圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的特性。以下實例描繪上述實施例的可能的、非限制的組合。應(yīng)呈明顯的是，許多其它的改變及修正可對在此的方法及裝置做成，而不會背離此發(fā)明的精神及范疇:
[0076](Al) 一種晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其包含:(I)間隔件晶圓，形成有多個孔洞，該多個孔洞的各者具有在該間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀，且包含與該平面橫剖面相交的溢流區(qū)；以及(2)多個光學(xué)組件，該多個光學(xué)組件中的每個由硬化的可流動材料形成于該多個孔洞中個別的一個內(nèi)；其中形成該等光學(xué)組件中的每個的該硬化的可流動材料的一部分?jǐn)U展進(jìn)入至其個別孔洞的溢流區(qū)內(nèi)。
[0077](A2)在如(Al)所示的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件中，該凹形形狀為多邊形。
[0078](A3)在如(Al)或(A2)所示餓晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件中，該凹形形狀為多個幾何形狀的結(jié)合。
[0079](A4)在如(A3)所示的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件中，該多個幾何形狀的其中一個為凸多邊形或圓形。
[0080](A5)在如(Al)至(A4)所示的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的任一者中，凹形形狀具有反射對稱及旋轉(zhuǎn)對稱中的一個或二個。
[0081](A6)在如(Al)至(A5)所示的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的任一者中，光學(xué)組件的數(shù)組的各光學(xué)組件形成有薄膜，該薄膜在其個別的孔洞內(nèi)包圍且懸置其個別的光學(xué)組件。
[0082](A7)在如(Al)至(A6)所示的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的任一者中，對于該多個孔洞中的每個而言，與該孔洞的側(cè)壁剖面正切的線與該間隔件晶圓的平面表面形成斜角。
[0083](AS)在如(Al)至(A7)所示的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的任一者中，垂直于由兩個平行的間隔件晶圓表面中的一個所界定的平面的線與薄膜及該間隔件晶圓相交。
[0084](BI) 一種間隔件晶圓，其包含至少一個凹形孔洞，形成有在該間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀，且包含與該平面橫剖面相交的溢流區(qū)。
[0085](B2)在如(BI)所示的間隔件晶圓中，該凹形形狀為多邊形。
[0086](B3)在如(BI)或(B2)所示的間隔件晶圓中，該凹形形狀為多個幾何形狀的結(jié)合。
[0087](B4)在由(B3)所示的間隔件晶圓中，該多個幾何形狀的其中一個選自由凸多邊形、圓形、及橢圓形所組成的組群。
[0088](B5)在由(BI)至(B4)所示的間隔件晶圓的任一者中，該凹形形狀為以反射對稱及旋轉(zhuǎn)對稱中的一個或兩個形成。
[0089](B6)在由(BI)至(B5)所示的間隔件晶圓的任一者中，與該凹形孔洞的剖面?zhèn)缺谏系狞c正切的線相對于該間隔件晶圓的平面表面成為斜角。
[0090](B7)在由(BI)至(B6)所示的間隔件晶圓的任一者中，兩個平行的間隔件晶圓表面中的一個界定平面，且垂直于該平面的線在一段距離內(nèi)與該間隔件晶圓相交，該距離比該間隔件晶圓的厚度更短。
[0091](B8)在由(BI)至(B7)所示的間隔件晶圓的任一者中，該凹形孔洞至少部分地由被形成為異型剖面的孔洞側(cè)壁的間隔件晶圓孔洞側(cè)壁所界定。
[0092](B9)在由(BI)至(B8)所示的間隔件晶圓的任一者中，該異型剖面的孔洞側(cè)壁至少在用于支撐薄膜的該異型剖面的孔洞側(cè)壁的部分處以整型剖面形成，該薄膜懸置光學(xué)組件。
[0093](BlO)在由(BI)至(B9)所示的間隔件晶圓的任一者中，該異型剖面的孔洞側(cè)壁以凹形剖面形成。
[0094](BH)在由(BI)至(BlO)所示的間隔件晶圓的任一者中，該異型剖面的孔洞側(cè)壁以凸形剖面形成。
[0095](B12)在由(BI)至(Bll)所示的間隔件晶圓的任一者中，該異型剖面孔洞側(cè)壁以凹形剖面及凸形剖面的組合形成。
【主權(quán)項】
1.一種晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其包含: 間隔件晶圓，形成有多個孔洞，所述多個孔洞中的每一個具有在所述間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀，且包含與所述平面橫剖面相交的溢流區(qū)；以及 多個光學(xué)組件，所述多個光學(xué)組件中的每一個是由硬化的可流動材料形成于所述多個孔洞中的個別一個內(nèi)； 其中形成所述多個光學(xué)組件的所述硬化的可流動材料的一部分?jǐn)U展進(jìn)入至其各自孔洞的溢流區(qū)內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中所述凹形形狀是多邊形。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中所述凹形形狀是多個幾何形狀的結(jié)入口 ο4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中所述多個幾何形狀中的一個是凸多邊形或圓形。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中所述凹形形狀是以反射對稱及旋轉(zhuǎn)對稱中的一個或兩個形成。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中光學(xué)組件的數(shù)組的各光學(xué)組件形成有薄膜，所述薄膜在其各自的孔洞內(nèi)包圍且懸置其各自的光學(xué)組件。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中對于所述多個孔洞中的每一個，與所述孔洞的側(cè)壁剖面正切的線與所述間隔件晶圓的平面表面形成斜角。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，其中垂直于由兩個平行的間隔件晶圓表面中的一個所界定的平面的線與薄膜及所述間隔件晶圓相交。9.一種間隔件晶圓，其包含: 至少一個凹形孔洞，形成有在所述間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀，且包含與所述平面橫剖面相交的溢流區(qū)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的間隔件晶圓，其中所述凹形形狀是多邊形。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的間隔件晶圓，其中所述凹形形狀是多個幾何形狀的結(jié)合。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的間隔件晶圓，其中所述多個幾何形狀中的一個選自由凸多邊形、圓形、及橢圓形所組成的組群。13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的間隔件晶圓，其中所述凹形形狀是以反射對稱及旋轉(zhuǎn)對稱中的一個或兩個形成。14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的間隔件晶圓，其中與所述凹形孔洞的剖面?zhèn)缺谏系囊稽c正切的線相對于所述間隔件晶圓的平面表面成為斜角。15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的間隔件晶圓，其中兩個平行的間隔件晶圓表面中的一個界定平面，且垂直于所述平面的線與所述間隔件晶圓在一段距離內(nèi)相交，所述距離比所述間隔件晶圓的厚度更短。16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的間隔件晶圓，其中所述凹形孔洞至少部分地由形成為異型剖面的孔洞側(cè)壁的間隔件晶圓孔洞側(cè)壁界定。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的間隔件晶圓，其中所述異型剖面的孔洞側(cè)壁至少在用于支撐薄膜的所述異型剖面的孔洞側(cè)壁的一部分處以整型剖面形成，所述薄膜懸置光學(xué)組件。18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的間隔件晶圓，其中所述異型剖面的孔洞側(cè)壁以凹形剖面形 成。19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的間隔件晶圓，其中所述異型剖面的孔洞側(cè)壁以凸形剖面形成。20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的間隔件晶圓，其中所述異型剖面的孔洞側(cè)壁以凹形剖面及凸形剖面的組合形成。
【專利摘要】本發(fā)明揭示一種晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件，及形成它們于其中的凹形間隔件晶圓孔洞。晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件包含間隔件晶圓，其包含多個孔洞。各孔洞具有在間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀，及與該平面橫剖面相交的溢流區(qū)。晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件亦包含光學(xué)組件的數(shù)組，數(shù)組的各光學(xué)組件是由硬化的可流動材料形成于多個孔洞的個別的一者內(nèi)。形成各光學(xué)組件的硬化的可流動材料的一部分?jǐn)U展進(jìn)入至多個孔洞的個別孔洞的溢流區(qū)內(nèi)。間隔件晶圓包含多個孔洞，多個孔洞中的每個具有在間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀。多個孔洞中的每個包含與該平面橫剖面相交的溢流區(qū)。
【IPC分類】H01L27/146, G02B3/00
【公開號】CN105182454
【申請?zhí)枴緾N201510338862
【發(fā)明人】愛德華·納賓漢, 艾倫·馬丁
【申請人】全視技術(shù)有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2015年6月17日
【公告號】US20150362705