專利名稱：蔭罩的制造方法以及蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在帶狀金屬薄板上形成耐腐蝕層的蔭罩制造方法以及蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置。
背景技術(shù)：
近年，在用于彩色顯示管中的蔭罩中，強(qiáng)烈要求高精細(xì)化和高品質(zhì)化，而由于數(shù)字廣播的開始，在用于彩色顯像管中的蔭罩中，也同樣強(qiáng)烈要求高精細(xì)化和高品質(zhì)化，正在謀求蔭罩開孔尺寸的微細(xì)化和開孔尺寸偏差的降低化。
此外，蔭罩在顯示文字或圖形等的彩色顯示管中開孔形狀是圓形，而在一般家庭里使用的彩色顯象管中開孔形狀是矩形形狀。
而且，蔭罩的開孔由光刻法形成，要求高精細(xì)以及高品質(zhì)的蔭罩主要通過兩段腐蝕法形成。
在這種兩段腐蝕中，在成為帶狀金屬薄板第1主表面的一個主表面上，通過腐蝕形成與電子槍側(cè)的小孔對應(yīng)的凹部。在形成了與該小孔對應(yīng)的凹部的面上形成耐腐蝕層。之后，按與大孔對應(yīng)的圖形腐蝕成為第2主表面的一個主表面的相反側(cè)的另一個主表面，從大孔側(cè)使對應(yīng)于小孔的凹部貫通，形成開孔。另外，這些開孔的孔徑由小孔側(cè)控制。
再有，在從兩面同時腐蝕小孔和大孔的兩面腐蝕法中，由于難以控制通過腐蝕所獲得的凹部開孔尺寸與抗蝕劑的開孔尺寸相比變大的側(cè)腐蝕現(xiàn)象，在小孔和大孔連結(jié)以后也進(jìn)行小孔的腐蝕，所以難以控制開孔的孔徑。與此相比，在兩段腐蝕法中，在第2腐蝕工序中將耐腐蝕層填充到小孔側(cè)的凹部中，使得不會對小孔進(jìn)行再度腐蝕，可維持最初的腐蝕工序中的精確的小孔圖形，有可能形成比金屬薄板厚度還小的開孔。
并且，在彩色顯示管用的蔭罩的兩段腐蝕中，使紫外線固化型樹脂和使用照相凹版滾筒(ゲラビアロ一ル)的照相凹版涂料器組合的耐腐蝕層形成方法，其耐腐蝕層涂敷液的填充性能高，即可能節(jié)省能量，工藝成本又低，因而受到注目。
然而，與彩色顯示管用的蔭罩相比彩色顯象管用蔭罩的板厚較厚，與最初腐蝕的小孔對應(yīng)的凹部的深度深，開孔形狀不是各向同性圓形，而變成具有各向異性的矩形，在耐腐蝕層形成工序中涂敷的擴(kuò)展容易性上存在各向異性。
因此，照相凹版滾筒采用直徑約20mm-60mm的小直徑滾筒，增加在蔭罩凹部中形成耐腐蝕層時的壓入力，容易與蔭罩凹部內(nèi)的空氣置換，在凹部中可靠地填充耐腐蝕層涂敷液。
另一方面，由于用于形成蔭罩的帶狀金屬薄板的板厚較厚，移動的張力也變高，因而照相凹版滾筒的消耗劇烈，如果消耗照相凹版滾筒，則有附帶傷害帶狀金屬薄板的危險，使照相凹版滾筒的壽命變得非常短。
這里，例如特開2001-104852號公報(日本)中記載的那樣，已知使用陶瓷制的照相凹版滾筒，用該陶瓷制的照相凹版滾筒來形成耐腐蝕層的方法。
但是，即使象特開2001-104852號公報(日本)中記載的那樣使用陶瓷制的照相凹版滾筒，也存在由于硬度而不能使壽命太長，或者由于空孔率而在照相凹版滾筒中碎片產(chǎn)生、改變，從而有可能使壽命變短等問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題點，目的在于提供使照相凹版滾筒長壽命化的蔭罩的制造方法和蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置。
根據(jù)本發(fā)明第1方案，提供一種蔭罩的制造方法，包括提供帶狀金屬薄板的工序，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；在照相凹版滾筒的表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序，該照相凹版滾筒由至少表面具有1000以上的維氏硬度以及5％以下的空孔率的陶瓷材料形成，該陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部；以及使所述照相凹版滾筒與所述帶狀金屬薄板的第1主表面接觸，在所述帶狀金屬薄板的第1主表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序。
此外，根據(jù)本發(fā)明第2方案，提供一種蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，該裝置在帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部上涂敷耐腐蝕層涂敷液，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，該裝置包括照相凹版滾筒，由至少表面具有1000以上的維氏硬度以及5％以下的空孔率的陶瓷材料形成，該陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部；在所述照相凹版滾筒的表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液的部件；以及使所述照相凹版滾筒與所述帶狀金屬薄板的第1主表面接觸，在帶狀金屬薄板的第1主表面上涂敷所述耐腐蝕層涂敷液的部件。


圖1是展示本發(fā)明一個實施例的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置的概略圖。
圖2是展示圖1所示裝置的照相凹版滾筒外觀的透視圖。
圖3是展示圖1所示裝置的照相凹版滾筒的剖面圖。
圖4是展示彩色顯象管的概略圖。
圖5是展示蔭罩的一個制造工序的剖面圖。
圖6是展示圖5所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖7是展示圖6所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖8是展示圖7所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖9是展示圖8所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖10是展示圖9所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖11是展示圖10所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖12是展示圖11所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
圖13是展示圖12所示制造工序的下一個制造工序的剖面圖。
具體實施例方式
以下參照圖面對本發(fā)明的一個實施例進(jìn)行說明。
首先參照圖4對彩色顯象管1進(jìn)行說明。
如圖4所示，彩色顯象管1具有內(nèi)部保持為真空的作為真空外殼的玻殼2，形成、調(diào)制3束電子束并使之聚束的電子槍3配設(shè)在該玻殼2內(nèi)的底端側(cè)，構(gòu)成玻殼2的一部分的屏盤4配置在玻殼2的前端側(cè)。此外，在該屏盤4的內(nèi)面配置具有熒光體層的熒光屏5，該熒光體層借助來自電子槍3的3束電子束各自的轟擊分別發(fā)紅、綠和藍(lán)3種顏色的光。此外，在該電子槍3以及熒光屏5之間的玻殼2的外側(cè)，配置控制電子束位置、在整個畫面上掃描電子束的未圖示的偏轉(zhuǎn)線圈。
再有，配置作為選色電極的蔭罩6，該蔭罩自熒光屏5離開規(guī)定的間隔并與之對置，在整個面上按規(guī)定的大小、間距排列了許多矩形開孔。此外，蔭罩6具有下述作用利用這些開孔選擇自電子槍3發(fā)出的3束電子束，使之正確轟擊各自規(guī)定的熒光體層，以便與各自對應(yīng)的熒光體層按1對1的方式幾何對應(yīng)。
由于蔭罩6在彩色顯象管1的制造工序中也作為形成熒光屏5時的光掩模使用，因而蔭罩6開孔孔徑的偏差或斑紋的品質(zhì)按原樣對熒光屏5的條紋跨度或斑紋品質(zhì)產(chǎn)生影響。因此，為了提高彩色顯象管1的顯示品質(zhì)，有必要提高蔭罩6的品質(zhì)。
由本實施例的制造方法和制造裝置獲得的蔭罩6在開孔形狀和直徑中沒有偏差，斑紋品質(zhì)良好，因此可制造顯示品質(zhì)良好的彩色顯象管1。
下面參照圖1對制造蔭罩6的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置進(jìn)行說明。
該蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置如圖1所示具有2段涂敷裝置10、11，在這些涂敷裝置10、11上連續(xù)跨過作為蔭罩基材的例如含36重量％鎳的鐵鎳合金的殷鋼材料的帶狀金屬薄板12。即，各涂敷裝置10、11具有借助未圖示的驅(qū)動裝置可上下方向移動的2個展開滾筒13、14，帶狀金屬薄板12配設(shè)在這些展開滾筒13、14的下面，在通過這些展開滾筒13、14附以向下方趨勢的狀態(tài)下運(yùn)送，在這些涂敷裝置10、11的部分上帶狀金屬薄板12大致水平地移動。
此外，在展開滾筒13、14之間的帶狀金屬薄板12的下方設(shè)置直徑約20mm-約60mm的照相凹版滾筒16。如圖2和圖3所示，該照相凹版滾筒16具有中心例如由不銹鋼形成的金屬滾筒17，通過在該金屬滾筒17的周圍根據(jù)需要進(jìn)行基底處理，在該金屬滾筒17的周圍熱噴鍍維氏硬度1000以上、最好1100以上，空孔率5％以下最好3.5％以下的由氧化鉻構(gòu)成的陶瓷材料18，對表面進(jìn)行研磨而形成。再有，在陶瓷材料18的外周通過激光加工形成填充耐腐蝕層涂敷液的雕刻部19。
而且，在上流側(cè)的涂敷裝置10的照相凹版滾筒16的雕刻部19中，例如按間距約0.35mm-0.50mm，深度約0.15mm-0.3mm以螺旋狀設(shè)置相對于照相凹版滾筒16的中心軸傾斜約45°-70°的溝槽。另一方面，在下流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16的雕刻部19中，按間距約0.15mm-0.20mm，深度約0.04mm-0.08mm以螺旋狀設(shè)置相對于照相凹版滾筒16的中心軸傾斜約45°-70°的溝槽。
而且，照相凹版滾筒16直接或間接地借助未圖示的驅(qū)動電機(jī)沿帶狀金屬薄板12移動方向的反方向高速旋轉(zhuǎn)。照相凹版滾筒16的圓周速度最好是帶狀金屬薄板12移動速度的4-25倍。
此外，在照相凹版滾筒16的下方固定容器21，該容器21接收在未圖示的基臺上承載的耐腐蝕層涂敷液的溢出部分。
而且，在容器21上，配設(shè)涂敷液供給噴嘴23，向照相凹版滾筒16供給例如含無溶劑型的UV固化型樹脂的耐腐蝕層涂敷液22。此外，在該涂敷液供給噴嘴23中，就在照相凹版滾筒16的雕刻部19上的通過涂敷液供給噴嘴23供給的耐腐蝕層涂敷液22在帶狀金屬薄板12上移動之前的位置上，以利用刮刀壓板25進(jìn)行按壓的方式設(shè)置將剩余的耐腐蝕層涂敷液22撇除的刮刀24。另一方面，在涂敷液供給噴嘴23的下部，安裝尼龍刮刀26，該尼龍刮刀26限制耐腐蝕層涂敷液22的供給量，同時防止液體流掛。
在涂敷耐腐蝕層涂敷液22時，展開滾筒13、14的下表面位于與照相凹版滾筒16接觸的帶狀金屬薄板12的上側(cè)表面的下方，限制照相凹版滾筒16和帶狀金屬薄板12的形成角度和接觸面積，由于在與帶狀金屬薄板12的上方的照相凹版滾筒16相對的部分沒有配設(shè)支承軋輥等支持部件，因而移動的帶狀金屬薄板12的第2主表面處于自由狀態(tài)。另一方面，在不涂敷耐腐蝕層涂敷液22時，展開滾筒13、14向上側(cè)移動，使帶狀金屬薄板12的下表面從照相凹版滾筒16離開。
下面參照圖5-圖13對上述實施例的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置的動作進(jìn)行說明。
首先，將附著在帶狀金屬薄板12表面上的輥壓油或防銹油脫脂、洗凈、干燥，之后，如圖5所示，通過在帶狀金屬薄板12的下表面的第1主表面和作為第1主表面相反一側(cè)的上表面的第2主表面兩面上按規(guī)定厚度涂敷例如以干酪素和重鉻酸鹽作為主要成分的水溶性感光劑，進(jìn)行干燥，形成厚度為數(shù)μm的感光膜31、32。
接著，使用一對具有原版34和原版36的光掩膜，該原版34形成有與作為蔭罩6開孔的電子槍3側(cè)的凹部的小孔33對應(yīng)的圖形，該原版36形成有與熒光屏5側(cè)的大孔35對應(yīng)的圖形，如圖6所示，在將原版34、36各自貼合在兩面的感光膜31、32上的狀態(tài)下進(jìn)行曝光，燒上這些原版34、36的圖形。
之后，將燒上了各圖形的感光膜31、32用水顯影，除去未感光的部分，使帶狀金屬薄板12表面的一部分露出，如圖7所示，形成與一對原版34、36的圖形對應(yīng)的抗蝕劑圖形37、38。
再有，如圖8所示，在形成了抗蝕劑圖形38的第2主表面?zhèn)日辰颖Ｗo(hù)膜41，該保護(hù)膜41具有在CPP等耐腐蝕性樹脂膜上涂敷粘接材料的構(gòu)成。另一方面，在形成了抗蝕劑圖形37的第1主表面?zhèn)葒娡坑陕然F溶液構(gòu)成的腐蝕液，從而進(jìn)行第1腐蝕，通過該第1腐蝕，在形成了抗蝕劑圖形37的第1主表面?zhèn)鹊慕饘俾冻霾糠稚闲纬墒a罩6的電子槍3側(cè)的小孔33。
之后，如圖9所示，在第1腐蝕結(jié)束后將工業(yè)用水散布到帶狀金屬薄板12上，將帶狀金屬薄板12的第1主表面特別是小孔33內(nèi)殘存的腐蝕液均勻且高速地置換洗凈，除去小孔33內(nèi)殘存的腐蝕液。
接著，用以氫氧化鈉為主體的高溫水溶液將結(jié)束了第1腐蝕的第1主表面?zhèn)鹊目刮g劑圖形37剝離除去，用工業(yè)用水和純水進(jìn)行噴射水洗并使之干燥后，去除在抗蝕劑圖形38側(cè)形成的保護(hù)膜41。之后，如圖10所示，使用涂敷裝置10、11，在小孔33內(nèi)涂敷耐腐蝕層涂敷液22后，利用未圖示的UV固化燈對耐腐蝕層涂敷液22進(jìn)行紫外線照射，使耐腐蝕層涂敷液UV固化，形成耐腐蝕層42。
在形成該耐腐蝕層42時，利用上流側(cè)的涂敷裝置10將剩余的耐腐蝕層涂敷液22壓入第1主表面的小孔33內(nèi)，與此同時和小孔33內(nèi)的空氣進(jìn)行充分的置換，此后可利用下流側(cè)的涂敷裝置11控制耐腐蝕層涂敷液22的膜厚。
使用這樣的2個涂敷裝置10、11，在小孔33的深凹部、更高精細(xì)掩膜的細(xì)的深凹部、有效部外的面積大的深凹部，甚至在殘存抗蝕劑狀態(tài)下的小孔33中都可使耐腐蝕層涂敷液22充分填充。此外，由于上流側(cè)的涂敷裝置10的照相凹版滾筒16的雕刻部19一方比下流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16的雕刻部19粗，從而可保持更多的耐腐蝕層涂敷液22，因而用上流側(cè)的涂敷裝置10的照相凹版滾筒16供給充足的耐腐蝕層涂敷液22，用下流側(cè)的涂敷裝置11的照相凹版滾筒16控制耐腐蝕層涂敷液22的膜厚。
之后，在耐腐蝕層42上根據(jù)需要粘貼保護(hù)膜43。
此外，如圖11所示，通過在形成了抗蝕劑圖形38的第2主表面?zhèn)葒娡柯然F溶液的腐蝕液進(jìn)行第2腐蝕，在形成了抗蝕劑圖形38的第2主表面?zhèn)刃纬墒a罩6的熒光屏5側(cè)的大孔35，使之與小孔33貫通，形成開孔44。
之后，如圖12所示，在該第2腐蝕結(jié)束后將工業(yè)用水散布到帶狀金屬薄板12上，將帶狀金屬薄板12的表面特別是大孔35內(nèi)殘存的腐蝕液22用工業(yè)用水均勻且高速地置換，除去腐蝕液22。
接著，去除在帶狀金屬薄板12的第1主表面?zhèn)日迟N的保護(hù)膜43，用未圖示的剝離裝置借助以氫氧化鈉為主體的高溫水溶液將形成了大孔35的第2主表面?zhèn)鹊目刮g劑圖形38以及形成了小孔33的第1主表面?zhèn)鹊哪透g層42剝離除去。此外，通過水洗、干燥，如圖13所示，在帶狀金屬薄板12中形成連通小孔33和大孔35的多個矩形狀的開孔44。
按照上述實施例，使照相凹版滾筒16為直徑約20mm-約60mm的小直徑，從而使之與帶狀金屬薄板12的接觸面積小，同時通過使照相凹版滾筒16沿帶狀金屬薄板12的運(yùn)送方向上的反方向高速旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生大的剪斷力，使向小孔33壓入耐腐蝕層涂敷液22的力增大，與小孔33內(nèi)空氣的置換容易，即使使用有凹凸的帶狀金屬薄板12也可容易地在小孔33中填充耐腐蝕層涂敷液22。
此外，由于照相凹版滾筒16由表面維氏硬度1000以上，空孔率5％以下的陶瓷材料18形成，因而可減少照相凹版滾筒16的磨損，同時防止碎片的發(fā)生。此外，由于陶瓷材料18的保持耐腐蝕層涂敷液22的雕刻部19通過激光加工而被雕刻，所以對帶狀金屬薄板12的損壞較小，照相凹版滾筒16自身也變得長壽命。
而且，不必在全部涂敷裝置10、11的全部的照相凹版滾筒16的表面上形成陶瓷材料18，僅在磨損大的照相凹版滾筒16的表面上形成陶瓷材料18即可。
此外，如果在金屬滾筒17上容易借助熱噴鍍可靠地設(shè)置陶瓷材料18，則在照相凹版滾筒16的表面上熱噴鍍陶瓷材料18之前，不在金屬滾筒17的外周面上進(jìn)行基底處理也可以。
再有，通過將氧化鉻用于照相凹版滾筒16的陶瓷材料18，具有經(jīng)濟(jì)性、耐磨損性，同時激光加工也變得容易，但如果可激光加工，也可使用氧化鉻以外的物質(zhì)。
此外，由于在利用刮刀24將照相凹版滾筒16的雕刻部19上的耐腐蝕層涂敷液22的厚度調(diào)整到通常規(guī)定的均勻厚度之后提供給帶狀金屬薄板12，因而獲得了穩(wěn)定的膜厚度、涂敷工作狀態(tài)。
在上述實施例中，使用無溶劑型的UV固化型樹脂作為耐腐蝕層涂敷液22，但也可以使用水溶性的熱干燥型樹脂、熱固化型樹脂、溶劑型的熱固化型樹脂或熱熔化樹脂等任意一種。
下面說明其他實施例。
在上述實施例中，在上流側(cè)的涂敷裝置10和下流側(cè)的涂敷裝置11的任一個中使用刮刀24，但為供給足夠的耐腐蝕層涂敷液22，也可以在上流側(cè)的涂敷裝置10中不設(shè)置刮刀，在帶狀金屬薄板12上提供過剩的耐腐蝕層涂敷液22。
此外，做成上流側(cè)的涂敷裝置10和下流側(cè)的涂敷裝置11的兩段，但在小孔33為小直徑或不深的情況下，在帶狀金屬薄板12中凹凸較少時，由于耐腐蝕層涂敷液22的涂敷容易，為簡化裝置，也可使涂敷裝置為1個。
在此情況下，也可以在照相凹版滾筒16下流側(cè)，在展開滾筒14跟前第2主表面上面設(shè)置從上方按壓帶狀金屬薄板12的輔助滾筒，可更有效地進(jìn)行小孔33內(nèi)的空氣置換或膜厚的控制。
此外，在涂敷裝置為1個的情況下，為供給過剩的耐腐蝕層涂敷液22，也可以在涂敷裝置的上流側(cè)設(shè)置刮刀，以便在帶狀金屬薄板12上預(yù)先涂敷耐腐蝕層涂敷液22。此外，在此情況下，最好在涂敷裝置的上流側(cè)將帶狀金屬薄板12翻過來，在帶狀金屬薄板12的上面?zhèn)扰湓O(shè)縫隙涂料器，從帶狀金屬薄板12的上面涂敷耐腐蝕層涂敷液22。然后，利用縫隙涂料器在帶狀金屬薄板12上供給過剩的耐腐蝕層涂敷液22，一邊利用涂敷裝置將過剩供給的耐腐蝕層涂敷液22壓入凹部，一邊控制膜厚，按照規(guī)定的厚度使膜厚均勻。
這里，基于上述實施例參照表1說明效果。
表1

首先，對在金屬滾筒17的周圍形成了由維氏硬度1250、空孔率3％的氧化鉻構(gòu)成的陶瓷材料18的實施例1、2，以及在金屬滾筒的周圍實施硬質(zhì)鉻(Cr)電鍍的比較例1、2、3進(jìn)行實驗。
在比較例1中，在用板厚0.12mm的帶狀金屬薄板形成的彩色顯示管(CDT)的蔭罩上涂敷耐腐蝕層涂敷液的情況下，獲得壽命為600,000m的足夠的壽命。
其次，在實施例1和比較例2中，在用板厚0.22mm的帶狀金屬薄板形成的彩色顯象管(CPT)的蔭罩上涂敷耐腐蝕層涂敷液的情況下，比較例2的在金屬滾筒上實施了硬質(zhì)鉻電鍍的照相凹版滾筒的壽命低至11,250m，而實施例1的在金屬滾筒17上形成了陶瓷材料18的照相凹版滾筒16的壽命為675,000m，獲得了足夠的壽命。
再有，在實施例2和比較例3中，在用板厚0.25mm的帶狀金屬薄板形成的彩色顯象管的蔭罩上涂敷耐腐蝕層涂敷液的情況下，比較例3的在金屬滾筒上實施了硬質(zhì)鉻電鍍的照相凹版滾筒的壽命低至9,000m，而實施例2的在金屬滾筒17上形成了陶瓷材料18的照相凹版滾筒16的壽命為450,000m，獲得了足夠的壽命。
根據(jù)這些實驗結(jié)果可以明白，在陶瓷材料18形成在金屬滾筒17上的照相凹版滾筒16中，即使使用在彩色顯象管1中使用的厚度的厚帶狀金屬薄板12，也可獲得足夠的壽命。
此外，在使用形成了陶瓷材料18的照相凹版滾筒16的測試中，認(rèn)為任何一個都沒有因陶瓷材料的碎片產(chǎn)生的條紋等缺陷。
如上所述，如果按照本發(fā)明，則在帶狀金屬薄板的第1主表面上，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，在涂敷耐腐蝕層涂敷液時使用照相凹版滾筒，該照相凹版滾筒由至少表面具有1000以上的維氏硬度以及5％以下的空孔率的陶瓷材料形成，該陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部。因此，抑制了通過使陶瓷材料與帶狀金屬薄板接觸、旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的磨損，同時防止在陶瓷材料與帶狀金屬薄板接觸、旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生碎片，結(jié)果，謀求照相凹版滾筒的長壽命化。
權(quán)利要求
1.一種蔭罩的制造方法，包括提供帶狀金屬薄板的工序，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；在照相凹版滾筒的表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液的工序，該照相凹版滾筒由至少表面具有1000以上的維氏硬度以及5％以下的空孔率的陶瓷材料形成，該陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部；以及使所述照相凹版滾筒與所述帶狀金屬薄板的第1主表面接觸，在所述帶狀金屬薄板的第1主表面上涂敷所述耐腐蝕層涂敷液的工序。
2.一種蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，該裝置在帶狀金屬薄板的第1主表面的凹部上涂敷耐腐蝕層涂敷液，該帶狀金屬薄板包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面，該裝置包括照相凹版滾筒，由至少表面具有1000以上的維氏硬度以及5％以下的空孔率的陶瓷材料形成、該陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蝕層涂敷液的雕刻部；在所述照相凹版滾筒的表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液的部件，以及使所述照相凹版滾筒與所述帶狀金屬薄板的第1主表面接觸，在帶狀金屬薄板的第1主表面上涂敷所述耐腐蝕層涂敷液的部件。
3.如權(quán)利要求2的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述照相凹版滾筒包括金屬滾筒，和在該金屬滾筒的表面上形成以便不露出所屬金屬滾筒的具有雕刻部的陶瓷材料。
4.如權(quán)利要求2或3的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述陶瓷材料是氧化鉻。
5.如權(quán)利要求2至4的任意一項的蔭罩制造用耐腐蝕層涂敷裝置，其特征在于，所述雕刻部通過激光加工形成。
全文摘要
一種蔭罩的制造方法，包括提供帶狀金屬薄板12的工序，該帶狀金屬薄板12包括具有多個凹部的第1主表面，以及與第1主表面相反一側(cè)的、形成了具有多個開口的抗蝕劑層的第2主表面；在照相凹版滾筒的表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液22的工序，該照相凹版滾筒22由至少表面具有1000以上的維氏硬度以及5％以下的空孔率的陶瓷材料18形成，該陶瓷材料的表面上具有保持耐腐蝕層涂敷液22的雕刻部19；以及使所述照相凹版滾筒16與所述帶狀金屬薄板12的第1主表面接觸，在所述帶狀金屬薄板12的第1主表面上涂敷耐腐蝕層涂敷液22的工序。
文檔編號H01J9/14GK1437212SQ03119869
公開日2003年8月20日 申請日期2003年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月7日
發(fā)明者二階堂勝, 大川猛, 隈本健次 申請人:株式會社東芝