圓孔洞側(cè)壁332、上方母體522、及下方母體524所界定的束縛區(qū)內(nèi)澆鑄成型?？瘴粎^(qū)541用作溢流空間，其中薄膜511的部分540可在懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件510的制造期間溢流。
[0035]與先前技藝的凸形間隔件晶圓孔洞相較地，在間隔件晶圓中的凹形間隔件晶圓孔洞的使用具有與晶粒計(jì)數(shù)及透鏡黏著相關(guān)聯(lián)的獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。圖6顯示包含間隔件區(qū)602及間隔件晶圓孔洞604的數(shù)組的間隔件晶圓600，其中至少一間隔件晶圓孔洞是凹形。在圖6的實(shí)施例中，間隔件晶圓600的頂部間隔件晶圓表面606及底部間隔件晶圓表面608在與坐標(biāo)軸698的x-y平面平行的平面中。圖6可能不按比例被繪制。
[0036]間隔件晶圓孔洞604以矩形數(shù)組配置在間隔件晶圓600上。間隔件晶圓孔洞可被不同地配置在間隔件晶圓上，而不會(huì)背離本文的范疇。例如，間隔件晶圓孔洞可被配置在六邊形的數(shù)組或非周期的數(shù)組中。
[0037]圖7是由間隔件晶圓部分700中的間隔件區(qū)702所圍繞的凹形間隔件晶圓孔洞704的平面視圖。在一個(gè)實(shí)施例中，凹形間隔件晶圓孔洞704可被結(jié)合至圖6的間隔件晶圓600內(nèi)，作為間隔件晶圓孔洞604中的一個(gè)。
[0038]凹形間隔件晶圓孔洞704的形狀可被視為兩個(gè)同心形狀的結(jié)合:圓形及旋轉(zhuǎn)加號(hào)(+ )。圓形具有直徑730，其為兩個(gè)弧形的孔洞側(cè)壁734間的最大距離。加號(hào)可視為四個(gè)突出物741。旋轉(zhuǎn)加號(hào)的寬度為平行的突出物側(cè)壁732及733的間的寬度731。
[0039]對(duì)于連接形狀的周邊上的任何兩個(gè)不同點(diǎn)的線段而言，若部分或全部的該線段在由該形狀所包圍的區(qū)域的外面時(shí)，則形狀為凹形。線段722描繪出間隔件晶圓孔洞704為凹形。線段722連接凹形間隔件晶圓孔洞704的周邊714上的兩點(diǎn)721及723，而不橫過間隔件晶圓孔洞704本身。因而，“凹形間隔件晶圓孔洞”是具有凹形形狀的間隔件晶圓孔洞。
[0040]當(dāng)與先前技藝相較時(shí)，凹形間隔件晶圓孔洞的一個(gè)益處是每晶圓的間隔件晶圓孔洞的數(shù)目的增加。圖21顯示間隔件晶圓2100的間隔件區(qū)2102上的多個(gè)緊密封裝的凹形間隔件晶圓孔洞704。圖21說明的是，凹形間隔件晶圓孔洞704的尺寸及形狀允許更大數(shù)目的凹形間隔件晶圓孔洞704將被形成于間隔件晶圓2100上，且因此，當(dāng)與先前技藝相較時(shí)，允許更高的晶粒計(jì)數(shù)。在實(shí)施例中，間隔件區(qū)2102是間隔件晶圓600(圖6)的一部分。此益處在下文擴(kuò)展至圖10上。
[0041]圖8至12描繪凹形間隔件晶圓孔洞704的突出物741如何置換先前技藝的空位區(qū)，作為溢流區(qū)。在先前技藝的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件中，該等空位區(qū)的實(shí)例包含空位區(qū)441 (圖 4)，及 541 (圖 5) ο
[0042]圖8顯示形成于凹形間隔件晶圓孔洞704內(nèi)的在口袋式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件810的橫剖面視圖800。橫剖面視圖800對(duì)應(yīng)圖7的橫剖面704A-704A’。
[0043]在橫剖面視圖800中，母體820形成晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件810至基板850上。在橫剖面視圖800中，晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件810由弧形的孔洞側(cè)壁734所束縛。在實(shí)施例中，母體820及基板850分別與母體420及基板450 (圖4)相同。在該實(shí)施例中，橫剖面視圖800與先前技藝的橫剖面400 (圖4)相似，除了空位區(qū)441缺席之外。因此，間隔件晶圓孔洞704的直徑730小于圖4的對(duì)應(yīng)直徑330。為比較的緣故，直徑330以圖8中的直徑730顯示。較小的孔洞允許較大數(shù)目的凹形孔洞裝在間隔件晶圓600上，且因此，允許比先前技藝間隔件晶圓200更高的晶粒計(jì)數(shù)。應(yīng)了解的是，尺寸、直徑、及距離并未按比例顯示。
[0044]圖9顯示形成于凹形間隔件晶圓孔洞704內(nèi)的在口袋式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件810的橫剖面視圖900。橫剖面視圖900對(duì)應(yīng)圖7的橫剖面704B-704B’。在橫剖面704B-704B’中，晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件810由平行的孔洞側(cè)壁732及733所束縛。虛線表示兩個(gè)弧形的孔洞側(cè)壁734。間隔件晶圓孔洞704的突出物741置換空位區(qū)441，作為黏著劑溢流區(qū)。
[0045]圖10顯示形成于凹形間隔件晶圓孔洞704內(nèi)，且由薄膜1011所懸置的懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010的橫剖面視圖1000。橫剖面視圖1000對(duì)應(yīng)圖7的橫剖面704A-704A’。在橫剖面視圖1000中，薄膜1011黏附至弧形的側(cè)壁734。懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010為彎月形懸置式透鏡。懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010可為不同的類型，例如，平凸的、雙凸的、平凹的、雙凹的，而不會(huì)背離本文的范疇。
[0046]在實(shí)施例中，母體1022及1024分別與圖5的母體522及524相似。在該實(shí)施例中，橫剖面視圖1000與先前技藝的橫剖面500 (圖5)相似，除了空位區(qū)541是在圖10的實(shí)施例中缺席之外。因此，間隔件晶圓孔洞704的直徑730小于圖5中的直徑330。較小的孔洞允許較大數(shù)目的凹形孔洞裝在間隔件晶圓600上，且因此，允許比先前技藝間隔件晶圓200更高的晶粒計(jì)數(shù)。
[0047]圖11顯示形成于凹形間隔件晶圓孔洞704內(nèi)的懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010的橫剖面視圖1100。橫剖面視圖1100對(duì)應(yīng)圖7的橫剖面704B-704B’。在橫剖面視圖1100中，薄膜1011黏附至平行突出物741的側(cè)壁732及733。虛線表示兩個(gè)弧形的孔洞側(cè)壁734。間隔件晶圓孔洞704的突出物741置換空位區(qū)541，作為透鏡溢流區(qū)。
[0048]圖12至17描繪間隔件晶圓600內(nèi)的凹形間隔件晶圓孔洞604的額外實(shí)施例。
[0049]圖12是凹形間隔件晶圓孔洞1204及1214的平面視圖。凹形間隔件晶圓孔洞1204及1214中的一個(gè)或兩個(gè)包含在間隔件晶圓600中，作為間隔件晶圓孔洞604的至少一個(gè)。
[0050]和間隔件晶圓孔洞704 —樣地，雖然可使用任一凹形形狀，但凹形間隔件孔洞1204及1214的形狀可被各自地視為圓形與一個(gè)或多個(gè)凸多邊形的結(jié)合，而不會(huì)背離本文的范疇。凹形間隔件晶圓孔洞1204的形狀可被視為圓形與等邊三角形的結(jié)合。凹形間隔件晶圓孔洞1214的形狀可被視為圓形與八個(gè)箭頭的結(jié)合，其中各箭頭由兩個(gè)凸多邊形組成:矩形及三角形。在實(shí)施例中，凹形間隔件孔洞的形狀可為橢圓形與一個(gè)或多個(gè)凸多邊形的結(jié)合。例如，凹形間隔件孔洞的形狀可為橢圓形與三角形的結(jié)合。
[0051]圖13是形成于間隔件晶圓部分1300內(nèi)的似星狀凹形間隔件晶圓孔洞1304的平面視圖。該似星狀凹形間隔件晶圓孔洞1304的圍繞者是間隔件區(qū)1302。
[0052]在本實(shí)施例中，間隔件晶圓孔洞1304為凹多邊形，其可被視為32邊的正凸多邊形(“32邊形”)與附加至32邊形的各邊的等腰三角形突出物1321的結(jié)合。應(yīng)了解的是，間隔件晶圓孔洞1304可以以更多或更少個(gè)邊形成，而不會(huì)背離本文的范疇。在實(shí)施例中，似星狀凹形間隔件晶圓孔洞1304包含在間隔件晶圓600中，作為間隔件晶圓孔洞604的至少一個(gè)。
[0053]圖14是形成于間隔件晶圓部分1400內(nèi)的多邊凹形間隔件晶圓孔洞1404的平面視圖。該多邊凹形間隔件晶圓孔洞1404的圍繞者為間隔件區(qū)1402。
[0054]在本實(shí)施例中，間隔件晶圓孔洞1404為形成為凹多邊形，其可被視為兩個(gè)同心的正多邊形的結(jié)合:方形及八邊形。間隔件晶圓孔洞1404可被形成為更多或更少個(gè)正多邊形的結(jié)合，而不會(huì)背離本文的范疇。在實(shí)施例中，多邊凹形間隔件晶圓孔洞1404包含在間隔件晶圓600中，做為間隔件晶圓孔洞604的至少一個(gè)。
[0055]圖15是形成于間隔件晶圓部分1500內(nèi)的非對(duì)稱凹形間隔件晶圓孔洞1504的平面視圖。非對(duì)稱凹形間隔件晶圓孔洞1504的圍繞者為間隔件區(qū)1502。凹形間隔件晶圓孔洞1504為間隔