件晶圓孔洞604的至少一個(gè)的實(shí)施例。
[0056]應(yīng)了解的是，凹形間隔件晶圓孔洞可以以旋轉(zhuǎn)對(duì)稱、反射對(duì)稱、或非對(duì)稱形成。例如，間隔件晶圓孔洞704、1204、1214、1304、及1404以旋轉(zhuǎn)及反射對(duì)稱中的一個(gè)或二個(gè)形成，以及間隔件晶圓孔洞1504是既不以旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，亦不以反射對(duì)稱形成。凹形間隔件晶圓孔洞可以以不同的對(duì)稱性質(zhì)形成，而不會(huì)背離本文的范疇。
[0057]圖16A及16B分別顯示間隔件晶圓部分1600中的間隔件晶圓孔洞1604的頂部平面視圖及底部平面視圖。間隔件晶圓孔洞1604的圍繞者為間隔件區(qū)1602。在實(shí)施例中，間隔件晶圓孔洞1604包含在間隔件晶圓600中，作為間隔件晶圓孔洞604的至少一個(gè)。
[0058]間隔件晶圓孔洞1604中的一個(gè)或多個(gè)橫剖面視圖(請(qǐng)參閱圖17A及17B)可沿著xyz右側(cè)坐標(biāo)系統(tǒng)1698的z軸而產(chǎn)生。在圖16A中，z軸被指引自頁(yè)面出來(lái)，如“箭頭”所示。在圖16B中，z軸被指引進(jìn)入至頁(yè)面內(nèi)，如“箭尾”所示。
[0059]在圖16A及16B的實(shí)施例中，間隔件晶圓孔洞1604以兩區(qū)域形成:孔洞區(qū)1605(1)及孔洞區(qū)1605(2)。在實(shí)施例中，孔洞區(qū)1605(1)為圓形，而具有直徑730，如圖16A中所示?？锥磪^(qū)1605(2)形成有寬度731，如圖16B中所示。
[0060]圖16A顯示晶圓部分的表面1612(1)的頂部平面視圖。在此視圖中，孔洞1604的孔洞區(qū)1605(1)是可見(jiàn)的。圖16B顯示晶圓部分的表面1612(3)的底部平面視圖。在此視圖中，孔洞區(qū)1605(2)是可見(jiàn)的。圖16B顯示具有突出物1641的中央晶圓部分的表面1612(2)。突出物1641并未完全延伸穿過(guò)間隔件區(qū)1602，其可在圖17A中被更清楚地看出。圖17A顯示沿著圖16的橫剖面的線1694A-1694A’的橫剖面視圖。間隔件區(qū)1602具有在晶圓部分的表面1612(1)及1612(3)間的總厚度?？锥磪^(qū)1605(1)具有厚度1724(1)及直徑730?？锥磪^(qū)1605(2)具有厚度1724(2)，及在橫剖面的線1694A-1694A’中的寬度731。
[0061]圖17B顯示沿著圖16的橫剖面的線1694B-1694B’的橫剖面視圖。在圖17B的橫剖面視圖中，間隔件晶圓孔洞1604顯示在間隔件區(qū)1602的總厚度1714間具有與直徑730相等的寬度。也就是說(shuō)，在該橫剖面視圖中，孔洞區(qū)1605(2)的寬度731等于直徑730。
[0062]在穿過(guò)間隔件晶圓的平面中的凹形間隔件晶圓孔洞的周邊外切具有較短周邊的凸形形狀。例如，凹形間隔件晶圓孔洞1304的周邊1305外切圓形1306。在穿過(guò)間隔件晶圓部分1302的平面中，周邊1305的長(zhǎng)度超過(guò)所外切的圓形1306的周長(zhǎng)。因此，間隔件晶圓孔洞1304的孔洞側(cè)壁的表面面積超過(guò)具有所外切圓形1306的橫剖面形狀的凸形間隔件晶圓孔洞的該者。在此，具有由凹形間隔件晶圓孔洞所外切的凸形形狀的形狀的間隔件晶圓孔洞系稱作“所外切的凸形孔洞”。
[0063]當(dāng)被使用以制造懸置式透鏡時(shí)，其一個(gè)實(shí)例為懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010(圖10)，凹形間隔件晶圓孔洞的所增加的側(cè)壁表面面積將增加透鏡對(duì)側(cè)壁的黏著。也就是說(shuō)，凹形間隔件晶圓孔洞的側(cè)壁表面面積比所外切的凸形孔洞的該者還要大很多，當(dāng)與所外切的凸形孔洞相較時(shí)，此將導(dǎo)致更大的透鏡對(duì)側(cè)壁的黏著，以供凹形間隔件晶圓孔洞之用。
[0064]異型剖面的孔洞側(cè)壁
[0065]在異型剖面的孔洞側(cè)壁的實(shí)施例中，當(dāng)與先前技藝相較時(shí)，懸置式透鏡對(duì)孔洞側(cè)壁的黏著通過(guò)添加孔洞側(cè)壁的整型剖面而予以增加，其中至少孔洞側(cè)壁的該部分支撐光學(xué)組件的薄膜部分。異型剖面的孔洞側(cè)壁的實(shí)例顯示于圖18至20中，雖然其它的剖面可在不背離本文的范疇而被使用。
[0066]作為比較，圖8至9顯示間隔件晶圓孔洞704的側(cè)壁732、733、及734成為直立的、垂直的側(cè)壁，而與鄰接的間隔件晶圓表面706及708形成直角。當(dāng)與先前技藝相較時(shí)，雖然該等凹形間隔件晶圓孔洞增加了與懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件接觸的側(cè)壁表面面積，但黏著可被進(jìn)一步增加。通過(guò)整型孔洞側(cè)壁的剖面，將增加懸置式晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件對(duì)孔洞側(cè)壁的黏著。
[0067]圖18顯示由薄膜1811所懸置且被形成于凹形間隔件晶圓孔洞1804內(nèi)的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010。間隔件區(qū)1802可使用于間隔件晶圓中，其一個(gè)實(shí)例為間隔件晶圓600。間隔件晶圓表面1812(1)及1812(3)為間隔件區(qū)1802的平面表面。
[0068]間隔件晶圓孔洞1804具有具備代表性的凸形側(cè)壁剖面1824的孔洞側(cè)壁1830。在一個(gè)實(shí)施例中，側(cè)壁剖面1824的弧長(zhǎng)度比薄膜厚度1843更長(zhǎng)5%。因?yàn)閭?cè)壁剖面1824的弧長(zhǎng)度超越薄膜厚度1843，所以相較于具有平面?zhèn)缺谄拭娴拈g隔件晶圓孔洞的側(cè)壁表面面積，與薄膜1811接觸的間隔件晶圓孔洞1804的側(cè)壁表面面積會(huì)增加。
[0069]其延伸自側(cè)壁段1834的線1841，與由間隔件晶圓表面1812 (3)所界定的平面造成斜角1842。垂直線1844與由間隔件晶圓表面1812(1)及1812(3)所界定的平面垂直，且與薄膜1811及側(cè)壁剖面1824相交。垂直線1844與間隔件區(qū)1802的相交長(zhǎng)度1845小于間隔件區(qū)1802的厚度1846。側(cè)壁剖面1824可不背離其范疇而變化。
[0070]圖19顯示由薄膜1911所懸置且被形成于凹形間隔件晶圓孔洞1904內(nèi)的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010。間隔件晶圓孔洞1904由具有代表性的凹形側(cè)壁剖面1924的孔洞側(cè)壁1930界定。間隔件區(qū)1902可被使用于例如，與間隔件晶圓600相似的間隔件晶圓中。
[0071]圖20顯示由薄膜2011所懸置且被形成于凹形間隔件晶圓孔洞2004內(nèi)的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件1010。間隔件晶圓孔洞2004具有具備代表性的側(cè)壁剖面2024的孔洞側(cè)壁2030。側(cè)壁剖面2024包含凹形部2025及凸形部2026 二者。間隔件區(qū)2002可被使用于例如，與間隔件晶圓600相似的間隔件晶圓中。
[0072]諸如間隔件晶圓孔洞1804、1904、及2004的具有整型側(cè)壁的間隔件晶圓孔洞的形狀可為凹形或凸形間隔件晶圓孔洞中的一個(gè)或兩個(gè)。凹形間隔件晶圓孔洞包含，但未受限于間隔件晶圓孔洞704、1204、1214、1304、1404、及1504。在具有凹形間隔件晶圓孔洞的任一間隔件晶圓孔洞1804、1904、或2004的實(shí)施例中，與懸置式透鏡接觸的間隔件晶圓孔洞側(cè)壁的表面面積在兩平面中增加。例如，如有關(guān)凹形間隔件晶圓孔洞1304所討論地，32個(gè)三角型突出物1321在間隔件區(qū)1302的平面中增加間隔件側(cè)壁面積。如有關(guān)凹形間隔件晶圓孔洞1904所討論地，側(cè)壁剖面1924在與間隔件區(qū)1902垂直的平面中增加間隔件側(cè)壁面積。
[0073]在此所揭示的凹形及整型側(cè)壁剖面間隔件晶圓孔洞并未意指以任一方式限制，而是僅被設(shè)置作為提供溢流區(qū)的一些可能的凹形間隔件晶圓孔洞及整型側(cè)壁剖面間隔件晶圓孔洞的實(shí)例，當(dāng)與先前技藝的凸形孔洞相較時(shí)，該溢流區(qū)可同時(shí)增加晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件與孔洞側(cè)壁的黏著，并提供可增加每晶圓的間隔件晶圓孔洞數(shù)目的凹形形狀。應(yīng)了解的是，凹形及整型側(cè)壁剖面間隔件晶圓孔洞可以以寬廣種類的凹形孔洞形狀、整型側(cè)壁剖面形狀、或凹形孔洞形狀及整型側(cè)壁剖面形狀二者，加以形成，而不會(huì)背離本文的范疇。
[0074]特件組合
[0075]上文所敘述的特性及下文所主張專利的該等者可以以種種方式結(jié)合，而不會(huì)背離本文的范疇。例如，應(yīng)理解的是，在此所敘述的間隔件晶圓的觀點(diǎn)可結(jié)合或交換在此所敘述的另一間隔件晶圓的特性。而且，應(yīng)理解的是，在此所敘述的晶圓位準(zhǔn)光學(xué)組件的觀點(diǎn)可結(jié)合或交換在此所敘述的另一晶