一種基板支撐結(jié)構(gòu)及曝光機(jī)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種基板支撐結(jié)構(gòu)及曝光機(jī)，涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，可減少現(xiàn)有技術(shù)中因托舉件的水平位置固定而對(duì)產(chǎn)品良率造成影響的問題。該基板支撐結(jié)構(gòu)包括多個(gè)托舉件和第一驅(qū)動(dòng)裝置，多個(gè)所述托舉件的頂端位于同一水平面內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件水平移動(dòng)。本發(fā)明用于支撐基板。
【專利說明】
一種基板支撐結(jié)構(gòu)及曝光機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板支撐結(jié)構(gòu)及曝光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]顯示面板生產(chǎn)工藝中用到的很多設(shè)備內(nèi)均設(shè)有基板支撐結(jié)構(gòu)，用以支撐基板。
[0003]參照?qǐng)D1，現(xiàn)有技術(shù)中的基板支撐結(jié)構(gòu)包括基臺(tái)01，基臺(tái)01的上表面開設(shè)有多個(gè)安裝孔(圖中未示出)，每個(gè)安裝孔內(nèi)均設(shè)有托舉件02，多個(gè)所述托舉件02的頂端位于同一水平面內(nèi)。
[0004]由于托舉件02設(shè)置于基臺(tái)01上的安裝孔內(nèi)，因此托舉件02不能沿平行于基臺(tái)01上表面的方向移動(dòng)，即托舉件02的水平位置固定，但是對(duì)于不同的產(chǎn)品，基板上顯示區(qū)和非顯示區(qū)的布局設(shè)計(jì)不同，即基板上顯示區(qū)和非顯示區(qū)的位置不同，因此在生產(chǎn)不同產(chǎn)品時(shí)，托舉件02會(huì)支撐到基板的顯示區(qū)，進(jìn)而在顯示區(qū)留下圓圈狀的痕跡，導(dǎo)致產(chǎn)品的良率受到嚴(yán)重影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的實(shí)施例提供一種基板支撐結(jié)構(gòu)及曝光機(jī)，可減少現(xiàn)有技術(shù)中因托舉件的水平位置固定而對(duì)產(chǎn)品良率造成影響的問題。
[0006]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種基板支撐結(jié)構(gòu)，包括多個(gè)托舉件和第一驅(qū)動(dòng)裝置，多個(gè)所述托舉件的頂端位于同一水平面內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件水平移動(dòng)。
[0008]進(jìn)一步的，還包括基臺(tái)和第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述基臺(tái)的上表面開設(shè)有滑槽，多個(gè)所述托舉件設(shè)置于所述滑槽內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件在所述滑槽內(nèi)水平移動(dòng)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述托舉件或所述基臺(tái)沿豎直方向移動(dòng)，以使多個(gè)所述托舉件與所述基臺(tái)之間產(chǎn)生相對(duì)位移，隨著多個(gè)所述托舉件或所述基臺(tái)沿豎直方向的移動(dòng)，多個(gè)所述托舉件的頂端可高于、平齊于或低于所述基臺(tái)的上表面。
[0009]進(jìn)一步的，還包括導(dǎo)軌以及配合設(shè)置于所述導(dǎo)軌內(nèi)的多個(gè)滑塊，多個(gè)所述托舉件與多個(gè)所述滑塊一一對(duì)應(yīng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，以帶動(dòng)相應(yīng)的所述托舉件在所述滑槽內(nèi)水平移動(dòng)。
[0010]進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軌固定設(shè)置，所述滑塊的上表面設(shè)有插槽，所述托舉件的至少一部分插入所述插槽內(nèi)，所述托舉件可在所述插槽內(nèi)沿豎直方向移動(dòng)，還包括限位結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)時(shí)，所述限位結(jié)構(gòu)可防止所述托舉件在所述插槽內(nèi)水平移動(dòng)。
[0011]進(jìn)一步的，所述限位結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)圓錐面，其中一個(gè)圓錐面為所述插槽的側(cè)面，另一個(gè)圓錐面為所述托舉件的側(cè)面，當(dāng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)時(shí)，所述托舉件的側(cè)面與所述插槽的側(cè)面抵接。
[0012]進(jìn)一步的，所述滑槽包括多個(gè)十字形槽，多個(gè)所述托舉件一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于多個(gè)所述十字形槽內(nèi)。
[0013]進(jìn)一步的，所述滑槽內(nèi)設(shè)有多個(gè)支撐板，所述支撐板與所述滑槽側(cè)壁的頂端通過鉸接軸鉸接，所述支撐板連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述第三驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)所述支撐板繞所述鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，隨著所述支撐板的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述支撐板的上表面可與所述基臺(tái)的上表面平齊。
[0014]進(jìn)一步的，所述基臺(tái)固定設(shè)置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置與所述托舉件連接。
[0015]進(jìn)一步的，所述基臺(tái)內(nèi)開設(shè)有容納腔，所述滑槽與所述容納腔連通，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置和所述第二驅(qū)動(dòng)裝置均設(shè)置于所述容納腔內(nèi)。
[0016]進(jìn)一步的，至少一個(gè)所述托舉件的頂端設(shè)有吸附孔，所述吸附孔連接有真空發(fā)生器。
[0017]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種基板支撐結(jié)構(gòu)，由于所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件水平移動(dòng)，因此在生產(chǎn)不同產(chǎn)品時(shí)，可根據(jù)基板上顯示區(qū)和非顯示區(qū)的位置來調(diào)整托舉件的水平位置，以減少支撐于基板顯示區(qū)的托舉件的個(gè)數(shù)，從而減少了托舉件在顯示區(qū)留下的圓圈狀痕跡的個(gè)數(shù)，進(jìn)而減少了對(duì)產(chǎn)品良率造成影響的問題。
[0018]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種曝光機(jī)，包括上述任一技術(shù)方案中的基板支撐結(jié)構(gòu)。
[0019]本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光機(jī)，由于所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件水平移動(dòng)，因此在生產(chǎn)不同產(chǎn)品時(shí)，可根據(jù)基板上顯示區(qū)和非顯示區(qū)的位置來調(diào)整托舉件的水平位置，以減少支撐于基板顯示區(qū)的托舉件的個(gè)數(shù)，從而減少了托舉件在顯示區(qū)留下的圓圈狀痕跡的個(gè)數(shù)，進(jìn)而減少了對(duì)產(chǎn)品良率造成影響的問題。
【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中基板支撐結(jié)構(gòu)的俯視圖；
[0021 ]圖2為本發(fā)明實(shí)施例基板支撐結(jié)構(gòu)的俯視圖；
[0022]圖3為本發(fā)明實(shí)施例基板支撐結(jié)構(gòu)中導(dǎo)軌和滑塊的示意圖；
[0023]圖4為本發(fā)明實(shí)施例基板支撐結(jié)構(gòu)中插槽的示意圖；
[0024]圖5為本發(fā)明實(shí)施例基板支撐結(jié)構(gòu)中支撐板的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0026]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0027]術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上。
[0028]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接;可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0029]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種基板支撐結(jié)構(gòu)，如圖2所示，包括多個(gè)托舉件3和第一驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)，多個(gè)托舉件3的頂端位于同一水平面內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)托舉件3水平移動(dòng)。
[0030]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種基板支撐結(jié)構(gòu)，由于所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)托舉件3水平移動(dòng)，因此在生產(chǎn)不同產(chǎn)品時(shí)，可根據(jù)基板上顯示區(qū)和非顯示區(qū)的位置來調(diào)整托舉件3的水平位置，以減少支撐于基板顯示區(qū)的托舉件3的個(gè)數(shù)，從而減少了托舉件3在顯示區(qū)留下的圓圈狀痕跡的個(gè)數(shù)，進(jìn)而減少了對(duì)產(chǎn)品良率造成影響的問題。
[0031]需要說明的是，在調(diào)整托舉件3水平位置的時(shí)候是根據(jù)實(shí)際情況來進(jìn)行調(diào)整的，因此托舉件3沿平行于基臺(tái)I上表面的移動(dòng)是選擇性的移動(dòng)，即有可能全部移動(dòng)，也有可能只移動(dòng)一部分;這里的第一驅(qū)動(dòng)裝置可以包括電機(jī)以及互相嚙合的齒輪和齒條，齒輪套設(shè)于電機(jī)的輸出軸上，齒條配合設(shè)置于齒條軌道內(nèi)，托舉件與齒條連接，當(dāng)電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，電機(jī)的輸出軸可帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪可帶動(dòng)齒條在齒條軌道內(nèi)平移，從而帶動(dòng)托舉件水平移動(dòng)。
[0032]進(jìn)一步的，基板支撐結(jié)構(gòu)還包括基臺(tái)I和第二驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)，所述基臺(tái)I的上表面開設(shè)有滑槽2，多個(gè)所述托舉件3設(shè)置于所述滑槽2內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件3在所述滑槽2內(nèi)水平移動(dòng)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述托舉件3或所述基臺(tái)I沿豎直方向移動(dòng)，以使多個(gè)所述托舉件3與所述基臺(tái)I之間產(chǎn)生相對(duì)位移，隨著多個(gè)所述托舉件3或所述基臺(tái)I沿豎直方向的移動(dòng)，多個(gè)所述托舉件3的頂端可高于、平齊于或低于所述基臺(tái)I的上表面，這里的第二驅(qū)動(dòng)裝置可以為氣缸，由此，放置基板(圖中未示出)時(shí)，可通過所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)多個(gè)托舉件3或基臺(tái)I沿豎直方向移動(dòng)，以使多個(gè)托舉件3相對(duì)于基臺(tái)I上升，當(dāng)多個(gè)托舉件3的頂端高于基臺(tái)I的上表面時(shí)，將基板放置于多個(gè)托舉件3的頂端，而后再通過第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)多個(gè)托舉件3或基臺(tái)I沿豎直方向移動(dòng)，以使多個(gè)托舉件3相對(duì)于基臺(tái)I下降，直至將基板放置于基臺(tái)I的上表面，至此，基板放置完畢。
[0033]為了使托舉件3在滑槽2內(nèi)滑動(dòng)時(shí)更平穩(wěn)，同時(shí)為了避免滑動(dòng)時(shí)滑槽2側(cè)壁對(duì)托舉件3造成磨損，參照?qǐng)D3，本實(shí)施例的基板支撐結(jié)構(gòu)還包括導(dǎo)軌4以及配合設(shè)置于導(dǎo)軌4內(nèi)的多個(gè)滑塊5，多個(gè)托舉件3與多個(gè)滑塊5—一對(duì)應(yīng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)滑塊5沿導(dǎo)軌4滑動(dòng)，以帶動(dòng)相應(yīng)的托舉件3在滑槽2內(nèi)水平移動(dòng)，由此使得導(dǎo)軌4能夠通過限制滑塊5的滑動(dòng)來對(duì)托舉件3的滑動(dòng)進(jìn)行限制，從而使托舉件3在滑槽2內(nèi)滑動(dòng)時(shí)更平穩(wěn)，在此基礎(chǔ)上，滑槽2側(cè)壁則無需與托舉件3接觸，從而避免了托舉件3在滑槽2內(nèi)滑動(dòng)時(shí)與滑槽2側(cè)壁摩擦而對(duì)托舉件3造成磨損的問題。
[0034]上述實(shí)施例中，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)多個(gè)托舉件3升降時(shí)，由于托舉件3與導(dǎo)軌4內(nèi)的滑塊5連接，因此，需要導(dǎo)軌4以及滑塊5與托舉件3 —同升降，這使得需要的驅(qū)動(dòng)力會(huì)增大，導(dǎo)致第二驅(qū)動(dòng)裝置的成本上升，為了避免上述問題，參照?qǐng)D3和圖4，本實(shí)施例中導(dǎo)軌4固定設(shè)置，滑塊5的上表面設(shè)有插槽51，托舉件3的至少一部分插入插槽51內(nèi)，托舉件3可在插槽51內(nèi)沿豎直方向移動(dòng)，由此，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)多個(gè)托舉件3升降時(shí)，無需導(dǎo)軌4以及滑塊5與托舉件3—同升降，只需托舉件3在相應(yīng)滑塊5的插槽51內(nèi)上下移動(dòng)即可，從而避免了需要的驅(qū)動(dòng)力增大導(dǎo)致第二驅(qū)動(dòng)裝置成本上升的問題，插槽51的尺寸可根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，只要滿足托舉件3的正常上下移動(dòng)即可；
[0035]另外，本實(shí)施例中的基板支撐結(jié)構(gòu)還包括限位結(jié)構(gòu)6，當(dāng)滑塊5沿導(dǎo)軌4滑動(dòng)時(shí)，限位結(jié)構(gòu)6可防止托舉件3在插槽51內(nèi)水平移動(dòng)，也就是說，限位結(jié)構(gòu)6可防止托舉件3相對(duì)于滑塊5水平晃動(dòng)，從而使導(dǎo)軌4通過限制滑塊5的滑動(dòng)就能夠限制托舉件3的滑動(dòng)，進(jìn)而保證了托舉件3在滑槽2內(nèi)滑動(dòng)時(shí)更平穩(wěn)。
[0036]限位結(jié)構(gòu)6的實(shí)施方式有多種，例如，可以包括卡塊和卡槽，所述卡槽可以設(shè)置于插槽51的底面上，所述卡塊設(shè)置于托舉件3上與所述卡槽對(duì)應(yīng)的位置處，當(dāng)滑塊5沿導(dǎo)軌4滑動(dòng)時(shí)，所述卡塊配合卡接于所述卡槽內(nèi)，當(dāng)托舉件3在插槽51內(nèi)上下移動(dòng)時(shí)，所述卡塊從所述卡槽內(nèi)滑出；
[0037]限位結(jié)構(gòu)6也可以包括兩個(gè)圓柱面，其中一個(gè)圓柱面為插槽51的側(cè)面，另一個(gè)圓柱面為托舉件3的側(cè)面，當(dāng)滑塊5沿導(dǎo)軌4滑動(dòng)時(shí)，兩個(gè)所述圓柱面抵接，此時(shí)，托舉件3配合設(shè)置于插槽51內(nèi)；
[0038]當(dāng)然，限位結(jié)構(gòu)6還可以包括兩個(gè)圓錐面61和62，如圖4所示，其中一個(gè)圓錐面61為插槽51的側(cè)面，另一個(gè)圓錐面62為托舉件3的側(cè)面，當(dāng)滑塊5沿導(dǎo)軌4滑動(dòng)時(shí)，兩個(gè)圓錐面61和62抵接，當(dāng)托舉件3在插槽51內(nèi)上下移動(dòng)時(shí)，兩個(gè)圓錐面61和62分離；
[0039]本實(shí)施例中限位結(jié)構(gòu)6優(yōu)選為兩個(gè)圓錐面61和62，由于兩個(gè)圓錐面61和62為插槽51和托舉件3原有的表面，因此相比卡塊和卡槽簡(jiǎn)化了加工工藝;又由于當(dāng)托舉件3在插槽51內(nèi)上下移動(dòng)時(shí)，兩個(gè)圓錐面61和62分離，因此相比兩個(gè)圓柱面減少了托舉件3上下移動(dòng)時(shí)受到的磨損。
[0040]參照?qǐng)D2，滑槽2包括多個(gè)十字形槽21，多個(gè)托舉件3—一對(duì)應(yīng)設(shè)置于多個(gè)十字形槽21內(nèi)，由此使得托舉件3沿平行于基臺(tái)I上表面的可移動(dòng)方向增多，從而使生產(chǎn)不同產(chǎn)品時(shí)能夠更方便的調(diào)整托舉件3的水平位置，避免托舉件3支撐于基板上的顯示區(qū)；另外，相比網(wǎng)狀滑槽，本實(shí)施例中多個(gè)十字形槽21互不連通，從而縮短了滑槽的長(zhǎng)度，方便加工。十字形槽21包括四個(gè)槽段，每個(gè)槽段的長(zhǎng)度可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置，示例的，可以設(shè)置為120_。
[0041]參照?qǐng)D2，當(dāng)基板放置于基臺(tái)I的上表面之后，基板上與滑槽2對(duì)應(yīng)的位置無支撐力，在重力或其他方向向下的力的作用下，該位置可能會(huì)下沉，而基板上的其他位置可能會(huì)翹曲，即基板可能會(huì)產(chǎn)生形變，為了避免上述問題，參照?qǐng)D5，本實(shí)施例中滑槽2內(nèi)設(shè)有多個(gè)支撐板7，支撐板7與滑槽2側(cè)壁的頂端通過鉸接軸(圖中未示出)鉸接，支撐板7連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未示出)，所述第三驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)支撐板7繞所述鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，隨著支撐板7的轉(zhuǎn)動(dòng)，支撐板7的上表面可與基臺(tái)I的上表面平齊，由此，當(dāng)托舉件3選定水平位置時(shí)，托舉件3在滑槽2內(nèi)的位置固定，此時(shí)，滑槽2內(nèi)與托舉件3對(duì)應(yīng)的支撐板7處于將滑槽2打開的狀態(tài)，避免對(duì)托舉件3的升降造成影響，通過第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)滑槽2內(nèi)其他位置的支撐板7繞相應(yīng)的鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，直至其他位置的支撐板7的上表面與基臺(tái)I的上表面平齊，需要說明的是，其他位置的支撐板7指的是當(dāng)托舉件3選定水平位置之后，不會(huì)對(duì)托舉件3的升降造成影響的支撐板7，因此，當(dāng)基板放置于基臺(tái)I的上表面時(shí)，其他位置的這些支撐板7能夠?qū)迳峡赡芟鲁恋奈恢闷鸬街巫饔?，從而避免了基板產(chǎn)生形變的問題。
[0042]當(dāng)滑槽2包括多個(gè)十字形槽21，且多個(gè)托舉件3——對(duì)應(yīng)設(shè)置于多個(gè)十字形槽21內(nèi)時(shí)，每個(gè)十字形槽21內(nèi)均設(shè)有多個(gè)支撐板7，當(dāng)任意一個(gè)十字形槽21內(nèi)的托舉件3選定水平位置之后，均可通過第三驅(qū)動(dòng)裝置選擇性的驅(qū)動(dòng)支撐板7轉(zhuǎn)動(dòng)，從而靈活控制支撐板7對(duì)基板的支撐面積。具體的，支撐板7的形狀可以為圖5中所示的三角形，當(dāng)然也可以為矩形或其他形狀，本發(fā)明對(duì)此不做限定。當(dāng)支撐板7為三角形時(shí)，相鄰的兩個(gè)支撐板7可分別與滑槽2相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁鉸接，以使相鄰的兩個(gè)三角形支撐板7相對(duì)的邊沿接觸，從而減小了相鄰的兩個(gè)支撐板7之間的間隙，進(jìn)而增大了對(duì)基板的支撐面積；當(dāng)支撐板7為矩形或其他形狀時(shí)，相鄰的兩個(gè)支撐板7可分別與滑槽2相對(duì)的兩個(gè)側(cè)壁鉸接，也可與滑槽2的同一個(gè)側(cè)壁鉸接，此時(shí)，相鄰的兩個(gè)矩形支撐板7相對(duì)的邊沿也可以互相接觸，以減小相鄰的兩個(gè)支撐板7之間的間隙，從而增大了對(duì)基板的支撐面積。支撐板7沿滑槽2長(zhǎng)度方向的尺寸也有多種選擇，示例的，可以為5mm。這里的第三驅(qū)動(dòng)裝置也可以包括電機(jī)以及互相嚙合的齒輪和齒條，齒輪套設(shè)于電機(jī)的輸出軸上，齒條配合設(shè)置于齒條軌道內(nèi)，齒條與支撐板連接，當(dāng)電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，電機(jī)的輸出軸可帶動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪可帶動(dòng)齒條在齒條軌道內(nèi)平移，從而推動(dòng)支撐板繞其鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0043]以上實(shí)施例中，第二驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)多個(gè)托舉件3沿豎直方向移動(dòng)，也可驅(qū)動(dòng)基臺(tái)I沿豎直方向移動(dòng)，當(dāng)?shù)诙?qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)基臺(tái)I移動(dòng)時(shí)，由于基臺(tái)I的體積和重量較大，因此需要第二驅(qū)動(dòng)裝置提供的驅(qū)動(dòng)力相應(yīng)較大，也就是說對(duì)第二驅(qū)動(dòng)裝置的性能要求較高，這會(huì)導(dǎo)致第二驅(qū)動(dòng)裝置的成本較高，因此，本實(shí)施例中基臺(tái)I固定設(shè)置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置與托舉件3連接，此時(shí)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置用于驅(qū)動(dòng)托舉件3移動(dòng)，從而使第二驅(qū)動(dòng)裝置只需要提供較小的驅(qū)動(dòng)力即可，也就降低了對(duì)第二驅(qū)動(dòng)裝置性能的要求，進(jìn)而降低了成本。
[0044]為了減小基板支撐結(jié)構(gòu)的體積，本實(shí)施例中基臺(tái)I內(nèi)開設(shè)有容納腔(圖中未示出)，滑槽2與所述容納腔連通，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置和所述第二驅(qū)動(dòng)裝置均設(shè)置于所述容納腔內(nèi)，由此，可避免第一驅(qū)動(dòng)裝置和第二驅(qū)動(dòng)裝置占用額外的空間，從而減小了基板支撐結(jié)構(gòu)的體積。
[0045]需要說明的是，當(dāng)基板支撐結(jié)構(gòu)包括導(dǎo)軌4時(shí)，導(dǎo)軌4也可以放置于所述容納腔內(nèi)。
[0046]為了保證工藝精度，參照?qǐng)D2，本實(shí)施例中至少一個(gè)托舉件3的頂端設(shè)有吸附孔(圖中未示出)，所述吸附孔連接有真空發(fā)生器(圖中未示出)，這里的真空發(fā)生器可以為真空栗或抽風(fēng)風(fēng)扇，由此，當(dāng)基板放置于多個(gè)托舉件3的頂端時(shí)，真空發(fā)生器啟動(dòng)，真空發(fā)生器可通過吸附孔抽出基板下表面與托舉件3之間的氣體，使基板下表面與托舉件3之間形成負(fù)壓，從而將基板吸住，避免基板的位置發(fā)生偏移，進(jìn)而保證了工藝精度。
[0047]托舉件3的頂面可以為圓形，未設(shè)置吸附孔的托舉件3b，其頂面直徑可設(shè)置為4mm，高度可設(shè)置為5mm，設(shè)置有吸附孔的托舉件3a，其頂面直徑可設(shè)置為8mm，高度可設(shè)置為1mm0
[0048]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種曝光機(jī)，包括上述任一實(shí)施例所述的基板支撐結(jié)構(gòu)。
[0049]關(guān)于本發(fā)明實(shí)施例的曝光機(jī)的其他構(gòu)成等已為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知，在此不再詳細(xì)說明。
[0050]本發(fā)明實(shí)施例提供的曝光機(jī)，由于所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)托舉件3水平移動(dòng)，因此在生產(chǎn)不同產(chǎn)品時(shí)，可根據(jù)基板上顯示區(qū)和非顯示區(qū)的位置來調(diào)整托舉件3的水平位置，以減少支撐于基板顯示區(qū)的托舉件3的個(gè)數(shù)，從而減少了托舉件3在顯示區(qū)留下的圓圈狀痕跡的個(gè)數(shù)，進(jìn)而減少了對(duì)產(chǎn)品良率造成影響的問題。
[0051]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括多個(gè)托舉件和第一驅(qū)動(dòng)裝置，多個(gè)所述托舉件的頂端位于同一水平面內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件水平移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括基臺(tái)和第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述基臺(tái)的上表面開設(shè)有滑槽，多個(gè)所述托舉件設(shè)置于所述滑槽內(nèi)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述托舉件在所述滑槽內(nèi)水平移動(dòng)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)多個(gè)所述托舉件或所述基臺(tái)沿豎直方向移動(dòng)，以使多個(gè)所述托舉件與所述基臺(tái)之間產(chǎn)生相對(duì)位移，隨著多個(gè)所述托舉件或所述基臺(tái)沿豎直方向的移動(dòng)，多個(gè)所述托舉件的頂端可高于、平齊于或低于所述基臺(tái)的上表面。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括導(dǎo)軌以及配合設(shè)置于所述導(dǎo)軌內(nèi)的多個(gè)滑塊，多個(gè)所述托舉件與多個(gè)所述滑塊一一對(duì)應(yīng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)至少一個(gè)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)，以帶動(dòng)相應(yīng)的所述托舉件在所述滑槽內(nèi)水平移動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)軌固定設(shè)置，所述滑塊的上表面設(shè)有插槽，所述托舉件的至少一部分插入所述插槽內(nèi)，所述托舉件可在所述插槽內(nèi)沿豎直方向移動(dòng)，還包括限位結(jié)構(gòu)，當(dāng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)時(shí)，所述限位結(jié)構(gòu)可防止所述托舉件在所述插槽內(nèi)水平移動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述限位結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)圓錐面，其中一個(gè)圓錐面為所述插槽的側(cè)面，另一個(gè)圓錐面為所述托舉件的側(cè)面，當(dāng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)時(shí)，所述托舉件的側(cè)面與所述插槽的側(cè)面抵接。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述滑槽包括多個(gè)十字形槽，多個(gè)所述托舉件一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于多個(gè)所述十字形槽內(nèi)。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述滑槽內(nèi)設(shè)有多個(gè)支撐板，所述支撐板與所述滑槽側(cè)壁的頂端通過鉸接軸鉸接，所述支撐板連接有第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述第三驅(qū)動(dòng)裝置可驅(qū)動(dòng)所述支撐板繞所述鉸接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，隨著所述支撐板的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述支撐板的上表面可與所述基臺(tái)的上表面平齊。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基臺(tái)固定設(shè)置，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置與所述托舉件連接。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基臺(tái)內(nèi)開設(shè)有容納腔，所述滑槽與所述容納腔連通，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置和所述第二驅(qū)動(dòng)裝置均設(shè)置于所述容納腔內(nèi)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，至少一個(gè)所述托舉件的頂端設(shè)有吸附孔，所述吸附孔連接有真空發(fā)生器。11.一種曝光機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1?10中任一項(xiàng)所述的基板支撐結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK105824200SQ201610379882
【公開日】2016年8月3日
【申請(qǐng)日】2016年5月31日
【發(fā)明人】劉瀏, 彭金寶, 石鵬程
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司