專利名稱：六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
平板顯示器已經(jīng)成為了平板器件領(lǐng)域的主流方向，而場致發(fā)射顯示器則是目前在研平板顯示技術(shù)中的一種，有望將來在顯示市場上占據(jù)比較大的份額。碳納米管具有小的尖端曲率半徑以及良好的場致發(fā)射性能，在外加電壓的作用下能夠發(fā)射出大量的電子，從而使得碳納米管在真空顯示技術(shù)方面具有極大的應(yīng)用潛力，可以用來制造新一代的場致發(fā)射顯示器件。這種顯示器件具有高清晰度，高圖像質(zhì)量，高分辨率等特點，其應(yīng)用越來越廣泛，各大相關(guān)研究機(jī)構(gòu)對其非常關(guān)注并投入研究。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動電路相結(jié)合，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件已經(jīng)成為了一種必然的選擇。在三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件中，施加在柵極上的電壓會在碳納米管頂端形成強大的電場強度，迫使碳納米管不需要額外的能力就能夠發(fā)射出大量的電子，即形成冷場致發(fā)射現(xiàn)象。因此柵極結(jié)構(gòu)是顯示器件中比較關(guān)鍵的控制元件之一，但與此同時碳納米管陰極的結(jié)構(gòu)和形狀也是關(guān)鍵元素之一，它直接影響到在碳納米管陰極頂端所形成的電場強度的大小。很顯然，在碳納米管陰極上所形成的電場強度越大，碳納米管就能夠發(fā)射出更多的電子，所需要的柵極電壓也就越低，這符合平板器件的低工作電壓要求，這是有利的。那么，在實際器件的制作過程中，究竟采用何種結(jié)構(gòu)形式，如何更加有效的增大碳納米管陰極頂端的電場強度，降低柵極工作電壓，這是需要考慮的現(xiàn)實問題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的帶有一種六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上有控制柵極，碳納米管以及六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層為六角棱型柱形狀，即從頂面往下看呈現(xiàn)一個六邊形形狀，從側(cè)面看則是一個棱型柱形狀；提升層的上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸；提升層的上表面上面刻蝕后的二氧化硅層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升層的上表面，但是不能夠覆蓋住提升層的其它部位；提升層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿提升層的側(cè)面；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出提升層，且圓形孔的側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的；隔離層環(huán)繞在提升層的周圍，但是是相互分開的，并不相互接觸；隔離層的高度與提升層的高度可以相同，也可以略低一些，但是不能夠高出提升層的高度；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的陰極玻璃面板部分，上表面和柵極引線層相互接觸；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)，但是和提升層要相互隔離開來；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住其前端處于懸空狀態(tài)的柵極引線層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上。
所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫；提升層的摻雜類型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鐵。
一種六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)陰極引線層的制作在陰極玻璃面板上制備出金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；3)提升層的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成提升層；4)陰極導(dǎo)電層的制作在提升層的側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；
5)陰極覆蓋層的制作在提升層的上表面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成陰極覆蓋層；6)隔離層的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；7)柵極引線層的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)中，柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極的旁側(cè)，而且二者之間的距離很近。這樣，一方面能夠進(jìn)一步的減小柵極電流，有利于增加陽極工作電流，從而提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量；另一方面還可以進(jìn)一步的降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，降低總體器件成本。此外，柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間是利用真空進(jìn)行相互隔離的，有利于進(jìn)一步增強碳納米管陰極表面頂端的電場強度；其次，在所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將提升層制作成了六角棱型柱形狀，并將碳納米管制備在提升層側(cè)面的陰極導(dǎo)電層的上表面。這樣既可以極大地增加碳納米管陰極的發(fā)射面積，使其能夠發(fā)射出更多的電子，同時還可以利用提升層的半導(dǎo)體特性來對流經(jīng)碳納米管陰極的電流進(jìn)行調(diào)節(jié)，避免陰極電流過大或者過小；此外，在所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于這些實施例。
所述的一種帶有六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[11]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[14]以及消氣劑附屬元件[16]，在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]，碳納米管[9]以及六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、陰極引線層[2]、提升層[3]、陰極導(dǎo)電層[4]、陰極覆蓋層[5]、隔離層[6]、柵極引線層[7]、柵極覆蓋層[8]和碳納米管[9]部分。
所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層為六角棱型柱形狀，即從頂面往下看呈現(xiàn)一個六邊形形狀，從側(cè)面看則是一個棱型柱形狀；提升層的上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸；提升層的上表面上面刻蝕后的二氧化硅層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升層的上表面，但是不能夠覆蓋住提升層的其它部位；提升層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿提升層的側(cè)面；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出提升層，且圓形孔的側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的；隔離層環(huán)繞在提升層的周圍，但是是相互分開的，并不相互接觸；隔離層的高度與提升層的高度可以相同，也可以略低一些，但是不能夠高出提升層的高度；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的陰極玻璃面板部分，上表面和柵極引線層相互接觸；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)，但是和提升層要相互隔離開來；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住其前端處于懸空狀態(tài)的柵極引線層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上。
所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層可以為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫；提升層的摻雜類型可以為n型，也可以為p型；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鐵。
六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)陰極引線層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；
3)提升層[3]的制作在陰極引線層的上面制備出一個n型摻雜多晶硅層，刻蝕后形成提升層；4)陰極導(dǎo)電層[4]的制作在提升層的側(cè)面上制備出一個金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在提升層的上表面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成陰極覆蓋層；6)隔離層[6]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟3具體為陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層為六角棱型柱形狀，即從頂面往下看呈現(xiàn)一個六邊形形狀，從側(cè)面看則是一個棱型柱形狀；提升層的上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸。
所述步驟4具體為提升層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿提升層的側(cè)面。
所述步驟6具體為陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出提升層，且圓形孔的側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的；隔離層環(huán)繞在提升層的周圍，但是是相互分開的，并不相互接觸；隔離層的高度與提升層的高度可以相同，也可以略低一些，但是不能夠高出提升層的高度；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的陰極玻璃面板部分，上表面和柵極引線層相互接觸。
所述步驟7具體為隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)，但是和提升層要相互隔離開來。
所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)；所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)；所述步驟16具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板[1]、陽極玻璃面板[10]和四周玻璃圍框[15]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[11]、制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[13]以及在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層[12]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[14]以及消氣劑附屬元件[16]，其特征在于在陰極玻璃面板上有控制柵極[7]，碳納米管[9]以及六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層上面的刻蝕后的摻雜多晶硅層形成提升層；提升層為六角棱型柱形狀，即從頂面往下看呈現(xiàn)一個六邊形形狀，從側(cè)面看則是一個棱型柱形狀；提升層的上下表面均為平面，下表面和陰極引線層緊密接觸；提升層的上表面上面刻蝕后的二氧化硅層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要完全覆蓋住提升層的上表面，但是不能夠覆蓋住提升層的其它部位；提升層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層布滿提升層的側(cè)面；陰極玻璃面板上面的刻蝕后的二氧化硅層形成隔離層；隔離層中存在圓形孔，暴露出提升層，且圓形孔的側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的；隔離層環(huán)繞在提升層的周圍，但是是相互分開的，并不相互接觸；隔離層的高度與提升層的高度可以相同，也可以略低一些，但是不能夠高出提升層的高度；隔離層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住陰極引線層以及空余的陰極玻璃面板部分，上表面和柵極引線層相互接觸；隔離層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層的大部分都位于隔離層的上面，但是其前端部分要向圓形孔的中心部位延伸，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)，但是和提升層要相互隔離開來；柵極引線層上面的刻蝕后的二氧化硅層形成柵極覆蓋層；柵極覆蓋層要覆蓋住大部分的柵極引線層，但是不能夠覆蓋住其前端處于懸空狀態(tài)的柵極引線層部分；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；陰極引線層為金屬金、銀、鉬、鉻、鋁、錫；提升層的摻雜類型為n型、p型；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳；柵極引線層的走向和陰極引線層的走向是相互垂直的；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、鐵。
4.一種六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)陰極引線層[2]的制作在陰極玻璃面板上制備出金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；3)提升層[3]的制作在陰極引線層的上面制備出一個摻雜多晶硅層，刻蝕后形成提升層；4)陰極導(dǎo)電層[4]的制作在提升層的側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；5)陰極覆蓋層[5]的制作在提升層的上表面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成陰極覆蓋層；6)隔離層[6]的制作在陰極玻璃面板上制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成隔離層；7)柵極引線層[7]的制作在隔離層的上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；8)柵極覆蓋層[8]的制作在柵極引線層的上面制備出一個二氧化硅層，刻蝕后形成柵極覆蓋層；9)六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；10)碳納米管[9]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；11)陽極玻璃面板[10]的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；12)陽極導(dǎo)電層[11]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；13)絕緣漿料層[12]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；14)熒光粉層[13]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；15)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[14]和四周玻璃圍框[15]裝配到一起，并將消氣劑[16]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；16)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟13具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟14具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述步驟17具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及到六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陰極玻璃面板上有控制柵極，碳納米管以及六角棱型柱陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，能夠有效地降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，增大碳納米管陰極的發(fā)射電子面積，有利于進(jìn)一步提高整體器件的顯示圖像質(zhì)量，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J29/04GK1937143SQ200610107278
公開日2007年3月28日 申請日期2006年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月17日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院