一種光刻膠涂布及回收裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及平板顯示(包括液晶顯示器、等離子顯示器、有機發(fā)光顯示器等)及半導體等技術領域，具體而言涉及器件制備過程中光刻膠涂布及回收利用的一種技術。
【背景技術】
[0002]涂布技術就是在器件制作過程中在待加工基板表面涂覆一層光刻膠，然后通過后續(xù)曝光、顯影、蝕刻、脫膜等工序制作出需求的電極或絕緣層圖形。在平板顯示和半導體制造行業(yè)，涂布技術是非常關鍵的工藝技術，其按設備使用方式的不同分類為:旋轉(zhuǎn)涂布、線狀涂布和滾動涂布等，其中線狀涂布方式被廣泛應用于平板顯示行業(yè)，其主要特點在于:涂布精度高，平坦度好，節(jié)拍快，產(chǎn)能高。在制造型企業(yè)中，制造成本是關系到企業(yè)能否立足于市場的核心競爭力，而在線狀涂布方式制程中，其原材料光刻膠通常是從國外進口的，價格非常昂貴，如何減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率對于企業(yè)制造成本的降低有非常重要的意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率，本發(fā)明提供一種光刻膠涂布及回收裝置。
[0004]技術方案:一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器1、光刻膠傳輸管2、旋轉(zhuǎn)閥門3、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5、涂布刮刀傳輸管6和動力裝置7。旋轉(zhuǎn)閥門3通過光刻膠傳輸管2與光刻膠容器I相連，光刻膠傳輸管2上裝有過濾器2.1和流量計2.2，光刻膠容器I內(nèi)設置有溫度監(jiān)控器1.1 ;旋轉(zhuǎn)閥門3通過涂布刮刀傳輸管6與涂布刮刀5相連；旋轉(zhuǎn)閥門3通過螺紋與光刻膠抽取裝置4相連；動力裝置7同時與旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻膠抽取裝置4相連。
[0005]進一步的，所述旋轉(zhuǎn)閥門3包括旋轉(zhuǎn)閥芯3.1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3 ;旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的一端設置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3上，另一端與動力裝置7相連，旋轉(zhuǎn)閥芯3.1相對于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3旋轉(zhuǎn)。
[0006]旋轉(zhuǎn)閥芯3.1設置有第一通孔3.1.1、第二通孔3.1.2、旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸
3.1.3、通孔防滲漏墊圈3.1.4、活動卡盤3.1.5和卡盤防滲漏墊圈3.1.6 ;第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的一端，旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸3.1.3設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的另一端，活動卡盤3.1.5設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的軸向中間位置；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓心的連線成90度夾角，同時，二者在旋轉(zhuǎn)閥芯3.1內(nèi)部是連通的；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2開口外圍處設置有通孔防滲漏墊圈3.1.4 ;活動卡盤3.1.5靠通孔的一側(cè)設置有卡盤防滲漏墊圈3.1.6。
[0007]旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3設置有旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3、旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3.3.4、銷釘孔3.3.5和活動卡槽3.3.6 ;旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3.3.4設置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3 —底面的中心位置且孔的一端是密封的，活動卡槽3.3.6設置于旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3.3.4的未密封端；旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3分別設置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3的三個側(cè)面上且各接口均與旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔
3.3.4連通，各接口均設置有內(nèi)螺紋；銷釘孔3.3.5設置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3底面的四個角上，銷釘孔3.3.5用于固定旋轉(zhuǎn)閥門3。
[0008]旋轉(zhuǎn)閥芯3.1帶通孔的一端與旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3.3.4相匹配，活動卡盤3.1.5與活動卡槽3.3.6相匹配，旋轉(zhuǎn)閥芯3.1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3通過活動卡盤3.1.5與活動卡槽3.3.6固定連接，且二者可相對旋轉(zhuǎn)；在旋轉(zhuǎn)閥芯(3.1)旋轉(zhuǎn)一定角度后，所述第一通孔(3.1.1)、第二通孔(3.1.2)在垂直位置上分別與所述旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口(3.3.1)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口(3.3.2)的內(nèi)開口、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口(3.3.3)的內(nèi)開口中的二者相對應。
[0009]進一步的，所述光刻膠傳輸管2、光刻膠抽取裝置4和涂布刮刀傳輸管6的一端設置有分別與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2內(nèi)螺紋相匹配的外螺紋，光刻膠傳輸管2、光刻膠抽取裝置4和涂布刮刀傳輸管6分別與旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2相連。
[0010]進一步的，所述光刻膠抽取裝置4設置有光刻膠抽取筒4.1和光刻膠抽取活塞
4.2 ;光刻膠抽取活塞4.2設置于光刻膠抽取筒4.1內(nèi)。
[0011]進一步的，所述動力裝置7包括主控電路7.1、旋轉(zhuǎn)閥芯電機7.2和直線電機7.3 ;主控電路7.1分別與旋轉(zhuǎn)閥芯電機7.2和直線電機7.3相連，旋轉(zhuǎn)閥芯電機7.2與旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸3.1.3相連，直線電機7.3與光刻膠抽取活塞4.2相連。
[0012]由于采用了上述技術方案，該裝置可以將涂布刮刀、傳輸管和過濾器中殘留的光刻膠吸入擠壓回光刻膠容器中，達到了減少光刻膠的浪費及提高光刻膠的利用率的目的，且該裝置集光刻膠涂布工藝與光刻膠回收過程一體化，其結(jié)構簡單緊湊、操作高效方便，回收的光刻膠不受污染、100%再利用，大大的節(jié)約企業(yè)的制造成本，有力的增強了企業(yè)的競爭力，為企業(yè)的發(fā)展做出了突出的貢獻。
[0013]說明書附圖
[0014]圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構示意圖。
[0015]圖2中是旋轉(zhuǎn)閥門的立體示意圖。
[0016]圖3是圖2中的A-A剖視圖。
[0017]圖4是圖3中旋轉(zhuǎn)閥芯順時針旋轉(zhuǎn)90度后的示意圖。
[0018]圖5是旋轉(zhuǎn)閥芯結(jié)構示意圖。
[0019]圖6是圖5中的B-B剖視圖。
[0020]圖7是旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼的立體結(jié)構示意圖。
[0021]圖8是圖7中的D-D剖視圖。
[0022]I光刻膠容器；1.1溫度監(jiān)控器；2光刻膠傳輸管；2.1過濾器；2.2流量計；3旋轉(zhuǎn)閥門；3.1旋轉(zhuǎn)閥芯；3.1.1第一通孔；3.1.2第二通孔；3.1.3旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸；3.1.4通孔防滲漏墊圈；3.1.5活動卡盤；3.1.6卡盤防滲漏墊圈；3.3旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼；3.3.1旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口；3.3.2旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口；3.3.3旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 ；3.3.4旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔；3.3.5銷釘孔；3.3.6活動卡槽；4光刻膠抽取裝置；4.1光刻膠抽取筒；4.2光刻膠抽取活塞；5涂布刮刀；6涂布刮刀傳輸管；7動力裝置；7.1主控電路；7.2旋轉(zhuǎn)閥芯電機；7.3直線電機
【具體實施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步詳述。
[0024]如圖1所示，一種光刻膠涂布及回收裝置，包括光刻膠容器1、光刻膠傳輸管2、旋轉(zhuǎn)閥門3、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5、涂布刮刀傳輸管6和動力裝置7。旋轉(zhuǎn)閥門3通過光刻膠傳輸管2與光刻膠容器I相連，光刻膠傳輸管2上裝有過濾器2.1和流量計2.2，用于統(tǒng)計光刻膠用量，光刻膠容器I內(nèi)設置有溫度監(jiān)控器1.1，用于監(jiān)控光刻膠使用溫度；旋轉(zhuǎn)閥門3通過涂布刮刀傳輸管6與涂布刮刀5相連；旋轉(zhuǎn)閥門3通過螺紋與光刻膠抽取裝置4相連；動力裝置7同時與旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻膠抽取裝置4相連。
[0025]工作時，動力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3和光刻膠抽取裝置4配合工作，完成光刻膠的輸送和回收，涂布過程光刻膠的輸送:動力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠容器I與光刻膠抽取裝置4連通，此時動力裝置7再控制光刻膠抽取裝置4抽取光刻膠容器I中的光刻膠，然后動力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠抽取裝置4與涂布刮刀5連通，繼而動力裝置7控制光刻膠抽取裝置4使其從光刻膠容器I中抽取來的光刻膠擠壓推入至涂布刮刀5，完成涂布過程對光刻膠的輸送。而光刻膠的回收是上述的逆過程:動力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠抽取裝置4與涂布刮刀5連通，繼而動力裝置7控制光刻膠抽取裝置4抽取涂布刮刀5及傳輸管上殘留的光刻膠，然后動力裝置7控制旋轉(zhuǎn)閥門3使光刻膠容器I與光刻膠抽取裝置4連通，此時動力裝置7再控制光刻膠抽取裝置4使其將抽取回的光刻膠擠壓推入至光刻膠容器I中，同時過濾器即傳輸管上殘留的光刻膠也被推入至光刻膠容器I中，完成對光刻膠的回收。
[0026]如圖2所示，旋轉(zhuǎn)閥門3包括旋轉(zhuǎn)閥芯3.1和旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3 ;旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的一端設置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3上，另一端與動力裝置7相連，旋轉(zhuǎn)閥芯3.1相對于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3旋轉(zhuǎn)。
[0027]如圖5所示，旋轉(zhuǎn)閥芯3.1設置有第一通孔3.1.1、第二通孔3.1.2、旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸3.1.3、通孔防滲漏墊圈3.1.4、活動卡盤3.1.5和卡盤防滲漏墊圈3.1.6 ;第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的一端，旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸3.1.3設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的另一端，活動卡盤3.1.5設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的軸向中間位置；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2設置于旋轉(zhuǎn)閥芯3.1的同一徑向平面且二者的圓心與該徑向圓圓心的連線成90度夾角，同時，二者在旋轉(zhuǎn)閥芯3.1內(nèi)部是連通的；第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2開口外圍處設置有通孔防滲漏墊圈3.1.4 ;活動卡盤3.1.5靠通孔的一側(cè)設置有卡盤防滲漏墊圈3.1.6。
[0028]動力裝置7通過旋轉(zhuǎn)閥芯電機連接軸3.1.3控制旋轉(zhuǎn)閥芯3.1在旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3內(nèi)轉(zhuǎn)動，使其第一通孔3.1.1和第二通孔3.1.2將光刻膠容器1、光刻膠抽取裝置4、涂布刮刀5中的二者連通，完成光刻膠的輸送或回收，通孔防滲漏墊圈3.1.4和卡盤防滲漏墊圈3.1.6防止光刻膠的滲漏和空氣對光刻膠的污染。
[0029]如圖7所示，旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3設置有旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠容器接口 3.3.1、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼涂布刮刀接口 3.3.2、旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼光膠抽取裝置接口 3.3.3、旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3.3.4、銷釘孔3.3.5和活動卡槽3.3.6 ;旋轉(zhuǎn)閥芯固定孔3.3.4設置于旋轉(zhuǎn)閥門內(nèi)殼3.3 —底面的中心位置且孔的一端是密封的，活動卡槽3.3