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一種掩膜板遮光器的制作方法

文檔序號(hào):11560850閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種掩膜板遮光器,其特征在于,包括:

多個(gè)相互獨(dú)立的遮光部,每個(gè)遮光部上設(shè)置有子遮光圖形;

分別與每一遮光部連接、驅(qū)動(dòng)每一遮光部朝預(yù)設(shè)方向進(jìn)行移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)模塊,所述遮光部在被所述驅(qū)動(dòng)模塊移動(dòng)后,多個(gè)遮光部的子遮光圖形組成一遮光圖形。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

每個(gè)遮光部為尺寸相同的矩形板,并在垂直于所述預(yù)設(shè)方向的方向上并行排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

每個(gè)遮光部的其中一對(duì)側(cè)邊平行于所述預(yù)設(shè)方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

所述多個(gè)遮光部分為多層,同一層相鄰的兩個(gè)遮光部彼此相隔一定間隙。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

同層相鄰的兩個(gè)遮光部之間的間隙被另一層的遮光部所遮擋。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

所述多個(gè)遮光部分為兩層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

所述驅(qū)動(dòng)模塊包括:

與所述多個(gè)遮光部一一對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī);

所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)在接收驅(qū)動(dòng)信號(hào)后,驅(qū)動(dòng)其對(duì)應(yīng)的遮光部朝預(yù)設(shè)方向進(jìn)行移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

所述子遮光圖形覆蓋所述遮光部表面的全部區(qū)域。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的遮光器,其特征在于,

所述子遮光圖形的材料至少包括有聚四氟乙烯。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的掩膜板遮光器,其特征在于,

每一子遮光圖形包括:

內(nèi)芯和包覆所述內(nèi)芯的涂覆層;

所述內(nèi)芯由鐵或鐵的混合物制成,所述涂覆層由聚四氟乙烯制成。

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