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感光性樹(shù)脂組合物及其應(yīng)用_5

文檔序號(hào):9929133閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
' -偶氮二異丁腈[2,2 ' - a z 0 b i s (isobutyronitrile)]、2,2,-偶氮二(2 -甲基丁臆)[2,2'-azobis(2_methyl butyronitrile) ]、1,1,_偶氮二(環(huán)己燒_2_甲臆)[1,1,-azobis(cyclohexane_l-carbonitrile)]、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊臆)[2,2'1201318(2,4-(11 methyl va ler onitrile)、1_[( 1-氰基-1-甲基乙基)偶氮]甲酰胺{1_[ (l-cyan0-1-methylethyl)az o]formamide}、2,2'_偶氮二{2_甲基-氮-[1,1-二(羥基甲基)_2_羥基乙 基]丙酰胺{2,2_azobi s {2-methyl_N-[ 1,l_bis (hydroxymethyl )-2-hydroxyethy 1 ] propionamide}、2,2 偶氮二[氮-(2-丙烯基)_2_甲基丙_K]{2,2'-azobis[N-(2-propenyl)-2-methylpropionamide]、2,2'_偶氮二[氮-(2-丙烯基)-2_乙基丙酰胺]{2,2'_ azobis[N-(2_propenyl)_2_ethyl propionamide]、2,2 偶氮二(氮-丁基_2_甲基丙酰胺) {2,2 '-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide)}、2,2'-偶氮二(氮-環(huán)己基_2_甲基丙酰 胺)[2,2,-azobis(N-cyclohexyl-2_methyl propionamide) ]、2,2,_偶氮二(二甲基_2_甲 基丙酰胺)[2,2'_azobis(dimethyl-2-methyl propionamide) ]、2,2 偶氮二(二甲基_2_ 甲基丙酸酯)[2,2'-azobis(dimethyl-2-methylpropionate)]或2,2 偶氮二(2,4,4_三甲 基戊稀)[2,2,-azobis (2,4,4_tr imethy 1 pentene)]等。
[0184] 上述有機(jī)過(guò)氧化物的具體例為:過(guò)氧化苯甲酰、過(guò)氧化二叔丁基、過(guò)氧化二異丁酰 (diisobutyryl peroxide)、過(guò)氧化新癸酸異丙苯酯(cumyl peroxyneodecanoate)、過(guò)氧化 二碳酸二丙酯(di-n-propyl peroxydicarbonate)、過(guò)氧化二碳酸二異丙酯(diisopropyl peroxydicarbonate)、過(guò)氧化二碳酉愛(ài)二仲丁酯(di-sec-butyl peroxydicarbonate)、1,1, 3,3_四甲基丁基過(guò)氧化新癸酸酯(1,1,3,3-tetramethylbutyl peroxyneodecanoate)、二 (4_叔丁基環(huán)己基)過(guò)氧化二碳酸酯[di(4-t-butyl cyclohexyl)peroxydicarbonate]、1-環(huán)己基甲基乙基過(guò)氧化二碳酸酯(l-cyclohexyl-1-methylethyl peroxyneodecanoate )、雙(2_乙氧基乙基)過(guò)氧化二碳酸酯[di (2-ethoxy-ethyl) peroxydicarbonate]、雙(2 -乙基己基)過(guò)氧化二碳酸酯[di(2_ethylhexyl) peroxydi carbonate]、過(guò)氧化新癸酸叔己酯(t-hexyl peroxyneodecanoate)、二甲氧基丁 基過(guò)氧化二碳酸酯(dime thoxybutyl peroxydi carbonate )、叔丁基過(guò)氧化新癸酸酯(t-butyl peroxyneodecanoate)、叔己基過(guò)氧化新1 戊酉愛(ài)酯(t-hexyl peroxypivalate)、叔丁基 過(guò)氧化新戊酸酯(t-butyl peroxypivalate)、過(guò)氧化二(3,5,5_三甲基己酰)[diUjj-trimethyl hexanoyl )peroxide]、過(guò)氧化二辛酉先(di-n-octanoyl peroxide)、過(guò)氧化二月 桂酰(dilauroyl peroxide)、過(guò)氧化二硬脂酸(distearoyl peroxide)、2-乙基過(guò)氧化己 酸-1,1,3,3_四甲基丁酯(1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2_ethylhexanoate)、2,5_二 甲基 _2,5_ 二(2_乙基己酸過(guò)氧化)己焼[2,5-dimethyl-2,5-di(2_ethylhexanoylperoxy) 1^1&116]、2-乙基過(guò)氧化己酸叔己酯(^-116171口61'017-2-6也711161&110&七6)、過(guò)氧化二(4-甲 基苯甲酰)[di(4-methylbenzoyl)peroxide]、2_乙基過(guò)氧化己酸叔丁酯(^-131^71口61'〇17-2_ethylhexanoate)、過(guò)氧化二苯甲酰(dibenzoyl peroxide)、過(guò)氧化異丁酸叔丁酯(七_(dá) butyl peroxyisobutyrate)、1,1-二(叔丁基過(guò)氧化)_2_ 甲基環(huán)己焼(1,l-di(t_ butylperoxy)-2_methylcyclohexane)、1,1-二(叔丁基過(guò)氧化)_3,3,5_三甲基環(huán)己焼[1, l_di(t-hexyl peroxy)_3,3,5-trimethylcyclohexane]、1,1_二(叔己基過(guò)氧化)環(huán)己焼 [1,l_di (t-hexyl peroxy)cyclohexane]、1,1-二(叔丁基過(guò)氧化)環(huán)己焼[1,l_di (t_ butylperoxy)cyclohexane]、2,2_二[4,4-二(叔丁基過(guò)氧化)環(huán)己基]丙焼{2,2_(1;[[4,4-(11 (t-butylperoxy)cyclohexyl]propane}、叔己基過(guò)氧化異丙基碳酸酯(t-hexyl peroxy isopropyl monocarbonate)、叔丁基過(guò)氧化馬來(lái)酸酯(t-butylperoxy maleate)、叔丁基過(guò) 氧化_3,5,5_三甲基己酸酯(t-butyl peroxy-3,5,5_trimethyl hexanoate)、叔丁基過(guò)氧 化月桂酸酯(t-butyl peroxy laurate)、2,5-二甲基-2,5_二(3-甲基苯甲酰過(guò)氧化)己焼 [2,5-dimethy 1-2,5-di-(3_methy 1 benzoyl peroxy)hexane]、叔丁基過(guò)氧化異丙基碳酸 酯(t-butyl peroxy isopropyl monocarbonate)、叔丁基過(guò)氧化-2-乙基己基碳酸酯(t-butyl peroxy-2-ethylhexyl monocarbonate)、叔己基過(guò)氧化苯甲酉愛(ài)酯(t-hexyl peroxy benzoate)、2,5_二甲基_2,5_二(苯甲醜過(guò)氧化)己焼[2,5-dimethyl_2,5_di(benzoyl peroxy)hexane]、叔丁基過(guò)氧化醋酸酯(t-butyl peroxy acetate)、2,2-二(叔丁基過(guò)氧 化)丁焼[2,2_di (t-butylperoxy)butane]、叔丁基過(guò)氧化苯甲酸酯(t-butyl peroxy benzoate)、丁基-4,4-二(叔丁基過(guò)氧化戊酸酯[n-buty 1-4,4_di (t-butylperoxy) valerate]、二(2_叔丁基過(guò)氧化異丙基)苯[di (2-t-butyl peroxy isopropyl )benzene]、 過(guò)氧化異丙苯(dicumyl peroxide)、二叔己基過(guò)氧化物(di-t-hexyl peroxide)、2,5_二甲 基-2,5-二(叔丁基過(guò)氧化)己焼[2,5_(1;[1116也71-2,5-(1;[(^-131^71卩61'017)11613116]、二叔丁 基過(guò)氧化物(di-t-butyl peroxide)、2,5-二甲基-2,5-二(叔丁基過(guò)氧化)己炔[2,5- dimethyl-2,5_di (t-butylperoxy)hexyne_3]、叔丁基三甲基過(guò)氧化硅烷(t-butyl trimethylsilyl peroxide)、二(3_ 甲基苯甲?;┻^(guò)氧化物[di( 3_me thy 1 benzoyl) peroxide]與苯甲?;?3_甲基丙甲?;?過(guò)氧化物[benzoyl (3-methylbenzoyl )peroxide] 與二苯甲?;^(guò)氧化物(dibenzoyl peroxide)的混合物等。
[0185] 上述過(guò)氧化氫化合物的具體例為:砲燒過(guò)氧化氫(p-menthane hydroperoxide)、 二異丙基苯過(guò)氧化氫[diisopropylbenzene hydroperoxide]、1,1,3,3_四甲基丁基過(guò)氧化 氫(1,1,3,3_tetramethyl butyl hydroperoxide)、異丙苯過(guò)氧化氫(cumene hydroperoxide)、叔丁基過(guò)氧化氫(t-butyl hydroperoxide)等。
[0186] 前述熱起始劑(G)優(yōu)選為2,2'_偶氮二異丁腈、2,2'_偶氮二(2-甲基丁腈)、2,2'_ 偶氮二(2,4_二甲基戊腈)、過(guò)氧化二異丁酰、過(guò)氧化二苯甲酰、過(guò)氧化異丁酸叔丁酯、異丙 苯過(guò)氧化氫、過(guò)氧化新癸酸異丙苯酯等。上述熱起始劑(G)可單獨(dú)一種或混合多種使用,視 實(shí)際需要而定。
[0187] 在本發(fā)明的一具體例中,基于聚硅氧烷聚合物(A)的使用量為100重量份,該熱起 始劑(G)的使用量為5重量份至45重量份;優(yōu)選為7至40重量份;更優(yōu)選為10至35重量份。若 使用熱起始劑(G),則可進(jìn)一步改善感光樹(shù)脂組合物的解析度。
[0188] 在不影響本發(fā)明功效的前提下,本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物更可選擇性進(jìn)一步添 加添加劑(H),其包含但不限于表面活性劑、填充劑、密著促進(jìn)劑、架橋劑、抗氧化劑、防凝集 劑,或聚硅氧烷聚合物(A)以外的其他能增加各種性質(zhì)(如機(jī)械性質(zhì))的聚合物等。
[0189] 前述的表面活性劑可選自于由陽(yáng)離子系、陰離子系、非離子系、兩性、聚硅氧烷系、 氟素系表面活性劑或上述任意組合所組成的族群。進(jìn)而言之,前述的表面活性劑可包含但 不限于聚乙氧基十二烷基醚、聚乙氧基硬酯酰醚或聚乙氧基油醚等聚乙氧基烷基醚類;聚 乙氧基辛基苯基醚或聚乙氧基壬基苯基醚等聚乙氧基烷基苯基醚類;聚乙二醇二月桂酸酯 或聚乙二醇二硬酸酯等聚乙二醇二酯類;山梨糖醇酐脂肪酸酯類;脂肪酸改性的聚酯類;以 及三級(jí)胺該性的聚胺基甲酸酯類。上述表面活性劑可單獨(dú)一種或混合多種使用。
[0190]適合的表面活性劑的具體例如:KP(信越化學(xué)工業(yè)制)、SF-8427(道康寧東麗聚硅 氧股份有限公司制)、P〇lyfl〇w(共榮社油脂化學(xué)工業(yè)制)、F_Top(Tochem Product Co., Ltd?制)、Megafac(大日本INK化學(xué)工業(yè)制)、Fluorade(住友3M制)、Asahi GuarcUSurf Ion (旭硝子制)或SIN0P0L E8008(中日合成化學(xué)制)等。
[0191]適合的填充劑的具體例如:玻璃或鋁等。
[0192]適合的密著促進(jìn)劑的具體例如:乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯 基二(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N_( 2-胺基乙基)_3_胺基丙基甲基二甲氧基硅烷、N_( 2-胺基 乙基)_3_胺基丙基三甲氧基硅烷、3-胺丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙醇丙基三甲氧基硅烷、 3_環(huán)氧丙醇丙基甲基二乙氧基硅烷、2-( 3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲 基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷或3-巰丙基 二甲氧基硅烷等。
[0193] 適合的抗氧化劑的具體例如:2,2_硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)或2,6_二-叔丁 基苯酚等。
[0194] 適合的防凝集劑的具體例如:聚丙烯酸鈉等。
[0195] 適合的架橋劑的具體例如:日本環(huán)氧樹(shù)脂公司制的1031S、157S_70等環(huán)氧系化合 物或樹(shù)脂等。
[0196] 基于聚硅氧烷聚合物(A)的總量為100重量份,添加劑(H)中的填充劑、密著促進(jìn) 劑、抗氧化劑、防凝集劑或聚硅氧烷聚合物(A)以外的聚合物的含量范圍為10重量份以下, 優(yōu)選為6重量份以下。
[0197] 基于聚硅氧烷聚合物(A)的總量為100重量份,添加劑(H)中的表面活性劑的含量 范圍為6重量份以下,優(yōu)選為4重量份以下。
[0198] 基于聚硅氧烷聚合物(A)的總量為100重量份,添加劑(H)中的架橋劑的含量范圍 為100重量份以下,優(yōu)選為80重量份以下。
[0199]本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物一般是將上述聚硅氧烷聚合物(A)、具有乙烯性不飽 和基的化合物(B)、光起始劑(C)、溶劑(D)、黑色顏料(E)、具有不飽和基的樹(shù)脂(F)以及熱起 始劑(G)放置于攪拌器中攪拌,使其均勻混合成溶液狀態(tài),必要時(shí)亦可添加表面活性劑、填 充劑、密著促進(jìn)劑、架橋劑、抗氧化劑、防凝集劑等添加劑(H),予以均勻混合后,便可調(diào)制得 到呈溶液狀態(tài)的感光性樹(shù)脂組合物。
[0200]其次,本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的制備方法并沒(méi)有特別的限定,例如,可將黑色 顏料(E)直接加入感光性樹(shù)脂組合物中分散而成,或者是事先將一部分的黑色顏料(E)分散 于一部分的含有具有不飽和基的樹(shù)脂(F)及溶劑(D)的媒介中,形成顏料分散液后,再混合 聚硅氧烷聚合物(A)、具有乙烯性不飽和基的化合物(B)、光起始劑(C)、熱起始劑(G)、具有 不飽和基的樹(shù)脂(F)及溶劑(D)的其余部分而制得。上述黑色顏料(E)的分散步驟則可通過(guò) 例如珠磨機(jī)(beads mill)或輯磨機(jī)(roll mill)等混合器混合上述成分而進(jìn)行。
[0201 ]本發(fā)明亦提供一種黑色矩陣,其是由上述的感光樹(shù)脂組合物所形成。
[0202]該黑色矩陣是對(duì)如上所述的感光樹(shù)脂組合物依序施予預(yù)烤、曝光、顯影及后烤處 理而制得,其中,膜厚為1M1時(shí),此黑色矩陣的光學(xué)密度范圍為3.0以上。優(yōu)選地,膜厚為1M1 時(shí),此黑色矩陣的光學(xué)密度范圍為3.2至5.5;更優(yōu)選地,膜厚為lwii時(shí),此黑色矩陣的光學(xué)密 度范圍為3.5至5.5。
[0203] 本發(fā)明的黑色矩陣可以通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂布或流延涂布等涂布方法,將上述的感光性樹(shù) 脂組合物涂布在基板上,并以減壓干燥及預(yù)烤處理將其中的溶劑去除,進(jìn)而在基板上形成 預(yù)烤涂膜;其中,上述減壓干燥及預(yù)烤的條件,依各成分的種類、配合比例而異,通常,減壓 干燥是在小于200mmHg的壓力下進(jìn)行1秒至20秒,而預(yù)烤處理則是在70°C至110°C溫度下進(jìn) 行1分鐘至15分鐘;預(yù)烤后,將上述涂膜于指定的光罩下曝光,然后于23±2°C的溫度下浸漬 于顯影劑中,歷時(shí)15秒至5分鐘,以將不要的部分除去而形成特定的圖案;曝光所使用的光 線,優(yōu)選為g線、h線或i線等紫外線,而紫外線照射裝置可為(超)高壓水銀燈及金屬鹵素?zé)簟?br>[0204] 上述適用的顯影劑的具體例如:氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、碳酸鉀、 碳酸氫鉀、硅酸鈉、甲基硅酸鈉、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲胺、氫氧化 四乙胺、膽堿、吡咯、哌啶或1,8_二氮雜二環(huán)-〔5,4,0〕-7_十一烯等堿性化合物等。顯影液的 濃度一般為0.001重量百分比(wt%)至10wt%,優(yōu)選為0.005wt%至5wt%,更優(yōu)選為 0.0 lwt% 至lwt%。
[0205]使用這些顯影劑時(shí),一般是在顯影后以水洗凈,再以壓縮空氣或壓縮氮?dú)鈱D案 風(fēng)干后,再以熱板或烘箱等加熱裝置進(jìn)行后烤處理。后烤溫度通常為150至250°C,其中,使 用熱板的加熱時(shí)間為5分鐘至60分鐘,使用烘箱的加熱時(shí)間為15分鐘至150分鐘。經(jīng)過(guò)以上 的處理步驟后即可于基板上形成黑色矩陣。
[0206] 上述基材的具體例如:用于液晶顯示裝置等的無(wú)堿玻璃、鈉鈣玻璃、硬質(zhì)玻璃(派 勒斯玻璃)、石英玻璃及于這些玻璃上附著透明導(dǎo)電膜的玻璃;或用于固體攝影裝置等的光 電變換裝置基板(如:硅基板)等。
[0207] 本發(fā)明又提供一種彩色濾光片,其包含上述的黑色矩陣。
[0208] 本發(fā)明的彩色濾光片的形成方法可通過(guò)回轉(zhuǎn)涂布、流延涂布或輥式涂布等涂布方 式,將上述混合成溶液狀態(tài)的彩色濾光片用感光性組合物涂布在基板上,其中,此基板已預(yù) 先利用上述的感光樹(shù)脂組合物形成隔離各像素著色層的黑色矩陣;涂布后,先以減壓干燥 的方式,去除大部分的溶劑,再以預(yù)烤(pre-bake)方式將溶劑去除而形成預(yù)烤涂膜;其中, 減壓干燥及預(yù)烤的條件,依各成分的種類,配合比例而異,通常,減壓干燥是在OmmHg至 200mmHg的壓力下進(jìn)行1秒鐘至60秒鐘,而預(yù)烤是在70°C至110°C
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