專利名稱：光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，特別是關(guān)于一種憑 借一殼罩上的至少一安裝孔，以便進(jìn)行該殼罩與至少一卡扣組件的組裝 或拆卸作業(yè)的卡扣結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
如圖1所示，現(xiàn)有光罩放置裝置包含一殼罩11、數(shù)個卡扣組件l2及一底座13。該殼罩11內(nèi)部相對的兩側(cè)設(shè)置數(shù)個固定柱lll,各固定柱111 的底端分別設(shè)有螺孔(未繪示)。各卡扣組件12分別對應(yīng)各固定柱111 而配置于該殼罩11的內(nèi)部，且各卡扣組件12的底部亦分別結(jié)合二定位 板121,以便憑借數(shù)個螺固元件122由下往上依序穿設(shè)各定位板121及各 卡扣組件12后對應(yīng)螺接各該固定柱111的螺孔，使各卡扣組件12可樞 接結(jié)合于該殼罩11的內(nèi)部。該底座13對應(yīng)各該卡扣組件12設(shè)有數(shù)個定 位槽131,當(dāng)一光罩14置放于該底座13上時，可將該殼罩ll覆蓋在該 底座13上，以便各卡扣組件12對應(yīng)卡接各定位槽131，使該殼罩ll及 該底座13可相互結(jié)合固定，令該光罩14穩(wěn)固的置放于該光罩放置裝置 內(nèi)部。請?jiān)賲㈤唸Di,當(dāng)欲自該光罩放置裝置內(nèi)部取出該光罩14時，可利 用一工作機(jī)臺15致動各該卡扣組件12脫離卡扣狀態(tài)，該工作機(jī)臺15內(nèi) 側(cè)具有可橫向往覆作動的數(shù)個機(jī)械手臂(未繪示)，各該機(jī)械手臂分別設(shè) 有定位銷(未繪示)。當(dāng)該光罩放置裝置置放于該工作機(jī)臺15的預(yù)定位 置時，各該機(jī)械手臂的定位銷可分別對位伸入各該卡扣組件12的一定位 孔(未繪示)，并利用各該機(jī)械手臂橫向作動以控制各該卡扣組件12樞 轉(zhuǎn)脫離該底座13的各定位槽131。借此，該底座13即可與該殼罩11分 離，以便自該底座13取出該光罩14,進(jìn)而可進(jìn)行后續(xù)晶片制程作業(yè)。
一般而言，現(xiàn)有光罩放置裝置于實(shí)際使用時仍具有下列缺點(diǎn)，例如 該光罩放置裝置主要是利用殼罩11的固定柱111、各卡扣組件12、各定 位板121及各螺固元件122構(gòu)成一現(xiàn)有光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，以憑 借該卡扣結(jié)構(gòu)將各該卡扣組件12樞接結(jié)合于該殼罩11的內(nèi)部。然而， 假使前述機(jī)械手臂于橫向作動的過程中發(fā)生故障情形時，容易造成該光 罩放置裝置無法自該工作機(jī)臺15取下，以及該殼罩11無法脫離該底座 13的困境。由于現(xiàn)有光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)無法直接由該殼罩11的外 部以工具拆卸該卡扣組件12，故當(dāng)欲自該光罩放置裝置中取出該光罩14 時，工作人員必須經(jīng)由拆卸該工作機(jī)臺15方可取下該光罩放置裝置，以 便進(jìn)一步拆離該殼罩11及該底座13后取出該光罩14。惟該工作機(jī)臺15 的拆裝作業(yè)過程中，仍會耗費(fèi)相當(dāng)多的人力資源及時間成本，且亦會造 成后續(xù)晶片制程的拖延，使得整體晶片制程的經(jīng)濟(jì)效益大幅降低。基于 上述原因，有必要進(jìn)一步改良上述現(xiàn)有光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)。.有鑒于此，本實(shí)用新型改良上述現(xiàn)有光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)的缺 點(diǎn)，其憑借一殼罩的至少一安裝孔，以便至少一螺固元件可經(jīng)由該安裝 孔組裝至少一卡扣組件。當(dāng)一工作機(jī)臺欲取出具有前述卡扣結(jié)構(gòu)的光罩 放置裝置內(nèi)的光罩時，假使該工作機(jī)臺作動過程中發(fā)生故障情形，仍可 自該殼罩外部以工具直接透過各該安裝孔拆卸該卡扣組件，以便進(jìn)一步 拆離該殼罩后取出該光罩，因此能確保后續(xù)晶片制程可順利進(jìn)行，以提 升整體晶片制程的效率。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的是提供一種光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其憑借 一殼罩的至少一安裝孔，以供至少一螺固元件穿設(shè)后組裝至少一卡扣組 件，使其相對亦可自該殼罩外部直接拆離該卡扣組件，使得本實(shí)用新型 具有提升拆裝便利性的功效。 本實(shí)用新型的次要目的是提供一種光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其憑 借該卡扣組件分別設(shè)有一扣接片及一復(fù)位彈簧，以便該殼罩可穩(wěn)固卡接一底座的至少一定位槽，使得本實(shí)用新型具有提升卡扣效果的功效。根據(jù)本實(shí)用新型的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其包含一殼罩、至少一 卡扣組件、至少一定位板及至少一螺固元件。該卡扣組件樞接結(jié)合于該 殼罩內(nèi)部，該定位板結(jié)合于該卡扣組件的底部，該殼罩對應(yīng)該卡扣組件 設(shè)有至少一安裝孔，該安裝孔自該殼罩的上表面貫穿至內(nèi)部，以供該螺 固元件依序穿設(shè)該安裝孔及卡扣組件后螺固該定位板。借此，可方便進(jìn) 行該殼罩及該卡扣組件的拆卸及組裝作業(yè)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是其憑借一殼罩的至少一安裝孔，以便至少一螺 固元件可經(jīng)由該安裝孔組裝至少一卡扣組件。當(dāng)一工作機(jī)臺欲取出具有前述 卡扣結(jié)構(gòu)的光罩放置裝置內(nèi)的光罩時，假使該工作機(jī)臺作動過程中發(fā)生故障 情形，仍可自該殼罩外部以工具直接透過各該安裝孔拆卸該卡扣組件，以便 進(jìn)一步拆離該殼罩后取出該光罩，因此能確保后續(xù)晶片制程可順利進(jìn)行，以 提升整體晶片制程的效率。


圖式簡單說明圖l:現(xiàn)有光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)的分解立體圖。 圖2:本實(shí)用新型較佳實(shí)施例光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)的分解立體圖。 圖3:本實(shí)用新型較佳實(shí)施例光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)用于光罩放置裝置時的分解立體圖。圖4:本實(shí)用新型較佳實(shí)施例光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)的仰視示意圖。 圖5:本實(shí)用新型較佳實(shí)施例光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)用于光罩放置裝置且置放于工作機(jī)臺時的組合立體圖。圖6:本實(shí)用新型較佳實(shí)施例光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)于進(jìn)行拆卸前
的使用狀態(tài)示意圖。圖7:本實(shí)用新型較佳實(shí)施例光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)于進(jìn)行拆卸后 的使用狀態(tài)示意圖。主要元件符號說明11士玄 冗卓111固定柱12卡扣組件121定位板122螺固元件13底座131定位槽14光罩15工作機(jī)臺2士 s 冗罩21安裝孔22缺口23樞接柱3卡扣組件1扣接片311套筒部312卡掣塊313定位孔314抵接部32復(fù)位彈簧4定位板41凸柱42螺孔螺固元件6內(nèi)罩7底座71定位槽8光罩9工作機(jī)臺具體實(shí)施方式
為讓本實(shí)用新型的上述及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，特舉本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下請參照圖2,本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)是包 含一殼罩2、至少一^^扣組件3、至少一定位板4及至少一螺固元件5。 該殼罩2設(shè)有至少一安裝孔21及至少一缺口 22,該安裝孔21自該殼罩 2的上表面貫穿至其內(nèi)部，且該安裝孔21優(yōu)選設(shè)置在該殼罩2的角隅位 置，該缺口 22設(shè)置于該殼罩2的側(cè)邊，以便該卡扣組件3于該殼罩2內(nèi) 部樞轉(zhuǎn)活動。該卡扣組件3對應(yīng)該安裝孔21設(shè)置于該殼罩2的內(nèi)部，該 定位板4用以抵接該卡扣組件3,該螺固元件5可依序穿設(shè)該安裝孔21 及該卡扣組件3后螺固該定位板4,使該卡扣組件3可樞接結(jié)合于該殼罩2的內(nèi)部。借此，可直接于該殼罩2外部經(jīng)由該安裝孔21旋緊或松開該 螺固元件5，以便進(jìn)行該卡扣組件3的拆卸及組裝作業(yè)。請參照圖2及圖3，本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的卡扣組件3設(shè)有一扣接 片31及一復(fù)位彈簧32。該扣接件31的一端形成一套筒部311，另一端 形成一卡掣塊312，該卡掣塊312設(shè)有自頂面貫穿至底面的一定位孔313。 又，該扣接件31的一側(cè)形成一抵接部314,該4氏接部314位于該套筒部 311及卡掣塊312之間，以供該復(fù)位彈簧32的一端抵接。該復(fù)位彈簧32 優(yōu)選為 一扭力彈簧或其他具有相同功能的彈性元件，用以提供該扣接件 31的樞轉(zhuǎn)復(fù)位功能。另外，該定位板4設(shè)有一凸柱41及一螺孔42。該 凸柱41可供結(jié)合該復(fù)位彈簧32,該螺孔42是在該螺固元件5依序穿設(shè) 該安裝孔21及該套筒部311后供其螺固用的。請參照圖2至圖4，當(dāng)組裝本實(shí)用新型光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)時， 該扣接片31的套筒部311可對應(yīng)該安裝孔21而樞接于該殼罩2的內(nèi)部， 且該扣接片31的卡掣塊312位于該殼罩2的缺口 22內(nèi)側(cè)位置，以便該 扣接片31可于該殼罩2內(nèi)部樞轉(zhuǎn)活動。前述扣接片31的樞接方式，其 較佳可如圖3所示，在該殼罩2內(nèi)側(cè)對應(yīng)該安裝孔21設(shè)有樞接柱23，以 供樞接該扣接片31的套筒部311,且該安裝孔21是貫穿該樞接柱23; 或是該樞接柱23亦可設(shè)置于該定位板4上(未繪示)，該螺孔42則設(shè)置 于該樞接柱23的端面；又或是該套筒部311亦可直接以該螺固元件5作 為樞轉(zhuǎn)軸心。當(dāng)該扣接片31樞接于該殼罩2的內(nèi)部時，該復(fù)位彈簧32 是結(jié)合該定位板4的凸柱41，該定位板4則結(jié)合于該扣接件31的底部， 使該復(fù)位彈簧32的一端可抵接該扣接件31的抵接部314,另一端則抵接 該殼罩2的內(nèi)側(cè)壁面。借此，該螺固元件5可依序穿設(shè)該安裝孔21及套 筒部311后螺固該定位板4的螺孔42，以便將該卡扣組件3樞接結(jié)合于 該殼罩2內(nèi)部?！≌垍⒄請D3至7，當(dāng)使用本實(shí)用新型光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)時，該 殼罩2可搭配一內(nèi)罩6及一底座7組成一光罩放置裝置，該內(nèi)罩6是結(jié) 合于該殼罩2的內(nèi)側(cè)，該底座7可供置放一光罩8，且該底座7對應(yīng)該卡 扣組件3設(shè)有至少一定位槽71。當(dāng)該殼罩2覆蓋該底座7時，該扣接片 31的卡掣塊312對應(yīng)卡接該定位槽71,使該殼罩2及該底座7可相互結(jié) 合固定，以便將該光罩8收藏置放于該光罩放置裝置內(nèi)。另外，如圖5 所示，當(dāng)欲取出該光罩8時，可事先將該光罩放置裝置置放于一工作機(jī) 臺9上，使該工作機(jī)臺9內(nèi)側(cè)機(jī)械手臂(未繪示)的定位銷(未繪示) 對位伸入該扣接件31的定位孔313中，并利用該機(jī)械手臂的橫向作動以 控制該扣接件31的卡掣塊312樞轉(zhuǎn)脫離該底座7的定位槽71,同時亦使 得該復(fù)位彈簧32產(chǎn)生形變。借此，該底座7即可與該殼罩2分離，以便 自該底座7取出該光罩8，進(jìn)而可進(jìn)行后續(xù)晶片制程作業(yè)。請參閱圖6及圖7，當(dāng)憑借該工作機(jī)臺9的機(jī)械手臂分離該底座7與 該殼罩2的過程中發(fā)生故障時，工作人員可自該殼罩2的外部直接利用 一工具(未繪示)伸入該安裝孔21中，以快速旋松取出該螺固元件5。 借此，該卡扣組件3及該定位板4可與該殼罩2脫離組裝狀態(tài)，以便工 作人員可依序?qū)⒃摎ふ?、卡扣組件3及定位板4與該底座7相互分離， 進(jìn)而可直接取出該光罩8進(jìn)行后續(xù)晶片制程作業(yè)。如上所述，相較圖1的現(xiàn)有光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)無法直接于該殼 罩11外部拆卸該卡扣組件12，當(dāng)該工作機(jī)臺15故障時，工作人員必須 憑借拆卸該工作機(jī)臺15等繁瑣步驟方可取出該光罩14，故具有造成后續(xù) 晶片制程拖延等缺點(diǎn)。本實(shí)用新型是憑借該殼罩2的安裝孔21設(shè)計(jì)，可 供工作人員直接經(jīng)由該安裝孔21拆卸該螺固元件5，以便將該殼罩2拆 離該卡扣組件3及該定位板4，進(jìn)而可快速取出該光罩8進(jìn)行后續(xù)晶片制 程，其整體拆裝作業(yè)具有迅速簡易等特點(diǎn)，而可避免造成后續(xù)晶片制程　 的拖延，以有效提升晶片制程的經(jīng)濟(jì)效益。再者，利用該卡扣組件12的 設(shè)計(jì)，亦兼可使該殼罩2穩(wěn)固的卡接結(jié)合該底座7，以提供更佳的固定功能。
權(quán)利要求1、一種光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其包含一個殼罩、至少一個卡扣組件、至少一個定位板及至少一個螺固元件，該卡扣組件樞接結(jié)合于該殼罩內(nèi)部，該定位板結(jié)合于該卡扣組件的底部，其特征在于該殼罩對應(yīng)該卡扣組件設(shè)有至少一個安裝孔，該安裝孔自該殼罩的上表面貫穿至內(nèi)部，該螺固元件依序穿設(shè)于該安裝孔及卡扣組件螺固該定位板。
2、 如權(quán)利要求l所述的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該卡 扣組件設(shè)有一個扣接片及一個復(fù)位彈簧，該扣接件的一端形成一個套筒 部，另一端形成一個卡掣塊，該卡掣塊設(shè)有一個定位孔，該定位板設(shè)有 一個凸柱以供結(jié)合該復(fù)位彈簧，該復(fù)位彈簧的一端抵接該扣接件，另一 端抵接該殼罩的內(nèi)側(cè)壁面。
3、 如權(quán)利要求2所述的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該扣 接件的 一 側(cè)形成 一 個供該復(fù)位彈簧的 一端抵接的抵接部。
4、 如權(quán)利要求3所述的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該殼 罩內(nèi)側(cè)對應(yīng)該安裝孔設(shè)有至少一個樞接柱，所述的樞接柱樞接該扣接片 的套筒部，所述的安裝孔貫穿該樞接柱。
5、 如權(quán)利要求l、 2、 3或4所述的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其特征 在于，該定位板設(shè)有 一個供該螺固元件螺接的螺孔。
6、 如權(quán)利要求l、 2、 3或4所述的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該殼罩的側(cè)邊設(shè)有至少一個缺口。
7、 如權(quán)利要求5所述的光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該殼 罩的側(cè)邊設(shè)有至少一個缺口 。
專利摘要一種光罩放置裝置的卡扣結(jié)構(gòu)，其包含一殼罩、至少一卡扣組件、至少一定位板及至少一螺固元件。該卡扣組件樞接結(jié)合于該殼罩內(nèi)部，該定位板結(jié)合于該卡扣組件的底部，該殼罩對應(yīng)該卡扣組件設(shè)有至少一安裝孔，該安裝孔自該殼罩的上表面貫穿至內(nèi)部，以供該螺固元件依序穿設(shè)該安裝孔及卡扣組件后螺固該定位板。借此，可方便進(jìn)行該殼罩及該卡扣組件的拆卸及組裝作業(yè)。
文檔編號F21V17/16GK201053635SQ20072014089
公開日2008年4月30日 申請日期2007年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年3月27日
發(fā)明者廖莉雯, 蔡銘貴, 陳俐殷 申請人:億尚精密工業(yè)股份有限公司