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一種帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備的制作方法

文檔序號:11551374閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,包括支撐結構、曝光裝置、對準裝置、載樣裝置和控制裝置;所述支撐結構下部為一箱體結構,曝光裝置和控制裝置位于所述箱體結構內,所述載樣裝置嵌于箱體結構上表面并位于曝光裝置上方;所述支撐結構上部為墻面結構或龍門結構,所述對準裝置與支撐結構上部連接且位于載樣裝置的上方;所述載樣裝置包括透明真空吸盤和真空發(fā)生裝置。

2.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述透明真空吸盤和真空發(fā)生裝置通過真空管路連接。

3.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述透明真空吸盤包括蓋板、底板、連接軸和密封圈。

4.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述透明真空吸盤的底板為硬質透明材質,蓋板為硬質透明材質或軟質透明材質。

5.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述透明真空吸盤的底板材質為鋼化玻璃。

6.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述透明真空吸盤的底板的表面平整度≤5μm。

7.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述箱體結構為一密閉箱體。

8.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述曝光裝置包括曝光鏡頭和曝光運動組件。

9.根據(jù)權利要求8所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述曝光運動組件包括X、Y、Z3個方向的導軌。

10.根據(jù)權利要求1所述的帶有透明真空吸盤的倒置曝光設備,其特征在于,所述對準裝置包括對準相機和對準運動組件。

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