗(yàn)方法，是采用日本島津制作所制作的牽引壓縮試驗(yàn)機(jī)AGS-20KNG，以0.05mm/min大小的速度進(jìn)行了壓縮。對(duì)試驗(yàn)片進(jìn)行壓縮的壓塊使用玻璃塊。而且，彎曲試驗(yàn)中使用的隔離物的長(zhǎng)度為40mm。由表1可知，本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)與用現(xiàn)有的制造方法制造的支撐結(jié)構(gòu)相比，彎曲強(qiáng)度高出近1.5倍，耐破壞強(qiáng)度優(yōu)異。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>(實(shí)施例2)除了激光功率為5.2W以外，其他與實(shí)施例l相同，將玻璃基板切斷。其結(jié)果，切斷部如圖2A及2B所示，Rt2呈反向彎曲形狀。(實(shí)施例3)除了激光功率為8.6W以外，其他與實(shí)施例l相同，將玻璃基板切斷。其結(jié)果，切斷部的形狀為對(duì)于厚度0.195mm，Rt4的曲率半徑為0.22mm，呈更大的彎曲形狀。[發(fā)明的效果本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)由于表面上有槽，所以能控制帶電性，而且，該槽不到達(dá)端部，所以由該槽的凹凸引起的應(yīng)力集中被緩和，壓縮強(qiáng)度和彎曲強(qiáng)度優(yōu)異。另外，本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)由于表面上有槽，所以能控制帶電性，而且，端部具有其曲率半徑比該支撐結(jié)構(gòu)的厚度大的彎曲部，所以該彎曲部具有作為支撐結(jié)構(gòu)的增強(qiáng)部件的作用，壓縮強(qiáng)度和彎曲強(qiáng)度優(yōu)異。另外，如果采用本發(fā)明的制造方法，則不增加復(fù)雜的工序，就能制造具有所希望的形狀的槽的支撐結(jié)構(gòu)。在本發(fā)明的顯示裝置中，由于使用本發(fā)明的支撐結(jié)構(gòu)，所以能很好地控制所發(fā)射的電子引起的支撐結(jié)構(gòu)的帶電，而且，該支撐結(jié)構(gòu)本12身的強(qiáng)度也好，所以在高質(zhì)量的顯示中能獲得很高的可靠性。因此，如果采用本發(fā)明，則不會(huì)導(dǎo)致制造成本的大幅度上升，能提供比以往強(qiáng)度優(yōu)異的支撐結(jié)構(gòu)。另外，采用該支撐結(jié)構(gòu)，能提供高質(zhì)量顯示時(shí)可靠性高的顯示裝置。權(quán)利要求1、一種顯示裝置，其特征在于具有具有電子發(fā)射元件的第一基板；具有通過(guò)照射從上述電子發(fā)射元件發(fā)射的電子而發(fā)光的發(fā)光部件和電極的第二基板；以及位于上述第一基板和第二基板之間并支撐兩個(gè)基板，且表面上具有與上述第一基板或第二基板平行的多個(gè)槽的板狀的支撐結(jié)構(gòu)，上述槽的端部離上述支撐結(jié)構(gòu)的不面對(duì)上述第一基板或第二基板的端部的距離不小于上述支撐結(jié)構(gòu)的厚度。2、一種支撐結(jié)構(gòu)，該支撐結(jié)構(gòu)具有板狀的基體材料，在該板狀的基體材料的表面上具有與該基體材料的縱向平行的多個(gè)槽，且在與該基體材料的該縱向平行的端部上支撐顯示裝置的構(gòu)成部件，該支撐結(jié)構(gòu)的特征在于上述槽的端部離與上述基體材料的橫向平行的上述基體材料的端部的距離不小于上述支撐結(jié)構(gòu)的厚度。3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于在與上述基體材料的橫向平行的上述基體材料的端部上，具有曲率半徑比該基體材料的厚度大的彎曲部分。4、一種支撐結(jié)構(gòu)的制造方法，該支撐結(jié)構(gòu)是在表面上具有多條槽的板狀的支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于包括對(duì)表面上具有多條槽的板狀的玻璃母材進(jìn)行加熱，使其沿平行于該槽的方向延伸的工序；以及對(duì)延伸后的玻璃基體材料從與該玻璃基體材料的槽正交的方向照射激光，切斷該玻璃基體材料的工序，且切斷該玻璃基體材料的工序，是在使該玻璃基體材料的被該激光照射的照射區(qū)熔融了的狀態(tài)下，將該照射區(qū)作為邊界，通過(guò)牽引該玻璃基體材料的一端，在該照射區(qū)將該玻璃基體材料切斷。全文摘要提供一種支撐結(jié)構(gòu)及其制造方法、以及使用它的顯示裝置，可用簡(jiǎn)單的方法提供耐破壞強(qiáng)度優(yōu)異、表面上具有防靜電用的多條槽的支撐結(jié)構(gòu)。將激光照射在沿著平行于該槽的方向?qū)Ρ砻嫔嫌卸鄺l槽的玻璃母材進(jìn)行加熱并延伸而獲得的玻璃基板上，在照射區(qū)熔融了的狀態(tài)下，以該照射區(qū)為中心，通過(guò)牽引玻璃基板的一側(cè)，在固定側(cè)的玻璃基板的切斷面上槽不到達(dá)端部，形成良好的R形狀。文檔編號(hào)H01J31/12GK101447386SQ20081018495公開(kāi)日2009年6月3日申請(qǐng)日期2005年8月4日優(yōu)先權(quán)日2004年8月4日發(fā)明者松尾雄二申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社