專利名稱：平面位置調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種平面位置調(diào)整裝置，具體涉及一種蔭罩型PDP對準(zhǔn)機的平面位置調(diào)整裝置。
背景技術(shù)：
在顯示、半導(dǎo)體、光刻等很多領(lǐng)域，都需要將兩個工件進(jìn)行對準(zhǔn)的工藝過程，要完成這一過程，就需要進(jìn)行平面位置的調(diào)整?，F(xiàn)階段的對準(zhǔn)設(shè)備主要為用于光刻領(lǐng)域的硅片對準(zhǔn)，這種設(shè)備一般可對準(zhǔn)的零件都比較小，設(shè)備成本非常高；在PDP生產(chǎn)工藝中，國內(nèi)尚無專蔭罩型PDP對準(zhǔn)機設(shè)備。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目是為了完成蔭罩型PDP對準(zhǔn)機而專門研發(fā)的，它可以完成零件在一個平面內(nèi)的位置調(diào)整，從而達(dá)到對準(zhǔn)的目的。
本實用新型是按如下技術(shù)方案來實現(xiàn)的，在平面位置調(diào)整裝置支架上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)和X向運動機構(gòu)(1)所述旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)由帶搖把的轉(zhuǎn)動手柄、條形的撥桿及轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)聯(lián)結(jié)組成；其中兩個設(shè)置在安裝板上的轉(zhuǎn)動手柄分別通過齒形帶各與一個絲杠傳動連接，所述絲杠通過螺母分別與一個帶有固定轉(zhuǎn)軸的撥桿一端活動連接，所述撥桿的另一端設(shè)置有關(guān)節(jié)軸承；所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)的兩端分別設(shè)置有關(guān)節(jié)軸承；兩個撥桿上的關(guān)節(jié)軸承與所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)兩端的關(guān)節(jié)軸承通過關(guān)節(jié)軸承連接桿分別活動連接；所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)由水平放置在安裝板上的上連接板與下連接板組成；所述上連接板與下連接板兩端分別設(shè)置有固定轉(zhuǎn)軸及活動轉(zhuǎn)軸；
(2)所述X向的運動機構(gòu)由固定在底板上的轉(zhuǎn)動手柄、直線導(dǎo)軌、設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上的直線導(dǎo)軌滑塊及撥桿組成；所述轉(zhuǎn)動手柄通過齒形帶與絲杠傳動連接。
本實用新型的平面位置調(diào)整裝置的優(yōu)點在于，本實用新型調(diào)整過程對零件的大小沒有限制，而且大大降低了設(shè)備的成本，可進(jìn)行各種零件的中高精度位置調(diào)節(jié)。


下面，結(jié)合附圖對本實用新型及其實施例作進(jìn)一步說明圖1為平面位置調(diào)整示意圖；圖2為旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)示意圖；圖3為圖2的A-A向視圖；圖4為X方向運動機構(gòu)示意圖；圖5為圖4中A-A向示意圖；圖6為平面位置調(diào)整應(yīng)用示意圖。
1轉(zhuǎn)動手柄、2齒形帶、3絲杠、4轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)、5關(guān)節(jié)軸承、6關(guān)節(jié)軸承連接桿、7撥桿、8轉(zhuǎn)動手柄、9固定轉(zhuǎn)軸、10連接塊、11安裝板、12關(guān)節(jié)軸承支架、13球形支撐、14活動轉(zhuǎn)軸A、15滾針軸承、16下連接板、17上連接板、18固定轉(zhuǎn)軸B、19轉(zhuǎn)動手柄、20直線導(dǎo)軌、21底板、22絲杠、23齒形帶、24撥桿、25球形支撐、26活動轉(zhuǎn)軸、27凸輪從動軸承、28固定轉(zhuǎn)軸、29直線導(dǎo)軌滑塊、30蔭罩、31基板、32真空吸盤、33監(jiān)視器、34支架。
具體實施方式
如圖1所示，平面位置調(diào)整裝置主要實現(xiàn)工件在同一水平面的運動，平面位置調(diào)整裝置可以實現(xiàn)工件沿X方向的平移運動以及沿支撐A或B的旋轉(zhuǎn)運動。
如圖2所示，平面位置調(diào)整裝置的旋轉(zhuǎn)運動主要由轉(zhuǎn)動手柄1、8，齒形帶2、螺母絲杠3、轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4等幾部分組成。轉(zhuǎn)動手柄1、8和螺母絲杠3通過安裝支座固定在安裝板11上，撥桿10通過固定轉(zhuǎn)軸9安裝于安裝板11上，撥桿10一端開長圓孔與螺母連接，另一端安裝一關(guān)節(jié)軸承5，又通過關(guān)節(jié)軸承連接桿6分別與轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4上的關(guān)節(jié)軸承連接。
如圖3所示為轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4的A-A向視圖，下連接板16下方一端設(shè)置有活動轉(zhuǎn)軸14，活動轉(zhuǎn)軸14下裝有球形支撐13，所述球形支撐13與安裝板11相接；下連接板16下方另一端設(shè)置有固定轉(zhuǎn)軸18，球形支撐13以及固定轉(zhuǎn)軸18組成轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4的兩個轉(zhuǎn)動支撐點；轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4上的一個關(guān)節(jié)軸承支架12與下連接板16連接在一起，并將關(guān)節(jié)軸承5安裝于支架上；另一個關(guān)節(jié)軸承支架12與上連接板17連接在一起，并將關(guān)節(jié)軸承5安裝與支架上。轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)的上連接板17和下連接板16可以在活動轉(zhuǎn)軸14的連接下繞固定轉(zhuǎn)軸18轉(zhuǎn)動，同時上連接板17也可以單獨繞活動轉(zhuǎn)軸14轉(zhuǎn)動。
調(diào)整時，將需要調(diào)整的工件放置于轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4的上連接板17上。搖動轉(zhuǎn)動手柄1，則轉(zhuǎn)動手柄1通過齒形帶2帶動絲杠3轉(zhuǎn)動，連接于絲杠3上的螺母帶動撥桿7一起運動，撥桿7繞固定轉(zhuǎn)軸9旋轉(zhuǎn)后，由固定于撥桿7另一端的關(guān)節(jié)軸承5帶動轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)4繞固定轉(zhuǎn)軸18轉(zhuǎn)動；搖動另一轉(zhuǎn)動手柄8，則通過齒形帶2帶動絲杠3轉(zhuǎn)動，連接于絲杠3上的螺母帶動另一撥桿7一起運動，撥桿7繞固定轉(zhuǎn)軸9旋轉(zhuǎn)后，由固定于撥桿7另一端的關(guān)節(jié)軸承5帶動轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)5繞活動轉(zhuǎn)軸14轉(zhuǎn)動，從而實現(xiàn)工件的水平轉(zhuǎn)動微調(diào)。
圖4-圖5給出了平面位置調(diào)整裝置沿X向的運動機的結(jié)構(gòu)。如圖所示，轉(zhuǎn)動手柄19和螺母絲杠22通過安裝支座固定在底板21上，撥桿24通過固定轉(zhuǎn)軸28和一個球形支撐25及活動轉(zhuǎn)軸26安裝于底板21上，撥桿24一端開長圓孔與螺母連接，另一端安裝一凸輪從動軸承27，該凸輪從動軸承27放置于連接塊10與安裝板11之間的凹槽內(nèi)，直線導(dǎo)軌20固定于底板21上，并將直線導(dǎo)軌滑塊29固定于安裝板11上。
調(diào)整時，搖動轉(zhuǎn)動手柄19，則轉(zhuǎn)動手柄19通過齒形帶23帶動絲杠22轉(zhuǎn)動，連接于絲杠22上的螺母帶動撥桿24一起運動，撥桿24繞固定轉(zhuǎn)軸28旋轉(zhuǎn)后，由固定于撥桿24上的凸輪從動軸承27帶動Y方向運動機構(gòu)整體進(jìn)行X方向的運動；由于底板21與Y方向運動機構(gòu)的安裝板11之間安裝有直線導(dǎo)軌20，可以保證X方向運動的直線性。所述上連接板、下連接板與固定轉(zhuǎn)軸或活動轉(zhuǎn)軸連接處設(shè)置有滾針軸承，可進(jìn)一步增加轉(zhuǎn)動的穩(wěn)定性。
圖6給出了應(yīng)用實例示意圖，對準(zhǔn)機是蔭罩型PDP顯示屏制造過程中必不可少的設(shè)備之一，它用于將基板31與蔭罩30對齊，蔭罩30上分布有很多象素點，其大小只有0.36×3mm。對齊時，將基板31以真空吸盤32吸附于平面位置調(diào)整裝置的正上方，將蔭罩30置于平面位置調(diào)整裝置上，平面位置調(diào)整裝置設(shè)置在專用支架34上，旋轉(zhuǎn)相關(guān)調(diào)整手柄并通過監(jiān)視器33實時監(jiān)控，可很方便地將蔭罩30與基板31調(diào)到對齊的狀態(tài)。
權(quán)利要求1.一種平面位置調(diào)整裝置，包括支架，其特征是在支架上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)和X向運動機構(gòu)(1)所述旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)由帶搖把的轉(zhuǎn)動手柄、條形的撥桿及轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)聯(lián)結(jié)組成；其中兩個設(shè)置在安裝板上的轉(zhuǎn)動手柄分別通過齒形帶各與一個絲杠傳動連接，所述絲杠通過螺母分別與一個帶有固定轉(zhuǎn)軸的撥桿一端活動連接，所述撥桿的另一端設(shè)置有關(guān)節(jié)軸承；所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)的兩端分別設(shè)置有關(guān)節(jié)軸承；兩個撥桿上的關(guān)節(jié)軸承與所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)兩端的關(guān)節(jié)軸承通過關(guān)節(jié)軸承連接桿分別活動連接；所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)由水平放置在安裝板上的上連接板與下連接板組成；所述上連接板與下連接板兩端分別設(shè)置有固定轉(zhuǎn)軸及活動轉(zhuǎn)軸；(2)X向的運動機構(gòu)由固定在底板上的轉(zhuǎn)動手柄、直線導(dǎo)軌、設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上的直線導(dǎo)軌滑塊及撥桿組成；所述轉(zhuǎn)動手柄通過齒形帶與絲杠傳動連接，撥桿一端開長圓孔與絲桿上的螺母活動連接。
2.如權(quán)利要求1所述的平面位置調(diào)整裝置，其特征是在所述X向運動機構(gòu)的撥桿上遠(yuǎn)離絲杠一端的上部安裝一凸輪從動軸承，該凸輪從動軸承放置于連接塊與安裝板之間的凹槽內(nèi)；撥桿下面通過一個活動轉(zhuǎn)軸及球形支撐安裝于底板上。
3.如權(quán)利要求1所述的平面位置調(diào)整裝置，其特征是所述直線導(dǎo)軌滑塊可在直線導(dǎo)軌上滑動，且直線導(dǎo)軌滑塊與所述安裝板固定連接。
4.如權(quán)利要求1所述的平面位置調(diào)整裝置，其特征是所述下連接板下方一端設(shè)置有活動轉(zhuǎn)軸，該活動轉(zhuǎn)軸下裝有球形支撐，所述球形支撐與安裝板滑動接觸。
5.如權(quán)利要求1所述的平面位置調(diào)整裝置，其特征是在所述上連接板下方設(shè)置有固定轉(zhuǎn)軸，上連接板可以與下連接板一起繞固定轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，也可以單獨繞所述活動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動
6.如權(quán)利要求1所述的平面位置調(diào)整裝置，其特征是所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)上設(shè)置的關(guān)節(jié)軸承下安裝有關(guān)節(jié)軸承支架，其中一個關(guān)節(jié)軸承支架與下連接板連接在一起；另一個關(guān)節(jié)軸承支架與上連接板連接在一起。
7.如權(quán)利要求1所述的平面位置調(diào)整裝置，其特征是在所述上連接板、下連接板與固定轉(zhuǎn)軸或活動轉(zhuǎn)軸連接處設(shè)置有滾針軸承。
專利摘要本實用新型涉及一種蔭罩型PDP對準(zhǔn)機的平面位置調(diào)整裝置，在平面位置調(diào)整裝置支架上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)和X向運動機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)由帶搖把的轉(zhuǎn)動手柄、條形的撥桿及轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)聯(lián)結(jié)組成；所述轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)由水平放置在安裝板上的上連接板與下連接板組成；所述X向的運動機構(gòu)由固定在底板上的轉(zhuǎn)動手柄、直線導(dǎo)軌、設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌上的直線導(dǎo)軌滑塊及撥桿組成；本實用新型的優(yōu)點是用它調(diào)整工件平面位置時，對零件的大小沒有限制，而且大大降低了設(shè)備的成本，可進(jìn)行各種零件的中高精度位置調(diào)節(jié)。
文檔編號H01J9/00GK2826680SQ20052012980
公開日2006年10月11日 申請日期2005年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月18日
發(fā)明者譚三成, 常曉魚 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司