本發(fā)明涉及一種顯示面板技術(shù)，特別是一種水膜發(fā)生裝置及顯影機、清洗機。

背景技術(shù)：

液晶面板行業(yè)發(fā)展越來越迅速，尤其在中小尺寸面板產(chǎn)業(yè)(如lcd(液晶顯示器)/ltps(低溫多晶硅技術(shù)))，由于行業(yè)競爭愈加激烈，新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備面臨的挑戰(zhàn)和創(chuàng)造顯得尤為關(guān)鍵。

現(xiàn)階段濕法設(shè)備作為工藝制程中重要的環(huán)節(jié)，無論是能夠滿足生產(chǎn)中要求的特性值(cd)接近設(shè)計的水準(zhǔn)，還是對產(chǎn)品品質(zhì)(異物、mura(斑馬紋)等)的提升，是每個液晶面板工廠最為重視的。

目前無論是清洗機還是顯影機這類濕法設(shè)備，大體的設(shè)備結(jié)構(gòu)都以定型，而且從成本角度出發(fā)，大多數(shù)細小的缺陷不會被作為采購中的一個指標(biāo)，但是往往一些設(shè)備簡單的設(shè)計可能無法真正應(yīng)用到大的生產(chǎn)線中，制程未涂布前的表面是否有異物，怎樣防止這些異物，或者制程后的濕膜怎樣保證其膜面的完整性和良好的外觀性等問題。

lcd/ltps中cf(彩色濾光片)工藝，其工藝生產(chǎn)中使用的主要濕法類設(shè)備清洗機和顯影機。其中最廣泛的濕法設(shè)備a/k單元(風(fēng)刀干燥單元)前為了防止cda(干凈壓縮氣體)直接對玻璃或制程膜層造成損傷，會加裝水膜發(fā)生裝置，即水膜的噴嘴，使膜層表面覆上一層水膜，水膜的完整性和均一性就顯得尤其重要；而為了加工和組裝的方便，設(shè)備設(shè)計者往往對此機構(gòu)忽略，往往是設(shè)計為孔，靠水的壓力形成水柱，但如果孔堵塞或水壓突變就容易造成水膜被破壞或均一性受到影響；清洗機一般就會因此形成斜紋mura(斑馬紋)或水殘mura，顯影機造成斜紋mura或水殘，殘渣等缺陷。

一般cf工藝(主制程)產(chǎn)線結(jié)構(gòu)如下：基板投入-清洗裝置-涂布裝置-真空干燥-預(yù)烘烤裝置-曝光裝置-顯影裝置-烘烤裝置-基板產(chǎn)出。

洗凈裝置(清洗機)和顯影裝置(顯影機)的a/k單元(風(fēng)刀干燥單元)的水膜發(fā)生裝置結(jié)構(gòu)為一根長管，在管體的兩端分別接進水管道以及出水管道，管體的管體壁上設(shè)有一排噴孔。

此裝置最重要的作用是對膜層或基板表面形成一層保護性水膜，禁止風(fēng)刀吹的氣體對膜面或基板表面造成不必要的mura或影響膜面的瑕疵(如水殘，光阻殘留等)。當(dāng)基板通過風(fēng)刀前，其形成的水膜均一性比較差，且出水量受壓力影響較明顯，時而會出現(xiàn)水膜斷掉或不完整的情形，容易對高精細產(chǎn)品的膜面造成不良，從而降低了產(chǎn)品的良率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種水膜發(fā)生裝置及顯影機、清洗機，使得能夠保證水膜的完整性，而且方便清理堵塞。

本發(fā)明提供了一種水膜發(fā)生裝置，包括噴嘴，所述噴嘴包括基座、與基座可拆卸地連接的前蓋，所述基座與前蓋之間密封連接，所述基座的下端面上設(shè)有狹縫狀的噴孔，在基座上設(shè)有進水孔，所述基座與前蓋相對的一側(cè)表面設(shè)有凹槽，凹槽與噴孔以及進水孔連通。

進一步地，所述基座的高度小于前蓋的高度，基座的上端面與前蓋的上端面對齊設(shè)置，所述前蓋的下端延伸至基座的下端面外形成導(dǎo)向部。

進一步地，所述凹槽設(shè)有多個，進水孔以及噴孔均勻每個凹槽連通。

進一步地，所述基座與前蓋相對的一側(cè)表面上設(shè)有第一螺孔，在前蓋上與基座相對的一側(cè)表面上設(shè)有第二螺孔，第二螺孔與第一螺孔的位置相對應(yīng)，基座與前蓋通過螺絲與第一螺孔、第二螺孔螺紋連接固定。

進一步地，所述第一螺孔位于凹槽的上方。

進一步地，所述基座與前蓋均為條狀。

進一步地，所述基座和前蓋的下端面均為斜面。

進一步地，所述噴孔沿噴嘴本體的長度方向設(shè)置。

本發(fā)明還提供了一種顯影機，包括所述的水膜發(fā)生裝置。

本發(fā)明還提供了一種清洗機，包括所述的水膜發(fā)生裝置。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用基座與可拆卸的前蓋，兩者密封連接并在基座的下端面設(shè)有狹縫狀的噴孔，使得能夠保持水膜完整性，可拆卸的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了在堵塞時容易清理，噴孔為狹縫狀加工成本低。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的噴嘴的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明的第一種基座的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明噴嘴的剖視圖；

圖4是本發(fā)明的第二種基座的外部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明水膜發(fā)生裝置安裝在清洗機中的位置關(guān)系圖；

圖6是本發(fā)明水膜發(fā)生裝置安裝在顯影機中的位置關(guān)系圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。

如圖1、圖2和圖3所示，本發(fā)明的水膜發(fā)生裝置包括噴嘴1，所述噴嘴1包括基座2、與基座2可拆卸地連接的前蓋3，所述基座2與前蓋3之間密封連接，所述基座2的下端面上設(shè)有狹縫狀的噴孔4，在基座2上設(shè)有進水孔21，所述基座2與前蓋3相對的一側(cè)表面上設(shè)有內(nèi)凹的凹槽22，凹槽22分別與進水孔21和噴孔4連通，當(dāng)基座2與前蓋3緊密連接后，前蓋3與基座2相對的一面和凹槽22共同形成一供水流過的流道，從而保證了水噴出時的完整性；具體地，基座2和前蓋3均為條狀，兩者平行設(shè)置，所述噴孔4設(shè)于基座2的下端面與前蓋3接合的位置處，噴孔4沿基座2的長度方向設(shè)置；在基座2與前蓋3相對的的一側(cè)表面上還設(shè)有通道24，通道24連接進水孔21與凹槽22，噴嘴1通過將純水軟管與進水孔21連接，使水進入凹槽22中并從噴孔4中噴出；凹槽22的深度可以與噴孔4的寬度相等，從而保證出水的流暢性，但本發(fā)明不限于此，還可以采用噴孔4的寬度小于凹槽22的深度，噴孔4與凹槽22之間的槽壁為斜面，從而對水進行引導(dǎo)；基座2與前蓋3之間的密封可通過密封膠的方式進行，在此不作具體限定；本發(fā)明的改進之處在于噴嘴1本身，而水膜發(fā)生裝置的其余部分均未發(fā)生改變。

本發(fā)明中進水孔21設(shè)于基座2左右兩端的其中一端上，相應(yīng)地，通道24也設(shè)于與進水孔21相對的一側(cè)上，通道24與進水孔21相鄰的一側(cè)進入基座2的內(nèi)部后與進水孔21相連。

如圖1所示，基座2以及前蓋3的下端面均為斜面，具體地，基座2的下端面為從基座2背離前蓋3的一側(cè)面朝面向前蓋3的一側(cè)面高度依次遞減，基座2的截面形狀為一直角梯形；前蓋3的下端面為從前蓋3背離基座2的一側(cè)面朝面向基座2的一側(cè)面高度依次遞減，前蓋3的截面形狀為直角梯形，兩者相互結(jié)合后，下端面的截面形狀為錐狀。

如圖1和圖3所示，為了保證噴出的水的方向性，在本發(fā)明中，基座2的高度小于前蓋3的高度，兩者的設(shè)置如下，基座2的上端面與前蓋3的上端面對齊，使得前蓋3的下端延伸至基座2的下端面外形成導(dǎo)向部31，而噴孔4則貼合在前蓋3面向基座2的一側(cè)表面上，通過這樣的結(jié)構(gòu)，可以保證出水的方向性，從而防止流體飛濺至風(fēng)刀。

如圖4所示，凹槽22還可以設(shè)有多個，沿基座2的長度方向排布，通道24設(shè)于凹槽22的上方，通道24上設(shè)有與凹槽24數(shù)量相同的分支25，從而使通過進水孔21進入通道24中的水能夠分別被引導(dǎo)至每個凹槽24中，從而再通過噴孔4噴出。

如圖1、圖2和圖3所示，前蓋3與基座2的連接方式采用可靠性較高的螺絲進行固定，具體地，基座2與前蓋3相對的一側(cè)表面上設(shè)有第一螺孔23，在前蓋3上與基座2相對的一側(cè)表面上設(shè)有第二螺孔32，第二螺孔32與第一螺孔23的位置相對應(yīng)，基座2與前蓋3通過螺絲與第一螺孔23、第二螺孔32螺紋連接固定，采用這種連接方式，能夠便于拆卸，從而在噴孔4堵塞或者發(fā)生分叉時容易處理；具體地，在第一種基座結(jié)構(gòu)中第一螺孔23設(shè)于凹槽22的上方，而第二種基座結(jié)構(gòu)中，第一螺孔23設(shè)于通道24的上方。

在本發(fā)明中，前蓋3和基座2兩者相對的一側(cè)表面為光滑的表面，從而降低對水的阻力。

如圖5所示，本發(fā)明還公開了一種清洗機，包括上述的水膜發(fā)生裝置，在此不再贅述，噴嘴1的設(shè)置位置與基板的傳送方向垂直設(shè)置，而風(fēng)刀5與噴嘴1之間的夾角為30度，前蓋3與風(fēng)刀5相對。

如圖6所示，本發(fā)明進一步公開了一種顯影機，包括上述的水膜發(fā)生裝置，在此不再贅述，噴嘴1的設(shè)置與風(fēng)刀5平行，而其與基板的傳送方向的夾角為30度，前蓋3與風(fēng)刀5相對。

本發(fā)明除出了具有良好的清晰性之外，保持水膜更完整，且水膜均一性更佳，可以很大程度上彌補通常結(jié)構(gòu)受壓力的影響。其主要優(yōu)點除上述所述，還具有以下優(yōu)點：

可拆卸結(jié)構(gòu)加工成本低；

通過螺絲固定，出水縫隙精度可保證，一定程度上最大化保護光阻膜層品質(zhì)或基板表面品質(zhì)；

此種水膜發(fā)生裝置的結(jié)構(gòu)方向性良好，可防止流體飛濺至ak；

若發(fā)生分叉、堵塞容易處理。

雖然已經(jīng)參照特定實施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進行形式和細節(jié)上的各種變化。