專利名稱：利用噴砂形成等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制造在顯示區(qū)域內(nèi)具有間隔壁的等離子體顯示面板(Plasma Display PanelPDP)用的間隔壁的形成方法，利用噴砂法形成間隔壁。
背景技術(shù)：
用于彩色顯示的面放電型PDP，具有防止相鄰的單元之間的放電干擾用的間隔壁。對(duì)于間隔壁的配置圖形，有將顯示區(qū)域劃分成矩陣顯示列(column)的帶狀圖形，劃分成單元的網(wǎng)格圖形。在采用帶狀圖形的情況下，將平面視圖中帶狀的間隔壁配置在顯示區(qū)域。在采用網(wǎng)格狀圖形的情況下，將具有分別包圍全部單元的平面視圖形狀的間隔壁(所謂ポツクスリプ)配置在顯示區(qū)域內(nèi)。
一般地，間隔壁是低熔點(diǎn)的玻璃燒結(jié)體，用噴砂法形成。圖12表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁的形成方法。在該圖中的間隔壁圖形是帶狀圖形。間隔壁按以下步驟形成。(A)在玻璃基板101涂布均勻厚度的低熔點(diǎn)玻璃糊劑使之干燥，用作為掩模材料的感光性抗蝕劑膜103a被覆由干燥的糊劑構(gòu)成的層狀的間隔壁材料102a。(B)利用包括圖形曝光和顯影的光刻法，形成對(duì)應(yīng)于間隔壁的圖形的掩模103。(C)噴射切削材料切削掉間隔壁材料102a所沒有掩模的部分。這時(shí)，沿著掩模圖形中多個(gè)帶的長(zhǎng)度方向使噴射噴嘴往復(fù)移動(dòng)，均勻地一點(diǎn)一點(diǎn)地挖掉很寬的范圍內(nèi)的間隔壁材料102a。(D)除去已形成圖形的間隔壁材料102b上殘留的掩模103。(E)通過燒結(jié)間隔壁材料102b獲得間隔壁112。在燒結(jié)過程中，伴隨著粘結(jié)劑的消失，間隔壁材料102b的體積減少。
如圖12(C)所示，在噴砂過程中，在掩模103的噴嘴移動(dòng)方向的端部，間隔壁材料102b被向掩模103的下方挖入產(chǎn)生側(cè)面切削。這是因?yàn)?，從噴嘴噴射出來的切削材料的一部分在玻璃基?01上反射，并且，通過與噴嘴中出來的切削材料碰撞，具有與噴嘴移動(dòng)方向平行的移動(dòng)成分，具有這種成分的切削材料挖掘間隔壁的端部。切削速度越高，側(cè)面切削的量越大?？梢哉J(rèn)為，其原因是，在單位時(shí)間內(nèi)切削材料的噴出量增大的情況下，上述成分的比例增加。下面，將引起側(cè)面切削的上述成分稱之為噴流。這種側(cè)面切削，會(huì)引起作為圖形成形不良的原因的切削過程中的掩模的剝離。此外，側(cè)面切削妨礙形成均勻高度的間隔壁112。如圖12(D)所示，當(dāng)燒結(jié)端面彎曲的間隔壁材料102b時(shí)，如圖12(E)所示，間隔壁112的端部比其它部分高。具體地說，在高度的設(shè)計(jì)值為140μm的間隔壁中，在燒結(jié)前約具有200μm的高度，通過燒結(jié)，高度約減少到70％，同時(shí)，端部比其它部分高出約30μm。這種現(xiàn)象稱之為“上沖”，這是由于其底部貼緊在玻璃基板101上，其收縮受到約束，與此相對(duì)的，其頂部是自由的造成的。上沖在將具有間隔壁112的基板和其它基板重疊組裝成PDP時(shí)，會(huì)使基板彼此之間不能完全貼緊。在本應(yīng)貼緊的面之間有間隙的PDP中，隨著外加用于顯示的高頻驅(qū)動(dòng)電壓造成的靜電吸引，基板會(huì)局部地振動(dòng)。由此，產(chǎn)生微小的動(dòng)作噪音(蜂鳴音)。通過對(duì)面板各部分的上沖量的相關(guān)研究發(fā)現(xiàn)，這種現(xiàn)象，通過將上沖量降低到目前的1/2、即16μm以下，從制造偏差的角度考慮，優(yōu)選地降低到12μm以下，可以防止這種現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，形成一種不會(huì)產(chǎn)生妨礙基板彼此之間貼緊的突起的、在顯示區(qū)域形成一種圖形和高度符合設(shè)計(jì)要求的間隔壁。
根據(jù)發(fā)明的間隔壁的形成方法，在通過部分地將切削材料噴射到形成掩模的間隔壁材料上形成圖形時(shí)，以在顯示區(qū)域的外側(cè)形成與顯示區(qū)域中的間隔壁(主間隔壁)連接的副間隔壁的方式將間隔壁材料掩蔽，借此，使得在顯示區(qū)域的外側(cè)產(chǎn)生側(cè)面切削，并且，通過將副間隔壁制成網(wǎng)格狀圖形將易于側(cè)面切削的部位處在很寬的范圍內(nèi)，降低側(cè)面切削的深度。如果側(cè)面切削是輕微的話，則難于引起剝離，并且在燒結(jié)時(shí)幾乎沒有上沖。
此外，在更優(yōu)選的實(shí)施形式中，在以在副間隔壁的外側(cè)形成進(jìn)一步降低副間隔壁的側(cè)面切削的輔助間隔壁的方式，將間隔壁材料掩蔽。當(dāng)使輔助間隔壁的端緣從顯示區(qū)域中突出時(shí)，在切削時(shí)保護(hù)副間隔壁的效果大。對(duì)于輔助間隔壁，為了不產(chǎn)生對(duì)基板貼緊的障礙，防止其上沖。作為防止這種上沖的對(duì)策，將輔助間隔壁圖形制成環(huán)形圖形。如果是環(huán)形的話，可以緩和熱收縮的應(yīng)力集中，不容易引起上沖。作為另外的防止對(duì)策，使圖形的尺寸在一定值以下。具體地說，在240μm以下。在燒結(jié)厚度200μm的間隔壁材料形成140μm的間隔壁的情況下，如果側(cè)面切削的深度方向的圖形尺寸在240μm以下話，即使側(cè)面切削深度為50μm，上沖也是極小的。在同時(shí)形成多個(gè)PDP的間隔壁的情況下，由于在基板的中央部與端部相比，切削材料的逃避很少，容易進(jìn)行側(cè)面切削，所以，優(yōu)選地，至少在相鄰的顯示區(qū)域之間設(shè)置輔助間隔壁。對(duì)于根據(jù)本發(fā)明的間隔壁的形成方法的其它各種結(jié)構(gòu)，下面參照附圖進(jìn)行描述。


圖1是用于實(shí)施本發(fā)明的噴砂裝置的簡(jiǎn)圖。
圖2是表示第一種實(shí)施形式的掩模圖形的平面圖。
圖3是表示掩模圖形的帶寬和上沖量的關(guān)系的圖示。
圖4是表示第二種實(shí)施形式的掩模圖形的平面圖。
圖5是表示第二種實(shí)施形式的掩模圖形的部分放大圖。
圖6(A)是副掩模圖形的第一種變型例的圖示。
圖6(B)是副掩模圖形的第二種變型例的圖示。
圖6(C)是副掩模圖形的第三種變型例的圖示。
圖7是表示副掩模的拐角部的形狀與上沖量的關(guān)系的圖示。
圖8是表示輔助掩模圖形的第一種變型例的圖示。
圖9是表示輔助掩模圖形的第二種變型例的圖示。
圖10是表示輔助掩模圖形的第三種變型例的圖示。
圖11是表示第三種實(shí)施形式的掩模圖形的平面圖。
圖12(A)是表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁形成的第一階段的圖示。
圖12(B)是表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁形成的第一階段的圖示。
圖12(C)是表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁形成的第一階段的圖示。
圖12(D)是表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁形成的第一階段的圖示。
圖12(E)是表示現(xiàn)有技術(shù)的間隔壁形成的第一階段的圖示。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖更詳細(xì)地對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明。
圖1是用于本發(fā)明的實(shí)施的噴砂裝置的簡(jiǎn)圖。噴砂裝置90包括傳送帶91，四個(gè)噴嘴(也稱之為噴槍)92、93、94、95，流量控制塊96，過濾器97，以及旋流器98。傳送帶91緩慢地將運(yùn)入加工室的工件從圖左向圖右移動(dòng)。噴嘴92、93、94、95沿與工件的搬運(yùn)方向垂直的方向往復(fù)移動(dòng)。流量控制塊96將切削材料混合到壓縮空氣中，送往噴嘴92、93、94、95。切削材料從噴嘴92、93、94、95的尖端噴出切削工件。飛散的切削材料和切屑一起被回收，并被送往過濾器97。過濾器97起著將比切削材料大的切屑清除的作用。旋流器98將通過過濾器97的切削材料與微小的切屑分離。用旋流器98分離的切削材料，為了再利用。被送往流量控制塊96。微小的切屑被送往集塵器。
(第一種實(shí)施形式)圖2是表示第一種實(shí)施形式的掩模圖形的平面圖。第一種實(shí)施形式的PDP的間隔壁圖形是帶狀圖形。間隔壁基本上和圖12所示的現(xiàn)有技術(shù)的例相同，通過將被覆在作為面板材料的玻璃基板1的整個(gè)面的層狀的間隔壁材料2用噴砂形成圖形，然后，用燒結(jié)間隔壁材料2的工序形成。與現(xiàn)有技術(shù)例的差異在于，用于形成的圖形的掩模30跨越顯示區(qū)域10及其兩側(cè)的非顯示區(qū)域11。所謂顯示區(qū)域10，是指在玻璃基板1上形成單元的區(qū)域，對(duì)應(yīng)于制成的PDP的顯示面。此外，對(duì)于間隔壁材料2的形成，與現(xiàn)有技術(shù)的例子一樣，有將低熔點(diǎn)玻璃糊劑涂布到玻璃基板1上使之干燥的方法，以及將低熔點(diǎn)玻璃坯料片粘貼在玻璃基板1上的方法。掩模30由感光性抗蝕劑構(gòu)成。玻璃基板1的尺寸，例如在制造32英寸的PDP的情況下，為1030mm×650mm。
在掩模30中配置于顯示區(qū)域10上的部分(下面稱之為主掩模)3的圖形，是對(duì)應(yīng)于將要形成的間隔壁的帶狀圖形，由沿圖中上下方向的多個(gè)筆直的帶構(gòu)成。在掩模30的配置于顯示區(qū)域10的外側(cè)的部分(下面稱之為副掩模)4的圖形，是將沿著顯示區(qū)域10的端緣的帶狀的區(qū)域13劃分為網(wǎng)格狀的圖形，由相當(dāng)于顯示區(qū)域10的圖形的延長(zhǎng)線的帶及與之垂直的多個(gè)帶構(gòu)成。
在帶狀圖形的切削中，使噴嘴沿帶的傳動(dòng)方向移動(dòng)是有效地。圖的上下方向是噴嘴的移動(dòng)方向。在使噴嘴和間隔壁材料2相對(duì)地往復(fù)移動(dòng)的切削工藝中，副掩模4能防止在帶狀圖形中的各個(gè)帶的兩端的過分切削。由于副掩模4的外端緣，在顯示區(qū)域10中的遍及左右方向(即，切削時(shí)的搬運(yùn)方向)的整個(gè)長(zhǎng)度上是連續(xù)的，所以，直接噴射到副掩模4的端面上的單位面積的切削量比不連續(xù)時(shí)的情況少。借此，減輕副掩模4的端面的側(cè)面切削。同時(shí)，通過副掩模4的存在，由于在副掩模4處彈回的切削材料和從噴嘴直接飛來的切削材料相互干擾，所以，在主掩模3的兩個(gè)端部切削的進(jìn)展和中央部的進(jìn)展是均等的。
通過減輕側(cè)面切削，不容易引起剝離的同時(shí)，由于在燒結(jié)時(shí)上沖也很輕微，所以，能夠以在基板彼此之間的貼緊不會(huì)造成障礙的方式，在顯示區(qū)域形成圖形和高度符合設(shè)計(jì)要求的間隔壁的同時(shí)，通過在顯示區(qū)域的外側(cè)設(shè)置副間隔壁，也可以使基板彼此之間完全貼緊。
圖3是表示掩模圖形的帶寬和上沖量的關(guān)系的曲線圖。如圖所示，上沖量依賴于副掩模4的圖形(副圖形)上的帶寬。在主掩模3的圖形(主圖形)中的帶寬為80μm、160μm在任何一種情況下，如果令副圖形的帶寬，即，在與帶狀間隔壁垂直的方向形成的間隔壁的帶寬為240μm的話，上沖量最小。如果選定副圖形的帶寬在160μm～320μm的范圍內(nèi)的值的話，可以降低上沖。此外，在圖3的情況是側(cè)面切削深度為50μm時(shí)的情況，但當(dāng)通過后面所述的輔助間隔壁使側(cè)面切削基本上為0時(shí)，在副圖形的帶寬為240μm的情況下，可以使上沖量在12μm以下。
(第二種實(shí)施形式)圖4是表示第二種實(shí)施形式的掩模圖形的平面圖，圖5是第二種實(shí)施形式的掩模圖形的部分放大圖。第二種實(shí)施形式的PDP的間隔壁圖形也是帶狀圖形。和第一種實(shí)施形式一樣，利用主掩模3b和副掩模4b成一整體地構(gòu)成的掩模30b，利用噴砂將覆蓋玻璃基板1b的整個(gè)面的層狀間隔壁材料2b形成圖形，然后，通過燒結(jié)間隔壁材料2b的工序形成間隔壁。第二種實(shí)施形式具有以下三個(gè)特征。
(1)與掩模30b的形成同時(shí)，在掩模30b的兩側(cè)形成離開掩模30b的輔助掩模5。
(2)在構(gòu)成副掩模4b的圖形的帶中，在沿垂直于帶狀間隔壁的方向形成的間隔壁中，最外周的帶比構(gòu)成主掩模3b的圖形的帶粗。
(3)副掩模4b的拐角部是圓弧狀。
輔助掩模5為了更可靠地減少由副掩模4b掩蔽的部分的側(cè)面切削，具有調(diào)整噴嘴的移動(dòng)方向的噴流的作用。單側(cè)的輔助掩模5的圖形，是沿搬運(yùn)方向長(zhǎng)的7條帶平行并列的帶狀圖形，輔助掩模5的左右兩端相對(duì)于掩模30b突出一個(gè)長(zhǎng)度L11。該突出可以提高噴流的調(diào)整效果。
此外，對(duì)于構(gòu)成掩模30b的圖形的帶的寬度，具有以下的關(guān)系。
L2＞L1＞L3這里，L1是顯示區(qū)域10中陣列的除兩端以外的帶的寬度，L2是最外周的帶的寬度，L3是非顯示區(qū)域11中的除最外周之外的帶的寬度。這樣，通過使最外周的帶寬最大，可以防止在間隔壁圖形中最外周的部分消失引起的圖形成形不良。
在切削時(shí)，如上所述，使噴嘴沿圖中上下方向移動(dòng)。伴隨著噴嘴的移動(dòng)，最初，向配置在上側(cè)或下側(cè)的非顯示區(qū)域11上的輔助掩模5上噴射切削材料，其次，向副掩模4b上噴射切削材料，進(jìn)而，向主掩模3b上噴射切削材料。由于掩模的圖形的間隙越大切削進(jìn)展越快，所以對(duì)于輔助掩模5的切削作用最大。輔助掩模5具有防止對(duì)副掩模4b切削過度的功能。在輔助掩模5被剝離吹跑的情況下，副掩模4b起著防止對(duì)主掩模3b切削過度的作用。
將副掩模4b的拐角部制成圓弧狀，對(duì)于降低上沖是有效的。作為其原因，可以認(rèn)為，使燒結(jié)時(shí)的收縮引起的應(yīng)力分散，使局部產(chǎn)生的上沖分散，將其平均化是很重要的。對(duì)于拐角部的圖形，有圖6所示的變型例。圖6(A)的副掩模4c的拐角部呈外緣為直角，將網(wǎng)格的一個(gè)塊填滿的形狀。圖6(B)的副掩模4d的拐角部，呈具有網(wǎng)格的間隔的兩倍的半徑的大圓弧狀。圖6(C)的副掩模4e的拐角部，為左右長(zhǎng)的橢圓圓弧狀。如圖7所示，上沖量依賴于拐角部的形狀。與有棱角的拐角部相比，圓弧狀的拐角部的上沖量小，與半徑小的圓弧相比半徑大的圓弧狀的上沖量小。即使是半徑小的圓弧，也可以實(shí)現(xiàn)有效地降低動(dòng)作噪音的16μm以下的上沖量，但考慮到制造上的偏差，在制成半徑大圓弧時(shí)，可以使上沖量在12μm以下，是優(yōu)選地。
圖8是表示輔助掩模圖形的第一個(gè)變型例的平面圖。輔助掩模5b的圖形，為半圓弧和直線構(gòu)成的左右細(xì)長(zhǎng)的三重環(huán)圖形。但由于在各環(huán)的兩端的半圓弧上形成狹縫51a，所以，嚴(yán)格地說，輔助掩模5b的圖形是部分地中間斷開的環(huán)形圖形。由于利用狹縫51a將環(huán)切斷，所以，一個(gè)環(huán)的全部在切削過程中產(chǎn)生部分掩模剝離時(shí)，被吹掉的僅限于一個(gè)環(huán)的一部分，很難將整個(gè)一個(gè)環(huán)吹掉。
環(huán)形圖形是連接帶狀圖形中的帶的兩端的圖形，比起帶狀圖形來不易引起剝離。由于包括最內(nèi)側(cè)的環(huán)形在內(nèi)，全部環(huán)的兩端相對(duì)于掩模30b突出，所以，保護(hù)掩模30b的功能更強(qiáng)。
圖9是表示輔助掩模圖形的第二個(gè)變型例的平面圖。在該例中，配置在顯示區(qū)域10中的間隔壁掩模3b的圖形是篩網(wǎng)狀圖形。輔助掩模5c配置在由主掩模3b和副掩模4b構(gòu)成的掩模30c的附近。輔助掩模5c的圖形，是比顯示區(qū)域10中的左右方向的總長(zhǎng)度短的多個(gè)帶，以相互平行的多個(gè)不連續(xù)的線段的方式沿搬運(yùn)方向并列排列的帶狀圖形。在該圖形中，通過設(shè)定將條紋的帶切斷的狹縫55的寬度，可以控制噴流。也具有發(fā)生掩模剝離時(shí)被吹掉的部分少的效果。狹縫55以多個(gè)不連續(xù)的線段彼此之間的不連續(xù)的點(diǎn)錯(cuò)開的方式配置，借此，在副掩模4b中，防止噴流局部增強(qiáng)。
輔助掩模5c的兩端相對(duì)于掩模30b突出一個(gè)長(zhǎng)度L11。但是，在構(gòu)成帶狀圖形的帶中，最靠近掩模30b的帶不相對(duì)于掩模30b突出。其原因是，對(duì)掩模30b最有保護(hù)作用的帶難于(不容易)剝離。當(dāng)該帶在早期被剝離時(shí)，與其它的帶剝離時(shí)相比，副間隔壁的側(cè)面切削量增多。通過不使帶的端部相對(duì)于掩模30b突出，在帶的端部處的噴流壓力弱。此外，最靠近掩模30b的帶的形狀，可以采用圖5所示的實(shí)施形式的輔助掩模中的形狀。
圖10是表示輔助掩模圖形的第三個(gè)變型例的平面圖。在該例中，間隔壁圖形也是篩網(wǎng)狀。輔助掩模5d的圖形是帶狀圖形，是在顯示區(qū)域10中比搬運(yùn)方向的總長(zhǎng)度短的帶，以相互平行的多個(gè)不連續(xù)的線段的方式沿搬運(yùn)方向并列的帶狀圖形。在這種圖形中，令帶的帶長(zhǎng)為0.05mm～200mm的范圍內(nèi)的值是很重要的。帶越長(zhǎng)，被吹掉時(shí)，越容易纏繞到傳送帶91(參照?qǐng)D1)的可動(dòng)機(jī)構(gòu)中。掩模片的纏繞，從搬運(yùn)的穩(wěn)定性和傳送帶91的清掃的觀點(diǎn)出發(fā)是不利的。上述范圍是不發(fā)生纏繞且能夠容易用過濾器97回收的條件。作為線狀并列的短帶彼此之間的間隔，優(yōu)選地為帶的長(zhǎng)度的1/5左右。進(jìn)而，考慮到降低上沖的優(yōu)選的條件為，帶的寬度及長(zhǎng)度小于240μm(＝0.24mm)。當(dāng)滿足這一條件時(shí)，不管是寬度方向和長(zhǎng)度方向，即使產(chǎn)生深度50μm的側(cè)面切削，由實(shí)驗(yàn)確認(rèn)，上沖量在幾個(gè)μm以下。這可以說明，當(dāng)帶長(zhǎng)于240μm時(shí)，由于長(zhǎng)的部分的收縮，端部拉伸，出現(xiàn)上沖，但當(dāng)變短時(shí)，由于不存在拉伸部分，所以，幾乎不上沖。
(第三種實(shí)施形式)圖11是表示第三種實(shí)施形式的掩模圖形的平面圖。第三種實(shí)施形式，采用在一個(gè)基板上一下子形成多個(gè)PDP的間隔壁，然后將基板分割的多倒角形成的制造工藝。圖11的例子表示一下子形成三個(gè)PDP間隔壁的例子，圖中的三個(gè)顯示區(qū)域10a、10b、10c中的每一個(gè)，對(duì)應(yīng)于一個(gè)PDP的間隔壁部分。第三種實(shí)施形式的PDP間隔壁的圖形也是帶狀圖形。間隔壁和第一種實(shí)施形式一樣，，利用主掩模和副掩模成一整體地構(gòu)成的掩模30b利用噴砂將覆蓋玻璃基板1c的整個(gè)面的層狀間隔壁材料2c形成圖形，然后，通過燒結(jié)間隔壁材料2c的工序形成間隔壁。并列基板1c的尺寸，例如在制造32英寸的PDP時(shí)，為1460mm×1050mm。
顯示區(qū)域10a、10b、10c一種圖中的上下方向隔開一定的間隔并列排列，在它們的每一個(gè)上配置一個(gè)掩模30b。同時(shí)，在相鄰的顯示區(qū)域之間的非顯示區(qū)域11a、11b上在形成掩模30b的同時(shí)，形成輔助掩模6a、7a、6b、7b。輔助掩模6a、7a、6b、7b緩和對(duì)由掩模30b形成的副間隔壁造成的噴流壓力。在使噴嘴沿顯示區(qū)域的配置方向移動(dòng)時(shí)，在比移動(dòng)方向的并列基板1c的兩個(gè)端部更靠近中間的部分，受到大的噴流壓力。在兩個(gè)端部，噴流的大約一半退到玻璃基板1c的外側(cè)。通過在受到大的噴流壓力的部位配置輔助掩模6a、7a、6b、7b，可以防止掩模30b的剝離，借此，可以在顯示區(qū)域10a、10b、10c形成符合設(shè)計(jì)的間隔壁。此外，在用于形成三個(gè)掩模30b及輔助掩模6a、7a、6b、7b的光刻工藝過程中，三次利用對(duì)應(yīng)于一個(gè)PDP的大小的一個(gè)光掩模進(jìn)行分步式的圖形曝光。因此，實(shí)際上，對(duì)于圖中所示的任何一個(gè)顯示區(qū)域10a、10b、10c，同樣地在各自的兩側(cè)形成輔助掩模。
如上所述，通過采用本發(fā)明，關(guān)于以顯示部作為基準(zhǔn)的上沖，在包括副間隔壁部和拐角部、輔助間隔壁部在內(nèi)的間隔壁形成部的整個(gè)區(qū)域內(nèi)，可以將上沖量抑制到12μm以下，考慮到制造的多個(gè)面板之間的偏差，可以將其抑制到16μm以下，可以抑制伴隨著面板驅(qū)動(dòng)時(shí)的振動(dòng)的動(dòng)作噪音(蜂鳴音)。
上面利用各種實(shí)施形式和變型例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施形式，可以用各種顯示加以實(shí)施。
工業(yè)上的可利用性如上所述，根據(jù)本發(fā)明的間隔壁的形成方法，不會(huì)產(chǎn)生造成基板彼此之間貼緊的障礙的突起，在顯示區(qū)域形成符合設(shè)計(jì)要求的圖形和高度的間隔壁，所以，可以防止圖形成形不良，提高等離子體顯示面板的制造成品率，并且提供不會(huì)因基板彼此不能很好的貼緊產(chǎn)生的振動(dòng)噪音的等離子體顯示面板。
權(quán)利要求
1.一種等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于為了形成劃分等離子體顯示面板的放電空間的間隔壁，在作為面板材料的基板上，設(shè)置覆蓋基板表面上的顯示區(qū)域及其外側(cè)的層狀的間隔壁材料，在前述間隔壁材料上設(shè)置跨越前述顯示區(qū)域及其外側(cè)的圖形成形用掩模，這時(shí)，將配置在前述掩模的前述顯示區(qū)域上的部分的圖形作為對(duì)應(yīng)于前述間隔壁的圖形，并且，將前述掩模的配置在前述顯示區(qū)域的外側(cè)的部分的圖形作為將沿前述顯示區(qū)域的端緣的帶狀的區(qū)域制成劃分成網(wǎng)格狀的圖形，利用噴砂將用前述掩模部分地覆蓋的前述間隔壁材料形成圖形，燒結(jié)形成圖形的間隔壁材料。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于以跨越前述顯示區(qū)域及其第一個(gè)方向的兩側(cè)的方式設(shè)置前述掩模，在利用噴砂形成前述間隔壁材料的圖形時(shí)，使切削材料的噴射口與前述間隔壁材料相對(duì)地沿前述第一個(gè)方向往復(fù)移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于與前述掩模的形成同時(shí)，在前述掩模的前述第一個(gè)方向的外側(cè)離開前述掩模形成輔助掩模。
4.如權(quán)利要求3所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于在與前述輔助掩模中的前述第一個(gè)方向垂直的第二個(gè)方向的兩端，相對(duì)于前述掩模突出。
5.如權(quán)利要求4所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于前述輔助掩模圖形是沿前述第二個(gè)方向、長(zhǎng)的多個(gè)帶平行并排的帶狀圖形。
6.如權(quán)利要求4所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于前述輔助掩模圖形是沿前述第二個(gè)方向、長(zhǎng)的多個(gè)細(xì)的帶平行并排、并且至少最靠近的前述掩模的帶的兩端不相對(duì)于前述掩模突出的帶狀圖形。
7.如權(quán)利要求4所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于前述輔助掩模圖形是沿前述第二個(gè)方向?yàn)榧?xì)長(zhǎng)的環(huán)形圖形。
8.如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于前述掩模的拐角部是圓弧狀。
9.如權(quán)利要求4所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于前述輔助掩模圖形是比在前述顯示區(qū)域中的前述第二個(gè)方向的總長(zhǎng)度短的多個(gè)帶以相互平行的多個(gè)不連續(xù)的線段的方式沿第二個(gè)方向并排的圖形。
10.如權(quán)利要求9所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于在前述輔助掩模圖形中的前述多個(gè)不連續(xù)的線段彼此之間不連續(xù)的點(diǎn)錯(cuò)開。
11.如權(quán)利要求9所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于在前述輔助掩模圖形中前述帶的長(zhǎng)度為0.05mm至200mm范圍內(nèi)的值。
12.如權(quán)利要求9所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于在前述輔助掩模的圖形中的前述帶的寬度及長(zhǎng)度是均小于240μm的值。
13.如權(quán)利要求1所述的等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于構(gòu)成配置在前述掩模的前述顯示區(qū)域的外側(cè)的部分的網(wǎng)格狀圖形的帶中，至少位于最外周的帶寬度是160μm至320μm的值。
14.一種等離子體顯示面板的間隔壁的形成方法，其特征在于為了同時(shí)形成劃分多個(gè)等離子體顯示面板的每一個(gè)上的放電空間的間隔壁，對(duì)應(yīng)于前述多個(gè)等離子體顯示面板的每一個(gè)的顯示區(qū)域，在并排成一列的大小的作為面板材料的基板上，設(shè)置覆蓋基板表面上的多個(gè)顯示區(qū)域和這些顯示區(qū)域的各自的外側(cè)的層狀的間隔壁材料，在前述間隔壁材料上，在每個(gè)前述顯示區(qū)域上設(shè)置跨越其內(nèi)側(cè)和外側(cè)的圖形成形用的掩模，這時(shí)，將前述掩模的配置前述顯示區(qū)域的部分的圖形作為對(duì)應(yīng)于前述間隔壁的圖形，并且，將配置在掩模的前述顯示區(qū)域的外側(cè)的部分的圖形，作為將沿前述顯示區(qū)域的端緣的帶狀的區(qū)域劃分成網(wǎng)格狀的圖形，在形成前述掩模的同時(shí)，至少在鄰接的前述掩模彼此之間，離開前述掩模形成輔助掩模，利用噴砂將由前述掩模和前述輔助掩模部分地覆蓋的前述間隔壁材料形成圖形，燒結(jié)成形圖形的間隔壁材料。
全文摘要
間隔壁通過以下工序形成，即，在基板表面上設(shè)置覆蓋顯示區(qū)域及其外側(cè)的層狀的間隔壁材料的工序，設(shè)置跨越顯示區(qū)域及其外側(cè)的圖形成形用的掩模、這時(shí)將配置在掩模上的顯示區(qū)域的部分的圖形制成網(wǎng)格狀圖形的工序，利用噴砂將由掩模部分地覆蓋的前述間隔壁材料形成圖形的工序，以及燒結(jié)形成圖形的間隔壁材料的工序。
文檔編號(hào)H01J11/22GK101075521SQ20071010494
公開日2007年11月21日 申請(qǐng)日期2002年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月9日
發(fā)明者藤永昭弘, 石塚和德, 金江達(dá)利, 巖崎和英, 南都利之, 川浪義實(shí), 柴田將之, 國(guó)井康彥, 小坂忠義, 豐田治, 白川良美 申請(qǐng)人:富士通株式會(huì)社, 富士通日立等離子顯示器股份有限公司