凹形間隔件晶圓孔洞及形成于其中的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的制作方法
【專利說明】
【背景技術(shù)】
[0001]在晶圓位準(zhǔn)的相機(jī)透鏡的制造中，間隔件晶圓包含間隔件晶圓孔洞的數(shù)組或圖案。諸如可紫外線硬化的聚合物的液體沉積至各孔洞內(nèi)，且通過制造母體、模具、或壓型機(jī)而被澆鑄成型為中間的或最終的形狀。澆鑄成型的聚合物接著被硬化以形成固體透鏡。
[0002]在澆鑄成型的步驟中，過多的聚合物溢流自間隔件晶圓孔洞，若不適當(dāng)處理時(shí)，其可減低生產(chǎn)產(chǎn)能。容納溢流材料的一個(gè)方法在于定間隔件晶圓孔洞的尺寸，以不僅跨距透鏡直徑而且跨距其中收集溢流材料在內(nèi)的制造母體與間隔件晶圓間的空位區(qū)或溢流區(qū)。但是，通過增加間隔件晶圓孔洞的直徑，空位可能限制晶圓晶粒計(jì)數(shù)(每晶圓組成可被制造出的晶粒位準(zhǔn)相機(jī)的數(shù)目)?？瘴灰嗫赡茉谙鄼C(jī)形成的影像中引入雜散光加工物。
[0003]在間隔件晶圓孔洞中所分配的聚合物體積的精準(zhǔn)控制亦可降低由于聚合物溢流所導(dǎo)致的產(chǎn)能損失。然而，該控制的校準(zhǔn)及維持將增加制造成本。
[0004]在使用諸如，懸置式透鏡的懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)裝置的制造處理中，高的產(chǎn)能需要各澆鑄成型透鏡對(duì)其個(gè)別的間隔件晶圓孔洞側(cè)壁表面的充分黏著。為改善此表面黏著的先前技藝方法包含施加表面處理至間隔件晶圓孔洞的側(cè)壁。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]依據(jù)一實(shí)施例，提供晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件。晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件包含具有多個(gè)孔洞的間隔件晶圓。各孔洞具有在間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀。多個(gè)孔洞中的每個(gè)包含與該平面橫剖面相交的溢流區(qū)。晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件亦包含光學(xué)組件的數(shù)組，數(shù)組的各光學(xué)組件由硬化的可流動(dòng)材料形成于多個(gè)孔洞中個(gè)別的一個(gè)內(nèi)。形成各光學(xué)組件的硬化的可流動(dòng)材料的一部分?jǐn)U展進(jìn)入至多個(gè)孔洞中的個(gè)別孔洞的溢流區(qū)內(nèi)。
[0006]依據(jù)另一實(shí)施例，提供間隔件晶圓。間隔件晶圓包含多個(gè)孔洞，多個(gè)孔洞中的每個(gè)具有在間隔件晶圓的平面橫剖面中的凹形形狀。多個(gè)孔洞中的每個(gè)包含與該平面橫剖面相交的溢流區(qū)。
【附圖說明】
[0007]圖1顯示結(jié)合至行動(dòng)電話的相機(jī)模塊內(nèi)的先前技藝晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件。
[0008]圖2顯示包含間隔件區(qū)及先前技藝間隔件晶圓孔洞的數(shù)組的先前技藝間隔件晶圓。
[0009]圖3是先前技藝間隔件晶圓孔洞的平面視圖。
[0010]圖4是形成于先前技藝凸形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的先前技藝在口袋式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的橫剖面視圖。
[0011]圖5是形成于凸形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的先前技藝懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的橫剖面視圖。
[0012]圖6顯示實(shí)施例中的包含間隔件晶圓孔洞的數(shù)組的間隔件晶圓，其中至少一孔洞是凹形。
[0013]圖7是實(shí)施例中的凹形間隔件晶圓孔洞的平面視圖。
[0014]圖8是實(shí)施例中的形成于圖7的凹形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的在口袋式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的第一橫剖面視圖。
[0015]圖9是實(shí)施例中的形成于圖7的凹形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的在口袋式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的第二橫剖面視圖。
[0016]圖10是實(shí)施例中的形成于凹形間隔件晶圓孔洞內(nèi)，且由薄膜所懸置的懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的第一橫剖面視圖。
[0017]圖11是實(shí)施例中的圖10的懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的第二橫剖面視圖。
[0018]圖12是實(shí)施例中的圖6的間隔件晶圓部分中的凹形間隔件晶圓孔洞的平面視圖。
[0019]圖13是實(shí)施例中的圖6的間隔件晶圓部分中的似星狀凹形間隔件晶圓孔洞的平面視圖。
[0020]圖14是實(shí)施例中的圖6的間隔件晶圓部分中的多邊凹形間隔件晶圓孔洞的平面視圖。
[0021]圖15是實(shí)施例中的圖6的間隔件晶圓部分中的非對(duì)稱凹形間隔件晶圓孔洞的平面視圖。
[0022]圖16A及16B分別顯示實(shí)施例中的包含具有深度相依的橫剖面的凹形間隔件晶圓孔洞的間隔件晶圓部分的頂部及底部視圖。
[0023]圖17A及17B分別顯示實(shí)施例中的圖16A及16B中所示的間隔件晶圓部分視圖的橫剖面視圖。
[0024]圖18顯示實(shí)施例中的形成于具有凸形側(cè)壁剖面的凹形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的橫剖面視圖。
[0025]圖19顯示實(shí)施例中的形成于具有凹形側(cè)壁剖面的凹形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的橫剖面視圖。
[0026]圖20顯示實(shí)施例中的形成于具有包含凸形區(qū)及凹形區(qū)二者的側(cè)壁剖面的凹形間隔件晶圓孔洞內(nèi)的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的橫剖面視圖。
[0027]圖21顯示實(shí)施例中的形成于間隔件晶圓中的多個(gè)緊密封裝的圖7的凹形間隔件晶圓孔洞。
【具體實(shí)施方式】
[0028]本發(fā)明有關(guān)晶圓位準(zhǔn)相機(jī)、用于晶圓位準(zhǔn)相機(jī)的間隔件晶圓、及形成于間隔件晶圓孔洞內(nèi)的透鏡，且更特別地，有關(guān)用于在口袋式透鏡及懸置式透鏡技術(shù)的間隔件晶圓孔洞。圖1至5描繪先前技藝的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件技術(shù)。
[0029]圖1顯示結(jié)合至行動(dòng)電話100的相機(jī)模塊102內(nèi)的先前技藝的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件110。諸如晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件110的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的制造處理包含形成晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件于間隔件晶圓中。該先前技藝的間隔件晶圓的一個(gè)實(shí)例是圖2的間隔件晶圓200。先前技藝的間隔件晶圓200包含間隔件區(qū)202及間隔件晶圓孔洞204的數(shù)組。形成于間隔件晶圓200中的各晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件是形成于不同的間隔件晶圓孔洞204中。
[0030]圖3是四個(gè)代表性的先前技藝的間隔件晶圓孔洞304、306、308、及309。一個(gè)或多個(gè)間隔件晶圓孔洞304、306、308、及309可被結(jié)合至間隔件晶圓200內(nèi)，做為一個(gè)或多個(gè)孔洞204。間隔件晶圓孔洞304、306、308、及309通過間隔件區(qū)302進(jìn)行分離。間隔件區(qū)302與間隔件區(qū)202相似。間隔件晶圓孔洞304是具有直徑330的圓形的形狀。
[0031]在幾何學(xué)上，若連接形狀的周邊上的任何兩個(gè)不同點(diǎn)的線段在由該形狀所包圍的區(qū)域內(nèi)時(shí)，或在該形狀周邊本身上時(shí)，則該形狀是凸形。此界定為與具有凸形形狀的成像透鏡所表示的意義一致，但是，間隔件晶圓孔洞的形狀(凸形，凹形，等等)并不意指可被形成于其內(nèi)的透鏡的類型(凸形，凹形，等等)。而是，“凸形間隔件晶圓孔洞”是具有凸形形狀的間隔件晶圓孔洞。因此，先前技藝的間隔件晶圓孔洞304、306、308、及309的個(gè)別形狀是凸形。
[0032]例如，線段322連接八邊形的間隔件晶圓孔洞308的周邊318上的兩點(diǎn)321及323，且橫過間隔件晶圓孔洞308。線段324連接八邊形的間隔件晶圓孔洞308的同一邊上的兩點(diǎn)，且因此，完全在間隔件晶圓孔洞308的周邊上。所以，八邊形的間隔件晶圓孔洞308為凸形。可被立即了解的是，先前技藝的間隔件晶圓孔洞304、306、及309也是凸形。
[0033]圖4顯示形成于凸形間隔件晶圓孔洞304內(nèi)的先前技藝在口袋式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件410的橫剖面400。母體420在基板450上形成晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件410。晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件410由間隔件晶圓孔洞側(cè)壁332所束縛。如所顯示地，晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件410形成為在口袋式透鏡，其中“口袋”由間隔件晶圓孔洞側(cè)壁332及基板450所組成。在先前技藝的此實(shí)例中，間隔件晶圓孔洞是具有直徑330的圓形的間隔件晶圓孔洞304。晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件410的透鏡溢流440流至空位區(qū)441內(nèi)。
[0034]圖5顯示先前技藝的懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件510的橫剖面視圖500。懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件510可被形成于凸形間隔件晶圓孔洞304內(nèi)，由間隔件晶圓孔洞側(cè)壁332所束縛，且由薄膜511所懸置。在橫剖面視圖500中，上方母體522及下方母體524使晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件510在由間隔件晶