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減少寄生電容的液晶顯示面板以及其制作方法

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減少寄生電容的液晶顯示面板以及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種顯示器技術(shù),尤其涉及一種減少寄生電容的液晶顯示面板以及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)輕、薄、低耗電等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話及個(gè)人數(shù)字助理等現(xiàn)代化信息設(shè)備。一般來(lái)說(shuō),液晶顯示器包含液晶顯示面板及背光模塊(backlight module),由于液晶顯示面板自身不會(huì)發(fā)光,因此液晶顯示器必須仰賴背光模塊內(nèi)的光源來(lái)發(fā)出光線。由背光模塊內(nèi)的光源所發(fā)出的光線,經(jīng)過(guò)液晶顯示面板的液晶,藉由液晶的轉(zhuǎn)向,來(lái)調(diào)整傳遞至使用者的光線強(qiáng)度,進(jìn)而輸出影像。
[0003]彩色濾光基板是液晶顯示器中不可或缺的零件,一般彩色濾光基板會(huì)放置在光源之前,藉由彩色濾光基板的濾光,可使光源的光線分離成為紅綠藍(lán)三原色,藉此,液晶顯示器方能顯示彩色影像。
[0004]請(qǐng)參閱圖1,圖1繪示了現(xiàn)有彩色濾光基板100的結(jié)構(gòu)。彩色濾光基板100包含了玻璃基板110和彩色膜層131,彩色膜層131可以包含紅色膜層、綠色膜層、藍(lán)色膜層和白色膜層。液晶顯示器便是藉由彩色膜層131,來(lái)分離出紅綠藍(lán)三原色的光和白光,以顯示彩色影像。
[0005]如圖1所示,數(shù)據(jù)線112與掃描線114重疊之處僅有絕緣層116隔絕。因?yàn)榻^緣層116極薄,因此數(shù)據(jù)線112與掃描線114重疊之處會(huì)存在較大的寄生電容Cgd。另外,像素電極120與數(shù)據(jù)線112重疊之處也存在寄生電容Cpd。寄生電容Cgd和寄生電容Cpd會(huì)增加RC延遲(RC delay),影響掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)的傳輸。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]因此本發(fā)明的目的是將提供一種液晶顯示面板以及其制造方法,以降低寄生電容,達(dá)到減少傳輸掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)時(shí)的RC延遲。
[0007]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種制造液晶顯示面板的方法,其包括下列步驟:提供玻璃基板;蝕刻形成于所述玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線;形成所述薄膜晶體管的源極和漏極;在所述薄膜晶體管的源極和漏極之上形成依序形成鈍化層和彩色膜層;蝕刻所述鈍化層和所述彩色膜層以形成貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔;在所述彩色膜層上依序形成透明導(dǎo)電層和第二金屬層;以及蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層,以在所述透明導(dǎo)電層形成第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和第二透明導(dǎo)電電極區(qū),在所述第二金屬層形成數(shù)據(jù)線。
[0008]依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極分別通過(guò)所述第一通孔和所述第二通孔連接所述薄膜晶體管的源極和漏極,且所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)不連接。
[0009]依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,所述蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層的步驟包含:使用半色調(diào)掩膜蝕刻所述透明導(dǎo)電層和所述第二金屬層,其中所述半色調(diào)掩膜蝕具有不同透光率的區(qū)域,以同時(shí)形成被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)、被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)和未被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。
[0010]依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,在所述蝕刻形成于所述玻璃基板上的第一金屬層于以形成薄膜晶體管的柵極和掃描線的步驟之后,所述方法另包含:在所述薄膜晶體管的柵極上形成絕緣層;以及形成半導(dǎo)體層于所述絕緣層上。
[0011 ] 依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,所述彩色膜層包含紅色膜層、綠色膜層和藍(lán)色膜層。
[0012]本發(fā)明又提供一種液晶顯示面板,其包含玻璃基板、掃描線、薄膜晶體管、鈍化層、彩色膜層、透明導(dǎo)電層和數(shù)據(jù)線。所述掃描線由第一金屬層構(gòu)成且位于所述玻璃基板上,用來(lái)傳遞掃描信號(hào)。所述薄膜晶體管位于所述玻璃基板上,其包含柵極、位于所述柵極上的絕緣層、位于絕緣層上的半導(dǎo)體層,以及位于所述半導(dǎo)體層及所述絕緣層上的源極和漏極。所述鈍化層位于所述薄膜晶體管和所述掃描線上。所述彩色膜層位于所述鈍化層上,用于濾出不同顏色的光線。所述透明導(dǎo)電層位于所述彩色膜層之上。所述透明導(dǎo)電層通過(guò)貫穿所述鈍化層和所述彩色膜層的第一通孔以及第二通孔與所述薄膜晶體管的源極和漏極連接。所述數(shù)據(jù)線由第二金屬層構(gòu)成,位于所述透明導(dǎo)電層上,用來(lái)傳遞數(shù)據(jù)信號(hào)。
[0013]依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,所述透明導(dǎo)電層包含第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)通過(guò)所述第一通孔與所述薄膜晶體管的源極連接。所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)通過(guò)所述第二通孔與所述薄膜晶體管的漏極連接,且所述第一透明導(dǎo)電電極區(qū)和所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)不連接。
[0014]依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,所述液晶顯示面板包含像素電極,所述像素電極是指未被所述數(shù)據(jù)線覆蓋的所述第二透明導(dǎo)電電極區(qū)。
[0015]依據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例,所述彩色膜層包含紅色膜層、綠色膜層和藍(lán)色膜層。
[0016]相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明通過(guò)具有不同透光率的單一掩膜,同時(shí)制作數(shù)據(jù)線和像素電極,使得數(shù)據(jù)線形成于像素電極之上。依據(jù)本發(fā)明所制作的液晶顯示面板,因?yàn)閿?shù)據(jù)線與掃描線的距離拉長(zhǎng),所以數(shù)據(jù)線與掃描線重疊之處的寄生電容會(huì)變小。另外,因?yàn)閿?shù)據(jù)線直接接觸像素電極,所以像素電極與數(shù)據(jù)線之間也不存在寄生電容。本發(fā)明液晶顯示面板的寄生電容減小,因此可以降低RC延遲對(duì)掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)傳輸?shù)挠绊憽?br>【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1繪示現(xiàn)有彩色濾光基板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖2是本發(fā)明的液晶顯示器的功能方塊圖
[0019]圖3是圖2的掃描線、數(shù)據(jù)線和像素單元的放大圖。
[0020]圖4是圖3沿A-A’線的剖面圖。
[0021]圖5至圖12繪示為依據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例制造液晶顯示面板的方法的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附加的圖式,用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施之特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ),例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「頂」、「底」、「水平」、「垂直」等,僅是參考附加圖式的方向。因此,使用的方向用語(yǔ)是用以說(shuō)明及理解本發(fā)明,而非用以限制本發(fā)明。
[0023]請(qǐng)參閱圖2,圖2是本發(fā)明的液晶顯示器10的功能方塊圖。液晶顯示器10包含液晶顯示面板12、柵極驅(qū)動(dòng)器14以及源極驅(qū)動(dòng)器(source driver) 16。液晶顯示面板12包含數(shù)個(gè)呈矩陣排列的像素(pixel),而每一個(gè)像素包含三個(gè)分別代表紅綠藍(lán)(RGB)三原色的像素單元20構(gòu)成。以一個(gè)1024X768分辨率的液晶顯示器10來(lái)說(shuō),共需要1024X768X3個(gè)像素單元20組合而成。柵極驅(qū)動(dòng)器14經(jīng)由柵極線140輸出掃描信號(hào)使得每一行的晶體管22依序開(kāi)啟,同時(shí)源極驅(qū)動(dòng)器16則經(jīng)由數(shù)據(jù)線160輸出對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)信號(hào)至一整列的像素單元20使其充電到各自所需的電壓,以顯示不同的灰階。當(dāng)同一行充電完畢后,柵極驅(qū)動(dòng)器14便將該行的掃描信號(hào)關(guān)閉,然后柵極驅(qū)動(dòng)器14再輸出掃描信號(hào)將下一行的晶體管22打開(kāi),再由源極驅(qū)動(dòng)器16對(duì)下一行的像素單元20進(jìn)行充放電。如此依序下去,直到液晶顯示面板12的所有像素單元20都充電完成,再?gòu)牡谝恍虚_(kāi)始充電。
[0024]在液晶顯示面板設(shè)計(jì)中,柵極驅(qū)動(dòng)器14即每隔一固定間隔輸出掃描信號(hào)。以一個(gè)1024X768分辨率的液晶顯示器10以及60Hz的更新頻率為例,每一個(gè)畫面的顯示時(shí)間約為1/60 = 16.67ms。所以每一個(gè)掃描信號(hào)的脈沖為16.67ms/768 = 21.7 μ s。而源極驅(qū)動(dòng)器16則在這21.7 μ s的時(shí)間內(nèi),提供數(shù)據(jù)信號(hào)予像素單元20,使其充放電到所需的電壓,以顯示出相對(duì)應(yīng)的灰階。
[0025]請(qǐng)參閱圖3和圖4,圖3是圖2的掃描線140、數(shù)據(jù)線160和像素單元20的放大圖。圖4是圖3沿Α-Α’線的剖面圖。依據(jù)本發(fā)明的較佳實(shí)施例,晶體管22的柵極221電性連接于柵極線140,源極222電性連接于數(shù)據(jù)線160,漏極223電性連接于像素電極28。具體來(lái)說(shuō),依據(jù)圖4,數(shù)據(jù)線160直接形成于透明導(dǎo)電層240之上,而透明導(dǎo)電層240又分為第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242。第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241通過(guò)第一通孔231與晶體管22的源極222連接。第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242通過(guò)第二通孔232與晶體管22的漏極223連接。第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242不連接。未被數(shù)據(jù)線160覆蓋的第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242即為像素電極28。因?yàn)橥该鲗?dǎo)電層240和數(shù)據(jù)線160都具有導(dǎo)電性,所以當(dāng)柵極221接收到柵極驅(qū)動(dòng)器14傳來(lái)的掃據(jù)信號(hào)時(shí),從源極驅(qū)動(dòng)器16傳來(lái)的數(shù)據(jù)信號(hào)可以通過(guò)數(shù)據(jù)線160和第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241傳送至源極222。然后該數(shù)據(jù)信號(hào)通過(guò)漏極223傳送至第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242,亦即像素電極28。因?yàn)閿?shù)據(jù)線160是光線無(wú)法穿透的金屬,因此位于第一透明導(dǎo)電電極區(qū)241和第二透明導(dǎo)電電極區(qū)242之上的數(shù)據(jù)線160可以等效為黑色矩陣層,具有防止漏光的效果。因?yàn)閿?shù)據(jù)線160與掃描線140之間被彩色膜層230、柵極絕緣層224和鈍化層228隔開(kāi),導(dǎo)致兩者之間的距離拉長(zhǎng),因此數(shù)據(jù)線140與掃描線160重疊之處的寄生電容會(huì)變小。另外,因?yàn)閿?shù)據(jù)線160直接接觸像素電極28,所以像素電極28與數(shù)據(jù)線160之間也不存在寄生電容。因此液晶顯示面板12的寄生電容減小,可以降低RC延遲對(duì)掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)信號(hào)傳輸?shù)挠绊憽?br>[0026]圖5至圖12繪示為依據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例制造液晶顯示面板12的方法的示意圖。如圖5所示,首先提供一個(gè)玻璃基板120。接著如圖6所示,進(jìn)行一金屬薄膜沉積制程,以于玻璃基板120表面形成一層第一金屬層(未
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