一種顯影裝置及顯影方法、曝光裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板顯示技術(shù)，特別涉及一種顯影裝置，及其顯影方法，以及包括該顯影裝置的曝光裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]顯示面板目前被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、掌上電腦(Personal DigitalAssistant, PDA)等便攜式電子產(chǎn)品中，例如:薄膜晶體管液晶顯示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display, TFT-LCD)、有機(jī)發(fā)光二級(jí)管顯不器(Organic LightEmitting D1de, OLED)、低溫多晶娃(Low Temperature Poly-silicon, LTPS)顯不器以及等離子體顯示器(Plasma Display Panel, PDP)等。在顯示面板上制備電路等圖形時(shí)，需要采用曝光裝置對(duì)顯示面板的基板上涂布的材料進(jìn)行曝光、顯影等處理。而在顯影過程中，基板上會(huì)涂布有光刻膠，當(dāng)基板浸泡在顯影液中時(shí)，基板上的光刻膠會(huì)有一部分被溶解在顯影液中，光刻膠的存在相當(dāng)于顯影過程的催化劑，光刻膠的溶解不影響顯影液中顯影成分的濃度，但會(huì)與顯影液中的有效顯影成分共同作用使得基板上光刻膠更易于溶解，提高顯影能力，光刻膠的存在會(huì)有兩方面影響:(I)光刻膠的濃度在達(dá)到一定范圍之前，濃度越高越好，這樣的好處是提高顯影能力，縮短基板顯影時(shí)間，節(jié)省顯影液的用量；(2)光刻膠的濃度也不是越高越好，光刻膠濃度越高顯影能力越不穩(wěn)定，容易造成產(chǎn)品不合格。所以，顯影液濃度保持在一個(gè)穩(wěn)定的范圍內(nèi)比較好。
[0003]目前，顯影系統(tǒng)的調(diào)節(jié)方法為，當(dāng)顯影液中光刻膠的濃度過低時(shí)，作貨之前要先跑帶光刻膠的試驗(yàn)基板，使得基板上的光刻膠溶解一部分到顯影液中，提升光刻膠的濃度；當(dāng)顯影液中光刻膠的濃度過高時(shí)，顯影能力過強(qiáng)，排掉一部分舊顯影液，充入新的顯影液，使得曝光裝置中顯影液被稀釋，光刻膠的濃度下降，而顯影系統(tǒng)中有效顯影成分濃度不發(fā)生變化，調(diào)節(jié)顯影能力。但是在這種控制系統(tǒng)中光刻膠的濃度波動(dòng)頻繁，需要不斷的排走舊顯影液并補(bǔ)充新的顯影液，缺點(diǎn)是影響生產(chǎn)效率，并且浪費(fèi)顯影液，增加生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]有鑒于此，本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯影裝置，包括箱體和顯影液，所述顯影液盛放在所述箱體內(nèi)，其特征在于，所述箱體包括內(nèi)壁，所述內(nèi)壁上設(shè)置有緩沖膜，所述顯影液包括光刻膠，所述緩沖膜能夠調(diào)節(jié)所述顯影液中光刻膠的濃度。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種顯影方法，應(yīng)用于如上所述的顯影裝置，其特征在于，
[0006]將所述緩沖膜浸泡在光刻膠濃度為0.1% g/L的第一顯影液中，將浸泡后的所述緩沖膜貼附在所述內(nèi)壁上；
[0007]在貼附有所述緩沖膜的所述箱體內(nèi)加入一定量的所述顯影液；
[0008]將待顯影樣品放入所述箱體內(nèi)的所述顯影液中進(jìn)行顯影。
[0009]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種曝光裝置，包括如上所述的顯影裝置。
[0010]本發(fā)明實(shí)施例提供的顯影裝置及顯影方法和曝光裝置具有以下有益效果:
[0011]1.解決顯影系統(tǒng)中光刻膠濃度不穩(wěn)定對(duì)顯影液顯影能力的影響；
[0012]2.緩沖膜能夠調(diào)節(jié)顯影液的濃度，使得顯影液中光刻膠的濃度維持在一定的范圍，以避免顯影液中光刻膠濃度過高或者過低，而需要加入新的顯影液，從而可以減少顯影液的使用量，節(jié)約成本；并且緩沖膜中的殼聚糖能起到抑制細(xì)菌作用，提高待顯影樣品的質(zhì)量。
【附圖說明】
[0013]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的顯影裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種顯影方法的流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0017]本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯影裝置，如圖1所示，包括箱體I和顯影液(圖中未示出)，所述顯影液盛放在所述箱體I內(nèi)，所述箱體I包括內(nèi)壁2，所述內(nèi)壁2上設(shè)置有緩沖膜3，所述顯影液包括光刻膠，所述緩沖膜能夠調(diào)節(jié)所述顯影液中光刻膠的濃度。
[0018]顯影液的成分主要是堿類溶液，例如氫氧化鈉以及四甲基氫氧化銨的水溶液，本發(fā)明實(shí)施例中使用的顯影液為0.4mol/L的四甲基氫氧化錢溶液，酸堿度PH值為9_10 ;顯影裝置中盛放的顯影液包括光刻膠，該顯影液中光刻膠的濃度為0.05% g/L-0.15% g/L ;緩沖膜中光刻膠的濃度為0.1% g/L。光刻膠的主要成分是酚醛樹脂以及感光劑。緩沖膜是復(fù)合材料，至少包括氧化石墨烯與殼聚糖。緩沖膜要在光刻膠濃度為0.1% g/L的第一顯影液中浸泡后，通過粘結(jié)膠貼附在所述內(nèi)壁上。可以在浸泡后的緩沖膜上涂附粘結(jié)膠，緩沖膜通過粘結(jié)膠貼附在箱體的內(nèi)壁上；或者在緩沖膜貼附在箱體的內(nèi)壁上之前，在箱體的內(nèi)壁上涂附粘結(jié)膠，緩沖膜通過粘結(jié)膠貼附在內(nèi)壁上。粘結(jié)膠可以為環(huán)氧樹脂型膠黏劑、有機(jī)硅樹脂膠黏劑、氯丁橡膠、丁苯橡膠類膠黏劑等。如圖1所示，內(nèi)壁包括四個(gè)表面，其中，至少一個(gè)表面貼附有緩沖膜3。需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例僅以內(nèi)壁包括四個(gè)表面舉例說明，但不局限于四個(gè)表面，可以根據(jù)顯影裝置的具體需求任意設(shè)置，在此不做限定。該緩沖膜解決顯影系統(tǒng)中光刻膠濃度不穩(wěn)定對(duì)顯影液顯影能力的影響；并且能夠減少顯影液的使用量，節(jié)約成本。
[0019]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種顯影方法，應(yīng)用于如上所述的顯影裝置，如圖2所示，具體步驟包括:
[0020]將緩沖膜浸泡在光刻膠濃度為0.1% g/L的第一顯影液中，將浸泡后的緩沖膜貼附在箱體的內(nèi)壁上；
[0021]在貼附有緩沖膜的箱體內(nèi)加入一定量的顯影液；
[0022]將待顯影樣品放入箱體內(nèi)的顯影液中進(jìn)行顯影。
[0023]將緩沖膜貼附在箱體的內(nèi)壁上之前，還包括，在浸泡后的緩沖膜上涂附粘結(jié)膠，緩沖膜通過粘結(jié)膠貼附在箱體的內(nèi)壁上。
[0024]以上僅為本發(fā)明的一種實(shí)施方式，本發(fā)明的實(shí)施方式還可以為，將緩沖膜貼附在箱體的內(nèi)壁上之前，還包括，在箱體的內(nèi)壁上涂附粘結(jié)膠，緩沖膜通過粘結(jié)膠貼附在箱體的內(nèi)壁上。
[0025]具體的，待顯影樣品包括第一基板，該待顯影樣品在放入顯影液中之前包括如下步驟:在第一基板上依次疊加涂布導(dǎo)電材質(zhì)和光阻，采用特定的光罩對(duì)依次涂布導(dǎo)電材質(zhì)和光