顯不)，并利用第一掩膜對(duì)該第一金屬層進(jìn)行第一微影蝕刻(Photo Etching ProcessPEP)，以蝕刻得到晶體管22的柵極221和柵極線140。柵極線140用于傳導(dǎo)柵極驅(qū)動(dòng)器14所產(chǎn)生的掃描信號(hào)至晶體管22的柵極221。如圖7所示，沉積一柵極絕緣層224而覆蓋柵極221與柵極線140，柵極絕緣層224可為二氧化娃(Si02)或是氮氧化娃(Silicon oxynitride, S1N) ο
[0027]如圖8所示，在柵極絕緣層224上連續(xù)沉積非晶硅(a — Si)層225a和歐姆接觸(Ohmic contact)層225b。歐姆接觸層225b較佳為鋁(A1)、硅化鈦(TiSi2)、氮化鈦(TiN)或是鎢(W)等金屬或金屬化合物構(gòu)成。接著利用第二掩膜來(lái)進(jìn)行第二微影蝕刻以構(gòu)成島狀(island)半導(dǎo)體層225。接著如圖9所示，在柵極絕緣層224和半導(dǎo)體層225上形成全面覆蓋的第二金屬層(未圖示)，利用第三掩膜對(duì)第二金屬層進(jìn)行第三微影蝕刻以定義出源/漏極層227。接下來(lái)如圖10所示，利用第四掩膜對(duì)半導(dǎo)體層225和源/漏極層227進(jìn)行第四微影蝕刻，以形成開(kāi)口 226。開(kāi)口 226貫穿源/漏極層227和歐姆接觸層225b，以定義出源極222及漏極223。然后，形成全面覆蓋的鈍化層(Passivat1n layer) 228。
[0028]如圖11所示，在鈍化層228上沉積形成彩色膜層230。彩色膜層230可以包含紅色膜層、綠色膜層、藍(lán)色膜層和白色膜層。液晶顯示器10便是藉由彩色膜層230，來(lái)分離出紅綠藍(lán)三原色的光和白光，以顯示彩色影像。接下來(lái)，如圖12所示，利用第五掩膜對(duì)彩色膜層230和鈍化層228進(jìn)行第五微影蝕刻，以去除漏極223上方的彩色膜層230和鈍化層220，直至源極222和漏極223表面，以于源極222和漏極223上方分別形成貫穿彩色膜層230和鈍化層220第一通孔231和第二通孔232。
[0029]如圖12所示，在彩色膜層230上依序沉積透明導(dǎo)電層240和第二金屬層(圖未示)。較佳地，透明導(dǎo)電層240可為氧化銦錫(Indium Tin 0xide，IT0)。接著利用第六掩膜330蝕刻透明導(dǎo)電層240和該第二金屬層。第六掩膜330是半色調(diào)掩膜(half-tone mask),亦即第六掩膜330在不同區(qū)域具有不同的透光率。舉例來(lái)說(shuō)，第六掩膜330具有第一區(qū)域A1、第二區(qū)域A2和第三區(qū)域A3，第一區(qū)域A1表示部分光線可以透過(guò)的區(qū)域，第二區(qū)域A2表示光線無(wú)法透過(guò)的區(qū)域，第三區(qū)域A3表示全部光線可以透過(guò)的區(qū)域。因此，本發(fā)明可利用第六掩膜330對(duì)透明導(dǎo)電層240和該第二金屬層各個(gè)區(qū)域進(jìn)行不同的曝光顯影。舉例來(lái)說(shuō)，將第六掩膜330的區(qū)域A1對(duì)準(zhǔn)僅欲去除的該第二金屬層的區(qū)域，將第六掩膜330的區(qū)域A2對(duì)準(zhǔn)完全無(wú)須去除的區(qū)域，將第六掩膜330的區(qū)域A3對(duì)準(zhǔn)欲全部去除透明導(dǎo)電層240和該第二金屬層的區(qū)域。因?yàn)榈诹谀?30各個(gè)區(qū)域A1-A3的透光率不同，因此光致抗蝕劑會(huì)依據(jù)透光率的不同形成不同強(qiáng)度的光阻。之后，以化學(xué)溶劑沖刷以去除第三區(qū)域A3對(duì)應(yīng)的全部透明導(dǎo)電層240和第二金屬層，同時(shí)去除第一區(qū)域A1對(duì)應(yīng)的第二金屬層以保留部分的透明導(dǎo)電層240以形成第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242。至于第二區(qū)域A2對(duì)應(yīng)的透明導(dǎo)電層240和第二金屬層因?yàn)橛泄庾璧谋Ｗo(hù)而得以全部保留。最后，再以另一化學(xué)溶劑將光阻移除。此時(shí)，透明導(dǎo)電層240分為第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242。第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241通過(guò)第一通孔231與晶體管22的源極222連接。第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242通過(guò)第二通孔232與晶體管22的漏極223連接。第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242不連接。最后，在透明導(dǎo)電層240和數(shù)據(jù)線160上形成配向膜，配向膜是用來(lái)使液晶分子呈同一方向排列。
[0030]本實(shí)施例的液晶顯示面板12的制作方法是以彩色濾光陣列(Color filter onArray,C0A)基板為例，但是亦可應(yīng)用于配向膜陣列(Polymide Film on Array,PFA)基板。
[0031]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明通過(guò)具有不同透光率的單一掩膜330，同時(shí)制作數(shù)據(jù)線160和像素電極28，使得數(shù)據(jù)線160形成于像素電極28之上。由于采用第六掩膜330對(duì)透明導(dǎo)電層240和第二金屬層之前進(jìn)行了不同程度的曝光顯影，因此可以將數(shù)據(jù)線160直接形成在透明導(dǎo)電層240上，未被數(shù)據(jù)線160覆蓋的第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242即為像素電極28。因?yàn)橥该鲗?dǎo)電層240和數(shù)據(jù)線160都具有導(dǎo)電性，所以當(dāng)柵極221接收到柵極驅(qū)動(dòng)器14傳來(lái)的掃據(jù)信號(hào)時(shí)，從源極驅(qū)動(dòng)器16傳來(lái)的數(shù)據(jù)信號(hào)可以通過(guò)數(shù)據(jù)線160和第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241傳送至源極222。然后該數(shù)據(jù)信號(hào)通過(guò)漏極223傳送至第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242，亦即像素電極28。因?yàn)閿?shù)據(jù)線160與掃描線140之間被彩色膜層230、柵極絕緣層224和鈍化層228隔開(kāi)，導(dǎo)致兩者之間的距離拉長(zhǎng)，因此數(shù)據(jù)線140與掃描線160重疊之處的寄生電容會(huì)變小。另外，因?yàn)閿?shù)據(jù)線160直接接觸像素電極28，所以像素電極28與數(shù)據(jù)線160之間也不存在寄生電容。因此液晶顯示面板12的寄生電容減小，可以降低RC延遲對(duì)掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)傳輸?shù)挠绊憽?br>[0032]綜上所述，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，但該較佳實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，該領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種制造液晶顯示面板的方法，其包括下列步驟: 蝕刻形成于玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線； 形成所述薄膜晶體管的源極和漏極； 其特征在于:所述方法另包含: 在所述薄膜晶體管的源極和漏極之上形成依序形成鈍化層和彩色膜層； 蝕刻所述鈍化層和所述彩色膜層以形成貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔； 在所述彩色膜層上依序形成透明導(dǎo)電層和第二金屬層；以及 蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層，以在所述透明導(dǎo)電層形成第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)，在所述第二金屬層形成數(shù)據(jù)線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極分別通過(guò)所述第一通孔和所述第二通孔連接所述薄膜晶體管的源極和漏極，且所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)不連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:所述蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層的步驟包含: 使用半色調(diào)掩膜蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層，其中所述半色調(diào)掩膜蝕具有不同透光率的區(qū)域，以同時(shí)形成被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)、被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)和未被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:在所述蝕刻形成于所述玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線的步驟之后，所述方法另包含: 在所述薄膜晶體管的柵極上形成絕緣層；以及 形成半導(dǎo)體層于所述絕緣層上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:所述彩色膜層包含紅色膜層、綠色膜層和藍(lán)色膜層。6.—種液晶顯不面板，其包含: 玻璃基板； 掃描線，由第一金屬層構(gòu)成且位于所述玻璃基板上，用來(lái)傳遞掃描信號(hào)； 薄膜晶體管，位于所述玻璃基板上，其包含柵極、位于所述柵極上的絕緣層、位于絕緣層上的半導(dǎo)體層，以及位于所述半導(dǎo)體層及所述絕緣層上的源極和漏極； 其特征在于:所述液晶顯示面板另包含: 鈍化層，位于所述薄膜晶體管和所述掃描線上； 彩色膜層，位于所述鈍化層上，用于濾出不同顏色的光線； 透明導(dǎo)電層，位于所述彩色膜層之上，所述透明導(dǎo)電層通過(guò)貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔與所述薄膜晶體管的源極和漏極連接；及數(shù)據(jù)線，由第二金屬層構(gòu)成，位于所述透明導(dǎo)電層上，用來(lái)傳遞數(shù)據(jù)信號(hào)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其特征在于:所述透明導(dǎo)電層包含: 第一透明導(dǎo)電電極區(qū)，通過(guò)所述第一通孔與所述薄膜晶體管的源極連接；及 第二透明導(dǎo)電電極區(qū)，通過(guò)所述第二通孔與所述薄膜晶體管的漏極連接，且所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)不連接。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其特征在于:所述液晶顯示面板包含像素電極，所述像素電極是指未被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶顯示面板，其特征在于:所述彩色膜層包含紅色膜層、綠色膜層和藍(lán)色膜層。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種制造液晶顯示面板的方法，其包括：蝕刻形成于玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線，形成所述薄膜晶體管的源極和漏極，在薄膜晶體管的源極和漏極之上形成依序形成鈍化層和彩色膜層，蝕刻所述鈍化層和所述彩色膜層以形成貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔，在所述彩色膜層上依序形成透明導(dǎo)電層和第二金屬層，以及蝕刻透明導(dǎo)電層和第二金屬層，以在透明導(dǎo)電層形成第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)，在第二金屬層形成數(shù)據(jù)線。因?yàn)閿?shù)據(jù)線與掃描線的距離拉長(zhǎng)，所以數(shù)據(jù)線與掃描線重疊之處的寄生電容會(huì)變小。另外，因?yàn)閿?shù)據(jù)線直接接觸像素電極，所以像素電極與數(shù)據(jù)線之間也不存在寄生電容。因此本發(fā)明液晶顯示面板的寄生電容減小，可以降低RC延遲對(duì)掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)傳輸?shù)挠绊憽?br>【IPC分類(lèi)】G02F1/1362
【公開(kāi)號(hào)】CN105242468
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510707514
【發(fā)明人】徐洪遠(yuǎn)
【申請(qǐng)人】深圳市華星光電技術(shù)有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月13日
【申請(qǐng)日】2015年10月27日